JPS62225279A - 圧電素子駆動型振動機用制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は圧電駆動型振動機用制御装置に関する。

〔従来の技術及びその問題点〕

最近、圧電素子に交流電圧を印加することにより得られ
る練圧を素子の伸縮を加振源とする各種の圧電素子駆動
型の振動機が開発されている。例えば、振動フィーダに
ついて述べると、トラフとベースとを結合する板はねの
両面に圧電素子が貼庸されておシ、これに交流電圧を印
加すると、これら圧電素子の伸縮によシ板ばねがたわん
でトラフが振動する。すなわち圧電素子が加振源となシ
、その周波数は交流電源の周波数であるが、この振動フ
ィーダはトラフの質量、板はねのはね常数などから成る
２質量系の振動系を構成し、これらによシ固有振動数も
しくは共振周波数が決定される。

そして通常はこの固有龜動数またはこれに近い振動数の
加振力でトラフが加振される。すなわち、一般には駆動
電源として商用電源が用いられるが、振動フィーダはそ
の固有振動数が商用電源の周波数に一致するように、ま
たはこれに近くなるように設計される。これによシトラ
フに所定の振巾を得るための加振力の大きさを極小に、
またはこれに近くすることができる。従って、加振部で
ある圧電素子に印加する交流電圧の大きさを小さくする
ことができて、消費゛電力を少なくすることができる。

然るに、トラフに何ら移送材料を供給しない。

すなわち無負荷が、負荷が非常に小さい場合には問題は
ないが、負荷がある程度大きくなると加振力が一定であ
るにも拘らず、トラフの振巾が小さくなる。これは移送
材料を含む被加振体の重量が増加したこと＼、これによ
る固有振動数の変動との相乗作用によるものであるが、
従来は、これに対処するためにこの固有振動数の変動分
を見込んで、無負荷時における固有振動数を定めていた
。

然るに、負荷が一定であれば、はゾ目的は達成されるが
、負荷が変動すれば、これに応じて固有振動数も壁中も
変動する。従って、固有振動数でトラフを振動させるこ
とによるメリットは失われるはか９か、所定の作用が得
られなくなる。

また、振動フィーダの設計段階において、その固有周波
数を使用する父流電源の周波数に一致させること及び振
巾を所定の値にすることは、種々の設計上の制約が加わ
シ、それだけ設計を困難にする。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は上述の点に鑑みてなされ、簡単な設計で共振で
駆動される圧電素子駆動型の振動機を製造することがで
き、かつ最小の消費電力で常に一定の振巾を得ることの
できる圧′亀素子駆動型振動機用制御装置を提供するこ
とを目的とする。この目的は本発明によれば、圧電素子
に交流電圧を印加することにより得られる賦圧を素子の
伸縮全加撮源とする圧電素子駆動型振動機のための制御
１１装置において、被加振体の振動と加振力との位相差
を検出する位相検出手段；と前記振動機の固有振動数ま
たはこれに近い振動数における前記振動と前記加振力と
の位相差と、前記位相検出手段の出力とを比較する第１
比較手段；と前記被加振体の振動の振巾と、所定の振巾
とを比較する第２比較手段とを具備し、前記第１比較手
段の出力に基づいて前記加振力の周波数を前記固有振動
数ま九はこれに近い振動数に一致するように制御し、か
つ前記第２比較手段の出力に基づいて前記加振力の大き
さを、前記被加振体の振動の振巾が前記所定の振巾に一
致するように制御することを特徴とする圧電駆動型振動
機用制御装置によって達成される。

〔作　用〕

圧電素子には共振周波数の交流電圧が印加され、被加振
体は共振状態で振動する。また所定の振巾で振動するよ
うに交流電圧が制御される。

振動機を一定の周波数の交流電圧に対し共振状態で振動
するように設計しなくてもよいので、その設計、製造が
容易である。コスト低下が可能となる。

〔実施例〕

まず、本実施例に適用される振動機としての振動フィー
ダについて第１図及び第２図を参照して説明する。

第１図において直線的な移送路を有するトラフ（ＩＩは
ベース（２）と傾斜配設された前後一対の圧電素子駆動
板はねアセンブ！ｊ　−（４ａ）（４ｈ）によって結合
されている。ベース（２）は防振ゴム（３）　（３）に
よって床上に支持されている。

圧電素子駆動板はねアセンプ！Ｊ　（４３Ｘ４ｂ）は同
様に構成されるので代表的に一方（４ａ）についてのみ
説明すると、主板はね（７）の両面には板状の圧を素子
（８ａ）（８ｈ）が貼着されており、これら素子（８ａ
）（８ｂ）の表面には電極層（９ａ）（９ｂ）が蒸着さ
れている。一方の電極層（９ｈ）にはスリッドＳを設け
て振巾検出用電極面αｑが形成されている。

主板はね（７）は第２図に示すように上下端部にボルト
挿通用孔四を有し、これにボルトヲ挿通させて下端部は
ベース（２）と一体的な取付部（６）に固定される。上
端部は補助板ばねＯυにボルトとナツトによシ固定され
る。補助板ばねｑ漫の上端部はボルトによシトラフ（Ｉ
Ｉと一体的な取付部（５）に固定される。

本実施例に適用される振動フィーダは以上のように構成
されるのであるが、°電極層（９ａ）（９ｂ）は図示す
る如く制御交流電源（７）と電気的に接続される。

また振巾検出用電極面αｑと主板ばね（７）とから振巾
検出用端子ａ、ｂが導出している。

作用においては、公知の如く、交流電圧が電極層（９ａ
）（９ｂ）に印加されることにより、圧電素子（９ａ）
（９ｂ）が伸縮し、これによυ主板はね（７）及び補助
板はね（ｌｌηが曲げ運動を行なってトラフ（１）は矢
印Ｃで示す方向に振動する。なお、補助板ばね四によシ
トラフ振巾を増大させることができ、圧電素子（８ａ）
（８ｈ）　Ｋ有害なねじれを防止することができる。

トラフｔｌ＋の振巾と圧電素子（９ｂ）の電極面αＱに
対応する位置の振巾との間には一定の関係があるので、
この部分の圧電素子（９ｂ）の歪みによる発生電位から
トラフ［１１の振巾を検出することができる。

すなわち出力端子ａ、ｈ間の出力電圧からトラフ（１１
の振巾を検出することができる。

第３図は実施例の制御装置のブロック回路図を示すが、
本実施例による制御装置は主として商用交流電源ａ＜に
接続される交流峠直流変換器（ハ）と、商用交流電源α
弔と同期して働らき、交流ゆ直流変換器（ト）の直流出
力レベルを制御するパルスを発生するゲート回路（４）
と、交流−直流交換器（ハ）の直流出力を交流に変換す
るだめの直流→交流変換器αηと、振動フィーダＦのト
ラフ（１１の振動すなわち振巾を検出するための振巾検
出回路（ト）と、直流→交流変換器（ロ）の交流出力と
振巾検出回路（ト）の出力との位相差を検出するための
位相検出器−と、この位相検出器−の出力と、設定され
た位相とを比較するための比較器（２））と、この比較
器（至）の出力を受けて、ＰＩ制Ｈ’を行ないこの大き
さに応じた電圧を発生する’ＰＩ（Ｐｒｏｐｏｒｔｉｏ
ｎａｌ　Ｉｎｔｅｇｒａｌ）制御器２υと、このＰＩ　
ｆＧＩＪ御器ＣＪＩＩの出力を受けて、この大きさに応
じた周波数のパルスを発生するＶ−Ｆ変換器Ｃ２１と、
このＶ−Ｆ変換器のの出力パルスを後に詳述する直流→
交流変換器ａη内の４個のトランジスタに分配するため
のパルス分配器のと、振巾検出回路（ト）の出力と設定
された像中とを比較するための比較器はと、この比較器
Ｃ２４１の出力を受けてＰＩ制御を行ない、この大きさ
に応じた電圧を発生するＰＩ制御器（２５１とから成っ
ている。

ＰＩ制御器■の出力はゲート回路（６）に供給され、交
流→直流変換器四に対するゲートパルスの位相を制御す
る。従って、直流−交流変換器αηからは振巾検出回路
（至）の出力と、位相検出器−の出力とに応じて制御さ
れた大きさと周波数の交流電圧が得られ、これが振動フ
ィーダＦの圧電素子（８ａ）（８ｈ）に供給される。こ
の交流の周波数で、かっこの交流の大きさに応じた大き
さの加振力を圧電素子（８ａ）（８ｈ）が発生する。

次に上述の交流→直流変換器０Ｑ及び直流→交流変換器
αηの詳細について第４図を参照して説明する。

交流→直流変換器ＱＱにおいて、ダイオードＱ１、Ｄ、
及びサイリスタＳＣ几５、ＳＣ几、によってブリッヂ回
路が構成され、これに商用交流電源α４が接続される。

サイリスタｓａｇ、、　５ｃｆＬ、のゲート［極にはダ
イオードＤ１、Ｄ、ヲ介してゲート信号供給端子Ｇから
、第３図のゲート回路（６）のゲートパルスが供給され
る。このゲートパルスによってサイリスタＳＣ也、ＳＣ
Ｕ、の通電角が制御された整流出力がブリッジ回路から
得られ、ダイオードへ、リアクトルＬ及びコンデンサＣ
１から成る平滑回路で平滑された直流出力として、第３
図では図示しなかった保護回路■を介して、直流→交流
変換器（ロ）に供給される。

直流−交流変換器αη（おいては、トランジスタＴＲ，
とＴｌ−Ｌ、　　とが一方の対をなし、トランジスタＴ
Ｒ。

とＴＲ，とが他方の対をなす。また、各トランジスタＴ
Ｉ（、、〜Ｔｆ（、、と並列にそれぞれ過電圧吸収用の
ダイオードＤ、〜Ｄ、が接続される。トランジスタＴ也
トＴＲ，との接続点及びダイオードＤ、とり、との接続
点は圧電素子（８ａ）（８ｂ）の一方の電極面に接続さ
れ、トランジスタＴＲ，とＴＲ，との接続点及びダイオ
ードＤ、とり、との接続点は圧電素子（８ａ）（８ｂ）
の他方の電極面もしくは板はね（７）Ｋ接続される。ト
ランジスタＴＲ，〜Ｔ几・のベース電極Ｂ２〜Ｂ、には
第３図におけるパルス分配器（２３から矩形波状のパル
スがべ−ス信号として供給されるが、一方の対のトラン
ジスタＴ也、Ｔ塊のベース電極Ｂ、、Ｂ、と、他方の対
のトランジスタＴＲ，、ＴＲ，のベース電極Ｂ８、Ｂ４
とには交互にベース茗号が供給される。従って、一方の
対のトランジスタＴＩ（、、、Ｔ凡、が導通状態にある
ときは、他方の対のトランジスタＴＲ，、ＴＲ４は非導
通状態にあシ、また一方の対のトランジスタＴ几曽、Ｔ
ｋＬ。

が非導通状態にあるときは、他方の対のトランジスタＴ
Ｒ，、Ｔル、は導通状態にある。

保５回路ｃｎは線路に巻回された検出コイル（至）、抵
抗比とトランジスタＴＲ，との直列回路から成シ、検出
コイル（ト）により過ｔａが検出された場合には、図示
しない遮断回路により、交流→直流変換器四におけるゲ
ート信号供給端子Ｇへのゲートパルスは遮断され、直流
→交流変換器←ηにおけるトランジスタＴＲ，〜ＴＲ，
のベース電極Ｂ、〜Ｂ、へのベース信号は遮断される。

Ｉた、これと同時に、トランジスタＴ）Ｌ、のベース電
極Ｂ、にベース信号が供給され、トランジスタ’ｒＲ，
は導通状態となって、交流−直流変換器（イ）における
コンデンサＣ８に畜見られている電荷は抵抗比を介して
放電される。これによって、上述の各回路素子が過電流
から保獲される。なお、コンデンサＣ１の両電極間の電
圧を検出するようにし、過電圧を検出したときに、上述
のような保護作用をさせるようにしてもよい。

本実施例のゲート回路（イ）はまた次のように構成され
ている。すなわち、図示しないが、この装置の起動ボタ
ンを押すと、ゲート回路αＱにスタート指令信号が与え
られ、これによりゲート回路（ト）からは第５図ｔ３に
示すようなゲートパルスが発生するように構成されてい
る。第５図Ａ−Ｄにおいては、起動直後の各部の信号の
時間的変化が示されているが、第５図Ａに示す商用交流
電源（１４）の交流の瞬時値が零のときを基準としてゲ
ートパルスの位相θが、θ＝　１８０’　−ｋ、ｔ　（
但しｔは時間、ｋｌは常数）のように変化するように構
成されている。

すなわち、第５図Ｃに示すように、整流波形（サイリス
タ５ＣＩ−１，いｓｅａ、、ダイオードＤ８、Ｄ、によ
って構成されるブリッジ回路の出力）がθｎ〉θｎ　＋
　１ン・・・・・・・・・とθが変化するのであるが、
このθが所定の値αになるまで、ｋ、の割合で減少する
ように構成されている。この所定の値αは比較器（至）
に設定される振巾の値によって決定される。また図示し
ないが、この装置の停止ボタンを押すと、ゲート回路（
４）にストップ指令が与えられ、これによりゲートパル
スの位相が１８０°になるまでθ＝α十に、ｔと変化す
るようにゲート回路（４）が構成される。

上述の常数に、は次のような点を考慮して定められる。

すなわち一般に振動機にある周波数の加振力を与えると
、この振動系の粘性係数や固有振動数の高さに応じて起
動時及び停止時には第６図へに示すよりな過渡状態で振
動する。従って起動直後及び停止直後には振巾が非常に
大きく、やがて定常値もしくは零になるが、このような
過渡状態が振動機の所望の作用に悪影響を及ぼすことが
ある。本実施例ではこの点に鑑みて、第６図Ｂで示すよ
うになめらかに嵌動機が起動し、停止するように常数に
、が定められている。

第５図Ｂに示すようなゲートパルスにより、交流→直流
変換器（ト）におけるブリッヂ回路からは第５図Ｃに示
すような整流出力が得られ、これは平滑回路によシ平滑
されて、交流→直流変換器（至）からは第５図りに示す
ような直流電圧が得られる。

この直流電圧はゲートパルスの位相θがαになると共に
定常値Ｅになるのであるが、Ｅ中に、α（ｋ、は常数）
であシ、Ｅの高さによってトラフ（１）の振巾が一義的
に定まるので５結局αによりてトラフ（１）の振巾が定
まることになる。

次に比較器四に設定される位相値について説明する。

圧電素子（８ａ）（８ｂ）が発生する加振力と、これを
受けて振動するトラフ（１）の振巾との間の位相差δは
振動工学上、一般に次のような関係式で表わされる。

上式においてγは振動系の粘性抵抗係数であシ、従って
、ｆ＝ｆｏ、ｊなわちλ＝１のときが、共振韮 状態であり、このときには上式からδ＝−となる。

と変化するが、この変化の様子は粘性抵抗係数ｒによっ
て異なシ、γ＝０のときにはｆ　＝ｆｏで６はステップ
的にＯから罪となる。然しながら実際には粘性抵抗係数
γは零ではあυ得ないので、共振較器ＱＱに設定される
。

なお、直流→交流変換器α力の交流出力が圧電素子（８
ａ）（８ｂ）　Ｉｃ印加され、この伸縮力が加振力とな
るのであるが、交流出力と加振力の位相は同一である。

本発明の実施例による制御装置は以上のように構成され
るが、次にこの作用について説明する。

今、図示しない起動ボタンを押すと、スタート指分信号
がゲート回路−に供給され、第５図Ｂに示すようなゲー
ト信号が交流→直流変換器（ト）のサイリスクＳＣ几い
ＳＣ風のゲートＩＩｒ、惚に供給される。

これによシそのブリッジ回路から第５図Ｃに示すような
整流出力が得られ、これは平滑回路によシ平滑されて第
５図りに示すような出力が交流−直流変換器αＧから得
られ、これは直流→交流変換器（ロ）に供給される。

他方、このときの位相検出器α９の出力と設定位相値と
の差に応じて変動する周波数のパルスがパルス分配器の
から直流→交流変換器αのにおけるトランジスタＴ也、
ＴＲ，のベース電極Ｂ、、　Ｂ、とＴｌ−Ｌ、、ＴＲ１
のベース電極Ｂ、、Ｂ、とに交互に供給される。

今、このパルスが一方の対のトランジスタＴＲ，、ＴＲ
，のベース電極Ｂ９、Ｂ、に供給されたとすると、これ
らトランジスタＴＲ，、ＴＲ，は導通状態となり、圧電
素子（８ａ）（８ｂ）の一方の電極面が正電位となる。

次に他方の対のトランジスタＴｆ（、、、Ｔｌ（、、の
ベース電極Ｂ、、　Ｂ４にパルスが供給されると、これ
らトランジスタＴ也、ＴＲ，は導通状態となシ、圧電素
子（８ａ）（８ｂ）の他方の電極面が正電位となる。こ
のように、交流→直流変換器（至）の直流出力のレベル
に応じた大きさの交流出力が圧電素子（８ａ）（８ｂ）
に印加されることになりトラフ（１）を加振する。

起動時には第５図りで示されるような立上り特性の直流
出力が直流−交流変換器的に供給されるので、第６図Ｂ
に示すようにトラフ（１）は極めて安定に起動する。交
流−直流変換器（至）の直流出力はやがて設定振巾に対
応するレベルＥに達するのであるが、もし起動と同時に
このレベルの直流が直流→交流変換器＠に供給されると
、トラフ（１）は第６図Ａに示すような過渡状態で振動
を開始し、その作用に悪影響を及ぼす。

位相検出器側からは直流−交流変換器αηの交流出力と
振巾検出回路（ト）の出力との間の位相差を検出する出
力が発生し、これが比較器（４）で設定位相され、これ
らの差が零になるようにＰＩ制御器（２１１で制御され
た周波数のパルスがパルス分配器のから直流−交流変換
器αηに供給される。従って、トラフ（１）は共振周波
数に非常に近い振動数で振動するように制御される。

他方、振巾検出回路−の出力は設定振中値と比較器（２
）で比較され、これらの差が零になるよう（ＰＩ制御器
［有］で制御された位相のゲート信号が交流−直流変換
器（イ）に供給され、これによシこの変換器（至）から
は設定振中値に対応するレベルの直流出力が得られる。

従ってトラフ（１）は所望の振中値で振動することにな
る。

以上のようにして定常状態では共振周波数にはゾ等しい
周波数で、かつ所望の振巾でトラフ（１）は振動してい
るが、今このトラフ（１）に移送材料、例えば砂をトラ
フ（１）の右端部上方に設けられた図示しないホッパー
から供給したとする。砂はトラフ（１）の振動によシ移
送力を受けて図において左方へと移送され、トラフ左熾
から排出されるのであるが、このように負荷を受けると
、トラフ（１）の振巾は小さくなろうとし移送材料を含
む振動系の共振周波数は低下する。然るに本実施例によ
れば、トラフ（１）の振巾は振巾検出回路（ト）で検出
され、設定損巾値と比較器（２４１で比較され、常にこ
の設定搗巾値となるように交流→直流変換器（ト）が直
流出力を発するので、負荷状態においても所望の撮中値
で振動する。また共振周波数は負荷と共に低下するが、
直ちにこのときの加振力と振巾との位相差が検出され、
これが比較器（１）で設定位相値と比較され、この位相
値となるように直流−交流変換器αηの交流出力の周波
数が制御されるので、振動数は無負荷時よシ減少するが
、やはり共振状態は保持される。

トラフ（１）の振動を停止すべく、図示しない停止ボタ
ンを押すと、ストップ指令信号がゲート回路ＣＩＱＫ供
給される。これによシ、強制的にゲート信号の位相θは
１８０°になるまでθ＝α＋に、ｔ　（但しαは無負荷
時の定常状態における値）の式に従って変化する。従っ
て、ゲート信号は第５図Ｂで示す変化とは逆方向に変化
し、交流→−直流変換器（へ）におけるブリッヂ回路の
整流出力も第５図Ｃに示す変化とは逆方向（Ｃ変化する
。これによシ交流→直流変換器（７）の直流出力は第５
図りに示す変化とは逆方向に変化し、零に近づく。従っ
て、第６図Ｂに示すように静かに停止する。もし、この
ような立下り特性を与えずに、直流出力のレベルをＥか
ら直接零にすると、トラフ（１）は第６図Ａに示すよう
に過渡振動を行なうことＫなる。

もしトラフ（１）の運転中に、ｔたは起動時に何らかの
理由で過大な電流が流れた場合には、保護口、路■にお
ける検出コイルｃｉ９によりこれが検出されて、トラン
ジスタＴＲ，のベース電極Ｂ、にベース信号が供給され
、トランジスタＴＲ，は導通状態になる。これにより、
コンデンサＣ３の電荷は抵抗Ｒを介して放電されると共
に、サイリスタＳＣ几１、ＳＣ風のゲート１極へのゲー
ト信号は遮断され、トランジスタＴＲ，〜ＴＲ，のベー
ス電極Ｂ、　−Ｂ、へのベース信号は遮断される。これ
によシ、各回路素子は保１図及び第２図に示すものに代
えて、第７図及び第８図に示すものが適用されてもよい
。

第７図及び第８図において、トラフ（１）′はベース（
２）′と駆動板はねアセンブリ（２０ａ）’　（２０ｈ
）’　によって結合されているが、アセンブリ（２０ａ
）′（２０ｂ）′ハ同一の構成であるので一方（２０ａ
）’についてのみ説明する。

すなわち、本変形例ではアセンブＩＪ　（２０ａ　）　
’に用いられる板はねＱＯ’は１枚だけであって第１図
及び第２図の例のように補助用板ばねは不用である。

板ばね（１０’の上端部はブロック（３）′にボルトｔ
ａ’によシ固定され、その下端部はボルトの′によりベ
ース（２）′に固定される。板ばねＱＱ’の両端部近く
の両面にはそれぞれ板状の圧電素子（ｔｘａ）’（ｔｌ
ｈ）’及び（１２ａ）’（１２ｂ）’が貼着されており
、図示せずともそれらの外面には電極面が形成され、こ
れら及び板ばねαＱ′は図示するように電気的に上述の
制御交流電源（７）と接続されている。圧電素子（ｌｌ
ａ）’（ｌｌｂ）’（１２ａ）’（１２ｂ）’の電極面
は同電位とされるが、伸縮変位（Φが沖、θが縮）は板
はねαＱ′の上下及び表裏で逆となるように圧電素子（
ｘｔａ）’（ｔｘｂ）’（１２ａ）’（１２ｂ）’の極
性が定められている。従って、これら電極面に交流電圧
が印加されると板ばねＱＣ７の中央部に関し、上方の圧
電素子（ｌｉａ）’（ｌｘｂ）’　ｆ貼着させている板
ばね部分と下方の圧電素子（１２ａ）’（１２ｂ）’　
ｆ貼着させている板ばね部分とは逆方向に変位する。

また第８図に示すように板ばね（１０’の中央部の両、
碌には切欠き（１０ａ）’（１０ｈ）’が形成され、こ
れによジ板ばねｑり′のばね常数を小としている。叫は
ポル［！１１囚を通す孔である。

以上のような振動フィーダも上述の制御装置により常に
共振状態で、かつ所定の振巾で駆動されることができる
。なお、第７図の構成においても圧電素子（ｈａ）（ｏ
ｈ）又は（１２ａ）（１２ｂ）の一部を第１図に示すよ
うに振巾検出素子用として用いてよい。

また振巾検出用素子として実施例のように圧電素子の一
部が用いられなくても、従来公知の方法で検出するよう
Ｋしても本発明は適用可能である。

例えば、トラフ（１）の振巾を光学的又は電磁気学的に
（例えば近接センサもしくは磁気センサの利用）検出し
てもよい。

また以上の実施例では振動フィーダを説明したが、これ
に代え、他の圧電素子駆動型振動機、例えばらせん状の
トラックを有する振動パーツフィーダや振動スパイラル
エレベータにも本発明が適用可能である。

また制御装置の回路も図示のものに限られることはない
ことは勿論である。

〔発明の効果〕

以上述べたように本開明の圧電素子駆動型振動機用制御
装置によれば、振＠機を常に共振状態でしかも所定の振
「１〕で駆動することができ、消費電力の軽減、振動機
の利用範囲を拡大することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施例の制御装置が適用される振動フィ
ーダの側面図、第２図は同要部の正面図第３図は本発明
の実施例による制御装置のブロック回路図、第４図は第
３図における交流−直流変換器、直流−交流変換器及び
これらと関連する部分の詳細な回路図、第５図は第３図
におけるゲート口路の作用を説明するためのグラフ、及
び第６図は実施例の作用を説明するためのグラフ、第７
図は本実施例に適用される圧電素子駆動型振動フィーダ
の変形例金示す側面図及び第８図は同要部の正面図であ
る。 なお図において、

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）圧電素子に交流電圧を印加することにより得られ
   る該圧電素子の伸縮を加振源とする圧電素子駆動型振動
   機のための制御装置において、被加振体の振動と加振力
   との位相差を検出する位相検出手段；と前記振動機の固
   有振動数またはこれに近い振動数における前記振動と前
   記加振力との位相差と、前記位相検出手段の出力とを比
   較する第１比較手段；と前記被加振体の振動の振巾と、
   所定の振巾とを比較する第２比較手段とを具備し、前記
   第１比較手段の出力に基づいて前記加振力の周波数を前
   記固有振動数またはこれに近い振動数に一致するように
   制御し、かつ前記第２比較手段の出力に基づいて前記加
   振力の大きさを、前記被加振体の振動の振巾が前記所定
   の振巾に一致するように制御することを特徴とする圧電
   駆動型振動機用制御装置。
2. （２）前記圧電素子の一部を前記被加振体の振巾を検出
   するための手段として用いる前記第１項に記載の圧電駆
   動型振動機用制御装置。