JPS62200796A - Manufacture of extra-thin copper laminated board - Google Patents

Manufacture of extra-thin copper laminated board

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JPS62200796A
JPS62200796A JP4357686A JP4357686A JPS62200796A JP S62200796 A JPS62200796 A JP S62200796A JP 4357686 A JP4357686 A JP 4357686A JP 4357686 A JP4357686 A JP 4357686A JP S62200796 A JPS62200796 A JP S62200796A
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JP
Japan
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polishing
ultra
thin copper
copper foil
clad laminate
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JP4357686A
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Japanese (ja)
Inventor
和夫 加瀬
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Ibiden Co Ltd
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Ibiden Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、プリント配線板用材料である銅張積層板の製
造方法・に関し、特に最小導体[11がl100p以下
の高密度プリント配線板を形成するのに適した極薄銅張
積層板の製造方法に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Application Field) The present invention relates to a method for manufacturing a copper-clad laminate, which is a material for printed wiring boards. The present invention relates to a method of manufacturing an ultra-thin copper-clad laminate suitable for forming an ultra-thin copper-clad laminate.

(従来の技術及びその背景) 近年、各種の電子a器あるいは製品の軽が化。(Conventional technology and its background) In recent years, various electronic devices and products have become lighter.

薄型化、短縮化及び小型化か急速に進められており、こ
れに伴なって1機塁や製品中にM1込まれる電子部品の
ためのプリント配線板にあっても軽薄短小化が進められ
ている。このプリント配線板の軽ftj短小化の具体的
方向は、この種の基板−にに形成される配線の高密度化
であり、各導体中の極細化である。しかも、プリント配
線板に対しては多品種少量生産が要り7されているため
、このプリント配線板のノ^になる基板に対しても多品
種少量生産か要望されているのである。
Rapid progress is being made in thinning, shortening, and miniaturization, and along with this, printed wiring boards for electronic components that are included in M1 aircraft bases and products are also becoming lighter, thinner, and smaller. There is. The specific direction for reducing the ftj of this printed wiring board is to increase the density of the wiring formed on this type of board and to make each conductor extremely thin. Moreover, since printed wiring boards are required to be produced in high-mix, low-volume production, there is also a demand for high-mix low-volume production of the substrates that form the basis of these printed wiring boards.

ところで、電子部品か実装されるプリント配線板用の基
板は1通常銅張桔層板が使用されることが多い、この銅
張積層板は、その1;に形成されている銅箔が薄いほど
微細な回路を形成することか6(能であるため、11j
述のような機器及び製品の軽薄短小化の要望に対応して
、銅箔部分かより紡い銅張積層板、すなわち極薄銅張積
層板の必要性か益l/増加してきている。
By the way, copper-clad laminates are often used for substrates for printed wiring boards on which electronic components are mounted. Forming minute circuits
In response to the above-mentioned demand for lighter, thinner, and shorter equipment and products, the need for copper-clad laminates spun from copper foil parts, that is, ultra-thin copper-clad laminates, is increasing.

従来、このような極薄銅張積層板の製造は、第4図〜第
6図に示すようにしてなされ°Cいた。すなわち、第4
1Aに示したような厚さか40BmあるいはI[l[]
pmのアルミ箔(21)によって保護された厚さ5pm
または9ルm等の極薄銅箔(22)を、ガラス不織布に
含浸した゛ト硬化状態のエポキシ樹脂所謂プレプレグ(
2)a)に積層して、加熱プレスして第4図に示したよ
うに一体化する。その後に、このアルミ箔(21)を機
械的に′Araするか、あるいは水酸化ナトリウムとグ
ルコン酸ナトリウムからなるエツチング液て化学的に除
去することにより第6図に示したような極薄銅張積層板
(2o)を形成するのである。
Conventionally, such ultra-thin copper-clad laminates have been manufactured at °C as shown in FIGS. 4 to 6. That is, the fourth
Thickness as shown in 1A or 40Bm or I[l[]
5pm thick protected by pm aluminum foil (21)
Alternatively, ultra-thin copper foil (22) with a thickness of 9 mm or the like is impregnated into a non-woven glass fabric to make a completely cured epoxy resin so-called prepreg (
2) Laminated on a) and heated and pressed to integrate as shown in FIG. After that, this aluminum foil (21) is mechanically abraded or chemically removed using an etching solution consisting of sodium hydroxide and sodium gluconate to form an ultra-thin copper cladding as shown in Figure 6. This forms a laminate (2o).

(発明が解決しようとする問題点) 上記の極薄銅張U層板(2o)な形成する従来の方法に
あっては、次のような問題点がある。
(Problems to be Solved by the Invention) The conventional method for forming the ultra-thin copper-clad U-layer board (2o) described above has the following problems.

5然のことながら、この方法を適用するには、まず所定
厚さの極薄銅箔(22)が形成されることか必要である
が、この極薄銅箔(22)は通常電気メツキ法によって
製造されるため、その製造途中においてのピンホールの
発生を完全に無くすことかできないたけでなく、基材と
してのアルミ箔(21)が必四になる。また、この極薄
銅箔(22)は通常長尺物として形成されるため、その
保護のため完成後にはアルミ箔(21)とともにロール
巻きされる。従って、このような製造方法によると、極
薄fM箔(22)のみか必要であるのにアルミ箔(21
)か余分に必要となり、このアルミ箔(zl)のことも
十分考慮しなければならないのである。さらに、製造中
、あるいは完成された極薄銅箔(22)かロール巻きさ
れることによって、当該極薄銅箔(22)にピンホール
やしわが生じ、完成後の極薄銅張積層板(20)トに配
線を形成したときに、このピンホールやしわが極薄銅張
積層板(20)1:の配線部において断線不良の原因に
なる等の問題がある。このことを避けようとすると、極
薄銅箔(22)自体の収率か昇路°に悪くなり、1−述
したアルミ箔(21)の価格か極薄銅箔(22)に算入
されることもあって、結果としてJ1常に高価な極?;
ル銅箔(22)を使用しなけ才りばならないことになる
5 Of course, in order to apply this method, it is first necessary to form an ultra-thin copper foil (22) of a predetermined thickness, but this ultra-thin copper foil (22) is usually formed by electroplating. Since it is manufactured by the same method, it is not only impossible to completely eliminate the occurrence of pinholes during the manufacturing process, but also the use of aluminum foil (21) as a base material is essential. Further, since this ultra-thin copper foil (22) is usually formed as a long piece, it is rolled together with the aluminum foil (21) after completion to protect it. Therefore, according to such a manufacturing method, only the ultra-thin fM foil (22) is required, but the aluminum foil (21) is required.
), and this aluminum foil (zl) must also be taken into consideration. Furthermore, pinholes and wrinkles may occur in the ultra-thin copper foil (22) during manufacturing or when the completed ultra-thin copper foil (22) is rolled. 20) When wiring is formed on the board, there are problems such as pinholes and wrinkles causing disconnection in the wiring part of the ultra-thin copper clad laminate (20) 1:. If you try to avoid this, the yield of the ultra-thin copper foil (22) itself will deteriorate, and the price of the aluminum foil (21) mentioned above will be included in the ultra-thin copper foil (22). As a result, J1 is always expensive? ;
Therefore, the copper foil (22) must be used.

また、上記のような方法において使用される極薄銅箔(
22)は、電気メッキによって形成されるものであるか
らそもそも延性特性に乏しく、かつ非常に薄いものであ
ることが必要であるから、この極薄銅箔(22)が硬化
したプレプレグ(2:la)によって形成された基板(
23)とともに折曲された場合には、当該極薄銅箔(2
2)に部分的なfrX裂を生しることがある。この亀裂
は、その(−に形成される配線にとって致命的な欠陥と
なるものである。換言すれば、従来の方法によって形成
した極薄銅張積層板(20)は、フレキシブルタイプの
プリント配線板には適さないのである。
In addition, ultra-thin copper foil (
22) is formed by electroplating, so it has poor ductility properties and needs to be very thin. Therefore, prepreg (2: la ) formed by a substrate (
23), the ultra-thin copper foil (2
2) partial frX clefts may occur. This crack is a fatal defect for the wiring formed on the It is not suitable for

さらに、従来の方法によれば、これによって形成された
極薄銅張積層板(2G)の極薄銅箔(2z)の厚さは出
発材ネ1である極薄銅箔(22)の厚さに限定される。
Furthermore, according to the conventional method, the thickness of the ultra-thin copper foil (2z) of the ultra-thin copper-clad laminate (2G) thus formed is the same as the thickness of the ultra-thin copper foil (22) that is the starting material 1. limited to.

すなわち、必要な厚さのJlu銅箔(22)の極薄銅・
′&積層板(211)e製造しようとすると、製造の最
初の段階から極−シ銅箔(22)の厚さを設定しておか
なければならない。このことは、この種の極薄銅張積層
板(20)か使用されるプリント配線板が、多品種少量
生産か要申されている現状にあっては、その′Aiq夏
にリアルタイムで対応することを困難にしているのであ
る。
In other words, the ultra-thin copper foil (22) of Jlu copper foil (22) has the required thickness.
When manufacturing the laminate (211), the thickness of the electrode copper foil (22) must be determined from the beginning of the manufacturing process. This means that in the current situation where this type of ultra-thin copper clad laminate (20) and the printed wiring boards used are required to be produced in high-mix, low-volume production, it is possible to respond in real time to the It makes things difficult.

そこで、発明者は、上述した種々な問題を含む従来技術
の現状に鑑みて、 ■極薄銅張積層板(20)を製造するのに従来のような
アルミ# (21)を全く必要としないこと■J4ii
’I銅箔(22)自体にピンホールやしわ等が発生しな
いようにすること (3)極薄銅箔(22)の延性特性を十分なものとして
フレキシブルノ、(板にも適する極薄銅張積層板(20
)にすること (4)そして多品種少量生産が要り!されている現状に
1分対応することかてきる極薄銅張積層板(20)とす
ること を目的として本発明を完成したのである。
Therefore, in view of the current state of the prior art including the various problems mentioned above, the inventor has developed a method that does not require the conventional aluminum # (21) at all to manufacture the ultra-thin copper-clad laminate (20). Koto■J4ii
'I Prevent pinholes, wrinkles, etc. from occurring in the copper foil (22) itself. (3) The ultra-thin copper foil (22) should have sufficient ductility to make it flexible and (ultra-thin copper suitable for plates). Tension laminate (20
) (4) And we need high-mix, low-volume production! The present invention was completed with the aim of creating an ultra-thin copper-clad laminate (20) that can respond to the current situation in just one minute.

(問題点を解決するための手段) 以にの問題点を解決するために本発明が採った手段は、
実施例に対応する第11?4〜第4〜を参照して説明す
ると。
(Means for solving the problems) The means taken by the present invention to solve the above problems are as follows.
This will be explained with reference to the 11th to 4th sections corresponding to the embodiments.

基板(11)の少なくとも片面に積層した18ILm以
上の厚さの銅箔(12)に、機械的研磨、電気化学的研
磨あるいは化学的エツチングの少なくともいずれか一種
の方法を適用し。
At least one of mechanical polishing, electrochemical polishing, and chemical etching is applied to the copper foil (12) with a thickness of 18 ILm or more laminated on at least one side of the substrate (11).

該銅箔(12)の厚さを127Lm以下にすることを特
徴とする極薄銅張積層板(lO]の製造方法である。
This is a method for producing an ultra-thin copper-clad laminate (lO), characterized in that the thickness of the copper foil (12) is 127 Lm or less.

この場合の機械的研磨は、ハフ研磨、ベルト研磨、揺動
研磨、スピン研磨、スクラブ研磨あるいはブラスト研磨
の少なくともいずれか一種を使用するものであればよい
。また、電気化学的研磨の場合は、具体的には電解研磨
であることか好ましい。さらに、化学的エツチングにつ
いては、硫酸−過酸化水素、過硫酸塩、塩化第二鉄、塩
化第二g)1あるいはアンモニウム複ll!の少なくと
もいずれか一種を含むエツチング液て行なうものであれ
ばよい。
The mechanical polishing in this case may be any one of Hough polishing, belt polishing, swing polishing, spin polishing, scrub polishing, and blast polishing. Further, in the case of electrochemical polishing, it is specifically preferable to use electrolytic polishing. Additionally, for chemical etching, sulfuric acid-hydrogen peroxide, persulfates, ferric chloride, ferric chloride (g)1 or ammonium complex! Any etching solution containing at least one of the following may be used.

次に、本発明に係る方法をjJ一体重に説明する。Next, the method according to the present invention will be explained for jJ single weight.

すなわち、まず、第1図及び第2図に示すように、紙フ
ェノール樹脂、ガラスエポキシ樹脂あるいはガラスポリ
イミド樹脂等のノ^板(II)となるプリプレグ(ll
a)に、18ルmあるいは25終mの厚さの電解または
圧延によって形成された銅箔(12)を積層する。その
後、常法に従って160°C〜260℃の温度で加熱し
ながら40〜100kg、/ c nv’の圧力て1〜
2時間プレスを行ない。
That is, first, as shown in FIGS. 1 and 2, a prepreg (II), which will become the board (II), is made of paper phenolic resin, glass epoxy resin, or glass polyimide resin.
A) is laminated with a copper foil (12) formed by electrolysis or rolling with a thickness of 18 lm or 25 lm. Thereafter, 40 to 100 kg was heated at a temperature of 160°C to 260°C according to a conventional method, and a pressure of 1 to 100 cm/c nv' was applied.
Press for 2 hours.

第2図に示したような積層板を形成する。A laminate as shown in FIG. 2 is formed.

次に、この積層板として形成された基板(Illの銅箔
(12)を、塩化第二鉄等のエツチング液を用いて、5
【)〜55°Cてバドルυ:、浸情法、11G流法ある
いはスプレー法、&Yましくは揺動のスプレーzノ、に
より、該銅箔の厚さを12Bm以下までエツチング処理
する。これによって、第3図に示したように、銅箔(1
2)が極薄銅箔となった極薄銅張!!i層板(10)か
完成するのである。
Next, the copper foil (12) formed as this laminated board (Ill) is etched using an etching solution such as ferric chloride.
At ~55°C, the copper foil is etched to a thickness of 12 Bm or less by immersion method, 11G flow method, spray method, &Y or oscillating spray Z. As a result, as shown in Figure 3, the copper foil (1
2) is ultra-thin copper clad with ultra-thin copper foil! ! The i-layer board (10) is completed.

この方法において使用される銅箔(12)は、最初から
極薄のものである必要はないのであるから。
This is because the copper foil (12) used in this method does not need to be extremely thin from the beginning.

従来の極薄銅箔を使用する場合のようにアルミ箔等によ
って裏打ちされたちのである必要はない。
It does not need to be lined with aluminum foil or the like as in the case of using conventional ultra-thin copper foil.

この銅箔(12)は、例えば圧延されたちのてあって片
面に基板(11)との強い密着性を確保するためのアン
カーが施されていれば、それ自身所定の強度を有する巾
なる箔状のものであればよく、通常18pm、25ルm
あるいは35ルmの厚さの6のか使用てきる。この場合
に使用する銅箔は、所謂アンカ一部を有するものであり
、このアンカ一部も含めたモ均的な厚さかl−81Lm
、 25 gmあるいは351Lm等のものである。す
なわち、品質の安定性と[’lとしての信頼性を確保し
ながら、裏打ち材としてのアルミ箔等を省略して省資源
化を図り、最初から極薄銅箔な使用する場合のロール巻
き作業の無駄を省き、これによって材料コストの低減を
[図る意味から1本発明に使用される銅箔(12)とし
ては、現在常使用されている厚さか18gm以りの銅箔
か使用されるのである。
For example, if the copper foil (12) is rolled and provided with an anchor on one side to ensure strong adhesion to the substrate (11), the copper foil (12) itself has a predetermined strength. Usually 18pm, 25pm.
Alternatively, you can use a 35 mm thick 6 mm. The copper foil used in this case has a so-called anchor part, and the thickness including this anchor part is 1-81Lm.
, 25 gm or 351 Lm. In other words, while ensuring quality stability and reliability, we are saving resources by omitting the use of aluminum foil as a backing material, and reducing roll winding work when using ultra-thin copper foil from the beginning. In order to avoid waste and thereby reduce material costs, the copper foil (12) used in the present invention may be one with a thickness of 18 gm or more, which is currently commonly used. be.

また、基板(11)として使用されるプリプレグ(ll
a)としては、1〕述した紙フェノール樹脂、ガラスエ
ポキシ樹j指あるいはガラスポリイミド樹脂に限るもの
ではない。すなわち、このようなプリプレグとしては、
前述したものの他に、紙エポキシ樹脂、ガラストリアジ
ン樹脂、ガラスジアリルフタレート樹脂、ケブラーポリ
イミド樹脂、ガラスビスマレイミドトリアジンvA脂等
の各種樹脂な紙・ガラス不織布・ケブラー不織11i等
に含浸したものを使用するととかてきる。
In addition, prepreg (ll) used as the substrate (11)
Examples of a) are not limited to the paper phenolic resin, glass epoxy resin, or glass polyimide resin described in 1). In other words, as such prepreg,
In addition to the above, various resins such as paper epoxy resin, glass triazine resin, glass diallyl phthalate resin, Kevlar polyimide resin, glass bismaleimide triazine vA resin, etc. impregnated with paper, glass nonwoven fabric, Kevlar nonwoven 11i, etc. are used. Then it comes.

また、L記の基&(II)としては、前述した各種の紙
−ガラス不織布・ケブラー不織布等を骨格として、これ
らに熱硬化性樹脂を付加して形成したリジットあるいは
フレキシブルな基板、熱硬化性樹脂のみからなるリジッ
トあるいはフレキシブルな基板、ポリアミド樹脂、テフ
ロン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエーテルサルフオン
樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂あるいはアラミ
ツ1−不a!aで強化されたポリエステル8111’f
lなどの熱可塑性樹脂からなるリジッドあるいはフレキ
シブルな基板、アルミ板・銅板等の表面全部もしくは一
部にエポキシ樹脂、エポキシ変性ポリイミド樹脂あるい
はポリイミド樹脂のいずれか一種もしくは少なくとも二
種の樹脂で絶縁化された金属芯基板、アルミナ等のセラ
ミック基板、ガラス基板′9も含まれる。勿論、この基
板(11)はこれらを適宜組合わせた複合体も使用する
ことかてきる。
In addition, as the group & (II) in L, rigid or flexible substrates formed by adding thermosetting resins to the skeletons of the various paper-glass nonwoven fabrics, Kevlar nonwoven fabrics, etc. described above, thermosetting Rigid or flexible substrates made only of resin, polyamide resin, Teflon resin, polyester resin, polyether sulfon resin, polyether ether ketone resin, or aramid resin. Polyester 8111'f reinforced with a
Rigid or flexible substrates made of thermoplastic resin such as L, aluminum plates, copper plates, etc., whose surfaces are insulated in whole or in part with one or at least two of epoxy resin, epoxy-modified polyimide resin, or polyimide resin. Also included are metal core substrates, ceramic substrates such as alumina, and glass substrates '9. Of course, this substrate (11) may also be a composite body made by appropriately combining these materials.

ノ^板(II)に対して銅箔(12)を接着するには、
J二連したプリプレグ(lla)をそのまま使用しても
よいし、フェノール接着剤、エポキシ接着剤ならびにポ
リイミド接着剤等を使用することもてきる。
To glue the copper foil (12) to the board (II),
J double prepreg (lla) may be used as is, or phenol adhesive, epoxy adhesive, polyimide adhesive, etc. may be used.

また、銅箔(12)を極薄のものとする方法としては、
前記化学的エウチング法以外に、前述したような八ツ研
磨、ベルト研磨、揺動研磨、スピン研磨1スクラブ研磨
あるいはブラスト研磨等の機械的研磨あるいは電解研磨
等の電気化学的Mnを用いてもよい、この場合の研磨は
l−記の各研磨方法のいずれか一種のみて行なってもよ
いし、これらの研磨方法の少なくとも−J4を併用して
もよく。
In addition, as a method of making the copper foil (12) extremely thin,
In addition to the chemical etching method, mechanical polishing such as eight polishing, belt polishing, rocking polishing, spin polishing, one scrub polishing, or blast polishing as described above, or electrochemical Mn such as electrolytic polishing may be used. In this case, polishing may be performed by using only one of the polishing methods listed in I-1, or at least -J4 of these polishing methods may be used in combination.

この場合の組合せ順序は任、aに選ぶことができる、し
かし、精度と生産性の点では、揺動スプレーによる化学
的エツチング性か僅かに優れている。
In this case, the order of combination can be arbitrarily chosen, but in terms of accuracy and productivity, chemical etching with an oscillating spray is slightly superior.

なお、従来よりプリント配線板の製造においては、各工
程の前処理あるいは後処理でパフ研磨やベルト研磨、さ
らにソフトエツチング等か常用されている。本発明にお
ける銅箔(I2)の極内化は、これらの技術と[υ、的
には類似している。しかしなから、 1iij処理や後
処理で従来常用されている研磨及びエツチングは、各「
程ての不具合の発生を未然に防ぎ、製品の信頼性の確保
と品質の管理を【4的としているのに対し、本発明は、
研磨もしくはエツチングを用いて基板(11)トの銅箔
(I2)を所9!の厚さまで薄くして、極薄銅張積層板
(lO)を製造することを目的としているのて1両者の
技術的思想は全く異なるものである。
Heretofore, in the production of printed wiring boards, puff polishing, belt polishing, soft etching, etc. have been commonly used as pre-treatment or post-treatment for each process. The internalization of the copper foil (I2) in the present invention is similar to these techniques in terms of [υ]. However, polishing and etching, which are conventionally used in 1IJ processing and post-processing, are
In contrast, the present invention aims to prevent the occurrence of defects during production, ensure product reliability, and control quality.
Using polishing or etching, remove the copper foil (I2) on the substrate (11) in place 9! The technical ideas of the two methods are completely different.

さらに、本発明の適用にあたっては、1−述した各銅箔
(12)を基板(II)の片面に形成する場合は勿論、
両面に形成することによっても極薄銅張積層板(10)
を製造することかできるものである。
Furthermore, in applying the present invention, it goes without saying that when each of the copper foils (12) described in 1- is formed on one side of the substrate (II),
Ultra-thin copper clad laminates can also be made by forming on both sides (10)
It is possible to manufacture

次に、本発明を実施例によって説11する。Next, the present invention will be explained with reference to examples.

(実施例) 実施例1 ・片面極薄銅張積層板(10)の製造方法厚さ18gm
の電解銅箔(三井金属鋸業株式会社製HTE)を180
pm厚のプリプレグ(lla)(松下電丁株式会社製R
−1705) 6枚の1−4に千4ね合わせて、圧力4
0kg/c酢、温度170℃て1時間ホウドブレスした
後切断して、サイズ340 Ila+it1.厚さ11
111の片面銅張積層板を形成した。
(Example) Example 1 - Manufacturing method of single-sided ultra-thin copper-clad laminate (10) Thickness: 18 gm
Electrolytic copper foil (HTE manufactured by Mitsui Kinzoku Sawgyo Co., Ltd.)
Prepreg (lla) with pm thickness (R manufactured by Matsushita Dencho Co., Ltd.)
-1705) Add 1,400 to 6 pieces of 1-4 and apply pressure 4.
0kg/c vinegar, temperature 170℃, hot breath for 1 hour, cut, size 340 Ila+it1. Thickness 11
A single-sided copper-clad laminate of No. 111 was formed.

これに対して、塩化第二銅とI′i!酸からなるエツチ
ング液(組Q : Cu Cl、・2 H,01711
gra−と、HCl (20” B e )  0.1
iiに水を加えて141にした液と同等)によって50
〜55°Cで揺動スプレー法によりエツチングを行ない
、片面に厚さ111μmの銅箔(12)を有する極薄銅
張積層板(+ 11 )を形成した。
In contrast, cupric chloride and I'i! Etching solution consisting of acid (group Q: Cu Cl, 2 H, 01711
gra- and HCl (20” B e ) 0.1
(equivalent to the solution made by adding water to ii to make 141)
Etching was carried out at ~55° C. using an oscillating spray method to form an ultra-thin copper-clad laminate (+ 11 ) having a copper foil (12) with a thickness of 111 μm on one side.

得られた極薄銅張積層板(Ill)に、液状の感光性樹
脂を塗as シて回路の形成を試みたところ、最小導体
111か30pmのパターンのものまて作成することか
できた。
When we attempted to form a circuit by coating the resulting ultra-thin copper-clad laminate (Ill) with a liquid photosensitive resin, we were able to create a pattern with a minimum conductor of 111 or 30 pm.

実施例2 ・両面極薄銅張積層板(10)の製造方法厚さ25鉢m
の圧延銅箔(11☆過に線株式会社製0FC−A(:E
)を180gm厚のプリプレグ(lla)  (松ド電
丁株式会社製R−1705)6枚の最−L部と最下部に
配置して、圧力40に+r/ c rr+’、温度17
0°Cで1時間ホットプレスした後切断して、サイス′
340■角、厚さ1■の両面銅張桔層板を形成した。
Example 2 - Manufacturing method of double-sided ultra-thin copper-clad laminate (10) Thickness: 25 m
Rolled copper foil (11☆ 0FC-A (:E
) was placed on the lowest and lowest parts of six 180 gm thick prepreg (lla) (R-1705 manufactured by Matsudo Dencho Co., Ltd.), and the pressure was set to +r/c rr+' and the temperature was set to 17.
After hot pressing at 0°C for 1 hour, cut and size
A double-sided copper-clad frame board of 340 mm square and 1 mm thick was formed.

これに対して、実施例1と同様な塩化第二銅と塩酸から
なるエツチング液によって50〜556Cで揺動スプレ
ー法によりエツチングを行ない、両面に厚さ12Bmの
銅箔(12)を有する極薄銅張積層板(lO)を形成し
た。
On the other hand, etching was carried out using an oscillating spray method at 50 to 556 C using an etching solution consisting of cupric chloride and hydrochloric acid similar to that used in Example 1, and an ultra-thin film having a copper foil (12) with a thickness of 12 Bm on both sides was used. A copper clad laminate (lO) was formed.

この両面極薄銅張積層板(10)に穴明けを行ない全面
に無゛1[解メッキの触媒を付与した後、化学銅メッキ
を施してハンダスルーホール法による両面プリント配線
板の作成を試みた。その結果、スルーホールに導体を有
し、最小導体1rJか501Lmの回路パターンが形成
てきた。
After drilling holes in this double-sided ultra-thin copper-clad laminate (10) and applying a deplating catalyst to the entire surface, chemical copper plating was applied to create a double-sided printed wiring board using the solder through-hole method. Ta. As a result, a circuit pattern with a conductor in the through hole and a minimum conductor of 1rJ or 501Lm was formed.

(発明の効果) 以−I−説明した通り1本発明にあっては、L記各実施
例にて例示した如く。
(Effects of the Invention) As explained below, the present invention is as exemplified in each of the embodiments in Section L.

ノ^板(+1)の少なくとも片面に積層した182m以
上の厚さの銅箔(12)に1機械的研磨、電気化学的研
磨あるいは化学的エツチングの少なくともいずれか一種
の方法を適用して、該銅箔(12)の厚さを12終m以
下にする ことにその特徴かあり、これにより、導体+tJの極め
て小さいプリント配線板を製造するに適した極薄銅張積
層板(10)を安価かつ容易に製造することがてきるの
である。
1 Apply at least one of mechanical polishing, electrochemical polishing, or chemical etching to the copper foil (12) with a thickness of 182 m or more laminated on at least one side of the plate (+1). Its feature lies in the fact that the thickness of the copper foil (12) is less than 12m, which makes it possible to produce an ultra-thin copper-clad laminate (10) at a low price, which is suitable for manufacturing extremely small printed wiring boards with conductor + tJ. Moreover, it can be easily manufactured.

ずなわち、未発I!IIによれば、従来の方法において
必安どされていたアルミ箔(21)を全く必要としない
ことになり、当該極薄銅張積層板(lO)は少なくとも
アルミ箔(21)の価格分たけ安価に製造することがて
きる。また、本発明の実施にあたっては、最初から極薄
の銅箔を使用する心霊は全くないのであるから、従来で
あればこの極薄銅箔の製造dS稈て発生していたピンホ
ール・しわ等の問題を回避することがてきて極薄銅張積
層板(10)自体の収率を向ヒさせることができる。し
かも、極薄銅箔であればこれを裏打ちして保護する必要
かあるとともに、ロール巻きするためしわの発生を覚悟
しなければならなかったか、本発明によればこのような
ことは全く必要かないから、これによっても当該極薄銅
張積層板(10)の価格を低減することがてきるもので
ある。
Zunawa, unreleased I! According to II, there is no need for aluminum foil (21), which was indispensable in the conventional method, and the ultra-thin copper-clad laminate (IO) is at least as expensive as the aluminum foil (21). It can be manufactured cheaply. In addition, in carrying out the present invention, there is no reason to use ultra-thin copper foil from the beginning, so pinholes, wrinkles, etc., which conventionally occur during the production of ultra-thin copper foil, etc. This problem can be avoided and the yield of the ultra-thin copper clad laminate (10) itself can be improved. Moreover, if it is an ultra-thin copper foil, it would be necessary to protect it by lining it, and it would also be necessary to prepare for the occurrence of wrinkles since it is rolled up, but according to the present invention, such things are not necessary at all. Therefore, this also makes it possible to reduce the price of the ultra-thin copper-clad laminate (10).

また1本発明にあっては、延性特性の十分な銅箔(12
)をそのまま使用することがてきるから。
In addition, in one aspect of the present invention, a copper foil (12
) can be used as is.

リジッドタイプの基板は勿論のこと、フレキシブルタイ
プの基板にも適することができるのである。すなわち、
極薄銅張積層板(10)として汎用性の高いものとする
ことかできるのである。
It is suitable not only for rigid type substrates but also for flexible type substrates. That is,
This allows it to be used as a highly versatile ultra-thin copper clad laminate (10).

さらには、本発明によれば、必要とされる外4箔部分の
厚さが最初の材ネ1によって限定されることかない、換
言すれば銅箔(12)として比較的厚めのものを使用す
るようにすれば、ノ、(板(II)上に形成される銅箔
(12)の厚さをエツチング処理を適宜選定することに
よって任意に決めることかできるから、必要な厚さの銅
箔を有する極薄銅張積層板(10)を自由に形成するこ
とかでき、多品種少漬生産か要9iされている現状に1
−分対応することができるのである。
Furthermore, according to the present invention, the required thickness of the outer four foil portions is not limited by the initial material 1; in other words, a relatively thick copper foil (12) is used. By doing this, (the thickness of the copper foil (12) formed on the plate (II) can be arbitrarily determined by appropriately selecting the etching process, the copper foil of the required thickness can be formed. The ultra-thin copper clad laminate (10) can be formed freely, and this is an improvement in the current situation where high-mix, short-dose production is required.
- minutes can be accommodated.

なお1本発明にあっては、以上のような効果の他に、次
のような効果もある。すなわち、高価なJ4i薄銅箔で
はなく安価な一般厚の銅箔を使用できること、銅箔自体
の基板(II)に対するアンカ一部の信頼性が高いこと
、アルミ箔用のエツチング装置が不要であること、パタ
ーン形成のための銅箔表面の前処理工程か不要になるこ
と、ピンホールの少ないIJ::延銅箔な使用すること
かできること。
In addition to the above effects, the present invention also has the following effects. That is, it is possible to use an inexpensive copper foil of ordinary thickness instead of the expensive J4i thin copper foil, the reliability of the anchor part of the copper foil itself to the substrate (II) is high, and there is no need for an etching device for aluminum foil. In addition, there is no need for a pretreatment process on the surface of the copper foil for pattern formation, and it is possible to use rolled copper foil with fewer pinholes.

従って極内銅張積層板(lO)の生産性か向ヒすること
等である。
Therefore, the productivity of internal copper-clad laminates (lO) is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第11.21〜第3図は本発明に係る製造方法を説明す
るための図であって、D’S11’idは積層する前の
状態を示す部分拡大断面図、第2図は積層した後の部分
拡大断面図、第3図は銅箔を研府またはエツチング処理
をした後の極薄銅張積層板の部分拡大断面図である。 また、第4 I5!i〜第6図は従来の方法を説明する
ための図であって、第4図はアルミ箔によって裏打ちさ
れた極薄銅箔を積層する面の状態を示す部分拡大断面図
、第5図はこれらを積層した後の部分拡大断面図、第6
図は完成後の極薄銅張積層板を示す部分拡大断面図であ
る。 符   号   の   説   明 IO・・・極薄銅張積層板、1】・・・基板、12・・
・銅箔。
11.21 to 3 are diagrams for explaining the manufacturing method according to the present invention, where D'S11'id is a partially enlarged sectional view showing the state before lamination, and FIG. 2 is a partially enlarged sectional view showing the state before lamination. FIG. 3 is a partially enlarged sectional view of an ultra-thin copper-clad laminate after the copper foil has been subjected to polishing or etching treatment. Also, the 4th I5! Figures 6 to 6 are diagrams for explaining the conventional method. Figure 4 is a partially enlarged sectional view showing the state of the surface on which ultra-thin copper foil backed by aluminum foil is laminated, and Figure 5 is Partially enlarged sectional view after laminating these, No. 6
The figure is a partially enlarged sectional view showing the ultra-thin copper-clad laminate after completion. Explanation of code: IO...Ultra-thin copper clad laminate, 1]...Substrate, 12...
·Copper foil.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1)、基板の少なくとも片面に積層した18μm以上の
厚さの銅箔に、機械的研磨、電気化学的研磨あるいは化
学的エッチングの少なくともいずれか一種の方法を適用
して、 該銅箔の厚さを12μm以下にすることを特徴とする極
薄銅張積層板の製造方法。 2)、前記機械的研磨が、バフ研磨、ベルト研磨、揺動
研磨、スピン研磨、スクラブ研磨あるいはブラスト研磨
の少なくともいずれか一種を使用することを特徴とする
特許請求の範囲第1項に記載の極薄銅張積層板の製造方
法。 3)、前記電気化学的研磨が、電解研磨であることを特
徴とする特許請求の範囲第1項に記載の極薄銅張積層板
の製造方法。 4)、前記化学的エッチングが、硫酸−過酸化水素、過
硫酸塩、塩化第二鉄、塩化第二銅あるいはアンモニウム
複塩の少なくともいずれか一種を含むエッチング液で行
なうことを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の極
薄銅張積層板の製造方法。
[Claims] 1) Applying at least one of mechanical polishing, electrochemical polishing, and chemical etching to a copper foil with a thickness of 18 μm or more laminated on at least one side of the substrate, A method for producing an ultra-thin copper-clad laminate, characterized in that the thickness of the copper foil is 12 μm or less. 2) The mechanical polishing according to claim 1, wherein the mechanical polishing uses at least one of buff polishing, belt polishing, rocking polishing, spin polishing, scrub polishing, and blast polishing. A method for manufacturing ultra-thin copper-clad laminates. 3) The method for manufacturing an ultra-thin copper-clad laminate according to claim 1, wherein the electrochemical polishing is electrolytic polishing. 4) A patent claim characterized in that the chemical etching is performed with an etching solution containing at least one of sulfuric acid-hydrogen peroxide, persulfate, ferric chloride, cupric chloride, or ammonium double salt. A method for producing an ultra-thin copper-clad laminate according to item 1.
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