JPS62208184A - ウエハバ−コ−ド読取装置 - Google Patents
ウエハバ−コ−ド読取装置Info
- Publication number
- JPS62208184A JPS62208184A JP61050833A JP5083386A JPS62208184A JP S62208184 A JPS62208184 A JP S62208184A JP 61050833 A JP61050833 A JP 61050833A JP 5083386 A JP5083386 A JP 5083386A JP S62208184 A JPS62208184 A JP S62208184A
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- JP
- Japan
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- laser beam
- wafer
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- comb
- signal
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- Pending
Links
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 6
- 230000002463 transducing effect Effects 0.000 abstract 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 4
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はウェハバーコード読取装置に関し、特にその
焦点位置合わせの改良に関するものである。
焦点位置合わせの改良に関するものである。
ウェハバーコードとは半導体ウェハの品種を生産管理す
るためにウェハ面の余白部分に設けられたバーコードで
あり、従来からウェハバーコードを、掃引レーザ光線を
用いて読取るウェハバーコード読取装置が多く使われて
いる。
るためにウェハ面の余白部分に設けられたバーコードで
あり、従来からウェハバーコードを、掃引レーザ光線を
用いて読取るウェハバーコード読取装置が多く使われて
いる。
しかるに従来のウェハバーコード読取装置ではウェハバ
ーコードを確実に読取るためにレーザ光線の焦点をあわ
せ込む必要があった。
ーコードを確実に読取るためにレーザ光線の焦点をあわ
せ込む必要があった。
本発明は、上記のような従来のものの問題点に鑑みてな
されたもので、手動操作による焦点のしぼり込みを要す
ることなくウェハバーコードを安定に読取れるウェハバ
ーコード読取装置を提供せんとするものである。
されたもので、手動操作による焦点のしぼり込みを要す
ることなくウェハバーコードを安定に読取れるウェハバ
ーコード読取装置を提供せんとするものである。
この発明に係るウェハバーコード読取装置は、ウェハバ
ーコードの読取りにあたって該パーコードに付加された
櫛状コードを掃引レーザ光線で走査し、その反射光の光
電変換出力が最大になるようにレーザ光線の焦点を調整
するようにしたものである。
ーコードの読取りにあたって該パーコードに付加された
櫛状コードを掃引レーザ光線で走査し、その反射光の光
電変換出力が最大になるようにレーザ光線の焦点を調整
するようにしたものである。
この発明においては、ウェハバーコードに付加された櫛
状コードの光電変換出力が最大となるようにレーザ光線
の焦点が自動調整されるから、レーザ光線の焦点は常に
最適位置となる。
状コードの光電変換出力が最大となるようにレーザ光線
の焦点が自動調整されるから、レーザ光線の焦点は常に
最適位置となる。
以下、本発明の一実施例を図について説明する。
第１図は本発明の一実施例によるウェハバーコード読取
装置を示し、図において、１はウェハバーコード、２は
櫛状コード、３は光学レンズ、４はレーザー光線、５は
アクチュエータ５ａにより駆動される掃引ミラー（レー
ザ光掃引手段）、６は光電変換部、７は交流信号増幅部
、８はモータ駆動制御部（焦点位置制御手段）、９は光
学レンズ３位置を変更してレーザ光線の焦点位置を調整
するためのモータ（焦点位ｔｉ［整手段）である。
装置を示し、図において、１はウェハバーコード、２は
櫛状コード、３は光学レンズ、４はレーザー光線、５は
アクチュエータ５ａにより駆動される掃引ミラー（レー
ザ光掃引手段）、６は光電変換部、７は交流信号増幅部
、８はモータ駆動制御部（焦点位置制御手段）、９は光
学レンズ３位置を変更してレーザ光線の焦点位置を調整
するためのモータ（焦点位ｔｉ［整手段）である。
また第２図は本実施例によるレーザ光線の焦点位置合わ
せ動作を説明するための図である。
せ動作を説明するための図である。
次に動作について説明する。第１図において、ウェハバ
ーコード１に付加された櫛状コード２に対して、レーザ
光′ｆＬＩＡ４を光学レンズ３で収光して掃引ミラー５
で掃引照射を行ない櫛状コード２面上で輝点を掃引する
。輝点からの反射光は光電変換部６で電気信号に変換さ
れその交流信号成分のみが交流信号増幅部７で増幅され
てモータ駆動制御部８へ送られる。該モータ駆動制御部
８は信号増幅部７からの出力が最大となるようにモータ
９を駆動して光学レンズ３を前後に移動させ、第２図（
ａ）、 （ｂ）に示すように信号増幅部７の交流信号振
幅が最大値になる点でモータ９を停止させる。この状態
でレーザ光ｗＡ４の焦点はウェハバーコード１面上で最
小の輝点となって絞り込みが完了し、該絞り込みの完了
とともにウェハが左方向に移動を開始することにより、
順次ウェハバーコード列を読取って行く。
ーコード１に付加された櫛状コード２に対して、レーザ
光′ｆＬＩＡ４を光学レンズ３で収光して掃引ミラー５
で掃引照射を行ない櫛状コード２面上で輝点を掃引する
。輝点からの反射光は光電変換部６で電気信号に変換さ
れその交流信号成分のみが交流信号増幅部７で増幅され
てモータ駆動制御部８へ送られる。該モータ駆動制御部
８は信号増幅部７からの出力が最大となるようにモータ
９を駆動して光学レンズ３を前後に移動させ、第２図（
ａ）、 （ｂ）に示すように信号増幅部７の交流信号振
幅が最大値になる点でモータ９を停止させる。この状態
でレーザ光ｗＡ４の焦点はウェハバーコード１面上で最
小の輝点となって絞り込みが完了し、該絞り込みの完了
とともにウェハが左方向に移動を開始することにより、
順次ウェハバーコード列を読取って行く。
このように本実施例では、ウェハ設定高さに違いが有っ
ても、櫛状コード２によって自動焦点設定が行なわれる
ので、ウェハバーコード列を読取る際はレーザ光線の焦
点は常に最適状態にあり、ウェハバーコード１を確実に
読取る効果が得られた。
ても、櫛状コード２によって自動焦点設定が行なわれる
ので、ウェハバーコード列を読取る際はレーザ光線の焦
点は常に最適状態にあり、ウェハバーコード１を確実に
読取る効果が得られた。
以上のように、この発明に係るウェハバーコード読取装
置によれば、レーザ光線の焦点位置合わせを自動で行な
うようにしたので、各ウェハの位置決め誤差に関係なく
ウェハバーコードを安定に読取れるという効果がある。
置によれば、レーザ光線の焦点位置合わせを自動で行な
うようにしたので、各ウェハの位置決め誤差に関係なく
ウェハバーコードを安定に読取れるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例によるウェハバーコード読取
装置を示す図、第２図は第１図の装置によるレーザ光線
の焦点位置合わせ動作を説明するための図であり、第２
図（ａ）はレーザ光線のウェハ面輝点を示す図、第２図
（ｂ）は各輝点に対応する九覧変換部出力を示す図であ
る。 図において、１はウェハバーコード、２は櫛状コード、
３は光学レジで、５は掃引ミラー（レーザ光掃引手段）
、６は光電変換部、７は交流信号増幅部、８はモータ駆
動制御部（焦点位置制御手段）、９はモータ（焦点位置
調整手段）である。
装置を示す図、第２図は第１図の装置によるレーザ光線
の焦点位置合わせ動作を説明するための図であり、第２
図（ａ）はレーザ光線のウェハ面輝点を示す図、第２図
（ｂ）は各輝点に対応する九覧変換部出力を示す図であ
る。 図において、１はウェハバーコード、２は櫛状コード、
３は光学レジで、５は掃引ミラー（レーザ光掃引手段）
、６は光電変換部、７は交流信号増幅部、８はモータ駆
動制御部（焦点位置制御手段）、９はモータ（焦点位置
調整手段）である。
Claims (1)
- （１）ウェハバーコード読取用のレーザ光線を発生する
レーザ光源と、 上記レーザ光線を掃引させるレーザ光掃引手段と、 上記レーザ光線の焦点位置を調整するための焦点位置調
整手段と、 上記レーザ光線がウェハバーコードに付加された櫛状コ
ードを掃引することによって得られる反射光を光電変換
する光電変換部と、 該光電変換部からの交流信号出力が最大となるように上
記焦点位置調整手段を制御する焦点位置制御手段とを備
えたことを特徴とするウェハバーコード読取装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61050833A JPS62208184A (ja) | 1986-03-07 | 1986-03-07 | ウエハバ−コ−ド読取装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61050833A JPS62208184A (ja) | 1986-03-07 | 1986-03-07 | ウエハバ−コ−ド読取装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62208184A true JPS62208184A (ja) | 1987-09-12 |
Family
ID=12869755
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61050833A Pending JPS62208184A (ja) | 1986-03-07 | 1986-03-07 | ウエハバ−コ−ド読取装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62208184A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01304589A (ja) * | 1988-06-01 | 1989-12-08 | Ricoh Co Ltd | バーコードスキヤナ |
| JPH02136984A (ja) * | 1988-11-17 | 1990-05-25 | Alps Electric Co Ltd | レーザースキヤナ |
| JPH03194673A (ja) * | 1989-12-22 | 1991-08-26 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 記号読取装置 |
| JP2006511895A (ja) * | 2002-12-18 | 2006-04-06 | シンボル テクノロジーズ インコーポレイテッド | ターゲットまでの距離を測定するためのシステムを有する画像走査装置 |
| JP2013186627A (ja) * | 2012-03-07 | 2013-09-19 | Nippon Steel & Sumitomo Metal | バーコードラベルの自動読取装置および自動読取方法 |
-
1986
- 1986-03-07 JP JP61050833A patent/JPS62208184A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01304589A (ja) * | 1988-06-01 | 1989-12-08 | Ricoh Co Ltd | バーコードスキヤナ |
| JPH02136984A (ja) * | 1988-11-17 | 1990-05-25 | Alps Electric Co Ltd | レーザースキヤナ |
| JPH03194673A (ja) * | 1989-12-22 | 1991-08-26 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 記号読取装置 |
| JP2006511895A (ja) * | 2002-12-18 | 2006-04-06 | シンボル テクノロジーズ インコーポレイテッド | ターゲットまでの距離を測定するためのシステムを有する画像走査装置 |
| JP2013186627A (ja) * | 2012-03-07 | 2013-09-19 | Nippon Steel & Sumitomo Metal | バーコードラベルの自動読取装置および自動読取方法 |
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