JPS62208440A - 光ピツクアツプ - Google Patents

光ピツクアツプ

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JPS62208440A
JPS62208440A JP61049654A JP4965486A JPS62208440A JP S62208440 A JPS62208440 A JP S62208440A JP 61049654 A JP61049654 A JP 61049654A JP 4965486 A JP4965486 A JP 4965486A JP S62208440 A JPS62208440 A JP S62208440A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
lens
diffraction grating
grating lens
semiconductor laser
Prior art date
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Pending
Application number
JP61049654A
Other languages
English (en)
Inventor
Kenji Tatsumi
辰己 賢二
Takashi Ito
尚 伊藤
Tsutomu Hashimoto
勉 橋本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は2例えば光デイスクメモリやディジタルオー
ディオディスク等の光デイスク装置において情報記録媒
体(以F、ディスクと呼ぶ)に情報を記録あるいは再生
するだめの光ピックアップに関するものである。
〔従来の技術〕
第6図は特開昭60−28044号公報に示された従来
の光ピックアップの構成例を示す図である。
図において、(1)は半導体レーザ、(2)は射出光、
(3)は第1のガラス基板、(4)はコリメート用オフ
ァクシスゲレーティングレンズ、(5)は平行光束、(
6)は第2のガラス基板、(7)は収束用オアアク7ス
グV−テイングレ/ズ、(8)は1次回折光、(9)は
デイスり、(11は情報記録面、Uυは光軸、α2は零
次透過光。
α邊は非点収差用グレーティングレンズ、 1141は
4象限光検出器である。
次に動作について説明する。
半導体V−ザ(1)からの射出光(2)は、第1のガラ
ス基板(3)の一部に形成されたコリメート用オファク
シスゲレーティングレンズ(4)で集められ、この第1
のガラス基板(3)面の法線に対して数10°の角度を
なす平行光束(5)となり第2のガラス基板(6)の一
部に形成された収束用オフアクシスグレーディングレン
ズ(7)へ入射する。
この平行光束(5)のオファクシスゲレーティングレン
ズ(7)による1次回折光telはディスク(9)中の
情報記録面u(I上に焦点を結ぶ。この場合、1次回折
光(8)の光軸が情報記録面illに対して垂直となる
ようにオファクシスゲレーティングレンズ(7)が形成
されている。
焦点におかれたビットの情報を含んだ1次回折光(8)
の反射光は再び収束用のオファクシスゲレーティングレ
ンズ(7)に同うが、この反射光のうちの零次透過光u
3は単に透過光として後方へ進み、収束用オファクシス
ゲレーティングレンズ(7)への入射光である平行光束
(5)の光軸と異なる光軸Uυを有することとなる。
従って半導体レーザil+からの射出光(2)あるいは
平行光束(5)と情報記録1fiulからのビット情報
を含んだ零次透過光uzとを分離することができる。こ
のようにして得られた零次透過光UZからなる反射光か
ら第1のガラス基板(3)の一部に形成された。
例えば非点収差光学用グレーティングレンズ(I3と。
例えば4象限光検出6u4からなる受光部光学系により
記録情報信号、フォーカス誤差信号、トラッキング誤差
信号を検出する。
〔発明が解決しようとする問題点1 以上述べた従来のこの種光ピックアップでは以下のよう
な問題点がある。
まず、第1に透過形のオファクシスゲレーティングレン
ズを2枚と透過形のインライン形グレーティングVンズ
を用いているため光の利用効率が非常に低いという問題
点がある。たとえば、上記コリメータ用オファクシスゲ
レーティングレンズ(4)の1次回折光の回折効率は開
口数が0.1程度であるので比較的高くなるが、それで
も高々30チであり、収束用オファクシスゲレーティン
グレンズ(7)では文献1)に示姑れているように1次
回折光の回折効率は21%しかない。また、上記非点収
差光学用グレーティングレンズ(13の1次回折光の回
折効率は上記文献1)に示されているように30チしか
ない。したがって、上記収束用オファクシスゲレーティ
ングレンズ(7)の零次回折光の回折効率を50多、上
記ディスクの反射率t−1oo%とじても上記コリメー
タ用オフアクシスグレーティ/グ(4)から非点収差光
学用グレーティングレンズa3に至るまでの効率は0.
95%にしかならない。
さらに、第2に収束用オファクシスゲレーティングレン
ズ(7)においては、ディスク(9)の情報記録面u1
に記録されているビット情報を読み出すためには射出側
の開口数としてN、A = 0.45〜0.5必要であ
り、入射光である上記平行光束(5)は上記収束用オフ
ァクシスゲレーティングレンズの射出側光軸αυに対し
て30°程度傾いているので等測的な回折角度の最大値
は51°にも達し、波長がλ=780nmの半導体レー
ザ光に対する最小格子間隔は0.82μm程度となシ、
矩形形状の回折格子としたときの格子幅は0.41μm
程度となり、サブミクロンの加工精度が要求ちれると言
う問題点がある。さらに回折効率を上げるためには格子
形状をブレーズ化しなければならないが、格子間隔0.
82μmで格子形状を三角形状にするのは容易ではない
という問題点がある。
第3に、半導体レーザ(」)、第1のガラス基板(3)
第2のガラス基板(6)および4分割光検出器Iは一つ
の筐体−に組込まれているが、第6図に示された構成で
は寸法か大きくなるとともにオートフォーカス、オート
トラッキングを実現するためには上記筐体リラ全体を一
体1駆動しなければならず、第6図には図示されていな
いが、アクチュエータの駆動N盪が大きくなるという欠
点がある。
さらに、第4に情報記録面dIのビット情報を読み出す
回折限界の集光スポットを潜るために上記収束用オファ
クシスゲレーティングレンズ(7)の1次回折光を用い
ているが、このレンズの開口数は前記のようにN、A 
= 0.45〜0.5  というものになっておりその
最小格子間隔は0.82μm程度になっており、このよ
うな高開口数の夛レーティングレンズでは光源である半
導体レーザの波長の変化に対して敏感であり、レンズの
焦点距離や回折角度が大きく変化するという欠点がある
最後に、第5の欠点として構成要素も多く互いの位置関
係を精度よく合せなければならないという組立上の問題
点も有している。
この発明は上記欠点を除去し2部品点数を減じた簡単な
構成で薄形化がoT能でしかも製造および調整が容易で
あり、したがって1産に適し、しかも特性の良好な光ピ
ックアップを得ることを目的としている。
〔問題点を解決するだめの手段J この発明に係る元ピックアップは、上記コリメータ用オ
ファクシスゲレーティングレンズ(41ト収束用オファ
クシスゲレーティングレンズ(7)の作用を単玉の対物
レンズに持たせ、収束用オファクシスゲレーティングレ
ンズ(7)の入射光と反射の分離作用と非点収差光学用
グレーティングレンズa3の作用を1枚の反射形回折格
子レンズに持たせるとともに1反射形回折格子レンズに
光路を折シ曲げる反射鏡の作用を追加して持たせること
により。
光の集光効率が低く2回折格子のアスペクト比が大きく
製造が容易でないという従来装置の第1及び第2の欠点
を改善し、さらに1部品点数が多く低価格化が容易でな
くかつ大形になるという従来装置の第3及び第5の欠点
を改善し、さらに、上述の機能分担により照射光路の回
折角度変更要素を反射光路用同変更要素から分離して被
駆動物体を単玉の対物レンズに限定することを可能にし
従来装置の第3の欠点を改善し、さらに、ディスク(9
)への照射光が上記反射形回折格子レンズにおける0次
回折となるようにして、半導体レーザ(1)の波長変動
に伴う従来装置の第4の欠点を改善した点に特徴を有す
るものである。
〔作用〕
この発明においては、単玉の対物レンズを用いることに
より、従来装置で必要であったコリメータ用オファクシ
スゲレーティングレンズ(4)と収束用オフアクシスグ
レーティングレンズ(7)の作用を1つの単玉の対物レ
ンズで行なわせるようにしたものであり、姑らに9反射
形回折格子レンズを用いることにより、収束用オファク
シスゲレーティングレンズ(7)の入射光と反射光の分
離作用を行なわせるとともに、従来装置で必要であった
非点収差用インライン形グレーティングレンズα階の作
用を1つの反射形回折格子ンンズで行なわせるようにす
るとともに反射鏡の作用も兼ねさせ光軸を曲げるように
し、光ピックアップの寸法を小さくし薄形化を計ること
ができる。
しかも、ここで用いる反射形回折格子レンズの最小格子
間隔は以下で述べるように2.6μm程度あり9通常の
LSI等の製造で用いられる微細加工技術を応用したプ
ロセスで容易に得られるもので。
高精度のものを犬itKかつ安価に作製することができ
、it産に適したものになっている。また、対物レンズ
もプラスチック等を用いた非球面レンズとすることによ
り、単玉のレンズとすることができ、このレンズも射出
成形等により大量生産が可能である。
〔実施例J 以下1図面を用いて、この発明の一実施例を説明する。
!ig1図はこの発明の一実施例を示す鳥かん図であり
、第2図は第1図に示したこの発明の一実施例を示す平
面図と側面図である。図示のように。
半導体レーザ(11と対物レンズttSに至る光路の途
中に反射形回折格子しンズ四を配設する。
本発明による光ピックアップは以上の構成を有するもの
であるから、半導体レーザ(11からの発散射出光(2
)は直接反射形回折格子しンズ四に入射し。
その表面にきざまれた反射形の回折格子で回折されない
0次回折光が対物レンズα梯に入射する。上記対物レン
ズα尋は半導体レーザ(1)の元光点を物点とし、ディ
スク面上の点を1象点するように設計ぢれているので、
上記発散球面波αηは上記対物レンズα秒により上記デ
ィスク(9)上の情報記録面θ値にほぼ回折限界の集光
スポットで集光される。情報記録面illからのピット
情報を有する反射光は再び上記対物レンズa8に入射し
上記対物VンズQFjにより上記半導体レーザ(11の
発光点を集光点とする収束光に変換され、上記反射形回
折格子レンズueに入射する。上記反射形回折格子レン
ズUSに入射した収束光のうち、上記反射形回折格子し
ンズ四によって発生する零次回折光は光路を曲げられた
のち上記発数収束光(2)を逆進する形で上記半導体レ
ーザ(1)上に集光されるが、上記反射形回折格子レン
ズの1次回折光は上記4象限光検出器Iに集光する光束
u9に変換される。第2図Lblに示すように。
上記光束q優は上記発散射出光(2)の光路とは重なら
ず、上記半導体レーザfl)から上記反射形回折格子レ
ンズ110に至る光軸(ハ)と角度0をなしているので
入射光と情報記録面四のビット情報を有する反射光のみ
を4wJ、眼光検出器141に導くことができる。
上記反射形回折格子レンズll[9に刻まれた格子パタ
ーンは半導体レーザ(1)と4象限光検出器Iと上記反
射形回折格子レンズueの配役位置関係と上記半導体レ
ーザ(11の射出光の波長および収束光+1!+に付加
する収差によって決まるもので、正確には第(1)式で
定義される位相差がπの偶数倍あるいは奇数倍となる等
位相曲線として表現される。
Δψ=ΦLD−ΦPD+ΣCgX’Y1(u≦1.J≦
10)  (111+J 第(1)式において、ΦLDは上記半導体レーザ(1)
を波源としたときの上記反射形回折格子しンズdf9面
上での位相、ΦPDは上記4象限光検出器Iを波源とす
る上記反射形回折格子レンズー面上での位相。
(x、y)は第1図に示す、上記反射形回折格子レンズ
(I[9面上にとった座標でるる。第(1)式において
第3項の係数C工、の値と次数1.Jを選択することに
より種々の収差を発生することができる。たとえば、 
 C02=−2X10  、 CH=−2X10  と
してその他の係数を零とすると第3図に示すような格子
パターンが得られる。第3図において2図化の都合上、
#!!子パターンは66本おきのもののみを描いである
。このように、第3図に示したような格子パターンをも
つ上記反射形回折格子レンズUSに第1図に示す構成で
光が入射したとき、収束光饅は第1の焦線■、第2の焦
線@および最小錯乱円Qυを有する非点光束とすること
ができる。第1図において、上記4象限光検出器α4は
上記収束先住9の最小錯乱円Qυの位置に設置するとオ
ートフォーカス誤差信号を得ることができる。第4図に
は、上記対物レンズ0樽とディスク(9)との距離が変
化したときの上記4象限光検出器u4面上のスポットダ
イアグラムの一例が示されている。このように4象限党
検出器α乃の面上でパターンが変化するので。
第5図に示すような上記4象限光検出器Iの出力端に接
続された差動増幅器(至)の出力として得ることができ
る。また、トラッキング誤差信号はいわゆるプッシュプ
ル方式によシ谷易に得ることができ、情報信号は上記4
象限光検出器Iのそれぞれの出力を加算することによυ
得ることができる。
本発明に係わる元ピックアップにおいて用いる反射形回
折格子レンズα1は1例えばPMMA等の電子線レジス
トを塗布したガラス板に電子ビームで直接格子パターン
を描画し後処理を施し、その表面にA1等の金属をメッ
キもしくは蒸着することにより製作することができる。
量産のためには。
上記反射形回折格子から電鋳等によυ金型を作製し、こ
れをマスターとして射出成形等によりレプリカを作製し
、所要の反射形回折格子レンズを作製するのがよい。
また本発明に係わる光ビックアンプでは反射形回折格子
レンズと対物レンズの2つの光学素子しか用いていない
ので、第6図に示した従来装置にくらべて光の利用効率
が尚いという利点を有している。たとえば、上記反射形
回折格子レンズの格子断面形状を矩形とした場合でも零
次回折光の効率は50%、1次回折光の回折効率は20
.3%ある。
したがって上記ディスク(9)の反射率を100%、上
記対物レンズの透過率を95チとした場合、上記反射形
回折格子レンズσeから対物レンズα[相]、ディスク
(9)を経て再び対物レンズα樽から反射形回折俗子レ
ンズl111に至るまでの効率は9.2%あり、従来装
置の約10倍の効率を有している。
さらに、オートフォーカス、オートトラッキングのため
には、上記対物レンズ側のみを駆動すればよく、第1図
には図示していないが、アクチュエータの駆動重量が軽
くなるという利点がある。
〔発明の効果〕
この発明は以上説明したとおり、半導体レーザと対物レ
ンズとの間に反射形回折格子レンズを配設し、この反射
形回折格子レンズに、入出力光の分離作用、来光スポッ
トを常に情報記録面上に照射するだめの信号tja生さ
せるためのセンナ光学系の作用および装置を薄形化する
ために必要な光路の折り曲げの作用を同時に持たせるこ
とによシ部品点数を低減できるとともに2反射形回折格
子レンズは射出成形と金属膜の蒸着等により扁梢度でか
つ大量生産がOT 面であシ、安価な光ピックアップを
提供することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
7@1図はこの発明の一実施例を示す鳥かん図。 第2図は第1図に示したこの発明の一実施例を示す平面
図と側面図、第3図は格子パターンの例を示す図、第4
図は4″J、眼光検出器面上でのスポットダイアグラム
の変化例を示す図、第5図はフォ−カス誤差信号を得る
方法を示す図、第1図は従来の光ピックアップを示す図
である。 図において、(1)は半纏体レーザ、(2)は射出光。 (3)は第1のガラス基板、(4)はコリメート用オフ
ァクシスゲレーティングレンズ、(5)は平行光束、(
6)は第2のガラス板、(7)は収束用オファクシスゲ
レーティングレンズ、(8)は1次回折光、(9)はデ
ィスク、 tllは情報記録面、Uυは光軸、 112
は零次透過光。 0は非点収差用グレーティングレンズ、α4は4象限光
検出器、住9は筐体、叫は反射形回折格子レンズ、Uη
は発散光、α秒は対物レンズ、 (19は収束光。 ■は第1の焦線、 callは最小錯乱円、(イ)は第
2の焦線、(ハ)は光軸、 CJ41は差動増幅器であ
る。 なお2%図中、同一符号は同一もしくは相当部分を示す

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)半導体レーザと、前記半導体レーザからの射出光
    を光学式情報記録媒体上に集光させるための対物レンズ
    と、上記半導体レーザから上記対物レンズに至る光路中
    に上記半導体レーザよりの射出光を反射して上記対物レ
    ンズに入射させるとともに上記光学式情報記録媒体より
    の情報を含んだ反射光を上記半導体レーザの設置位置と
    は異なる位置に導きかつ上記反射光を非点光束とするた
    めの反射形回折格子レンズと、上記反射形回折格子レン
    ズにより分離された上記反射光を検出する4分割光検出
    器とを備えたことを特徴とする光ピックアップ。
  2. (2)上記光学式情報記録媒体上に集光させる光は、上
    記反射形回折格子レンズにおける0次回折光であること
    を特徴とする特許請求の範囲第(1)項記載の光ピック
    アップ。
  3. (3)上記光学式情報記録媒体で反射され上記反射形回
    折格子レンズで回折され上記4分割光検出器に入射する
    光は、上記反射形回折格子における1次回折光であるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第(1)項記載の光ピッ
    クアップ。
JP61049654A 1985-11-25 1986-03-07 光ピツクアツプ Pending JPS62208440A (ja)

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JP61049654A JPS62208440A (ja) 1986-03-07 1986-03-07 光ピツクアツプ
NL8602980A NL8602980A (nl) 1985-11-25 1986-11-24 Inrichting voor het registreren en weergeven van optische informatie.

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JP61049654A JPS62208440A (ja) 1986-03-07 1986-03-07 光ピツクアツプ

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01106341A (ja) * 1987-09-21 1989-04-24 Philips Gloeilampenfab:Nv 光学式走査装置
EP0532927A2 (en) * 1991-08-22 1993-03-24 Kla Instruments Corporation Automated photomask inspection apparatus

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5657013A (en) * 1979-09-28 1981-05-19 Philips Nv Focus error detector

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