JPS62194Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、カラー固体撮像装置に使用するパツ
ケージに関するものである。

MOS−IC（絶縁ゲート型電界効果トランジス
タの集積回路）、CCD（電荷結合素子）等を使用
してカラー固体撮像装置を作る場合、セラミツ
ク・パツケージに貼り合せたデバイス即ち撮像素
子上に色分解フイルターを配する必要がある。こ
の撮像素子と色分解フイルター間の合せ精度は通
常数μと厳しい。そのために、特殊な治具を使つ
て貼合せを行うが、その方法は初めに素子と色分
解フイルターの相対位置を粗に合せ、次いで顕微
鏡下で正確な合せを行つている。

第１図及び第２図は、従来のセラミツク・パツ
ケージを示す。同図において、１は積層セラミツ
ク基板２〔２ａ，２ｂ，２ｃ及び２ｄ〕からなる
パツケージを示し、第１層の基板２ａの上面には
開口部３が設けられ、この開口部３に臨んで第２
層及び第３層の基板２ｂ及び２ｃによつてデバイ
ス即ち固体撮像素子４を配置する凹所５が設けら
れる。第２層の基板２ｂの面にはリード配線パタ
ーンが被着され、その一方の端子６が開口部３に
臨む凹所５の周辺にまで延長され、他端が外部リ
ード７に接続される。８はパツケージ１の位置決
め用凹部である。かかるパツケージ１の凹所５内
に、まづ固体撮像素子４をダイボンドし、次に素
子４と端子６間を例えばAu線９を介してワイヤ
ボンドして後、真空チヤツク１０で保持した色分
解フイルター１１を凹部８で位置決めされたパツ
ケージ１内の素子４に対向させ、顕微鏡下でパツ
ケージ１側を動かして色分解フイルター１１と素
子４間を正確に位置合せする。

ところで、素子４と色分解フイルター１１との
粗合せを行う場合に重要なことは、素子４と色分
解フイルター１１とを対応させる時、初めの相対
位置が大きくずれないことである。素子４は凹所
５内に対して目安でダイボンドするために素子４
と色分解フイルター１１との初めの相対位置が調
整移動許容量以上にずれた場合、配線している
Au線９を折り曲げたり断線させてしまう。従つ
て、素子４と色分解フイルター１１の粗合せ精度
をよくするためには素子４をダイボンドするとき
パツケージに対してある程度位置出しておく必要
がある。

本考案は、上述の点に鑑みダイボンドする際の
固体撮像素子の位置出しが容易に出来る固体撮像
素子のパツケージを提供するものである。

以下、第３図及び第４図を用いて本考案による
固体撮像素子のパツケージを説明しよう。

同図において、２０は積層セラミツク基板２
〔２ａ，２ｂ，２ｃ及び２ｄ〕からなる本考案の
パツケージを全体として示す。第１層の基板２ａ
の上面には所定の大きさの開口部３が形成され、
この開口部３に臨んで第２層及び第３層の基板２
ｂ及び２ｃによる凹所５が形成される。この凹所
５はデバイス即ち固体撮像素子４が配置されるも
のであり、開口部３より小面積に形成される。第
２層の基板２ｂの面にはリード配線パターンが印
刷形成され、その一端の各導電端子６が開口部３
に臨む凹所周辺の段部上面に導出され、配線パタ
ーンの各他端が基板外側に延長されて外部リード
７に接続される。

しかして、本考案においては、素子４を配置す
る凹所５の隣り合う２辺に対応する内側に夫々素
子４の位置決め用の突起２１を形成する。この突
起２１は凹所５を構成する第２層の基板２ｂに一
体に形成する。一方、基板２の一辺の相対向する
外側にパツケージ２０の位置を定めるため、例え
ば、色分解フイルターの貼り合せ時の真空チヤツ
ク１０（第１図参照）との位置合せのため、或は
カラーカメラのプリズムとの位置合せのための位
置決め用の凹部２２を形成する。この凹部２２は
突起２１が形成される同じ基板即ち第２層の基板
２ｂに設けるようになし、他の第１層、第３層及
び第４層の基板２ａ，２ｃ及び２ｄの凹部２３に
おいては若干逃げをもたせるように凹部２２より
大きく形成する。そして、素子４はかかるパツケ
ージ２０の凹所５内において、その突起２１に当
接して載置するようになす。

このパツケージ２０の製造は、第５図で示すよ
うに第１層、第２層、第３層及び第４層のセラミ
ツクシート（焼成前の所謂グリーンシート）２
a′，２b′，２c′及び２d′を用意し、第１層のシー
ト２a′には開口部３と凹部２３をパンチングで形
成し、第２層のシート２b′には第１層シート２
a′の開口部３より小面積の開口２４及び突起２２
をパンチングで形成すると共にリード配線パター
ン２７を印刷し、第３層のシート２c′には開口２
４に対応した位置に導電パターン２５と凹部２３
を形成し、さらに第４層のシート２d′には凹部２
３を形成する。これら４枚のシート２a′，２b′，
２c′及び２d′を積層し、鎖線位置２６より切断し
て焼成する。この後は図示せざるも外部リードを
付けて目的のパツケージ２０を得る。

上述せる構成によれば、パツケージ２０の凹所
５の内側に突起２１が設けられているので、固体
撮像素子４を凹所５内に配置するとき、単に素子
４を突起２１に沿つて載置するだけで、素子４の
パツケージ２０に対する相対位置が正確に得られ
る。特に、パツケージ２０の外側の位置決め用の
凹部２２と凹所５内の突起２１が互に同じ第２層
基板２ｂに設けられているので、凹部２２と突起
２１間の位置関係は第３図の基準寸法ａ及びｂと
して定められ、従つて凹部２２によつてパツケー
ジ２０の位置が定つた状態で突起２１に沿つて素
子４を載置すれば、素子４とパツケージ２０との
相対位置が自動的に定まる。従つて、後工程の素
子４と色分解フイルター１１との位置合せに際し
て、パツケージ２０と色分解フイルター１１を保
持する真空チヤツクとの位置をパツケージ外側の
凹部２２を介して定めれば、素子４と色分解フイ
ルター１１との粗合せのずれは少なくなり、Au
線を折り曲げたり、断線させる等の素子に対する
損傷が回避される。

また、ワイヤーボンデイング工程、カメラへの
組込み工程においても、高い位置精度が得られる
ために、速やかに、且つ高品質に作業を完了する
ことができる。すなわち例えば２チツプをプリズ
ムに貼り合せて２チツプ方式のカラーカメラを作
る際、その２つのチツプの光学軸を合せる工程で
素子のパツケージに対するずれが大きいと光学軸
からずれる懼れがあるが、本案のように素子４と
パツケージ２０との相対的位置が正確に得られる
ときには光学軸からのずれがなく、ブリズムに対
するパツケージの位置合せが容易となり、従つて
この種のカラーカメラを精度よく組立ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の固体撮像素子のパツケージの色
分解フイルターとの位置合せの状態を示す断面
図、第２図は従来のパツケージの平面図、第３図
及び第４図は本考案の固体撮像素子のパツケージ
の平面図及び断面図、第５図はパツケージの製造
過程を示す斜視図である。 ２は積層セラミツク基板、３は開口部、４は撮
像素子、５は凹所、２１は位置決め用突起、２２
は位置決め用凹部である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 積層基板より成り該基板上面の開口部に臨んで
   固体撮像素子を配置する凹所が設けられ、該凹所
   周辺の上記開口部に臨む段部上面に導電端子が導
   出され、上記凹所の内側に上記固体撮像素子の位
   置決め用突起が形成されると共に上記基板の対向
   する外側に夫々パツケージの位置決め用の凹部が
   形成されて成る固体撮像素子のパツケージ。