JPS62226011A - リングレーザジャイロのディザー撓み装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の背景］ この発明は、一般に回転センサ、特定的に、リングレー
ザジャイロ回転センサに関するものである。さらに特定
的に、この発明は、ロックイン効果を減じるためにリン
グレーザジャイロの入力軸のまわりに回転運動を許容し
、コニツク（ｃｏｎｉｎｏ）誤差を減じるために他のす
べての自由度に対して非常に高いスチフネスを与えるた
めのリングレーザジャイロの枠を支持するための装置と
方法に関するものである。

リングレーザジャイロは、回転を検出するためにり・ニ
やツク効果を用いる。閉ループの２つの逆伝Ｗｉする光
ビームは、ループの面に垂直な軸をまわるループの回転
速度に正比例して異なる走行時間を有するであろう、、
一般に、回転を検出するためにサニヤック効果を用いる
ための２つの基本的技術がある。第１の技術は、外部源
、典型的にはレーザからサニヤックリングに注入された
２つの逆伝搬するビーム間の微分位相のシフトを測定す
ることを伴なう干渉計的アブＯ−チである。リングは、
光ビームを路のまわりに向ける鏡によって、または光フ
ァイバのコイルによって規定されるかもしれない。路を
扱は出すビームは、干渉し、普通、縞模様と呼ばれる明
と暗の線のパターンを作り出す。縞模様の絶対変化は、
リングの回転を示ず。このような装置に伴う主要な困難
性は、量感の応用における興味ある回転速度に対しては
変化が大変小さいということである。

リングレーザジャイロは、逆に伝搬するビーム相互間の
サニＶツク位相差を周波数差に転換するために、閉され
た空洞の共振特性を用いる。リングレーデジャイロに用
いられる光のほぼ１０１ｓＨ２の高い光周波数により、
微小の位相変化は、たやず（測定されるうなり周波数に
なるようにされる。

リングレー１１ジヤイロは、逆伝搬するビームに横切ら
れる閉路を通るセンリー軸を有している。リングレーザ
ジャイロが、そのセンサ軸のまわりに回転しないときは
、２つの逆伝搬するビームの光路は、２つのビームが同
一の周波数を有するように同一の長さを有する。そのセ
ンサ軸のまわりを回るリングレーデジャイロの回転によ
り、回転方向に進行する光の実効路長は、回転方向と反
対に進行する波の実効路長が減る一方で、増す。

リングレーザジャイロは、レー４１を放出する媒質、す
なわち利１１媒賀が空洞の外側か、または内側かによっ
て、受動または能動に分類されるかもしれない。能動リ
ングレー１１ジヤイロにおいては、閉光路により規定さ
れる空洞は発振器になり、２つの方向からの出力ビーム
は、回転速度の尺度であるうなり周波数を与えるために
共にうなる。発振器によるアプローチは、空洞共振器の
周波数フィルタ動作特性が、多くのオーダの大きざによ
り、受動空洞以下に狭められ、非常に正確な回転感知電
位を与えることを意味する。現在まで、主要なリングレ
ーザ“ジ（・イ１］回転センサに対づる努力は、能動リ
ングレーザアにつぎこまれてきた。目下、市場で入手可
能なすべての光回転センサは、能動リングレーザジャイ
ロである。

リングレー１Ｊ゛ジ１Ｆイロの回転速度が、ある範囲内
であるとき、ビーム相互間の周波数差は消える。

このＩＱ象は、周波数ロックイン、またはモードロック
動作と呼ばれ、低い回転速度においては、リングレーザ
ラ９イロが、装置が回転していないという偽の指示を生
じるので、これがリングレーザジャイロの主要な難点で
ある。リングレーザジャイロの回転速度が、ロックイン
が生じるぐらいの町に始まり、それから減じられれば、
ビーム相互間の周波数差は、成る入力回転速度で消える
。この入力回転速度は、ロックインしきい値と呼ばれ、
Ω、で表示されるかもしれない。ロックインが生じる以
上の回転速度の範囲は、リングレーザジャイロのデッド
バンドである。

ロックインは、ビーム相互間の光の結合により生じると
信じられている。結合は、ビームを閉路に閉込める鏡か
らの後方散乱に主に由来する。後方散乱により、各々の
方向のビームが、他の方向に伝Ｉｊ１１するビームの周
波数を有する小さな成分を含むようにされる。リングレ
ーザラ１ｔイロのロックイン効果は、従来の電子発振器
において長い間１！察され理解されてぎた結合と同じで
ある。

２つのビーム間の周波数差の符号が逆転すると、ある点
で、周波数がＯになるので、ビームはロックインする傾
向がある。リングレーデジヤイ【］の出力は、周波数差
から引き出されるので、誤差は出力角に溜まる。２つの
ビームがロックインされる周期は、普通、非常に期間良
さが短いので、誤差は大変小さい。しかしながら、誤差
は累積し、やがて、：Ａ？：は正確な航行システムにお
いＣ明らかになり１ｇる。この誤差は、ランダムウオー
クあるいはランダムドリフトと呼ばれる。

誤った回転速度の情報が、リングレーザジャイロより出
力されるようにＪることに加えで、ロックインにより、
定在波が、鏡表面に現われるようにされる。これらの定
在波は、高低の吸収域の格子を作り出すかししれず、そ
れは、ビームとロックイン間の結合、を増す損失を局部
的に作り出す。

鏡は、リングレーザジャイロがロックインの状態で動作
するよ）にしておくことにより、永久に歪まされるかも
しれない。

低い回転速度を正確に測定することができないことは、
航行システムにおけるリングレーデジャイロの効率を減
じる。このようなシステムに６【ノるリングレー＋１ジ
ヤイロの効率的使用を高めるために、ロックイン効果を
減じるか、あるいはなくすための実質的な最の研究開光
の仕事があった。

ロックインの問題を解くためのいくつかの公知のアプロ
ーチがある。このようなアプローチの１つは、リングレ
ーザジャイロをぞのセンサ軸のまわりに機械的に発振さ
せ、そのため、装置が絶えず、デッドバンド中をｈＭ引
し、決してそこでロックインされないことを伴なう。リ
ングレーザジャイロのこの機械的な発振は、普通、ディ
ドアー動作と呼ばれる。典型的なリングレーデジ）フィ
ロは、数アーク分の角変位を伴ない、約４００Ｈｚでデ
ィザ−されるかもしれない。

機械的なデ（す“−動作は、リングレーザジャイロ枠を
、中心部分から延びる複数個の羽根あるい【よブレード
を含む撓み装置上に装着することによりなしとげられる
。各々のブレード番よ、その両側に装着される１対の圧
電材料８有している。各々のブレードの１つの圧電材料
の長さが増し、一方で、他方の圧電材料の長さが減らさ
れるように、電圧が圧電材料に印加される。圧電材料の
これらの長さ変化の影響は、圧電材料の装着を通して、
ブレードに伝達すれる。各々のブレードの一方の良さが
増し、他方が短くなることにより、ブレードは、各々の
ブレードがリングレーずジトイロの軸のまわりに小ざな
回転を経験するように撓むか、あるいは曲がるようにさ
れる。電圧は、ブレードの位相が常に振動し、ブレード
に装着されたリングレー＋ジヤイロ枠が軸のまわりに回
転するように発振する。。

本体のディザ−は、ディ４Ｆ−発振により、リングレー
ザジャイロの枠が、センサ軸のまわりだけに回転するよ
うにしてなしとげられなければならない。他の軸のまわ
りのいかなる小さな回転要素も、セン１ｆ軸が、円錐形
の路で、それが指すべき方向に歳差が生じるようにする
。軸のこの動作がコニングと呼ばれる１、デＣザー動作
に由来する軸の方向のいかなる変化も、誤差をリングレ
ーザジャイロの出力に導入する。航行システムは、セン
サ軸が互いに直交して、器具ブロックに装着される３つ
のリングレーザジャイロを含むので、ディザー発振の機
械的結合がありそうひある。

コニングを減じるために、撓みの発振面は、センサ軸と
垂直にされ、ディザ−の軸は、非常に近い許容範囲で、
センサ軸に共線である。他の軸のまわりの発振をさらに
最小にするために、ディザ−撓みは、他の軸のまわりで
発振するいかなる傾向にも抵抗するために、可能な限り
堅固でな番ノればならない。すべでの機械システムは、
発振の固有周波数を有しているので、一般に、他の軸の
まわりの幾分小さな量の発振があるだろう。典型的な先
行技術のデｒす−撓みは、１０００Ｈｚ以下の回転およ
び並列の共振周波数を有し、比較的高いコンプライアン
スを有しているので、比較的低いコニング周波数と組合
わされると、大きなシステムバイアス誤差を導く。これ
らのコンプライアンスの撓み（ｃｏｍｐｌｉａｎｔ　ｆ
ｌｅｘｕｒｅｓ）は、比較的大きな振幅枠入力軸運動を
許容し、それはシステムブロック運動と結合して、ソフ
トウェアで補い得ない角誤差を引き起こす。

この発明の譲受人であるリントン・システムズ・インコ
ーホレーテッドに譲渡された、ハッチングス（ト＋　ｕ
ｔｃｈｉｎｇｓ　）らの米国特許第４１１５００４号は
、ジャイロスコープの発振によるケースの発撮肋作を減
じるために、リングレーザジャイロのケースに平衡鍾を
装着する２重ばねシスアムを開示する。この２ｆｌばね
システムは、ケースとジャイロの間に装着される第１の
紺のばねと、ケースと平衡錘の間に装着される第２の組
のばねを含む。

リントン・システムズ・インコーホレーテッドに譲渡さ
れた、マクネアー（Ｍｃ　Ｎａ１ｒ　）らの米国特許第
４３０９１０７号は、ジャイロをディザ−することによ
って発生する振動エネルギを隔離するためのリングレー
ザジャイロディザ−機構を間示し、そのエネルギが、ジ
ャイロの装着ケースに通ることを妨げる。マクネアーら
は、ジャイロをハウジングあるいはケースに装着し、平
衡錘をジャイロに装着し、平衡鍾をケースに装着する３
つのばねシステムを開示する。この配置は、ロックイン
を妨げるために機械的ディザ−動作によって引き起こさ
れるジャイロ内の発振に反作用を与えるために、平衡錘
を用いることにより、ジｔＩイロのケースに通る角振動
エネルギの聞を減じる。

リントン・システムズ・インコーホレーテッドに譲渡さ
れたマクネアーの米国特許第４３２１５５７号は、粘性
の流動体の貯水槽を形成するために、レーク”ディＩＪ
’−懸下機構に装着されたプレー［・とリングレー１ア
ジ１１イロのケースの下表面との間に、対の弾＋！［リ
ングが置かれているリングレーザジャイロ結合システム
を開示する。粘性の流動体は、ケースとディザ−懸下機
構との間に熱応力が伝達するのを減じる。

リントン・システムズ・インコーホレーテッドに譲渡さ
れたワード（ＷｉｒＣ）らによる米国特許第４３４９１
８３号は、リングレーザラ１１イロデイザー動作機構の
ためのばね撓みアセンブリを開示する。このアセンブリ
は、各々のばねが４つの圧電ウェハによって駆動される
、ハブとリムの間に半径方向に延びる複数個の撓みばね
を含む。各々のばねは、リムとハブの共通の軸に平行な
軸のまわりを回る減じられた慣性モーメントと、リムへ
の装着領域における増加した周辺の曲げを有する。

ビュラード（Ｂ　ｕｌｌａｒｄ）　（？）米国特許第３
４６４６５７丹は、振動エネルギを計器から隔離するた
めに、フレームと航空機ム１器の装着ブラットホームと
の間に接続された単一の一組のばねを開示する。

キルバ【・リンク（Ｋ　１ｌｌｐａｔｒｉｋ　）の米国
特許第３３７３６５０号は、周波数の変化するバイアス
が、逆伝搬するビームの少なくとも１つに与えられるデ
ィザ−動作システムを開示する。変化するバイアスによ
り、逆伝搬するビーム相互間の変化する周波数差が引き
起こされる。この周波数差は、一般に、ロックインしき
い値において起こる周波数差より大きい。周波数差の極
性は、符号逆転相ｎ間の時間間隔にわたる周波数差の時
間積分が実質的にＯになるように、定期的に変えられる
。

カマ−（Ｋ　ｕｍａｒ）らの米国特許第４４３６４２３
号は、リングレーザジャイロ本体の中央の穿孔内に軸方
向に装着されるねじりヒンジを含むリングレーザジャイ
ロ懸下を開示する。ヒンジは、ヒンジに対するジャイロ
のねじり運動を許容するために、半径方向に延びるスリ
ットを有する複数個の角度で間隔のあけられた腹部分を
含む。複数個の間隔のありられた湾曲したセグメントは
、翼部分と穿孔の向かい合う表面との間の空隙をブリッ
ジし、ヒンジに固定するためにそこにセメントで接合さ
れている。

先のリングレーザジャイロディザ−撓みは、熱変動が、
路長を変化させたり、共振空洞内の逆伝搬するビームを
一直線にしないといったような問題を引き起こすことを
妨げるために、熱応力を吸収するために、ポリウレタン
接着剤なとのような比較的撓み性のある接着剤によって
フレームに装着される。非整列は、リングレーザジャイ
ロの電力出力を減じる。路長の変化は、共感空洞の共振
波長と、レーデ放出媒質が利得を与えるであろう波長を
変える。波長を変えることは、リングレーザジャイロの
換算計数を変え、それは、リングレーザジャイロにより
与えられる測定値の正確さが、公知で、一定の換算係数
を必要とするからその動作中において不所望である。

リングレーザジャイロの枠にディ＋ｆ−撓みを装着する
ための先の方法の過度の撓み性は、コニング誤差を増し
、ディザ−撓みアセンブリの共振周波数を低くする。典
型的な先行技術のディ９゛−ｔｎみは、約４００−７０
０１−１　ｚの共振周波数を有する。リングレーザジャ
イロは、約３００−５００Ｈｚで、センサ軸のまわりを
ディザーされるので、１つの軸のまわりのディザ−振動
は、他の軸に伝達される。これらの先のディザ−撓みの
共振周波数は、ディザ−周波数に１−分近く、ディザ−
駆動は、また閃導システムに典型的に含まれる他のリン
グレーザジＡ・イロの軸のまわりの発振を引き起こす。

先のディザ−撓みは、枠の一般的に円筒形の空洞に嵌ま
り、デｒす−撓みの外表面は、正確に機械加工され、円
筒空洞と同心的に一直線にされなければならない。ディ
ザ−撓みと円筒形空洞の壁との間には、撓み性のある接
着剤を受けるために、均等な空間が提供されていなけれ
ばならない、、構成要素の非整列あるいは空隙の不均一
により、枠内に応力点が引き起こされ、このような応力
点は、リングレー醤アジセイロの性能をひどく減らすか
もしれない。

［発明の要約］ この発明は、振動とコニングに対する感度が改善されて
低くなったデ（デー撓み機構を提供する。

この発明のディザ−撓みは、リングレーザジャイロをデ
ィザーするために、リングレーデジャイロの枠内の空洞
にＨＭして形成される。ディザ−撓みは、中央のハブ部
分と、各々がハブから延びる内側端部を有する複数個の
湾曲した羽根とを含む。

羽根の外側端部は、中央部分から突出し、撓みリングは
、湾曲した羽根の外側端部に接続される。

この発明のディザー撓みの羽根は、ハブに接続される湾
曲した部分と、湾曲した部分と撓みリングとの間に含ま
れる直線部分を含むことが好ましい。

複数個の羽根は、羽根の各々の対が、それとハブとの接
続において、接近して間隔がありうれた湾曲した部分を
有して、対に並べられることが好ましい。湾曲した部分
は、各々の対の羽根の直線部分が、中心部分から半径方
向の距離が増えるように拡がるように向き合う湾曲をイ
１している。

この発明のディザ−撓みは、湾曲した羽根の直線部分の
両側に装着された対の圧電アクチュエータ要素を含むの
が好ましい。圧電層ｖＪ要素は、駆動要素への駆動電圧
の印加が、撓みリングを、すングレーザジャイロのセン
サ軸のまわりに回転させるような極性を有する。

この発明のディザ−撓みは、また撓みリングの外周の中
央部分のまわりに形成されるボスを含むかもしれない。

好ましくは対の支持リング部材を含む支持リングは、撓
みリングのまわり、ボスの上に接着され、ボスの両側、
撓みリングと支持リングとの間に対のボイドを形成する
。支持リングは、リングレーデジャイロの枠に接着され
るために手の上にボスを有し、第１と第２のボスの間に
リングレーザジャイロの枠と第１および第２の支持リン
グとににって限られた第３のボイドを形成する。リング
レーザジャイロの枠と、第１および第２の支持リングと
は、ディザ−撓みの熱応力が、リングレーザジャイロの
枠に歪を引き起こすのを妨げるために、実質的に同一の
熱膨張係数を有する。

この発明は、また中央のボイドとその中に閉空洞を有す
る枠を含み、閉空洞は光路を規定し、さらに、中央のボ
イドの内側に位置決めされるディザ−撓みを含み、ディ
ザー４みは外側の撓みリングを含み、さらに、中央のボ
イドの内側にディザ−撓みを装着するための手段とを含
み、外側の撓みリングと前記枠との間に複数個の環状の
ボイドを形成して、ディザ−撓みとフレームとの間に熱
応力と機械的振動が伝達することを妨げて、光路の歪み
を避【プるリングレーザジャイロを含むからしれない。

リングレーザジャイロの枠をディザ−するためのこの発
明の方法は、複数個の湾曲した羽根を、ディザー撓みの
中央のハブ部分から延ばす段階を含み、そのため各々の
湾曲した羽根は、ハブに接続された内側端部と、ハブか
ら突出する外側端部を有し、さらに湾曲した羽根の外側
端部に接続される中央部分のまわりに撓みリングを形成
する段階を含む。この発明の方法は、また羽根の各々が
、中央のディザ−撓み部分に接続される湾曲した部分を
有し、湾曲した部分と撓みリングとの間に直線部分を有
するように形成する段階を含むかもしれない。この発明
の方法は、ざらに複ａ個の羽根を対に並べる段階と、羽
根の各々の対が、中央のディザ−撓み部分に接続される
点で接近して間隔のあけられた湾曲部分を含むように形
成する段階と、各々の対の羽根の直線部分が、中央のデ
ィザ−撓み部分から半径方向の距離が増すにつれ拡がる
ように、向き合う湾曲を有するように湾曲部分を形成す
る段階とを含む。

この発明の方法は、さらに羽根の連続する対相豆量の中
央のハブ部分から延びる複数個のローブを形成する段階
と、０−ブの各々に穿孔を形成する段階と、中央部分を
軸受台に装着するために、各々の穿孔内への配置のため
に装着ボルトを提供する段階とを含むかもしれない。

この発明の方法は、さらに湾曲した羽根の直線部分の両
側に、対の圧電アクチュエータ要素を装着する段階と、
圧電駆動要素が、それへの駆ｖＪ電圧の印加が撓みリン
グを、リングレーザジャイロのセンサ軸のまわりに回転
させるように極性を有するように形成する段階を含むこ
とが好ましい。

この発明の方法は、ざらに撓みリングの外周の一部のま
わりにボスを形成する段階と、ボスの第１の部分をカバ
ーし、撓みリングと第１の支持リングとの間に第１のボ
イドを形成するために、リングのまわりに第１の支持リ
ングを接着する段階を含むかもしれない。この方法は、
また第１の支持リングに第１の支持ボスを形成する段階
と、第１の支持ボスをリングレー１１ジヤイロの枠に接
着する段階を含むかもしれない。この方法は、またボス
の残余の部分を覆い、撓みリングと支持リングとの間に
第２のボイドを形成するために、撓みリングのまわりに
第２の支持リングを置く段階と、第２の支持リングの上
に第２の支持ボスを形成する段階と、第２の端部のボス
を、リングレーザジャイロの枠に接着する段階を含むか
もしれない。

この発明の方法は、さらに、ディザー撓みの熱応力が、
リングレーデジ１！イロの枠に歪を引き起こすのを妨げ
るために、実質的に同一の熱膨張係数を有するように、
リングレーザジャイロのフレームと第１および第２の支
持リングとを形成する段階を含むことが好ましい。

この発明の方法は、さらに撓みリングの外周の中央部分
のまわりに中央のボスを形成づる段階と、ボスを覆い、
撓みリングと支持リングとの間に第１のボイドと第２の
ボイドを形成するために、撓みリングのまわりに支持リ
ングを接着する段階と、支持リングの上に第１の端部の
ボスを形成する段階と、支持リングの上に第２の端部の
ボスを形成づる段階と、第１および第２の端部のボスを
リングレーザジャイロの枠に接着する段階と、リングレ
ーザ“ジャイロの枠と支持リングとによって限られる第
３のボイドを形成する段階を含むかもしれない。

リングレーＩ７’ジＡフィロを形成するためのこの発明
の方法は、ボイドとその中に閉空洞を有するフレームを
形成づる段階を会み、開空洞は中央のボイドに支持リン
グを装４する光路を規定し、さらに、支持リングの両端
に対の支持ボスを形成する段階と、ボスをフレームに中
央のボイドの内側に接着する段階とを含み、ボス支持リ
ングの中央部分および枠が、フレームと支持リングの中
央部分との間に環状のボイドを形成するために協働する
。

この方法は、またディザ−撓みを支持リングの内側に装
着する段階を含み、ディザ−）尭みは中央のハブ部分、
外側の撓みリング、中央のハブ部分と外側の撓みリング
との間に延びる複数個の羽根を含み、さらに、外側の撓
みリングの外周のまわりに撓みボスを形成する段階と、
ボスを支持リングに接着する段階を含み、撓みボスと支
持リングと支持ボスが、光路の歪みを避けるために、前
記ディザ−撓みと枠との間の熱応力と機械的振動の伝達
を妨げるために協働する。

リングレーザジャイロを形成するためのこの発明の方法
は、ざらに中央のボイドとその中に閉空洞を有するフレ
ームを形成する段階を含み、閉空洞が光路を規定し、さ
らに、外側の撓みリングを含むディザ−撓みを中央のボ
イドの内側に置く段階と、ディザ−撓みを中央のボイド
の内側に装着する段階を含み、外側の）尭みリングと枠
との間に複数個の環状のボイドを形成して、ディザ−撓
みと前記枠との［ｍに熱応力と機械的振動の伝達を防い
で、光路の歪みを避ける。

この発明のデイリ゛−撓みと方法は、逆伝搬する光ビー
ムに対して長方形の路を有するリングレーザラ１フイロ
を参照して説明されるが、この発明はこの特定の路の形
状に限られない。特に、この発明は、三角形の路を有す
るリングレーザジャイロにも適用できる。

［好ましい実施例の説明］ 第１図を参照すると、リングレーザジャイロ１０は、４
つの装着面１４−１７を形成するために角が切り取られ
たおおむね長方形を有している枠１２を含む。複数個の
１１’！　１８−２１は、装着面１４−１７にそれぞれ
装着されている。空洞２２は、釘′１１Ｅ３−２１相互
間に、枠１２をまわって路を形成するために、枠］２内
に形成される。

レーザ放出！５！貿２４は、その中に逆伝搬する光ビー
ム２６．２８を生じるために空洞２２内に位置決めされ
る。レーザ放出媒質は、典型的に、空濃１２２の領Ｍ　
３０に閉込められたヘリウムとネオンの混合物である。

エネルギは、電圧を対のアノード３２．３／ｌとカソー
ド３６とに印加する電力源（図示せず）によって、レー
ザ放出媒質２４に伝えられる。他の構成が、リングレー
ザジャイロ１０に用いられるかもしれない。リングレー
ザジャイロ１０の基本的な説明は、例示によって表わさ
れるが、それはこの発明を特定のリングレーザジャイロ
の構造に限定するものではない。

鏡の１つ、たとえば鎖１８は、各々のビームの一部が、
鏡１８の背面に’６着されたプリズム３８に入るように
一部透過性で必る。プリズム３８番よ、逆伝搬するビー
ムが、光検出器４０に衝突する前に互いに干渉するよう
にそれらを組合わせるために形成されている。

２つの逆伝搬するビームは、空洞２２がその縦軸４２の
まわりに回転するとぎに、鎖１８−２１からの連続的な
反則によって、空洞２２のまわりを循環する位相シフト
を受ける。２つの逆伝搬するビームの位相の差は、縦軸
４２を回る空洞２２の回転速度を表示する１、空洞２２
は、２つのビームに対して共振空洞として動くので、各
々のビーｌｌの周波数は、位相シフトが検出可能である
ようにきっちりと規定される。

２つの周波数はヘテロダインし、その周波数がリングレ
ー１ジヤイロの縦軸４２のまわりを回る回転速度に正比
例するうなり信号を形成する。第７図を参照すると、単
純でバイアスされていないリングレー１Ｆジヤイロの回
転速度が、ロックインしきい値速度Ω、に減じられると
き、逆伝搬するビームは同じ周波数でロックする。逆伝
搬するビームの周波数は、回転速度±Ω、の範囲で同じ
であり、それは第７図に示されるロックインプットバン
ドである。第７図を参照すると、リングレーザジャイロ
１０からの信号出力は、デッドバンド付近で非線形にな
り、それは理想のリングレーザジャイロの出力から退去
する。

第８図を参照すると、ロックインは鏡１８−２１から後
方散乱される放射によって主に引き起こされると信じら
れる。逆伝搬するビームは、１１１８−２１の各々に、
４５″の入射角でぶつかるので、理想的な完全に平坦な
鏡からは後方散乱する放射は起こらないであろう。各々
のビームの主要部４３は、たとえば、反射の法則に従っ
て、鏡１８から前方に反射される。しかしながら、鏡１
８−２１が非常に高品質であっても、表面の不完全さに
より、各々のビームのあらゆる方向への正反射が引き起
こされる。反対方向を向くビームに対して受入立体角で
後方散乱される１つのビームからの光の部分４４はそこ
で結合する。受入立体角は、光の波長と空洞２２の直径
に依存する。４５０の入射角を右する典型的な四角いリ
ングレーザジャイロ１０に対しては、Ｉｆｉ１８−２１
のどれか１つからの全正反射の約１０６分の１が、逆伝
搬するビームの受入角に散乱される。

第９Ａ図を参照すると、回転速度がロックインしきい値
から遠いときに、検出器４０の出力は時間を関数に正弦
状である。第９Ｂ図を参照すると、回転速度がロックイ
ンしきい値に近いとき、検出器４０の出力は所望の正弦
波形から歪められる。

４９ｃｍの空洞長さを有する典型的なリングレーザジャ
イロにとっては、ロックインしきい値は約１００°／ｈ
ｒである。それゆえ、リングレーザジャイロ１０から満
足すべき結果を得ることは、ロックインを避けるだりで
なく、デッドバンド近くの回転速度を避けることも要求
する。

リングレーザジャイロ１０は、フレーム１２内の中央通
路４８に装着されるディザ−撓み４６を含む。ディザー
撓み４６が満さな番プればならない厳重な要件がある。

ディザ−撓み４６は、空洞２２の非整列を避Ｃノ、逆伝
撤するビームに対する空洞２２の光路長さの歪みを避け
るために、いかなる熱応力ち枠１２に本質的に伝達して
はならない。

ロックインに由来する誤差を最小にするために、リング
レーザジャイロ１０の枠１２は第６３図に示される軸受
台４７に関連して発振される。第２図および第６図を参
照すると、枠１２は、ディザ−撓み４６に装着される。

ディザ−撓み４６は、フレーム１２を軸受台４７に接続
するために、穿孔５０．５１内の、第６図に示される撓
み装着ボルト５４．５６のような締具を受（プるために
、その中に複数個の穿孔５０−５３を含む。撓み装着ボ
ルト（図示せず）は、またディザー撓み４６が軸受台４
７に装着されるときに、穿孔５２．５３に位置決めされ
る。

第２図、第５図および第６図を参照すると、対の円筒５
８Ａ、５８Ｂが、ディザ−撓み４６と枠１２の間に位置
決めされ、それらは枠１２と同じ熱膨張係数を有するガ
ラスセラミック材料で形成されることが好ましい。ガラ
スセラミック円筒５８Ａ、５８Ｂは、実質的に同一で、
それゆえ、円筒５８Ａのみが第５図に示されでいる。ガ
ラスセラミック円１１５８Δ、５８Ｂの長さと厚みは、
ディザ−撓み４６と枠１２の間の熱的な不釣合いが本体
を歪ませるのを防ぐために、応力吸収を提供するように
設計されている。ディザ−撓み４６は、典型的にスーパ
ーアンバーとして知られる合金で形成され、枠１２はガ
ラスセラミック材料で形成されている。

ガラスセラミック円筒５８Ａ、５８Ｂと枠１２との間の
インターフェイスにおける歪を避けることは、レーザの
空洞整列にとって臨界的である。

ａ１詐とテストは、ガラスセラミックの円ｎ　５８　Ａ
　。

５８Ｂが、枠１２上の応力を以前の設計以下の大きさの
オーダに減じていることを示した。ディザ−１４み４６
は温度が増すと延びるが、ガラスセラミック円筒５８Ａ
、５８Ｂが、ディザー撓み４６の熱的膨張と収縮に関連
する熱応力の９９％以上を吸収する。

第２図を参照すると、ディザ−撓み４６は、中央部分６
０と、複数個のブレードあるいは羽根に接続する外リン
グ６２を含む。図示された例示的な好ましい実施例は、
８つのブレード６４−７１を含むが、この発明は図示さ
れたブレードの数に限定されない。逆伝激するビームに
対して２８ＣＩｌ＋の路長を提供するために形成される
空洞２２を右するリングレー１アジヤイロ１０とともに
用いるために設計されたこの発明の好ましい実施例にお
いては、外リング６２は、約１．５９５ｉｎ、の内径と
、約０．３５ｉｎ、の厚みを有している。ボス７４は、
外リング６２の中央外側部分の上に形成されている。ボ
ス７４にお（ブる外リング６２の外径は、約１．７ｉｎ
、である。円筒５ε３の長さｔよ約１゜２１ｎ、である
ことが好ましく、ボス７４の長さは約Ｑ、４ｉｎ、以下
である。

穿孔５０−５３は、中央部分から半径方向に外側へ突出
するロー１７８−ε３１内に形成されていることが好ま
しい。穿孔５０−５３は、それらのｔｉＬ軸が中央部分
のまわりに４５６の間隔をおかれるように配置されてい
るのが好ましい。ローブは実質的に同一で、それゆえ、
ローブ７８のみがここでは詳細に説明されている。第２
図を参照すると、ロー１７８は幅約０．３　＋ｎ、を有
するネック８４を有する。ネックは、約Ｑ、４ｉｎ、の
最大幅を有するように、ローブの本体を形成づ−るため
に潰かな対の弧に沿って広くなる。ロー１７８は、約０
．２ｉｎ、の半径を有するおおむね半筒状部分８Ｇで終
わる。穿孔５１は、半筒状部分８６の湾曲の弧と同心で
あるように形成され、約０．０７６１０、の半径を有す
る。

ブレード６４−７１は、対のブレードが隣接り゛るロー
ブ相互間にあるように、ディザ−撓み４６の中央部分か
ら延びる。たとえば、ブレード６４゜７１は、外リング
６２へ、ローブ７８．７’−）間に延びる。ブレード６
４−６１ユ、相互に実質的に同一であり、かつブレード
６８−７１は相互に実質的に同一である。それゆえ、ブ
レード６４．７１のみがここでは詳細に説明される。こ
の発明の構造を明らかにする必要があるときには、他の
ブレードについて参照がなされる。

第２図をか１％（すると、ブレード６４は、デｒザー撓
み４０の中央部分から突出する時計まわりに湾曲した部
分９０をイ１する。湾曲部分９０は、約０．０４１ｉｎ
、の厚さと、約０．１８７ｉｎ、の湾曲の半径を有する
ことが好ましい１．直線部分９２は、湾曲部分９０から
外リング６２へ延び、直線部分の良さは約０．２５ｉｎ
、である。直線部分９２とブレード６４．７１相互間の
角度を部分するディザ−）尭み４Ｇの半径との接合点と
の角度は、約３８６である。

ブレード７１は、ディリ“−撓み４６の中央部分から突
出する反時計回りに湾曲する部分９４を有する。湾曲部
分９４の湾曲半径と弧の良さは、実質的にブレード６４
の湾曲部分９ｏのそれらと同一である。直線ブレード部
分９６は、湾曲部分９４から外リング６２へ延びる。直
線部分９２．９６の接合点相互間の外リング６２の弧の
長さは、外リング６２の内径に沿って、約１．０ｉｎ、
である。

第３図および第６図を参照すると、ロー７７９の良さは
、ネックにおけるより半筒状部分における方が短いこと
が好ましく、そのため穿孔内に置かれたボルトのヘッド
は、ネックと外リング６２に境を接する領域を越えて突
出しない。ポル（〜は、ディナー撓み４Ｇをそれにしっ
かりと装着するために、十分な距離で軸受台内に突出す
゛る。

第２図および第４図ないし第６図を参照すると。

ガラスセラミック円筒５８△（ま、約１．６９ｉｎ。

の内径と、約１．７６ｔｎ、の外径を有することが好ま
しい。ガラスヒラミック円筒５８△の端部１００のまわ
りに延びるボスは、約１．７９６ｉｎ。

の外径を有している。ボス１００に実質的に同一である
ボス１０２は、ガラスセラミック円筒５８Ｂの端部１０
４のまわりに延びる。ガラスセラミック円筒５８△、５
８Ｂは、外リング６２上に装着され、ボス１００．１０
２は、ディザ−撓み４６の両端に隣接している。

第６図に示されるように、ガラスセラミック円筒５８Ａ
、Ｅｉ８Ｂは、外リング６２−Ｅのボス７４が、ガラス
セラミック円筒５８Ａ、５８Ｂの対の端部１０６，１０
８の内径にそれぞれ接触するところのみで、ディザ−撓
み４６の外リング６２に触れる。接着剤が、金属のディ
ザ−撓み４６をガラスセラミック円筒５８Ａ、５８Ｂに
固定する。

ガラスセラミック円筒５８Ａ、５８Ｂは、枠１２内の円
筒の空洞４８内に嵌まり、ガラスセラミック円筒５８Ａ
、５８Ｂ（７）ボス１００．１０２（７）みが、それぞ
れ枠１２のガラス材料に接触する。それゆえ、リングレ
ーザジャイロ１０において、金属のディザ−撓み４６と
枠１２のガラス材料とは接触往ず、それが、ディザ−撓
み４６の熱による寸法変化が、枠１２に明らかな影響を
与えることを妨げる。

ディザー撓み４６をガラスセラミック円筒５８に接着し
、ガラスセラミック円筒５８を枠１２に接着するのに用
いられる接着剤は、堅くなるために、キュアするタイプ
のものであるかもしれない。

ディザ−撓みをリングレーサジ１１イロの枠に接着する
ために用いられるポリウレタンのような先の接着剤（図
示せず）は、熱変動が、路長を変えたり、または空洞２
２内の逆伝搬するビームが一直線にならないような問題
を引き起こさないようにするために、熱応力を吸収する
ために比較的撓み性がなければならなかった。非整列は
、リングレーザジャイロ１０のパワー出力を減じる。路
長変化は、空洞２２の共成波長を変え、レーザ放出媒質
が利得を与えるであろう波長を変える。波長を変えるこ
とは、リングレーザジャイロの換算係数を変え、それは
リングレーザジャイロによって与えられる測定の正確さ
が、公知の一定の換算係数を要求するのでその動作中不
所望である。

リングレーザジャイロの枠にディザ−撓みを装着するた
めの先の方法は、あまりに撓み性を許容するという欠点
があり、それはコニング誤差を増し、センリ軸以外の軸
をまわる発振に対するディ１Ｆ−撓みアセンブリの共振
周波数を低くした。典型的な先行技術のディチー撓みは
、約６００Ｈ２の軸はずれの共振周波数を有している。

ディザ−撓み４６は、実質的に先の構造より堅固であり
、約１５００Ｈｚの軸はずれの共振周波数を有する。

初期のディＩＪ’−撓みは、１ア一ク秒／ｇより大きい
入力軸弛みを有していた。この発明のディザ−撓み４６
は、０．２ア一ク秒／ｇ以下の入力軸弛みを提供する。

ディリ“−撓み４６は、製造と性能について、先のディ
ザ−撓みを越える重要な利点を提供する。

第６図を参照すると、ディザ−撓み４６とガラスセラミ
ック円ｆｉ５８Ａ、５８８間の唯一の接触は、ボス７４
と、ガラスセラミック円筒５８Ａ、５８Ｂの端部１０６
．１０８とのそれぞれの接続点においでである。外リン
グ６２どガラスセラミック円筒５８△、５８Ｂ間の領域
は、１対の環状ボイド１１０．１１２を規定する。ガラ
スセラミック円筒５８へ、５８Ｂと枠１２は、ボス１０
０．１０２の間に延びるボイド１１３を囲む。ボイド１
１３は、ディザ−撓み４６とフレーム１２との間に、熱
応力、または半径方向に向けられた機械的振動の伝達の
ための直接の路がないようにボス７４に向かい合う。本
質的にいかなるエネルギも、ボイド１１０．１１２を横
切って、外リング６２とガラスセラミック円ｆｉ５８Ａ
、５８８間に、またはボイド１１３を通って、ガラスセ
ラミック円筒５８Ａ、５８Ｂと枠１２との間に伝達しな
い。　４熱応力はガラスセラミック円筒５８Ａ、５８Ｂ
によって吸収され、それは温度が増して、ディザ−撓み
４６が膨張するときに、ボイド１１３内に膨張する。デ
ィザ−撓みの熱膨張の結果は、ガラスセラミック円筒５
８Ａ、５８Ｂの枠１２へのわずかな曲げとなる。ディザ
−撓み４６の温度が、ディチー撓み４６が収縮するよう
に減れば、ガラスセラミック円筒５８Ａ、５８Ｂは、枠
１２から離れて内側に曲がる。

先のディプー）尭みアセンブリは、ガラスセラミック円
筒５８△、５８Ｂを含まず、外リング６２の周囲上にボ
スγ４を有しない。先のディザー撓みが嵌まる枠の空洞
と、ディザー撓みの外表面とは、正確に機械加工され、
撓み性のあるポリウレタンの接着剤を受けるためにそれ
らの間に均等な空間を有するように同心的に整列されな
ければならなかった。構成要素のいかなる非整列、また
は空隙の不均等は、枠に応力点を引き起こジ゛だろつし
、そのよう１３℃応力点は、リングレーザジャイロの性
能を厳しく哀えさせるかもしれない。

ディリ゛−撓み４６とガラスセラミック円筒５８△、５
８Ｂを含むリングレーザラ１フイロ１０は、先のリング
レーリ“ジャイロの困難には３Ｆ！遇しない。

なｔ！″なら、ガラスセラミック円筒５８△、５８Ｂと
枠１２との間は制御された小さな接触区域しかないから
である。口のような接触が起こる材料は、枠１２ど同じ
熱膨張係数を有し、他の応力を吸収して、熱および機械
応力がディザ−填み４Ｇから枠１２に伝達されるのを妨
げる。

第２図Ｊ３よび第１０図を参照づ−ると、ディザ−撓み
４６は、枠１２を縦軸４２のまわりに発娠するための手
段を含む。図示された好ましい実施例では、複数個の圧
電駆動要素１２０−１３５がブレード６４−７１に装着
されている。圧電駆動要素はブレード６４−７１に対で
装着され、そのため各々のブレードは、第２図に示され
るように、（の上に装着されＩこ２つの圧電駆動要素を
有する。

圧電駆動要素１２０−１３５は、本質的に同じ態様です
べて装着されているので、ブレード６４゜６９に装着さ
れる圧電駆動要素１２０．１３０のみがここで詳細に説
明される。

第２図および第１０図に見られるように、圧ｔ６駆動要
素’１２０−１３５は、ブレード６４−７１より簿＜、
一般に長方形を有している。たとえば、圧電駆動要素１
２０は、ブレード６４の直線部分９２土、（の平坦な表
面９５上に装着されている。

ＰＥ電駆動要素１２０は、屈曲点の全く片方にあり、そ
れは湾曲部分と直線部分の接続点である。隣接するブレ
ードは、直線部分相互間で、比較的離れているので、圧
電駆動要素１２０−１３５を据付けるための適当な空間
がある。圧電駆動要素１３５は、ブレード６４上に、圧
電駆動要素１２０の反対側にＳ！着されている。圧電駆
動要素１２０は、圧電駆動要素１３５と逆極性にされ、
そのためそこへの駆動電圧の印加により、ブレードの第
１の面が半径り向に収縮し、一方他の面が半径方向に膨
張するようにされる。圧電駆動要素は、交互の極性を右
する。

第２図を参照すると、すべての圧電層ｖＪ要素１２８−
１３５が膨張を引き起こす一方で、すべての圧電駆動要
素１２０−１２７は収縮を引き起こすなら、結果として
、外リング６２は縦軸４２のまわりに反時計回りに回転
げるだろう。逆の駆動電圧は、外リング６２の縦軸４２
を回る時計方向の回転を引き起こす。外リング６２の回
転は、圧電駆動要素が、４００Ｈｚの周波数おにび±５
０ボルトの電圧で、電力源（図示せず）により駆動され
るときに、典型的に約±１５０アーク秒である。

【図面の簡単な説明】

第１図は湾曲したブレードのディザ−撓み上に装着され
る枠構造を示すこの発明に係るリングレーサジ１フイ［
１の平面図である。 第２図は、第１図のデイリ゛−撓みとこの発明のディザ
−撓み上のリングレー１アジヤイロ枠を支持するために
用いられる支持リングの平面図である。 第３図はディザ−撓みの中央部分のローブ内の穿孔と、
第２図のデ（４ｆ−撓みの外リング部分１−に形成され
るボスを示ず第２図の３−３線に沿う断面図である。 第４図１よ、第２図の支持リングを拡大された寸法で示
す平面図である。 第５図は第２図および第４図の支持リングの断面図であ
る。 第６図は軸受台に装着されたこの発明のディザ−撓みを
示す断面図である。 第７図はリングレーザジャイ【コの出力うなり周波数を
回転速度に対してグラフ的に示づ”。 第８図は第１図のリングレー１１ジＶイロに含まれるか
もしれない型の鏡から前方反射され、かつ後方散乱され
た光を表わす。 第９Ａ図と第９Ｂ図は、第１図のリングレーザジセイロ
の、ロックインしきい値から遠い速度と、ロックインし
きい値に近い速度とのそれぞれ出力波形を表わす。 第１０図はこの発明のディザ−撓みのブレードに装着さ
れる圧電駆動体を表わす第２図の１０−１０線に沿う断
面図である。 図において、１０はリングレーデジ１νイロ、４２は縦
軸、４６はディザ−撓み、６０は中央部分、６２はリン
グ、６４−７１はブレードである。 特許出願人　リントン・システムズ・ （ほか２名） ＦＩＧ、　　／ Ｆ／に、　　２ ＦＩＧ、　　３ ＦＩＧ、　　５ ＦＩＧ　６ Ｆ／に、１０ Ｆ１ａ　９Ａ ＦＩＧ、９８

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. （１）縦軸を有する中央のハブ部分と、 各々が中央のハブ部分に接続する内側端部と、中央部分
   から突出する外側端部を有する複数個の湾曲した羽根と
   、 湾曲した羽根の外側端部に接続される中央ハブ部分のま
   わりの撓みリングとを特徴とするリングレーザジャイロ
   のディザー撓み。
2. （２）羽根の各々が、中央のハブ部分に接続される湾曲
   した羽根部分と湾曲した羽根部分と撓みリングとの間に
   形成される直線の羽根部分とを有し、複数個の羽根が羽
   根の各々の対における湾曲した羽根部分が逆の湾曲を有
   するように対に配置されている特許請求の範囲第１項記
   載のディザー撓み。
3. （３）各々が中に穿孔を有する中央のハブ部分から羽根
   の連続する対相互間に一般に半径方向に延びるローブと
   、 中央ハブ部分を軸受台に装着するために各々の穿孔に配
   置するための装着ボルトをさらに特徴とする特許請求の
   範囲第２項記載のディザー撓み。
4. （４）撓みリングの外周の中央部分のまわりに形成され
   る撓みボスと、 ボスの第１の部分を覆い、撓みリングと支持リングとの
   間に第１のボイドを形成するリングのまわりに接着され
   た第１の支持リングと、 第１の支持リング上に形成された第１の支持ボスと、 ボスの第２の部分を覆い、リングと支持リングとの間に
   第２のボイドを形成する、撓みリングのまわりに置かれ
   た第２の支持リングと、 第２の支持リング上に形成された第２の支持ボスと、 第１と第２の端部のボスをリングレーザジャイロの枠に
   接着し、リングレーザジャイロの枠と第１および第２の
   支持リングとによって、第１および第２のボスの間に境
   を限られた第３のボイドを形成するための接着手段をさ
   らに含む特許請求の範囲第１項記載のディザー撓み。
5. （５）リングレーザジャイロの枠と第１および第２の支
   持リングとが、実質的に同一の熱膨張係数を有し、ディ
   ザー撓みの熱応力がリングレーザジャイロの枠に歪を引
   き起こすことを妨げる特許請求の範囲第４項記載のディ
   ザー撓み。
6. （６）撓みリングの外周の中央部分のまわりに形成され
   た撓みボスと、 ボスを覆い、撓みリングと支持リングとの間に第１のボ
   イドと第２のボイドを形成する撓みリングのまわりに接
   着される支持リングと、 支持リングの上に形成された第１の支持ボスと、支持リ
   ングの上に形成された第２の支持ボスと、第１および第
   ２の端部のボスをリングレーザジャイロの枠に接着し、
   リングレーザジャイロの枠と支持リングによって境を限
   られる第３のボイドを形成するための接着手段をさらに
   含む特許請求の範囲第１項記載のディザー撓み。
7. （７）その中にボイドを有するフレームと、ボイドに装
   着される支持リングとを特徴とし、支持リングが支持ボ
   ス、支持リングおよび枠が枠と支持リングとの間に環状
   のボイドを形成するために協働するように、そこから外
   へ枠に向かって半径方向に延びる対の支持ボスを有し、 支持リング内側に装着されるディザー撓みをさらに特徴
   とし、ディザー撓みは中央ハブ部分、撓みリングおよび
   中央ハブ部分と撓みリングとの間に延びる複数個の羽根
   を含み、 撓みリングの外周のまわりに形成された撓みボスをさら
   に特徴とし、撓みボスと支持リングは撓みリングと支持
   リングとの間にボイドを形成するために協働するリング
   レーザジャイロ。
8. （８）モードロック動作を減じるためにリングレーザジ
   ャイロをディザーするための方法であって、 複数個の湾曲した羽根を、各々の湾曲した羽根が中央ハ
   ブ部分に接続される内側端部と、中央ハブ部分から突出
   する外側端部とを有するようにディザー撓みの中央ハブ
   部分から延ばす段階と、湾曲した羽根の外側端部に接続
   される中央ハブ部分のまわりに撓みリングを形成する段
   階を特徴とする方法。
9. （９）中央のディザー撓み部分に接続される湾曲した羽
   根部分と、湾曲した部分と撓みリングとの間に直線部分
   を有するように羽根の各々を形成する段階を含む特許請
   求の範囲第８項記載の方法。
10. （１０）複数個の羽根を対に並べる段階と、湾曲した部
    分がその接続点において、中央のディザー撓み部分に接
    近して間隔をあけられるように羽根の各々の対を形成す
    る段階と、 中央のディザ−撓み部分からの半径方向の距離が増すに
    つれて各々の対の羽根の直線部分が、拡がるように、湾
    曲した部分が逆の湾曲を有するように形成する段階をさ
    らに含む特許請求の範囲第９項記載の方法。
11. （１１）撓みリングの外周の中央部分のまわりに撓みボ
    スを形成する段階と、 ボスの第１の部分を覆い、撓みリングと支持リングとの
    間に第１のボイドを形成するために、リングのまわりに
    第１の支持リングを置く段階と、第１の支持リング上に
    第１の支持ボスを形成する段階と、 ボスの第２の部分を覆い、リングと支持リングとの間に
    第２のボイドを形成するために、撓みリングのまわりに
    第２の支持リングを置く段階と、第２の支持リングの上
    に第２の支持ボスを形成する段階と、 支持ボスとリングレーザジャイロの枠とが、リングレー
    ザジャイロの枠と第１および第２のボスとの間に第１お
    よび第２の支持リングによって境を限られる第３のボイ
    ドを形成するように、リングレーザジャイロの枠の空洞
    内に第１および第２の支持リングを置く段階をさらに含
    む特許請求の範囲第８項記載の方法。
12. （１２）リングレーザジャイロの枠と、第１および第２
    の支持リングを実質的に同一の熱膨張係数を有するよう
    に形成する段階をさらに含み、ディザー撓みの熱応力が
    リングレーザジャイロの枠の歪みを引き起こすことを妨
    げる特許請求の範囲第１１項記載の方法。
13. （１３）その中にボイドを有するように枠を形成する段
    階と、 ボイドに支持リングを装着する段階と、 支持リング上に対の支持ボスを形成する段階と、ボスを
    枠にボイドの内側に接着する段階を特徴とし、ボス、支
    持リングの一部および枠が枠と支持リングとの間に環状
    のボイドを形成するために協働し、 支持リング内側にディザー撓みを装着する段階をさらに
    特徴とし、ディザー撓みが中央のハブ部分、外側撓みリ
    ングおよび中央ハブ部分と外側撓みリングとの間に延び
    る複数個の羽根を含み、外側撓みリングの外周のまわり
    に撓みボスを形成する段階と、 撓みボスを支持リングに接着する段階をさらに特徴とし
    、撓みボス、支持リングおよび支持ボスが、ディザー撓
    みと枠の間に熱応力および機械的振動の伝達を減じるた
    めに協働するリングレーザジャイロを形成するための方
    法。
14. （１４）支持リングを２つの支持リング部材として形成
    する段階と、 支持ボスの１つを支持リング部材の各々に形成する段階
    をさらに含む特許請求の範囲第１３項記載の方法。