JPS62196982U - - Google Patents

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JPS62196982U
JPS62196982U JP8524686U JP8524686U JPS62196982U JP S62196982 U JPS62196982 U JP S62196982U JP 8524686 U JP8524686 U JP 8524686U JP 8524686 U JP8524686 U JP 8524686U JP S62196982 U JPS62196982 U JP S62196982U
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JP
Japan
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diameter hole
orifice
small diameter
air circuit
hole
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Pending
Application number
JP8524686U
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案のバキユームコントロール弁の
開弁状態を示す正面断面図、第2図は本考案のバ
キユームコントロール弁の閉弁状態を示す正面断
面図、第3図はバキユームコントロール弁の使用
状態を示す真空密着用のエアー回路の説明図、第
4図は従来の流量センサーと電磁弁の使用状態を
示す真空密着用のエアー回路の説明図である。 1……バキユームコントロール弁、2……本体
、2a……大径孔、2b……小径孔、2c……段
部、2d……溝、3……オリフイス座、3a……
オリフイス、3b……フランジ部、3c……孔部
、4……バネ、5……Oリング、6……バネ調整
部材、6a……頭部、6b……貫通孔、6c……
軸部、11……穴あき基板、12……吸着口、1
3……フイルター、14……真空弁、15……マ
フラー、16……真空ポンプ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空密着用のエアー回路において、入口側に大
    径孔を、出口側に小径孔を穿設した段部を有する
    中空円筒の本体と、前記大径孔にエアー回路の圧
    力により摺動可能に取付けられ内周にオリフイス
    を設けたフランジ及び前記小径孔に遊嵌し出口側
    に付勢部材を有するオリフイス座と、前記オリフ
    イスより内側にあり前記段部の内周上に嵌着され
    たシール部材と、前記出口側の小径孔に螺合しエ
    アーの貫通孔を穿設し軸方向に前記付勢部材を進
    退可能に支持して前記オリフイス座を入口側に付
    勢する付勢調整部材とからなり、閉弁時前記オリ
    フイス座のフランジと前記シール部材の密着によ
    りエアー回路を遮断することを特徴とするバキユ
    ームコントロール弁。
JP8524686U 1986-06-04 1986-06-04 Pending JPS62196982U (ja)

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JP8524686U JPS62196982U (ja) 1986-06-04 1986-06-04

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JP8524686U JPS62196982U (ja) 1986-06-04 1986-06-04

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JPS62196982U true JPS62196982U (ja) 1987-12-15

Family

ID=30940480

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8524686U Pending JPS62196982U (ja) 1986-06-04 1986-06-04

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JP (1) JPS62196982U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010093143A (ja) * 2008-10-10 2010-04-22 Canon Inc 動作弁、露光装置及びデバイス製造方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5227336U (ja) * 1975-08-14 1977-02-25
JPS5231455A (en) * 1975-09-05 1977-03-09 Hitachi Ltd Vacuum chuck device

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5227336U (ja) * 1975-08-14 1977-02-25
JPS5231455A (en) * 1975-09-05 1977-03-09 Hitachi Ltd Vacuum chuck device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010093143A (ja) * 2008-10-10 2010-04-22 Canon Inc 動作弁、露光装置及びデバイス製造方法

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