JPS62222310A - 流量制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は流量制御装置に関する。この発明は流量制御
弁の電気作動を改善することによって、小さな駆動信号
とか、ヒステリシスによる悪影響を受は易い弁応答を強
化し、流体流量の調節を正確に効率よく高速度で行なう
。しかして、流量計の測定値や電気的設定値に応答する
ソレノイド弁が付勢され時、該ソレノイド弁はヒステリ
シス抑制微少振動を発生し、また、臨界動作において、
自動的に強化駆動されて零近似流れ状態（殆んど流れが
ない状態）での強制有効弁作動を行ない得る。

従来の技術 種々のプロセス制御装置などが多方面で用いられており
、液体とか気体などの流体の検出、調節が５手動または
設定プログラムによる設定条件に応じて作動する弁装置
によって行なわれている。例えば複雑な半導体エツチン
グでのガス制御に上記の検出、弁制御が採用されており
、複雑で高価な製品の形成が行なわれるため、許容度に
ついて厳しい要求が課せられている。一般にソレノイド
弁においては、ばねでつり支持された接極子からなる弁
部材が全閉の弁着座位置に配置され、ソレノイド巻線を
流れる電流に応じて軸方向に駆動されて開成する。この
種のソレノイド弁は比較的簡単でしかも効率がよいので
上述のプロセス制御装置などに好んで用いられる。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら、小さな励磁電流に応動する場合、たとえ
ば全閉状態から僅かに開く場合にはソレノイド弁の動作
が緩慢になる。そして、応答の精度や速さが厳しく管理
される状況のもとでは、緩慢な動作に伴う遅れが好まし
くない結果を招く。さらにソレノイド弁には、主につり
支持用ばねの不規則な力学的変化によると考えられる所
謂「ヒステリシス」がしばしば見られる。その結果、励
磁応答の弁動作が必らずしも全く同一とはならず、プロ
セス制御装置性能に悪影響を与えてしまう。

したがって、この発明の目的は、小さな駆動信号とか微
少量開成状況に対して迅速かつ確実、正確に弁を応動さ
せることができ、ヒステリシスに起因する誤動作を生じ
ることがない電気作動流量制御装置を提供するにある。

この発明の他の目的は、緩慢応動をなくすと共にパルス
駆動による弁の効率向上および微少振動発生を行なう強
力な信号を自動的に決める比較的簡単な電子回路を用い
て、流体弁の高速流量制御を正確に行なうことにある。

問題点を解決するための手段 この発明は、流量計測定値や設定点指示信号に応答する
流体制御弁の動作を著じるしく改善し、特に、自動的に
論理スイッチングを実行する回路を設けることによって
弁動作精度が改善されて、遅れ現象を除去できる。つま
り、低励磁で弁駆動力が充分でない時は、上記回路が弁
機能を強化する。また上記回路は電気パルスを採用して
弁を駆動するので、意図的に効率よく弁を微少振動させ
ることができる。したがってこの発明の流量制御装置は
、流体路に設けた熱利用流量計とソレノイド弁とを備え
、電気的流量出力信号を電気的設定点信号と比較して、
所望の流れが実現されているか否かを判断し、所望の流
れを形成するために、弁励磁を増すべきか減らすべきか
を決める。弁が閉じている時とか、弁を若干量だけ開い
て微少流量変化を生じさせる時に、臨界状態が生じる。

そこで、通常の低駆動力の制御回路動作に伴う遅れを、
設定点信号と流量信号の論理評価およびそれによる弁励
磁自動切換えによって除去する。その結果、ある閾値以
上の入力電流が強引に供給され、弁が自動的に強制駆動
される。すなわち、電界効果トランジスタのような電子
スイッチを有する回路を設け、所望レベルへの流量調整
設定をしたが、実際の流量が零流れまたは零近似流れで
あって、上記所望レベルに到達するのに時間がかかる場
合に、上記回路を用いてフルスケールまたは比較的大き
な入力信号を弁制御回路へ供給する。しかしこの回路は
、実際の流量を表わす信号がある低閾値を超えた時点で
弁制御回路へのスイッチ入力を遮断して弁駆動を平常の
状態に戻す、流量が閾値以上である限り電子スイッチは
非導通とされる。弁が既に充分量いていて、さらに微少
量だけ開くのに遅れの生じることがない場合は、上記回
路を用いなくとも平常動作の弁励磁で必要な流量を得る
ことができる。

このような状況も上記回路によって判断される。

弁駆動の際、「ヒステリシス」効果により誘起される誤
応答を除去することが重要である。ヒステリシスがある
と、同一の励磁を行なっても可動弁部材は時に応じて異
なる弁位置を取る。

したがって、論理信号に応じて弁を励磁するに当って、
パルス発生制御回路を設け、デユーティサイクルが入力
信号を反映するように変えられる一定レートのパルス列
からなる出力信号を発生する。パルスレートを低可聴域
内に選択し。

ソレノイド弁へ供給される制御電流へ相応のリップルを
与えると、このリップルがハムのような接極子微少振動
に変換されるので、これを用いてヒステリシスの問題を
解消する。導通時に殆んど電力損失のない電界効果トラ
ンジスタを用いて上記のパルス動作を実行すれば、装置
のエネルギ損失を生じないで済む。

実施例 以下、実施例を用いてこの発明の詳細な説明する。

第１図に示すように、流量制御装置は熱利用速答流量計
２を有する。熱利用速答流量計２は電子制御回路４を介
してソレノイド弁３に接続され、該ソレノイド弁の弁動
作を制御する。電子制御回路は、点線ブロックで表わし
た速動回路５と可変デユーティサイクルの弁駆動回路６
とを備えている。図示の熱利用流量計は米国特許第４，
４６４，９３２号に記載のものと同形であり、点線８で
図示する側路７などの中を上流側９から下流側１０へ流
れる被測定流が電気抵抗型熱交換素子１１，１２．１３
と相互作用するようになっている。熱交換素子は大きな
温度係数の電線から作られているため温度感度が高く、
また側路７の長手方向に沿って作用するので、速い流速
の流体ともよく相互作用する。上流側の素子１１に流体
が接触すると、最初の流体調整が行なわれる。

すなわち、素子１１は第１自動再平衡ブリッジ回路１１
Ｎによって制御されて流体を加熱するので、流体の温度
が熱利用流量計への流入時の温度以上の第１温度値へ調
整される。その直後に、第２自動再平衡ブリッジ回路１
２Ｎによって制御される中間素子１２が流体を加熱する
。上流側素子１１で調整された既知温度レベルの流体は
、中間素子１２によって既知温度まで加熱され、この際
のエネルギが電子制御回路４によって流量として測定さ
れる。第１、第２自動再平衡ブリッジ回路と同様な第３
自動再平衡ブリッジ回路１３Ｎによって制御される下流
側素子１３は、上流側での加熱温度値と中間での加熱温
度値との間の温度値だけ流体を加熱する。さらに、第１
〜第３ブリツジ回路と同様なブリッジ回路によって制御
される補助素子１４を設け、これを用いて３個の主素子
１１〜１３に共通な周囲温度を調節する。

各自動再平衡ブリッジ回路において、それぞれの素子１
１〜１３は通常のブリッジ回路の１辺をなし、ブリッジ
回路１１Ｎの辺１１ａ〜ｌｉｅやブリッジ回路１２Ｎの
辺１２ａ〜１２ｃのような残りの３辺は比較的小さい温
度係数のものでほぼ一定の抵抗値を有する。ブリッジ回
路の出力信号は演算増幅器１１ｄ、１２ｄで検出され、
該演算増幅器１１ｄ、１２ｄが電力増幅トランジスタｌ
ｉｅ、１２ｅを駆動すると、抵抗型発熱素子１１．１２
中の電流が上述の流体温度調整に応じて変化される。

素子１２は測定上主要な素子であり、実際の流れが無い
状態で該素子に発生する電圧降下は流量測定の観点から
特に重要であるので、直流的にはブリッジ回路から絶縁
した次段の高インピーダンス増幅器１６へタップ１５を
介して連続的に供給し、この電圧が素子１２による加熱
や温度検出に影響を与えないようにしている。すなわち
、上記電圧を増幅器１７によってさらに増幅し、その出
力信号が表わす流量測定情報を電気的処理装置１８で処
理する。処理装置１８は適宜表示または記録を行なうと
共に、ライン１９上に「零点調節」信号を出力する。零
点調節信号は、実際の流れが無い状態での不要な出力信
号の影響を補正するものである。この処理信号を用い、
装置内流体流と手動設定または自動設定した流体流とが
一致するように装置内流体流を制御する。

このために１手動または自動制御源２０から適宜の「設
定点」電気信号を供給する。これら実際の測定流を表わ
すライン１９上の信号と、所望の設定流を表わすライン
２１上の信号とを用いることによって、矢印３Ａから矢
印３Ｂへ流れる装置内流体を調節するのにソレノイド弁
作動巻線２ｚをどの程度まで付勢すればよいかを決める
。しかしながら、上記の両信号をいつでも単純に比較し
、その差に応じた電流を用いてソレノイド弁を大小に開
閉すると、弁を開成状態から僅かに開けたり、または流
れが殆んど無い状態で弁を作動させたりする必要のある
場合に発生する面倒な状態に充分対応できない。しかし
て、弁動作が緩慢になり大きな遅れを生じてしまう。こ
の難点を除去するために、いわゆる速動回路５を特別に
設けである。この回路５はある種の論理評価を行って、
零流れ（流れ無し）または零近似流れ時での弁閉成、ま
たは弁近似開成のいずれかの状態を決める流量測定信号
を特別に考慮する。さらに、装置に設定されている設定
点についても考慮する。面倒な零流れや低流量状態が生
じそうなときは、回路５は基準電源２４の出力ライン２
３から出力制御増幅器２５へ電界効果トランジスタ２６
のドレイン／ソース開閉路を介して瞬時に適宜の大信号
を供給する。すると。

これに応答してソレノイド巻線２２が相応に強く伺勢さ
れて、接極子２７を上方へ強力に引き上げるので、弁部
材２８は弁座２９から強引に持ち上げられる。２個の増
幅器３０．３１は必要な評価を行なうのに用いられる。

一方の増幅器３０の入力３０Ａはライン１９に接続され
実際の測定流量を表わす信号を受取り、他方の増幅器３
１の入力３１Ａはライン２１に接続され所望の流れを表
わす設定点信号を受取る。両槽幅器の出力はダイオード
３２の異極電極へそれぞれ接続される。そ（１，て電界
効果トランジスタ２６のゲートが増幅器３１の出力ライ
ン上の高レベル信号を受けたときのみ該トランジスタが
導通状態へ切換る。速動動作においては、例えば装置の
予想最大流量（フルスケール）の約０．５％に相当する
所定レベルである小さい閾値を、測定流量信号が超えな
い場合で。

かつ設定点信号が上記閾値以上の場合に、ダイオードに
接続した両槽幅器が電界効果トランジスタ２６を選択的
に導通させる。かかる条件下でソレノイド弁は、流量が
実質的に増加するか、設定点信号が閾値を超えなくなる
まで強力に付勢される。上記のことを具体的に説明する
と、閾値より大きい測定流量信号が入力ライン１９がら
制御増幅器２５へ供給されたときは、該増幅器は大きな
出力信号でソレノイド弁３を作動させ。

しかして過度な応答遅れが発生しないので速動作動の必
要がない。一方、弁が閉成または開成に近い状態にあり
実際の測定流量が零または閾値以下のときは、増幅器２
５は速動作動されて大きな出力信号を送出するので、少
なくとも過渡的に弁は強引かつ迅速に一層開いた状態へ
駆動される。これは、電界効果トランジスタ２６が閉じ
、基準電源２４からのフルスケールまたは他の高レベル
作動信号が増幅器入力３３へ供給された結果である。し
かして、電界効果トランジスタ２６を閉じるためには、
増幅器３０．３１の出力間に接続されたダイオード３２
の作用のもとで、両槽幅器が協働して論理評価を行なう
。すなわち、両槽幅器の出力信号が高レベルであるとき
は、ライン２１上の対応の高入力信号が電界効果トラン
ジスタ２６のゲートへ供給されて該トランジスタが導通
し、基準電源２４と増幅器２５の入力３３とが接続して
ソレノイド弁３が強力に付勢される。

しかし、増幅器３０．３１のいずれか一方の出力信号が
低レベルだと、電界効果トランジスタ２６のゲートへの
入力信号も低レベルとなるので該トランジスタは非導通
となり、弁は単にライン１９上の測定流量信号とライン
２１上の設定点信号とで平常の如く制御される。増幅器
３１は、例えば装置のフルスケールの０．５％程度であ
る設定閾値を設定点人力３１Ａが超えている時だけ高レ
ベルの出力信号を送出するが、逆に増幅器３０は、増幅
器３１が応答するのと同一の設定閾値を測定流量入力３
０Ａが超えない時のみ高レベル出力信号を送出する６つ
まり、これらの条件が成立するとき、電界効果トランジ
スタのゲートの信号が高レベルで該トランジスタが導通
する。他の時点で測定流量が閾値よりも大きくなると、
増幅器３０の出力信号が低下し、ダイオード３２はトラ
ンジスタ２６のゲートを高レベルに維持できなくなるの
で、該トランジスタは非導通となって。

制御増幅器２５は電源２４からの速動用フルスケール大
信号ではなくて、実際の測定流量信号に応答することに
なる。ライン２１上の設定点信号が閾値以下のときは、
増幅器３１の出力信号が低レベルとなり、電界効果トラ
ンジスタのゲートは相応して低レベルになり、該トラン
ジスタが非導通状態になるので、上記と同じことが言え
る。

したがって、弁の速動駆動は流れ無し、または低流量の
ために必要とされる時に有効となる。

別のより高い設定点を導入しても、論理回路によって誤
った速動が行なわれることはなく、流量信号が閾値以下
になると所望の速動が自動的に開始される。

制御増幅器２５の出力信号に応じて、ソレノイド弁３に
電力供給する際に、可変デユーティサイクルの駆動回路
６を使用すると、定常信号または緩慢変化信号とは異な
るパルス状信号を発生できる。この回路６は、無安定マ
ルチバイブレータとして動作するように接続された回路
３４を有する。無安定マルチバイブレータ回路３４の基
本パルスレートは、低可聴範囲の約２，０００サイクル
とするのがよいが、下限は約１００サイクル、上限は４
０，０００サイクルである。このパルスの方形波デユー
ティサイクル、またはパルス幅は増幅器２５の出力信号
によって制御される。回路６のこのような方形波パルス
出力信号は、電界効果トランジスタ３５のような低損失
電子スイッチを制御する。図示のように、電界効果トラ
ンジスタ３５のゲートは上記パルス出力信号によって駆
動され、電源端子３６．３７からのパルス電流が該トラ
ンジスタのソース／ドレイン路を介してソレノイド弁の
巻線２２へ供給される。ソレノイド巻線が大きな誘導性
負荷であるために。

電界効果トランジスタはその影響を受ける恐れがある。

ダイオード３８は電界効果トランジスタをこのような影
響から保護している。巻線２２に流れる合成平均電流の
大きさに応じて弁接極子２７が動作し、弁本体３９内の
弁部材２８は、これをつり支持する２個のばね４０，４
１が常時作用する着座力に抗して相当量だけ弁座２９の
上方へ持上げられる。ソレノイド巻線電流は誘導性平滑
作用を受けるが、それでもなお基本繰返し率が２ｋｃ程
度のリップルが生じる。このリップルは、弁接極子２７
とこれに取付けた弁部材２８とを双方向矢印４２で示す
軸方向で振動させるのに役立つ。

主につり支持ばねの特性での避けられない変動に起因す
るヒステリシスについて先に述べた。

上記微少振動はハムとなり、ヒステリシスを抑制するの
に効果的に働く、その上、他の好ましくない傾向も緩和
される。しかし、接極子の大きな振動は避けるべきであ
って、振動によって弁が苛酷な作用を受けたり、弁の臨
界性能が低下したりすることがないように基本パルス率
を選択する。電界効果トランジスタ３５の電力損失は少
ないので、焦損とか熱放散についての問題は生じない。

以上実施例を用いてこの発明の詳細な説明したが、論理
回路とか可変デユーティサイクルパルス発生器、増幅器
、電子スイッチ、流量計。

電気的作動弁を公知の他の方法で実現してもよい、した
がって、この発明は上述の特定の実施例によって限定さ
れるものではなく、特許請求の範囲の記載から逸脱しな
い限り、当業者にとって種々の変更１組合せ、置換が可
能である。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の流量制御装置の実施例を示す回路図
である。 ２・・・流量信号発生手段　　３・・・流体制御弁４・
・・制御手段　　　　　　５・・・速動回路６．３５・
・・電気パルス供給手段 ２０・・・設定点信号発生手段　２２・・・電気巻線手
段２６・・・電気的スイッチ　　　２８・・・弁部材３
０．３１，３２・・・電気的スイッチの導通手段特許出
願人　エムケイニス　インスツルメンツ。 インコーポレイテッド

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、電気巻線手段を有し弁部材を移動させることによっ
   て、流路中の流体流量を調節する流体制御弁と、流路中
   の実際の流量を表わす電気的流量信号を発生する手段と
   、流路中の所望流量を表わす電気的設定点信号を発生す
   る手段と、電気的流量信号と電気的設定点信号に応答し
   て、電気巻線手段を付勢し、流体流量を所望流量と一致
   させる調節を行なう制御手段と、電気的スイッチを有す
   る速動回路とを備え、電気的スイッチが導通すると、比
   較的小さな所定の閾値設定信号よりも大きな電気的速動
   信号が制御手段に供給され、このとき制御手段が電気巻
   線手段を強力に付勢して流体制御弁を開き、急激に流体
   を流すか流量を増大させ、速動回路は、電気的流量信号
   と電気的設定点信号とを評価し、流量信号が比較的小さ
   な閾値よりも小さく、かつ設定点信号が比較的小さな閾
   値設定信号よりも大きいときに、電気的スイッチを導通
   させる手段を備え、制御手段は、比較的低い繰返し率と
   、弁部材を移動させて流体流量を調節するのに必要な可
   変デューティサイクルとを有する電気パルスを、弁部材
   制御用の電気巻線手段へ供給する手段を備え、弁部材を
   上記繰返し率で微少振動させて該弁部材の迅速な自由移
   動を促進し、速動回路によって弁部材を強力に付勢する
   ようになっていることを特徴とする流量制御装置。 ２、特許請求の範囲第１項において、電気的流量信号を
   発生する手段は流量計であり、流体制御弁はソレノイド
   弁であってその弁部材は、接極子と協働するばねによっ
   て常閉着座位置への押圧習性を与えられてこの常閉位置
   から移動可能であり、低い繰返し率は一定で約 １００〜約４０，０００サイクルの間の範囲にある流量
   制御装置。 ３、特許請求の範囲第２項において、低い繰返し率は約
   ２，０００サイクルであり、流量信号の閾値は流量信号
   の予想最大値（フルスケール）の約０．５％であり、閾
   値設定信号は予想最大（フルスケール）信号の約０．５
   ％である流量制御装置。 ４、特許請求の範囲第２項において、制御手段は可変デ
   ューティサイクルのマルチバイブレータと、このマルチ
   バイブレータによって作動され、該マルチバイブレータ
   が発生する電気パルスに同期して該電気パルスの持続期
   間に、電気巻線手段をこの電気巻線手段用の電源へ接続
   する電子スイッチとを備えている流量制御装置。 ５、特許請求の範囲第４項において、電子スイッチは、
   マルチバイブレータが発生する電気パルスによって駆動
   されるゲートを有する電界効果トランジスタを備え、流
   量信号と設定点信号の評価手段は、電気的流量信号が閾
   値よりも小さい時と、大きい時とで異なる出力信号を発
   生する第１電子回路と、電気的設定点信号が閾値よりも
   大きい時と、小さい時とで異なる出力信号を発生する第
   ２電子回路と、第１、第２電子回路の出力信号が小さな
   流量信号と大きな設定点信号との同時発生を示した時だ
   け、電気的スイッチを導通させる手段とを備えている流
   量制御装置。 ６、特許請求の範囲第５項において、第１、第２電子回
   路は、高レベル、低レベルの電圧出力信号を発生する増
   幅器を備え、第１、第２電子回路の電圧出力信号を結合
   するダイオードを設け、電気的スイッチは、ダイオード
   の一方の電極に生じる電圧によって駆動されるゲートと
   、基準電圧源からの電気的速動信号を制御手段へ供給す
   るように接続されたドレイン／ソース路とを持つ電界効
   果トランジスタを備えている流量制御装置。 ７、特許請求の範囲第６項において、第１電子回路は、
   流量信号が低いときに高レベル電圧出力信号を、高いと
   きに低レベル電圧出力信号を発生し、第２電子回路は、
   設定点信号が高いときに高レベル電圧出力信号を、低い
   ときに低レベル電圧出力信号を発生し、ダイオードの陽
   極は第１電子回路の電圧出力信号を入力して、電界効果
   トランジスタのゲートを駆動するように接続され、電気
   的速動信号は設定点信号のフルスケール程度である流量
   制御装置。 ８、電気巻線手段を有し、弁部材を移動させることによ
   って流路中の流体流量を調節する流体制御弁と、流路中
   の実際の流量を表わす電気的流量信号を発生する手段と
   、流路中の所望流量を表わす電気的設定点信号を発生す
   る手段と、電気的流量信号と電気的設定点信号に応答し
   て電気巻線手段を付勢し、流体流量を所望流量と一致さ
   せる調節を行なう制御手段とを備え、制御手段は、比較
   的低い繰返し率と、弁部材を移動させて流体流量を調節
   するのに必要な可変デューティサイクルとを有する電気
   パルスを、弁部材制御用の電気巻線手段へ供給する手段
   を備え、弁部材を電気パルスの繰変し率で微少振動させ
   て該弁部材の迅速な自由移動を促進するようになってい
   る流量制御装置。 ９、特許請求の範囲第８項において、電気的流量信号を
   発生する手段は流量計であり、流体制御弁はソレノイド
   弁であって、その弁部材は接極子と協働するばねによっ
   て常閉着座位置への押圧習性を与えられ、この常閉位置
   から移動可能であり、低い繰返し率は一定で約１００〜
   約４０，０００サイクルの間の範囲にある流量制御装置
   。 １０、特許請求の範囲第９項において、低い繰返し率は
   約２，０００サイクルであり、流量信号の閾値は流量信
   号の予想最大値（フルスケール）の約０．５％であり、
   閾値設定信号は予想最大（フルスケール）信号の約０．
   ５％である流量制御装置。 １１、特許請求の範囲第９項において、制御手段は可変
   デューティサイクルのマルチバイブレータと、このマル
   チバイブレータによって作動され、該マルチバイブレー
   タが発生する電気パルスに同期して該電気パルスの持続
   期間に、電気巻線手段をこの電気巻線手段用の電源へ接
   続する電子スイッチとを備えている流量制御装置。 １２、特許請求の範囲第１１項において、電子スイッチ
   は、マルチバイブレータが発生する電気パルスによって
   駆動されるゲートを有する電界効果トランジスタを備え
   ている流量制御装置。 １３、電気巻線手段を有し、弁部材を移動させることに
   よって流路中の流体流量を調節する流体制御弁と、流路
   中の実際の流量を表わす電気的流量信号を発生する手段
   と、流路中の所望流量を表わす電気的設定点信号を発生
   する手段と、電気的流量信号と電気的設定点信号に応答
   して電気巻線手段を付勢し、流体流量を所望流量と一致
   させる調節を行なう制御手段と、電気的スイッチを有す
   る速動回路とを備え、電気的スイッチが導通すると、比
   較的小さな所定の閾値設定信号よりも大きな電気的速動
   信号が制御手段に供給され、このとき制御手段が電気巻
   線手段を強力に付勢して、流体制御弁を開き急激に流体
   を流すか流量を増大させ、速動回路は、電気的流量信号
   と電気的設定点信号とを評価し、流量信号が比較的小さ
   な閾値よりも小さく、かつ設定点信号が比較的小さな閾
   値設定信号よりも大きいときに、電気的スイッチを導通
   させる手段を備え、電気巻線手段が速動回路によって強
   力に付勢されると、零流れまたは零近似流れでの弁部材
   の迅速な移動が促進されるようになっている流量制御装
   置。 １４、特許請求の範囲第１３項において、電気的流量信
   号を発生する手段は流量計であり、流量信号と設定点信
   号の評価手段は、電気的流量信号が閾値よりも小さい時
   と、大きい時とで異なる出力信号を発生する第１電子回
   路と、電気的設定点信号が閾値よりも大きい時と、小さ
   い時とで異なる出力信号を発生する第２電子回路と、第
   １、第２電子回路の出力信号が小さな流量信号と、大き
   な設定点信号の同時発生を示した時だけ、電気的スイッ
   チを導通させる手段とを備えている流量制御装置。 １５、特許請求の範囲第１４項において、第１、第２電
   子回路は、高レベル、低レベルの電圧出力信号を発生す
   る増幅器を備え、第１、第２電子回路の電圧出力信号を
   結合するダイオードを設け、電気的スイッチ手段は、ダ
   イオードの一方の電極に生じる電圧によって駆動される
   ゲートと、基準電圧源からの電気的速動信号を制御手段
   へ供給するように接続されたドレイン／ソース路とを持
   つ電界効果トランジスタを備えている流量制御装置。 １６、特許請求の範囲第１５項において、第１電子回路
   は、流量信号が低いときに高レベル電圧出力信号を、高
   いときに低レベル電圧出力信号を発生し、第２電子回路
   は、設定点信号が高いときに高レベル電圧出力信号を、
   低いときに低レベル電圧出力信号を発生し、ダイオード
   の陽極は第１電子回路の電圧出力信号を入力して電界効
   果トランジスタのゲートを駆動するように接続され、電
   気的速動信号は設定点信号のフルスケール程度である流
   量制御装置。