JPS621862A - 金属蒸発装置 - Google Patents
金属蒸発装置Info
- Publication number
- JPS621862A JPS621862A JP14018085A JP14018085A JPS621862A JP S621862 A JPS621862 A JP S621862A JP 14018085 A JP14018085 A JP 14018085A JP 14018085 A JP14018085 A JP 14018085A JP S621862 A JPS621862 A JP S621862A
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- electron beam
- reflected
- evaporated
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野〕
本発明は、電子ビームにより各種金属を蒸発させる金属
蒸発装置に係り、特に、金属表面から反射した電子ビー
ムを再度金属表面に向けて反射させるようにしてエネル
ギ効率を良好になした金属蒸発装置に関する。
蒸発装置に係り、特に、金属表面から反射した電子ビー
ムを再度金属表面に向けて反射させるようにしてエネル
ギ効率を良好になした金属蒸発装置に関する。
［従来の技術］
従来、例えばアルミニウムなどの金属の真空蒸着におい
ては、金属蒸気を発生さ仕るための方法の一例として加
熱源としての電子銃から発射した電子ビームを被蒸発金
属に当ててこれを加熱蒸発させて台底蒸気を発生させる
方法が知られている。
ては、金属蒸気を発生さ仕るための方法の一例として加
熱源としての電子銃から発射した電子ビームを被蒸発金
属に当ててこれを加熱蒸発させて台底蒸気を発生させる
方法が知られている。
［発明が解決しようとする問題点］
ところで、被蒸発金属に電子ビームを照射する場合、こ
の電子ビームの保有エネルギが全て被蒸発金属に吸収さ
れるならば問題は生じないが、しかしながら、照射され
た電子ビームの一部は金属に吸収されることなく金属表
面から光の反射の法則にほぼ従って反射してしまってい
た。そのため、エネルギ効率が悪くなるのみならず、反
射電子ビームの進行方向に位置する機器類の破損の原因
にもなっていた。特に、被蒸発金属が重金属になる程、
電子ビームの反射率が高くなり、この種の問題点を増長
していた。
の電子ビームの保有エネルギが全て被蒸発金属に吸収さ
れるならば問題は生じないが、しかしながら、照射され
た電子ビームの一部は金属に吸収されることなく金属表
面から光の反射の法則にほぼ従って反射してしまってい
た。そのため、エネルギ効率が悪くなるのみならず、反
射電子ビームの進行方向に位置する機器類の破損の原因
にもなっていた。特に、被蒸発金属が重金属になる程、
電子ビームの反射率が高くなり、この種の問題点を増長
していた。
〔発明の目的］
本発明は、以上のような問題に着目し、これを有効に解
決すべく創案されたものである。
決すべく創案されたものである。
本発明の目的は、電子ビーム反射板を設けることにより
、金属表面から反射した電子ビームを再度、金属に向け
て反射させるようにし、もってエネルギ効率を高めるこ
とができる金属蒸発装置を提供するにある。
、金属表面から反射した電子ビームを再度、金属に向け
て反射させるようにし、もってエネルギ効率を高めるこ
とができる金属蒸発装置を提供するにある。
［発明の概要］
上記目的を達成する本発明の構成は、蒸発ルツボの斜め
上方に金属を加熱蒸発させるための電子銃を設けると共
に、反射電子ビームの進行方向に電子ビーム反射板を設
けてなり、金属表面で反射した電子ビームを上記反射板
により金属表面に向けて再度反射させるようにしたこと
を要旨とする。
上方に金属を加熱蒸発させるための電子銃を設けると共
に、反射電子ビームの進行方向に電子ビーム反射板を設
けてなり、金属表面で反射した電子ビームを上記反射板
により金属表面に向けて再度反射させるようにしたこと
を要旨とする。
［実施例］
以下に、本発明の好適一実施例を添付図面に基づいて詳
述する。
述する。
第１図は本発明の好適一実施例を示す斜視断面図、第２
図は第１図中■−■線矢視断面図である。
図は第１図中■−■線矢視断面図である。
図示する如く１は、上方が開放されて断面凹部状になさ
れた横長の箱状の蒸発ルツボであり、このルツボ１内に
は、Ｍなど加熱蒸発させるべき金属である被蒸発金属２
が収容されている。この蒸発ルツボ１は黒鉛、セラミッ
クなどの耐火物で形成されると共にこのルツボ１全体は
真空雰囲気下に設置される。
れた横長の箱状の蒸発ルツボであり、このルツボ１内に
は、Ｍなど加熱蒸発させるべき金属である被蒸発金属２
が収容されている。この蒸発ルツボ１は黒鉛、セラミッ
クなどの耐火物で形成されると共にこのルツボ１全体は
真空雰囲気下に設置される。
そして、この蒸発ルツボ１の斜め上方には、これに収容
される被蒸発金ｆｉ２に電子ビームを照射するための電
子銃３が設けられている。この電子銃３は、発射された
電子ビームａの入射角がθとなるようにその発射口４を
金属表面５に臨ませて設けである。また、この電子銃３
には、蒸発ルツボ１の長手方向に沿って電子ビームａを
往復走査可能とするために図示しない偏向板が取付けら
れている。
される被蒸発金ｆｉ２に電子ビームを照射するための電
子銃３が設けられている。この電子銃３は、発射された
電子ビームａの入射角がθとなるようにその発射口４を
金属表面５に臨ませて設けである。また、この電子銃３
には、蒸発ルツボ１の長手方向に沿って電子ビームａを
往復走査可能とするために図示しない偏向板が取付けら
れている。
そして、上記被蒸発金属２の表面５から反射する反射電
子ビームｂの進行方向すなわち電子ビームａの入射角θ
と等しくなる反射角αにより決定される方向に、この反
射電子ビームｂを上記被蒸発金属２に向けて再度反射さ
せるための電子ビーム反射板６が蒸発ルツボ１の長手方
向に沿って設けられている。
子ビームｂの進行方向すなわち電子ビームａの入射角θ
と等しくなる反射角αにより決定される方向に、この反
射電子ビームｂを上記被蒸発金属２に向けて再度反射さ
せるための電子ビーム反射板６が蒸発ルツボ１の長手方
向に沿って設けられている。
具体的には、この反射板６の反射面７は比較的融点の高
い材料、例えばタングステンにより構成されており、こ
の裏面には多数の冷却管８・・・を配百してこれに冷ノ
Ｊ水を流すことにより反射面７を冷却してこの溶融を防
止している。
い材料、例えばタングステンにより構成されており、こ
の裏面には多数の冷却管８・・・を配百してこれに冷ノ
Ｊ水を流すことにより反射面７を冷却してこの溶融を防
止している。
上記反射面７ば、一定の曲率、例えば上記被蒸発金属２
の照射点ｍを中心とする曲率Ｒで円弧状に成型されてお
り、反射した電子ビームを効率良く再度被蒸発金層２に
当て得るようになっている。
の照射点ｍを中心とする曲率Ｒで円弧状に成型されてお
り、反射した電子ビームを効率良く再度被蒸発金層２に
当て得るようになっている。
また、電子ビーム照射点ｍから見た上記反射面７の開き
角βは、反射電子角度分布Ｓに対応させて少なくとも約
６０”程に設定することが望ましい。
角βは、反射電子角度分布Ｓに対応させて少なくとも約
６０”程に設定することが望ましい。
次に、以上のように構成された本発明の作用について説
明する。
明する。
電子銃３から発射された電子ビームａは、図示しない偏
向板により蒸発ルツボ１の長手方向へ往復走査されつつ
被蒸発金属２に照射される。この電子ビームａの保有す
る多くのエネルギはこの第１回の照射で吸収されて金属
が加熱蒸発し、金属蒸気として主に上方へ飛散して行く
が、一部の電子ビームｂは被蒸発金属２に吸収されるこ
となくこの表面５から反射していく。
向板により蒸発ルツボ１の長手方向へ往復走査されつつ
被蒸発金属２に照射される。この電子ビームａの保有す
る多くのエネルギはこの第１回の照射で吸収されて金属
が加熱蒸発し、金属蒸気として主に上方へ飛散して行く
が、一部の電子ビームｂは被蒸発金属２に吸収されるこ
となくこの表面５から反射していく。
この反ｅｌＪ電子ビームｂの進行方向には、電子ビーム
反射板６が設けであることから、この反射板６により反
射電子ビームｂが蒸発ルツボ１に向けて再度反射されて
２重反射電子ビームＣとして被蒸発金属２に照射される
ことになり、この加熱蒸発に寄与するのでエネルギ効率
を高めることができる。この場合、電子ビーム反射板６
の反射面７は、反射電子角度分布Ｓの大きい方向に対応
させて一定の開き角βをもっており且つ、蒸発ルツボ１
内金属の照射点ｍを中心とする一定の曲率半径で断面円
弧状に成型されているので、金属表面５から反射した大
部分の反射電子ビームｂを再度金属表面５に向けて反射
させることができ、大幅にそのエネルギ効率を高めるこ
とができる。
反射板６が設けであることから、この反射板６により反
射電子ビームｂが蒸発ルツボ１に向けて再度反射されて
２重反射電子ビームＣとして被蒸発金属２に照射される
ことになり、この加熱蒸発に寄与するのでエネルギ効率
を高めることができる。この場合、電子ビーム反射板６
の反射面７は、反射電子角度分布Ｓの大きい方向に対応
させて一定の開き角βをもっており且つ、蒸発ルツボ１
内金属の照射点ｍを中心とする一定の曲率半径で断面円
弧状に成型されているので、金属表面５から反射した大
部分の反射電子ビームｂを再度金属表面５に向けて反射
させることができ、大幅にそのエネルギ効率を高めるこ
とができる。
また、反射板６により反射電子ビームｂを反射する際、
そのうちの一部が反射面７に吸収されるが、この反射面
７を融点の高いタングステンで構成し、且つその裏面に
設けた冷却管８・・・内を流れる冷却水により反射板６
全体を冷却しているので、この反射面７は溶融往ず、こ
の破損を防止できる。
そのうちの一部が反射面７に吸収されるが、この反射面
７を融点の高いタングステンで構成し、且つその裏面に
設けた冷却管８・・・内を流れる冷却水により反射板６
全体を冷却しているので、この反射面７は溶融往ず、こ
の破損を防止できる。
［発明の効果］
以上型するに、本発明によれば次のような優れた効果を
発揮することができる。
発揮することができる。
（１） 被蒸発金属の表面から反射する反射電子ビー
ムの進行方向に電子ビーム反射板を設けたので、金属表
面から反射した電子ビームを再度金属表面に向けて反射
させることができる。
ムの進行方向に電子ビーム反射板を設けたので、金属表
面から反射した電子ビームを再度金属表面に向けて反射
させることができる。
（２） 従って、電子銃から発射した電子ビームの保
有エネルギを金属の蒸発エネルギとして有効に利用でき
、エネルギ効率を大幅に高めることができる。特に、電
子ビームの反射率の高い重金属を蒸気化させる場合には
、特にエネルギ効率を高めることができる。
有エネルギを金属の蒸発エネルギとして有効に利用でき
、エネルギ効率を大幅に高めることができる。特に、電
子ビームの反射率の高い重金属を蒸気化させる場合には
、特にエネルギ効率を高めることができる。
＋３１ 反射電子ビームが他の方向に飛ぶことがない
ので、他の周辺線型を破損することがない。
ので、他の周辺線型を破損することがない。
第１図は本発明の好適一実施例を示す斜視断面図、第２
図は第１図中■−■線矢視断面図である。 尚、図中１は蒸発ルツボ、３は電子銃、６【ま電子ビー
ム反射板、ａ Ｇ、を電子ビーム、ｂＧよ反射電子ビー
ム、である。
図は第１図中■−■線矢視断面図である。 尚、図中１は蒸発ルツボ、３は電子銃、６【ま電子ビー
ム反射板、ａ Ｇ、を電子ビーム、ｂＧよ反射電子ビー
ム、である。
Claims (1)
- 真空雰囲気下に設けられ、被蒸発金属を収容する蒸発ル
ツボと、該ルツボの斜め上方に設けられ、上記被蒸発金
属を加熱して蒸発させるべくこの表面に電子ビームを照
射する電子銃と、上記被蒸発金属の表面から反射する反
射電子ビームの進行方向に設けられ、該反射電子ビーム
を上記被蒸発金属に向けて反射させる電子ビーム反射板
とを備えたことを特徴とする金属蒸発装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14018085A JPS621862A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 金属蒸発装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14018085A JPS621862A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 金属蒸発装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS621862A true JPS621862A (ja) | 1987-01-07 |
Family
ID=15262754
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14018085A Pending JPS621862A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 金属蒸発装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS621862A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013112894A (ja) * | 2011-12-01 | 2013-06-10 | Ulvac Japan Ltd | 真空蒸着装置、電子銃及び真空蒸着方法 |
-
1985
- 1985-06-28 JP JP14018085A patent/JPS621862A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013112894A (ja) * | 2011-12-01 | 2013-06-10 | Ulvac Japan Ltd | 真空蒸着装置、電子銃及び真空蒸着方法 |
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