JPS62212261A - 圧電材料 - Google Patents
圧電材料Info
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- JPS62212261A JPS62212261A JP61054643A JP5464386A JPS62212261A JP S62212261 A JPS62212261 A JP S62212261A JP 61054643 A JP61054643 A JP 61054643A JP 5464386 A JP5464386 A JP 5464386A JP S62212261 A JPS62212261 A JP S62212261A
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Landscapes
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- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は圧電磁器等の圧電体を構成するのに用いられる
圧電材料に関する。
圧電材料に関する。
例えは圧ta器は、圧電ブザー、圧電アクチェータ、超
音波振動子などとに広い分野で使用されているが、誘電
特性や圧電特性の優れたもの、特に電気m械結合足数K
rの大きいものが要望されている。
音波振動子などとに広い分野で使用されているが、誘電
特性や圧電特性の優れたもの、特に電気m械結合足数K
rの大きいものが要望されている。
即ち、従来優れた圧′に磁器としてPZT (ジルコン
二≠−1チp ン酸鉛)やPZT K Pb(Mg+、
Nb4)03やPbCZn+y Nb÷)05などを
固溶させた固溶体を用いたものなどが良く知られている
。しかし、このを得るため1250〜1400℃の高い
焼結温度が必要であるが、その組成中に大量のpboを
含むためpboの蒸発が激しく気孔の発生、あるいは組
成変化が起シ、焼結が不安定となシ、均質で緻密な磁器
が得難い。しかし、pboの蒸発を抑えるように焼成温
度を低めると磁器中の反応が不完全になシ、多数の気孔
を生じ、その密度が格段に低くなる。
Nb4)03やPbCZn+y Nb÷)05などを
固溶させた固溶体を用いたものなどが良く知られている
。しかし、このを得るため1250〜1400℃の高い
焼結温度が必要であるが、その組成中に大量のpboを
含むためpboの蒸発が激しく気孔の発生、あるいは組
成変化が起シ、焼結が不安定となシ、均質で緻密な磁器
が得難い。しかし、pboの蒸発を抑えるように焼成温
度を低めると磁器中の反応が不完全になシ、多数の気孔
を生じ、その密度が格段に低くなる。
焼結温度が高(、PbOの蒸発が激しいことは、上述の
とおシ製造状態を不安定とし、十分な圧電特性を得がた
くする原因となる。
とおシ製造状態を不安定とし、十分な圧電特性を得がた
くする原因となる。
また、これ等の圧電磁器は、圧電効果を出すための分極
条件が、100〜200℃のシリコンオイル中で印加電
圧4〜6 kV/mと高く、且つ長時間を要するなど非
常に厳しい問題を有している。
条件が、100〜200℃のシリコンオイル中で印加電
圧4〜6 kV/mと高く、且つ長時間を要するなど非
常に厳しい問題を有している。
本発明は、従来の問題点を解決し、誘電特性や圧電特性
に優れ、特に電気機械結合定数に、の大きい圧電体を構
成し得る圧電材料を提供すべくなされたものである。
に優れ、特に電気機械結合定数に、の大きい圧電体を構
成し得る圧電材料を提供すべくなされたものである。
また、本発明は、特に、焼結温度が低く、均質、緻密で
高密度であシ、且つ分極操作が容易な圧電磁器を構成し
得る圧電材料を提供すべくなされたものである。
高密度であシ、且つ分極操作が容易な圧電磁器を構成し
得る圧電材料を提供すべくなされたものである。
即ち、従来の問題点を解決する手段として見出された本
願の第1の発明の圧電材料は、一般式%式% モル分率を表わし、Xは0.40〜0.65、yは0.
35〜0.60の範囲の数であり、x +y == 1
である。)で表わされる酸化物90.0〜99.95モ
ル嗟゛に対し、一般式ago2(Pbo)、 (但し、
2は0又は1.7以下の正の数である。)で表わされる
酸化物がlO0θ〜0.05モルチの割合で固溶した固
溶体(以下、本発明に係る第1の固溶体という)を主成
分とすることを特徴とするものである。
願の第1の発明の圧電材料は、一般式%式% モル分率を表わし、Xは0.40〜0.65、yは0.
35〜0.60の範囲の数であり、x +y == 1
である。)で表わされる酸化物90.0〜99.95モ
ル嗟゛に対し、一般式ago2(Pbo)、 (但し、
2は0又は1.7以下の正の数である。)で表わされる
酸化物がlO0θ〜0.05モルチの割合で固溶した固
溶体(以下、本発明に係る第1の固溶体という)を主成
分とすることを特徴とするものである。
また、本願の第2の発明の圧電材料は、一般式%式%
のうちの1種又は2種以上の元素を表わし、V及びWは
夫々Pb、Mのモル分率を表わし、マは0.90〜0.
9995.vは0.0005〜0.lOの範囲の数であ
り、v −)−w = lである。X及びyは夫々Zr
、 T1のモル分率を表わし、Xは0.40〜0.6
5、yは0.35〜0.60の範囲の数であり、x+y
=1である。)で表わされる酸化物90.0〜99.9
5モ/l/96に対し、一般式c@o2(pbo)、
(但し、2は0又は1.7以下の正の数である。)で表
わされる酸化物が10.0〜0.05モル係の割合で固
溶した固溶体(以下、本発明に係る第2の固溶体という
)を主成分とすることを特徴とするものである。
夫々Pb、Mのモル分率を表わし、マは0.90〜0.
9995.vは0.0005〜0.lOの範囲の数であ
り、v −)−w = lである。X及びyは夫々Zr
、 T1のモル分率を表わし、Xは0.40〜0.6
5、yは0.35〜0.60の範囲の数であり、x+y
=1である。)で表わされる酸化物90.0〜99.9
5モ/l/96に対し、一般式c@o2(pbo)、
(但し、2は0又は1.7以下の正の数である。)で表
わされる酸化物が10.0〜0.05モル係の割合で固
溶した固溶体(以下、本発明に係る第2の固溶体という
)を主成分とすることを特徴とするものである。
本発明に係る第1の固溶体及び第2の固溶体を、前記組
成範囲に限定した理由を以下に示す。
成範囲に限定した理由を以下に示す。
Pb (Z r xT l y )Os成分又は(pv
MW)(zrxTt、)o3構成におけるXが0.40
未満か0.65を超える場合、換言すれば、yが0.3
5未満か0.60を超える場合、焼結性状が悪くなシ、
圧電特性および誘電特性を低下させ、電気機械結合定数
に、が小さくなる・また、coo□(pbo)、成分に
おける2が1.7を超える場合、−pboが過剰になシ
、焼結性状を悪くする。
MW)(zrxTt、)o3構成におけるXが0.40
未満か0.65を超える場合、換言すれば、yが0.3
5未満か0.60を超える場合、焼結性状が悪くなシ、
圧電特性および誘電特性を低下させ、電気機械結合定数
に、が小さくなる・また、coo□(pbo)、成分に
おける2が1.7を超える場合、−pboが過剰になシ
、焼結性状を悪くする。
Ge02(PbO)、 ry、分のpb (z r X
T s y )o g K分又は(Pv4)(ZrxT
i、)O,成分への固溶量が0.05モルチ未満では、
本発明の目的とする効果が得られず、またlOモル係を
超える場合、焼結性状を悪くし、誘電特性および圧電特
性が低下する。
T s y )o g K分又は(Pv4)(ZrxT
i、)O,成分への固溶量が0.05モルチ未満では、
本発明の目的とする効果が得られず、またlOモル係を
超える場合、焼結性状を悪くし、誘電特性および圧電特
性が低下する。
更に、本発明に係る第2の固溶体において、Mの量Wが
0.lOを超える場合、同様に焼結性状を悪くシ、圧電
特性およびat特性が低下するなどである。
0.lOを超える場合、同様に焼結性状を悪くシ、圧電
特性およびat特性が低下するなどである。
Mの置換量の下限をw=0.0005としたのは、0.
0005未満では電気機械結合定数Kr及び誘電率eの
向上がなく、置換効果が得られないためである。
0005未満では電気機械結合定数Kr及び誘電率eの
向上がなく、置換効果が得られないためである。
本願の第1及び第2の発明の圧電材料を枦成すルi、−
r−夕ン、ジルコニウム、ゲルマニウム、バリウム、ス
トロンチウム等の原子の原料は、酸化物(単独酸化物、
複合酸化物、固溶体を包含する。)あるいは加熱によっ
て酸化物に転する化合物、たとえば水酸化物、炭酸塩、
蓚酸塩などでありてもよい。
r−夕ン、ジルコニウム、ゲルマニウム、バリウム、ス
トロンチウム等の原子の原料は、酸化物(単独酸化物、
複合酸化物、固溶体を包含する。)あるいは加熱によっ
て酸化物に転する化合物、たとえば水酸化物、炭酸塩、
蓚酸塩などでありてもよい。
本発明の圧電材料によシ例えば圧電磁器を製造するには
1例えば上記原料を用いて本発明に係る第1の固溶体又
は第2の固溶体の組成範囲に入るように配合する。この
場合GeO2(P b O) zは前もってゲルマニウ
ム化合物と鉛化合物を配合し、別途に約600〜650
℃で仮焼調製したものを原料として用いてもよいし、直
接所定の組成になるようにすべての原料を配合してもよ
い。以上のように原料配合したのち700〜850℃で
仮焼し、更にゲールミルなとKよって粉砕して調製粉末
とする。
1例えば上記原料を用いて本発明に係る第1の固溶体又
は第2の固溶体の組成範囲に入るように配合する。この
場合GeO2(P b O) zは前もってゲルマニウ
ム化合物と鉛化合物を配合し、別途に約600〜650
℃で仮焼調製したものを原料として用いてもよいし、直
接所定の組成になるようにすべての原料を配合してもよ
い。以上のように原料配合したのち700〜850℃で
仮焼し、更にゲールミルなとKよって粉砕して調製粉末
とする。
その後、この調製粉末罠水あるいはポリビニルアルコー
ルなどの粘結剤を配合し、0.5〜l を吟偽”の圧力
で円板状に成形して1000〜1200℃の温度で0.
5〜5時間鉾成する。なお、fjI成はpboの一部が
蒸発揮散する恐れがあるので密画炉内で行うO このようにして得た成形焼結体の両面に銀ベースなどに
よって一対の電極を極け、その電極に直流電圧1〜2.
5 kV/mを60〜120℃の温度のもとて10〜3
0分間印加して分極させることによりて圧電特性の優れ
た圧電磁器となる。
ルなどの粘結剤を配合し、0.5〜l を吟偽”の圧力
で円板状に成形して1000〜1200℃の温度で0.
5〜5時間鉾成する。なお、fjI成はpboの一部が
蒸発揮散する恐れがあるので密画炉内で行うO このようにして得た成形焼結体の両面に銀ベースなどに
よって一対の電極を極け、その電極に直流電圧1〜2.
5 kV/mを60〜120℃の温度のもとて10〜3
0分間印加して分極させることによりて圧電特性の優れ
た圧電磁器となる。
本願の発明又は第2の発明の圧電材料は、主成分である
本発明に係る第1の固溶体又は第2の固溶体のみによ多
構成されてもよいし、これらのほか、前記ぷ料酸化物等
を本発明の効果を損わない範囲で含んで構成されてもよ
い。
本発明に係る第1の固溶体又は第2の固溶体のみによ多
構成されてもよいし、これらのほか、前記ぷ料酸化物等
を本発明の効果を損わない範囲で含んで構成されてもよ
い。
本願の第1及び第2の発明の圧電材料により、圧電磁器
を構成すると、GeO□(Pbo)、が鉱化剤的に働き
、焼結を容易にするとともに、pboの蒸発を抑制する
ので、焼結温度が従来よシも200〜300℃低く、p
boの蒸発がほとんど起きなく均質で見掛気孔率の小さ
い緻密な酸化物焼成体からなる圧電磁器を容易に得るこ
とができる。
を構成すると、GeO□(Pbo)、が鉱化剤的に働き
、焼結を容易にするとともに、pboの蒸発を抑制する
ので、焼結温度が従来よシも200〜300℃低く、p
boの蒸発がほとんど起きなく均質で見掛気孔率の小さ
い緻密な酸化物焼成体からなる圧電磁器を容易に得るこ
とができる。
また、圧電磁器の分極電圧は、従来の圧電磁器のl/2
−〜IAと低く、また分極時間も短かくてすみ、分極操
作が容易であシ、しかも電気機械結合定数に2、比誘1
率Cなどの諸物件が優れている。
−〜IAと低く、また分極時間も短かくてすみ、分極操
作が容易であシ、しかも電気機械結合定数に2、比誘1
率Cなどの諸物件が優れている。
更に、鉛原子の一部をBa 、 Sr 、 Caなどで
置換することによって、電気機械結合定数Kr、および
誘電率εが改善される。
置換することによって、電気機械結合定数Kr、および
誘電率εが改善される。
以上の効果があるので本願の第1及び第2の発明の圧電
材料によ多構成される圧電磁器は、圧電プデー、圧電ア
クチェータおよび超音波振動子などの圧電材料として推
奨される。
材料によ多構成される圧電磁器は、圧電プデー、圧電ア
クチェータおよび超音波振動子などの圧電材料として推
奨される。
以下、実施例を示して本発明を更に具体的に説明する。
実施例1〜20、比較例1〜4
市販の試薬特級のPbO、ZrO2# TiO2# G
eO2tBaCO5t SrCO31Ca(OH)2を
用い表−1に示す組成になるよう釦所定量を配合した配
合原料をf −ルミルによって16時時間式混合し、濾
過乾燥後700〜850℃の温度で2時間仮焼する。
eO2tBaCO5t SrCO31Ca(OH)2を
用い表−1に示す組成になるよう釦所定量を配合した配
合原料をf −ルミルによって16時時間式混合し、濾
過乾燥後700〜850℃の温度で2時間仮焼する。
この仮焼物を更にが−ルミルによって16時時間式粉砕
し、濾過乾燥して調製粉末を得る。
し、濾過乾燥して調製粉末を得る。
この調製粉末に3チポリビニールアルコール溶液6チを
添加混合したのち所定の大きさに700ky/cm”の
圧力で円板状に成形しアルミナ製匣鉢の中に入れて密閉
して1000〜1200℃において1時間焼成した。
添加混合したのち所定の大きさに700ky/cm”の
圧力で円板状に成形しアルミナ製匣鉢の中に入れて密閉
して1000〜1200℃において1時間焼成した。
表−1に本発明による圧電磁器組成物の焼成温度pbo
の蒸発率および焼結磁器の見掛気孔率を示した。
の蒸発率および焼結磁器の見掛気孔率を示した。
円板状の焼結磁器を研磨して18φX0.2mの大きさ
圧し、円板の両面に銀イーストを塗付焼付したのち、6
0〜120℃におイテ1〜2.5kv/Wの電圧でlθ
〜30分間分極させた。
圧し、円板の両面に銀イーストを塗付焼付したのち、6
0〜120℃におイテ1〜2.5kv/Wの電圧でlθ
〜30分間分極させた。
分極後の本発明による圧電磁器組成物である実施例1〜
20の電気機械結合定数Kr、および比誘電率eを測定
して表−2に示した。
20の電気機械結合定数Kr、および比誘電率eを測定
して表−2に示した。
なお、本発明の範囲外の組成による比較例1〜4の焼成
特性を表−1、および圧電特性、誘電特性を表−2に示
した。
特性を表−1、および圧電特性、誘電特性を表−2に示
した。
以上の結果から明らかなように本発明による圧電磁器組
成物は、焼成特性が良好であシ、また圧電特性および誘
電特性が優れている。
成物は、焼成特性が良好であシ、また圧電特性および誘
電特性が優れている。
以上の実施例から、酸化グルマユ9ムと酸化鉛から成る
G・0□(PbO)z 1tジルコニワム酸チタン酸鉛
系に固溶させたところ、焼成温度が従来よシ250〜4
00℃低い1,000〜1,200℃で十分であシ、は
とんどPbOの蒸発がなく、均質、緻密な圧電磁器が得
られることが分る。
G・0□(PbO)z 1tジルコニワム酸チタン酸鉛
系に固溶させたところ、焼成温度が従来よシ250〜4
00℃低い1,000〜1,200℃で十分であシ、は
とんどPbOの蒸発がなく、均質、緻密な圧電磁器が得
られることが分る。
また、上記圧電磁器の分極電圧は、1〜2.5kVAs
と従来の4〜域の電圧で十分でラシ、しかも優れた圧電
特性を示すことが分る。
と従来の4〜域の電圧で十分でラシ、しかも優れた圧電
特性を示すことが分る。
更に、上記圧電磁気のジルコニウム酸チタン酸鉛の鉛原
子の一部をBa 、 Sr 、 Ca等で置換した圧電
磁器についても同様の効果が得られることが分るO 〔発明の効果〕 以上説明した様に、本願の第1及び第2の発明の圧電材
料によシ、誘電特性や圧電特性に優れ、特に電気機械結
合定数Krの大きい圧電体を構成し得る。また、特に、
圧電磁器を構成した場合、焼結温度が低く、均質、緻密
で高密度であシ、且つ分極操作が容易な圧電磁器となし
得る。
子の一部をBa 、 Sr 、 Ca等で置換した圧電
磁器についても同様の効果が得られることが分るO 〔発明の効果〕 以上説明した様に、本願の第1及び第2の発明の圧電材
料によシ、誘電特性や圧電特性に優れ、特に電気機械結
合定数Krの大きい圧電体を構成し得る。また、特に、
圧電磁器を構成した場合、焼結温度が低く、均質、緻密
で高密度であシ、且つ分極操作が容易な圧電磁器となし
得る。
Claims (2)
- (1)一般式Pb(Zr_xTi_y)O_3(但し、
x及びyは夫々Zr、Tiのモル分率を表わし、xは0
.40〜0.65、yは0.35〜0.60の範囲の数
であり、x+y=1である。)で表わされる酸化物90
.0〜99.95モル%に対し、一般式GeO_2(P
bO)_z(但し、zは0又は1.7以下の正の数であ
る。)で表わされる酸化物が10.0〜0.05モル%
の割合で固溶した固溶体を主成分とすることを特徴とす
る圧電材料。 - (2)一般式(Pb_vM_w)(Zr_xTi_y)
O_3(但し、MはBa、Sr及びCaのうちの1種又
は2種以上の元素を表わし、v及びwは夫々Pb、Mの
モル分率を表わし、vは0.90〜0.9995、wは
0.0005〜0.10の範囲の数であり、v+w=1
である。x及びyは夫々Zr、Tiのモル分率を表わし
、xは0.40〜0.65、yは0.35〜0.60の
範囲の数であり、x+y=1である)で表わされる酸化
物90.0〜99.95モル%に対し、一般式GeO_
2(PbO)(但し、zは0又は1.7以下の正の数で
ある。)で表わされる酸化物が10.0〜0.05モル
%の割合で固溶した固溶体を主成分とすることを特徴と
する圧電材料。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61054643A JPS62212261A (ja) | 1986-03-14 | 1986-03-14 | 圧電材料 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61054643A JPS62212261A (ja) | 1986-03-14 | 1986-03-14 | 圧電材料 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62212261A true JPS62212261A (ja) | 1987-09-18 |
Family
ID=12976455
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61054643A Pending JPS62212261A (ja) | 1986-03-14 | 1986-03-14 | 圧電材料 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62212261A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6410505A (en) * | 1987-07-02 | 1989-01-13 | Murata Manufacturing Co | Pyroelectric porcelain composition material |
US7425790B2 (en) | 2005-01-11 | 2008-09-16 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive porcelain composition, piezoelectric/electrostrictive device, and method of piezoelectric/electrostrictive device |
-
1986
- 1986-03-14 JP JP61054643A patent/JPS62212261A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6410505A (en) * | 1987-07-02 | 1989-01-13 | Murata Manufacturing Co | Pyroelectric porcelain composition material |
US7425790B2 (en) | 2005-01-11 | 2008-09-16 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive porcelain composition, piezoelectric/electrostrictive device, and method of piezoelectric/electrostrictive device |
US7901729B2 (en) | 2005-01-11 | 2011-03-08 | Ngk Insulators, Ltd. | Method of manufacturing a piezoelectric/electrostrictive device |
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