JPS62189113A - 粘着シ−ト処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、紫外線感応型粘着剤が塗布されたシート組立
体に紫外線を照射して処理する粘着シート処理装置に関
するものである。

〔従来技術とその問題点〕

集積回路（ＩＣ）製造工程の中には、半導体ウェハーを
チップ状に切断するダイシング工程が存在する。このダ
イシング工程において、半導体ウェハーを保持する方法
として、支持フレームの中心に半導体ウェハーを配置し
、粘着剤が塗布されたシートにてこれらの下面を粘着し
て一体としたシート組立体とし、この支持フレームを固
定してカッターにてシートを残して半導体ウェハーのみ
を切断することが行われる。この方法は、チップの欠け
や飛散などが防止できる利点を有するが、切断時の衝撃
力などに耐えるために粘着剤の粘着力は大きくなければ
ならない。しかし１反面において、切断後はチップがシ
ートから容易に剥離さ机なければならないが、シートの
大きな粘着力が剥離の妨げとなってしまう問題点がある
。

ところで、最近は、紫外線を照射することにより粘着力
が低下する性質を有する紫外線感応型粘着剤が開発され
ており、この粘着剤が塗布されたシートにて半導体ウェ
ハーを粘着して切断後に紫外線を照射すれば前記の問題
点は解消できる。

このため、紫外線感応型粘着剤が塗布されたシート組立
体に紫外線を照射して処理する装置が使用されるが、従
来の装置においては、処理前のシート組立体が積層状態
に収納されたカセットから順次シート組立体を取り出し
、処理が終わると他のカセットに収納していた。即ち、
未処理用カセットと処理済用力セラ１−を装置の両側に
配置し、シート組立体を一方向に流していた。従って、
カセットの使用効率が低く、処理装置が大型となって広
いスペースを必要とする問題点があった。

〔発明の目的〕 そこで本発明は、半導体用などのウェハーが紫外線感応
型粘着剤が塗布されたシートに粘着されたシー１−組立
体を処理する装置であって、シート組立体を収納するカ
セットの使用効率が高く、処理装置が小型となって広い
スペースを必要としない粘着シート処理装置を提供する
ことを目的とする。

〔発明の構成〕

本発明の粘着シート処理装置は、短波長の可視光から紫
外光にまたがる範囲の光を放射するランプを内蔵した光
照射器と、透孔が穿設され、該光照射器の上方に配置さ
れる基板と、光を透過する材質からなり紫外線感応型粘
着剤が塗布されたシートにて、支持フレームとこのフレ
ームの中心に配置されたウェハーとが下方から粘着され
て一体となったシート組立体が微小間隔をあけて積層状
に収納されるカセットと、このカセットが載置される昇
降台と、処理されるシート組立体の一端を把持してこの
シート組立体をカセットと該透孔との間を往復させる搬
送部材からなり、該光照射器でシート側から光照射して
粘着剤を処理した後に同一のカセットに再収納し、この
繰返しによって、カセット内の多数のシート組立体を順
次処理することを特徴とする。

〔実施例〕

以下に図面に示す実施例に基いて本発明を具体的に説明
する。

第１図と第２図に示すように、基板１は支柱１ａによっ
て水平方向に配設され、この基板１には透孔１４が穿設
されている。透孔１４の下方には光照射器２が配置され
、その内部には、短波長の可視光から紫外光にまたがる
範囲の光を放射するランプ３として、発光長が１５０ｍ
の高圧水銀灯が配置されている。この高圧水銀灯は定格
が　１．２ＫＷであって、３６５　ｎｍを主波長とし、
２５４　ｎｍ、３０３ｎＩ１１．４０５　ｎｍ、’４３
６　ｎｍなどの波長の光を効率よく放射する。ランプ３
の背後にはミラー３１　が配置され、ランプ３の前記の
波長範囲の光がライトガイド２１に導かれて透孔１４の
方に照射される。

ライトガイド２１の上端と透孔１４の間にはシャッター
４が配置され、これがモータ４１によって水平面内で駆
動されて透孔１４を開閉する。

＝４＝ シーｌ−組立体ＩＯは、円環状の支持フレーム１１の中
央にウェハー１２が配置されたものであり、支持フレー
ム１１　とウェハー１２はシート１３で粘着されて一体
となっている。このシート１３は光を透過する薄いプラ
スチックシートであり、その表面に粘着剤が塗布されて
いるが、この粘着剤は紫外線を照射することにより粘着
力が低下する性質を有する紫外線感応型のものである。

このシート組立体１０はカセット５に収納されるが、カ
セット５の両壁５１には多数の段部５２が微小間隔で形
成されており、この一対の段部５２に支持フレーム１１
の端部が載置され、シート１３側を下方にして積層状態
に収納される。基板１に隣接して昇降台６が配置され、
これにカセット５が載置されるが、この昇降台６はカセ
ット５内のシート組立体１０の間隔に等しいピッチで間
欠的に上昇する。

基板１上のレール１５に拘束されて搬送部材７が移動可
能に配設されているが、搬送部材７の一端が駆動ベルト
７１に連結され、モータ７２が正逆回転するとベルト７
１で駆動されて搬送部材７は往復運動する。搬送部材７
の下方には把持部材８が吊設され、その内部の駆動機構
によって一対の挟み片からなるチャック８１　が開閉し
、このチャック８１　が閉じることによってシート組立
体１０の支持フレーム１１の端部を把持する。チャック
８１と同レベルにはプッシャー９が配設され、これがカ
セッ！へ５内の一枚のシート組立体ｌＯを少し押し出す
と、その押し出された部分をチャック８１が把持する。

しかして、」―記構酸の装置にて処理するには。

まず、未処理のシート組立体１０が積層状態に収納され
たカセット５が昇降台５上に載置される。

このとき、昇降台６は最下端のレベルに位置しており、
最上部のシー１−組立体】０がチャック８１およびプッ
シャー９と同じレベルに位置する。

シャッター４を閉じた状態でランプ３を点灯し、ブツシ
ャ−９が作動してシート組立体１０が少しカセット５か
ら押し出されると、前述のように、チャック８１　が把
持する。そして、モータ７２が回転して搬送部材７はベ
ル１へ７１で駆動されて右側１こ移動する。従って、シ
ー１−１１立体ＸＯが基板１上に乗り移るが、シート組
立体１０は突条】６上詮摺動して第３図に示すように、
透孔１４−］：で停止する。

透孔１４の大きさは、ウェハー１２より大きいが支持フ
レーム１１　の内径よりは小さく、透孔１４のＬ１緑は
ウェハー１２と支持フレーム１１　の中間に位置し、支
持フレーム１１は基板１でマスクされている。

次に、シャッター４を所定時間開けてシート組立体１０
のシート１３側に紫外線を照射するとシート１３とウェ
ハー１２を粘着している紫外線感応型粘着剤の粘着力は
急激に低下する。処理が完了するとシャッター４を閉じ
、モータ７２が逆回転して搬送部材７はカセット５の方
向に移動する。

従って、処理の終わったシート組立体１０は再びカセッ
ト５の元の位置に入り込む。チャック８１が把持を解除
したときには、シート組立体１０の端部はまだ少しカセ
ット５よりはみ出しているが、プッシャー９と対向して
設けられた押し込みプッシャー（図示せず）が作動して
シート組立体１０を完全にカセッｌ−５内に収納させる
。

次に、昇降台６が１ピツチだけ上昇し、２段目に収納さ
れた未処理のシート組立体１０が前述と同じサイクルで
処理され、このサイクルを順次繰り返すことによってカ
セット５内の全てのシート組立体１０の処理が完了し、
もとの位置に戻る。

そして、このカセット５が次工程に搬送され、チップ状
のウェハー１２がシート１３より容易に剥離される。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の粘着シート処理装置は、
カセットから取り出されたシート組立体を光照射器でシ
ート側から光照射して粘着剤を処理したあとに同一のカ
セットに再収納し、この繰返しによって、カセット内の
多数のシート組立体を順次処理するようにしたので、カ
セットを未処理用と処理済用に区別することなく、１個
のカセットのみで処理できるのでカセットの使用効率が
向上する。また、装置の側部に１個のカセットしか配置
されないので、装置が小型となり、広いスペースを必要
としない粘着シート処理装置とすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図と第３図は本発明実施例の平面図、第２図は同じ
く正面断面図である。 １・・・基板　２・・・光照射器　２１・・・ライトガ
イド３・・・ランプ　３１・・・ミラー　４・・・シャ
ッター５・・・カセット　　６・・・昇降台　　７・・
・搬送部材７１・・・駆動ベルト　８・・・把持部材　
８１・・・チャック９・・・プッシャー　１０・・・シ
ート組立体１１・・・支持リング　１２・・・ウェハー
　１３・・・シート１４・・・透孔

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 短波長の可視光から紫外光にまたがる範囲の光を放射す
   るランプを内蔵した光照射器と、透孔が穿設され、該光
   照射器の上方に配置される基板と、光を透過する材質か
   らなり紫外線感応型粘着剤が塗布されたシートにて、支
   持フレームとこのフレームの中心に配置されたウェハー
   とが下方から粘着されて一体となったシート組立体が微
   小間隔をあけて積層状に収納されるカセットと、このカ
   セットが載置される昇降台と、処理されるシート組立体
   の一端を把持してこのシート組立体をカセットと該透孔
   との間を往復させる搬送部材からなり、該光照射器でシ
   ート側から光照射して粘着剤を処理した後に同一のカセ
   ットに再収納し、この繰返しによって、カセット内の多
   数のシート組立体を順次処理することを特徴とする粘着
   シート処理装置。