JPS62177802A - 照明用環状光源 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、写真カメラ、テレビカメラ、顕微鏡等のレン
ズを用いた撮像又は観察に使用する光源に係り、特に半
導体製造工程でのりソゲラフイエ程の如き光の波長が重
要となる場合に使用される照明用環状光源に関するもの
である。

〈従来の技術〉 従来、照明用環状光源としては、キセノンランプを用い
たものと、螢光灯を用いたものとが広く使用されている
。

第２図及び第３図にキセノンランプを用いた場合の照明
用環状光源を示す。即ち、第２図は従来の環状光源の平
面図、第３図は同光源の破断面図であり、図中、０１は
箱形のケース０２内に収納されたリング状のキセノン放
電管であって、０３は電極である。又、ケース０２の上
面にはカメラレンズ０４が取付けられており、同ケース
０２の下面には半透明ガラス板０５と乳白色アクリル板
０６とが重合して設けられている。更に、ケース０２か
らは図示しない電源に接続されるケーブル０７が導出し
ている。尚、図中、０８は冷却用ファンである。

而して、この円環光源は２つの電極０３の間に高電圧を
加え、該電極０３間でアーク放電を生ぜしめて閃光を得
るものである。そして、当該円環光源の分光分布曲線に
は連続スペクトルが多量に含まれ、同分光分布曲線は紫
外部から赤外部に亘って自然昼光のそれに比較的よく近
似している。

〈発明が解決しようとする問題点〉 しかしながら、半導体素子等の照明においては、上記従
来の円環光源にあっては、フォトレジスト等の感光剤を
付着した試料に照明する場合には特殊な赤外透過フィル
タを用いる必要があった。又、従来の円環光源は電極部
を不可欠とするため、電極部が存在する部分では発光が
なく、十分均一な照明が得られない。このため、第１図
及び第２図に示す如く散乱効果のある半透明ガラス板０
５と乳白色アクリル板０６を入れて光を拡散しても、電
極０３の部分がどうしても暗くなり、照度むらが生じる
という問題があった。更に、キセノンランプを駆動する
ためには、安定器の他に高圧パルス発生装置が必要であ
り、この高圧パルス発生装置が電気的なノイズ源となっ
てこれに対する対策が大変であった。更に又、大口径の
円環光源を製作するには長い放電管を必要とし、これの
駆動回路が大型化するという問題もあった。尚、螢光灯
を用いた円環光源においても、その構造はキセノンラン
プを用いた場合のそれと略同−であり、上記問題は避け
られない。

本発明Ｃよ上記問題に鑑みてなされたもので、その目的
とする処は、レンズの光軸層りに均一な照明を得るとと
もに、フォトレジスト等の感光剤に対する影響の少ない
赤外領域における照明を得ることができる照明用環状光
源を提供するにある。

く問題点を解決するための手段〉 上記目的を達成すべく本発明は、撮像用レンズの周囲に
複数の赤外領域の発光ダイオードを円環状に配置し、該
発光ダイオードを円筒状及び円環状の反射型拡散板によ
って囲繞するように構成した。

〈作　　　用〉 而して、発光ダイオードから照射された光は反射型拡散
板によって拡散され、この拡散光は間接的に対象物を照
明するため、レンズの光軸層りに均一な照明が得られる
。又、発光ダイオードは赤外領域のものであるため、フ
ォトレジスト等の感光剤に対する影響の少ない照明を得
ることができる。

く実　施　例〉 以下に本発明の一実施例を第１図に基づいて説明する。

第１図は本発明に係る照明用環状光源の一部を破断した
斜視図であり、本実施例においては当該環状光源を円板
形状体の識別用記号又は文字の読み取り装置（特願昭５
８−６５６７４号参照）に適用した場合を示す。

第１図において１は箱形のケースであって、これの底板
２上には円環状の保持板３が設置されており、該保持板
３には複数個の赤外領域の発光ダイオード４が取付けら
れている。

尚、各発光ダイオード４は図中、上方へ光を照射するよ
う設置されている。

す反射型拡散板５及び該拡散板５の上端に固着される円
環状の反射型拡散板６によって囲まれている。

又、発光ダイオード４を保持する前記保持板３の下方の
床面上には、該保持板３と同君的に略円板状のウェハ７
が載置されており、このウェハ７の表面上には識別用記
号（又は文字）８が設けられている。尚、図中、９はテ
レビカメラである。

而して、発光ダイオード４から上方へ向けて照射される
光は被測定物たるウェハ７に直接到達せず、その全ては
拡散板５，６に達してここで拡散される。従って、ウェ
ハ７は円環及び円筒形状の拡散面光源によって照明され
たこととなり、この結果、略々均一な照度が得られ、従
来のキセノンランプによる光源の場合の電極部分による
照度の不均一性が解消される。

又、本実施例においては発光ダイオード４ｋＣＯ岳汁Ｖ
詰ベア抽齢埼５，６Ｌこ土うて稲光ダイオード４から照
射される光を拡散させる構成としたため、均一な照度分
布を与える大口径の円環状光源が容易に得られ、用途に
応じて光の波長を発光ダイオード４によって選択するこ
とができる。又、駆動電力が小さくなるため電源及び駆
動回路の小型化が図れ、雑音の発生を防止することがで
きる。更に、発光ダイオード４の駆動パルス幅を変化さ
せ灯）まで連続的に制御することができる。更に又、発
光ダイオード４は赤外領域のものを用いたため、フォ）
・レンスト等の感光剤に対する影響の少ない照明を得る
ことができる。

〈発明の効果〉 以上の説明で明らかな如く本発明によれば、赤外領域の
発光ダイオードを円環状に配置し、該発光ダイオードか
ら照射される光を反射型拡散板によって拡散せしめ、拡
散光によって間接的に対象物を照明するようにしたため
、レンズの光軸層りに均一な照明が得られるとともに、
フォｌ−レジス）・等の感光剤に対ずろ影響の少ない赤
外領域の照明を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る照明用環状光源の一部を破断した
斜視図、第２図は従来の照明用環状光源の平面図、第３
図は同光源の破断面図である。 図　面　中、 １はケース、 ４は発光ダイオード、 ５．６は反射型拡散板、 ７はウェハ、 ９はテレビカメラである。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 撮像用レンズの周囲に複数の赤外領域の発光ダイオード
   を円環状に配置し、該発光ダイオードを円筒状及び円環
   状の反射型拡散板によって囲繞して構成されることを特
   徴とする照明用環状光源。