JPS62184743U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62184743U JPS62184743U JP7405286U JP7405286U JPS62184743U JP S62184743 U JPS62184743 U JP S62184743U JP 7405286 U JP7405286 U JP 7405286U JP 7405286 U JP7405286 U JP 7405286U JP S62184743 U JPS62184743 U JP S62184743U
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- JP
- Japan
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- probe
- wafer
- edge
- continuity
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- Pending
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 238000003708 edge detection Methods 0.000 claims description 2
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案試験装置の一実施例要部構成図
、第２図はエツジ用プローブに絶縁性のキヤツプ
を設けたときの斜視図、第３図は従来の試験装置
の要部構成図である。 １…エツジ用プローブ、２…検出用プローブ、
３…ステージ、４…ウエハ、５…エツジ検出回路
、６…接点スイツチ、７…スイツチング回路、８
…直流電源、９，１０…第１、第２のスイツチ、
１１…リレースイツチ、１２…特性試験回路、１
３，１３…試験用プローブ、１４…絶縁性キヤツ
プ。
、第２図はエツジ用プローブに絶縁性のキヤツプ
を設けたときの斜視図、第３図は従来の試験装置
の要部構成図である。 １…エツジ用プローブ、２…検出用プローブ、
３…ステージ、４…ウエハ、５…エツジ検出回路
、６…接点スイツチ、７…スイツチング回路、８
…直流電源、９，１０…第１、第２のスイツチ、
１１…リレースイツチ、１２…特性試験回路、１
３，１３…試験用プローブ、１４…絶縁性キヤツ
プ。
Claims (1)
- 測定用プローブを半導体ウエハに接触させ、信
号を加えることにより、このウエハの特性試験を
行う試験装置において、ウエハが載置される上下
動可能なステージと、金属材料で形成され、ステ
ージ上のウエハが上方へ移動したとき、先端がウ
エハ表面に接触し、上方へ付勢されるエツジ用プ
ローブと、このエツジ用プローブがウエハに非接
触のときこのエツジ用プローブと接触し、このエ
ツジ用プローブがウエハに接触したときエツジ用
プローブと離間する金属製の検出用プローブと、
上記エツジ用プローブと上記検出用プローブ間の
導通状態を検出する導通検出手段と、この導通検
出手段で非導通状態が検出されたとき上記エツジ
用プローブを導通検出手段から分離する分離手段
と、上記導通検出手段で非導通が検出されたとき
ウエハの位置設定が為された事を知らせる位置設
定信号を出力するエツジ検出回路と、を有して成
る試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7405286U JPS62184743U (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7405286U JPS62184743U (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62184743U true JPS62184743U (ja) | 1987-11-24 |
Family
ID=30918921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7405286U Pending JPS62184743U (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62184743U (ja) |
-
1986
- 1986-05-16 JP JP7405286U patent/JPS62184743U/ja active Pending