JPS62176397A - 無指向性水中超音波トランスジユ−サ - Google Patents
無指向性水中超音波トランスジユ−サInfo
- Publication number
- JPS62176397A JPS62176397A JP1944586A JP1944586A JPS62176397A JP S62176397 A JPS62176397 A JP S62176397A JP 1944586 A JP1944586 A JP 1944586A JP 1944586 A JP1944586 A JP 1944586A JP S62176397 A JPS62176397 A JP S62176397A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic radiation
- piezoelectric ceramic
- ceramic laminate
- transducer
- radiation plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 45
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 31
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 6
- 230000006835 compression Effects 0.000 abstract 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 abstract 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 6
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 210000003127 knee Anatomy 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052845 zircon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
- GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N zirconium(iv) silicate Chemical compound [Zr+4].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、水中においてノ1イパワーで超音波を送波す
ることのできる中心軸に対して無指向性の圧電トランス
ジューサに係わるものである。
ることのできる中心軸に対して無指向性の圧電トランス
ジューサに係わるものである。
(従来の技術)
従来、水中において中心軸に対して無指向性の高効率ハ
イパワー超音波トランスジューサとして、第3図に示す
ような円筒状圧電トランスジューサが知られている。こ
のトランスジューサはジルコンチタン酸鉛系圧電セラミ
ックスでできており、円筒の内外面に銀焼き付は電極が
施され、内厚方向に分極がなされている。この円筒状ト
ランスジューサは横効果の径拡がり振動モードが用いら
れ、第3図の矢印で示すように振動子、指向性は中心軸
O−0°に対して無指向性となる。
イパワー超音波トランスジューサとして、第3図に示す
ような円筒状圧電トランスジューサが知られている。こ
のトランスジューサはジルコンチタン酸鉛系圧電セラミ
ックスでできており、円筒の内外面に銀焼き付は電極が
施され、内厚方向に分極がなされている。この円筒状ト
ランスジューサは横効果の径拡がり振動モードが用いら
れ、第3図の矢印で示すように振動子、指向性は中心軸
O−0°に対して無指向性となる。
(発明が解決しようとする問題点)
上記円筒状圧電トランスジューサは径拡がり振動モード
で動作するため、円筒の内厚の中心を基準とした直径d
と共振周波数庁とは反比例の関係にあり、このトランス
ジューサに用いられる圧電セラミックスの音速をclと
すれば、f、はl f、ニー(1) d で与えられる。即ち、共振周波数が2分の1,3分の1
゜4分の1になれば、直径はそれぞれ2倍、3倍、4倍
となる。
で動作するため、円筒の内厚の中心を基準とした直径d
と共振周波数庁とは反比例の関係にあり、このトランス
ジューサに用いられる圧電セラミックスの音速をclと
すれば、f、はl f、ニー(1) d で与えられる。即ち、共振周波数が2分の1,3分の1
゜4分の1になれば、直径はそれぞれ2倍、3倍、4倍
となる。
従って、ある所望の共振周波数を有する円筒状圧電トラ
ンスジューサの設計をする場合、直径が決まってしまう
と他の設計パラメータは圧電セラミックスの音速C1だ
けとなる。しかしながら圧電セラミックス材料として、
電気機械結合係数の大きなジルコンチタン酸鉛系圧電セ
ラミックスが現在のところ最高の材料でありこの音速は 2800〜3300m/sec程度でほとんど材料によ
る差はない。即ち、円筒状圧電トランスジューサの小型
化をはかろうとする場合に、圧電セラミックスの音速だ
けで寸法が決まってしまうことから一定の限界があった
。また、よりハイパワー化をはかろうとすると、圧電セ
ラミックスの引っ張り応力に対する強度は圧縮応力に対
する強度の10分の1以下と小さいため、圧電セラミッ
クスのこのような特殊な材料強度からくる一定の限界が
あった。
ンスジューサの設計をする場合、直径が決まってしまう
と他の設計パラメータは圧電セラミックスの音速C1だ
けとなる。しかしながら圧電セラミックス材料として、
電気機械結合係数の大きなジルコンチタン酸鉛系圧電セ
ラミックスが現在のところ最高の材料でありこの音速は 2800〜3300m/sec程度でほとんど材料によ
る差はない。即ち、円筒状圧電トランスジューサの小型
化をはかろうとする場合に、圧電セラミックスの音速だ
けで寸法が決まってしまうことから一定の限界があった
。また、よりハイパワー化をはかろうとすると、圧電セ
ラミックスの引っ張り応力に対する強度は圧縮応力に対
する強度の10分の1以下と小さいため、圧電セラミッ
クスのこのような特殊な材料強度からくる一定の限界が
あった。
本発明は小型でハイパワー送波が可能であり、高い電気
音響変換効率を有する無指向性超音波トランスジューサ
を実現することにある。
音響変換効率を有する無指向性超音波トランスジューサ
を実現することにある。
(問題を解決するための手段)
本発明は、撓み変形が可能な矩形状の音響放射板が正n
角形をなすように配列されたn個の音響放射板と、前記
正n角形に配列されたn個の音響放射板の中心に配置さ
れる正n角形の剛い柱体と、さらに前記各音響放射板と
前記柱体との間に内部に貫通孔のある圧電セラミック積
層体を配し、前記貫通孔を通して、圧電セラミック積層
体に圧縮応力を加えるボルトを設ける。そして前記ボル
トと前記音響整合板との接点、圧電セラミック積層体か
ら突き出た高強度材からなる首部と前記音響整合板との
接点の両接点をてこの腕として、てこの原理により前記
音響放射板外縁部の振動変位を太きくしたことを特徴と
する水中超音波トランスジューサである。
角形をなすように配列されたn個の音響放射板と、前記
正n角形に配列されたn個の音響放射板の中心に配置さ
れる正n角形の剛い柱体と、さらに前記各音響放射板と
前記柱体との間に内部に貫通孔のある圧電セラミック積
層体を配し、前記貫通孔を通して、圧電セラミック積層
体に圧縮応力を加えるボルトを設ける。そして前記ボル
トと前記音響整合板との接点、圧電セラミック積層体か
ら突き出た高強度材からなる首部と前記音響整合板との
接点の両接点をてこの腕として、てこの原理により前記
音響放射板外縁部の振動変位を太きくしたことを特徴と
する水中超音波トランスジューサである。
(作用)
本発明のトランスジューサは、音響放射板を正n角形と
なるように放射状にn個配し同相で駆動され、中心軸に
対して従来の円筒状圧電トランスジューサと同じく無指
向性のトランスジューサである。本発明のトランスジュ
ーサでは、圧電セラミック積層体とボルトの間に生ずる
剪断力を積極的に利用し、音響放射板に剛体回転を伴う
屈曲振動を励振させることにより、音響放射板の並進変
位と前記屈曲振動を併せた形で効率良く音響放射を行う
ことを特徴としている。
なるように放射状にn個配し同相で駆動され、中心軸に
対して従来の円筒状圧電トランスジューサと同じく無指
向性のトランスジューサである。本発明のトランスジュ
ーサでは、圧電セラミック積層体とボルトの間に生ずる
剪断力を積極的に利用し、音響放射板に剛体回転を伴う
屈曲振動を励振させることにより、音響放射板の並進変
位と前記屈曲振動を併せた形で効率良く音響放射を行う
ことを特徴としている。
本発明に従った水中超音波トランスジューサを第1図(
a)、 (b)に示す。第1図(a)は平面図、第1図
(b)は平面図(a)の一点鎖線A−A’における断面
図を示す。
a)、 (b)に示す。第1図(a)は平面図、第1図
(b)は平面図(a)の一点鎖線A−A’における断面
図を示す。
第1図において、11は屈曲振動を行う音響放射板、1
2は角柱、13は圧電セラミック積層体、14はボルト
、15は圧電セラミック積層体に生じた変位を音響放射
板11に伝えるヒンジ(首部)である。次に本発明に従
ったトランスジューサの動作原理を第1図に基づいて説
明する。音響放射板11は圧電セラミック積層体13が
圧電的に伸びたときに前方に伸ばし出される。しかしな
がら、ボルト14は圧電的に伸ばされないので、圧電セ
ラミック積層体13の伸びを妨げようとする力が生ずる
。この反力はボルト14の直径が大きいほど大きくなる
。このようにして音響放射板11に剪断力が生じ、音響
放射板が撓むわけである。音響放射板11が撓むと、圧
電セラミック積層体より外側にある放射板部分と内側に
ある放射板部分では位相が互いに逆相となる。本発明に
従ったトランスジューサでは、音響放射板の中央部と外
縁部で振動変位の位相が逆相となっても、この音響放射
板11の外縁部分の媒質排除量(体積速度)が、音響放
射板11の内側部分の媒質排除量より圧倒的に大きけれ
ば、全体としての媒質排除量は相当なものになる。さら
に本音響放射板11はこの他に圧電セラミック積層体の
伸びによる剛体並進変位が加わるため、最終的には破線
a−a’からb−b′のように変位を行い、媒質排除能
力は一層向上するわけである。
2は角柱、13は圧電セラミック積層体、14はボルト
、15は圧電セラミック積層体に生じた変位を音響放射
板11に伝えるヒンジ(首部)である。次に本発明に従
ったトランスジューサの動作原理を第1図に基づいて説
明する。音響放射板11は圧電セラミック積層体13が
圧電的に伸びたときに前方に伸ばし出される。しかしな
がら、ボルト14は圧電的に伸ばされないので、圧電セ
ラミック積層体13の伸びを妨げようとする力が生ずる
。この反力はボルト14の直径が大きいほど大きくなる
。このようにして音響放射板11に剪断力が生じ、音響
放射板が撓むわけである。音響放射板11が撓むと、圧
電セラミック積層体より外側にある放射板部分と内側に
ある放射板部分では位相が互いに逆相となる。本発明に
従ったトランスジューサでは、音響放射板の中央部と外
縁部で振動変位の位相が逆相となっても、この音響放射
板11の外縁部分の媒質排除量(体積速度)が、音響放
射板11の内側部分の媒質排除量より圧倒的に大きけれ
ば、全体としての媒質排除量は相当なものになる。さら
に本音響放射板11はこの他に圧電セラミック積層体の
伸びによる剛体並進変位が加わるため、最終的には破線
a−a’からb−b′のように変位を行い、媒質排除能
力は一層向上するわけである。
以上、本発明に従ったトランスジューサの動作原理の概
略について述べたが屈曲変位拡大機構は、ボルト14と
音響放射板11との接点、圧電セラミック積層体13か
ら突きでた高強度材料(たとえば鉄、チタン)からなる
ヒンジ15との接点、つまりこの二つの接点の間をてこ
の腕としててこの原理を用いている。従って、音響放射
板11の外縁部で振動変位を著しく拡大することができ
る。なおヒンジ15は必ずしも必要でない。
略について述べたが屈曲変位拡大機構は、ボルト14と
音響放射板11との接点、圧電セラミック積層体13か
ら突きでた高強度材料(たとえば鉄、チタン)からなる
ヒンジ15との接点、つまりこの二つの接点の間をてこ
の腕としててこの原理を用いている。従って、音響放射
板11の外縁部で振動変位を著しく拡大することができ
る。なおヒンジ15は必ずしも必要でない。
このような本発明では、媒質排除量が増やせば音響放射
も増大することにより、高効率ハイパワーのトランスジ
ューサを達成することができる。尚、長さが大きな音響
放射板を本トランスジューサに用いる場合、外縁部分に
おいて第2図に示すような補強部21を設けると、音響
放射板の剛体回転モードにおける剛性が増しさらに慣性
質量も増大するので低周波小型化に大いに寄与すること
は言うまでもない。第2図(a)は音響放射板11の平
面図、(b)は正面図である。
も増大することにより、高効率ハイパワーのトランスジ
ューサを達成することができる。尚、長さが大きな音響
放射板を本トランスジューサに用いる場合、外縁部分に
おいて第2図に示すような補強部21を設けると、音響
放射板の剛体回転モードにおける剛性が増しさらに慣性
質量も増大するので低周波小型化に大いに寄与すること
は言うまでもない。第2図(a)は音響放射板11の平
面図、(b)は正面図である。
従来の円筒状トランスジューサでは、トランスジューサ
の直径が決まると一意的に共振周波数が決まってしまう
ため、小型化をはかることが困難であったが、本発明に
従ったトランスジューサでは、音響放射板に回転慣性が
備わっており、小型のトランスジューサを得ようとする
場合には、ヒンジ間隔を音響放射板の数分の1に小さく
とり、あるいはまた第2図に示したような補強部を設け
ることにより、容易に実現することができる。
の直径が決まると一意的に共振周波数が決まってしまう
ため、小型化をはかることが困難であったが、本発明に
従ったトランスジューサでは、音響放射板に回転慣性が
備わっており、小型のトランスジューサを得ようとする
場合には、ヒンジ間隔を音響放射板の数分の1に小さく
とり、あるいはまた第2図に示したような補強部を設け
ることにより、容易に実現することができる。
(実施例)
本発明の一実施例として第1図に示す水中超音波トラン
スジューサについて説明する。第1図に示すトランスジ
ューサは外径寸法が11.5cmで高さは12cmであ
る。圧電セラミック積層体13の圧電セラミックスとし
て電気機械結合係数に33が0.61、比誘電率833
Tlε0が1080のジルコンチタン酸鉛系セラミック
スが用いられた。音響放射板11にA1合金、柱体12
にステンレススチール、ボルト14にCr−Mo剛、ヒ
ンジ15に同じ< Cr−Mo剛を用いた。このトラン
スジューサをゴムブーツで被覆し水密を保持して、電気
音響変換効率、比帯域幅の測定を行い、結果を同一外形
寸法の円筒状トランスジューサと比較して第1表に示す
。電気音響変換効率と比帯域幅がともに改善されている
のが判かる。また同じ共振周波数の従来の円筒状トラン
スジューサ゛と比べると体積で約半分以下の小型になる
。
スジューサについて説明する。第1図に示すトランスジ
ューサは外径寸法が11.5cmで高さは12cmであ
る。圧電セラミック積層体13の圧電セラミックスとし
て電気機械結合係数に33が0.61、比誘電率833
Tlε0が1080のジルコンチタン酸鉛系セラミック
スが用いられた。音響放射板11にA1合金、柱体12
にステンレススチール、ボルト14にCr−Mo剛、ヒ
ンジ15に同じ< Cr−Mo剛を用いた。このトラン
スジューサをゴムブーツで被覆し水密を保持して、電気
音響変換効率、比帯域幅の測定を行い、結果を同一外形
寸法の円筒状トランスジューサと比較して第1表に示す
。電気音響変換効率と比帯域幅がともに改善されている
のが判かる。また同じ共振周波数の従来の円筒状トラン
スジューサ゛と比べると体積で約半分以下の小型になる
。
なお音響放射板はその面積はこれを円形にしたときその
直径がヒンジの約3倍から100倍程が望ましい。また
音響放射板の屈曲振動の周波数は並進振動の周波数の約
0.5倍から1.5倍程度が望ましい。
直径がヒンジの約3倍から100倍程が望ましい。また
音響放射板の屈曲振動の周波数は並進振動の周波数の約
0.5倍から1.5倍程度が望ましい。
(発明の効果)
以上述べた如く本発明に従ったトランスジューサでは、
音響放射を行う音響放射板の並進変位のみならず屈曲変
形に伴う剛体回転変位を積極的に利用しているため、電
気音響変換効率の優れたトランスジューサである、また
従来の同じ共振周波数の円筒状トランスジューサに比べ
て著しい小型化を達成することができる。
音響放射を行う音響放射板の並進変位のみならず屈曲変
形に伴う剛体回転変位を積極的に利用しているため、電
気音響変換効率の優れたトランスジューサである、また
従来の同じ共振周波数の円筒状トランスジューサに比べ
て著しい小型化を達成することができる。
第1図(a)、(b)は本発明に従った水中超音波トラ
ンスジューサの例を示す図で(a)は平面図、(b)は
新面図、第2図(a)、(b)は本発明のトランスジュ
ーサに使用される音響放射板の一例を示す図で(a)は
平面図、(b)は正面図、第3図は従来の円筒状圧電ト
ランスジューサである。 図において、11は音響放射板、12は柱体、13は圧
電セラミック積層体、14はボルト、15はヒンジ、2
1は補強部、30は円筒状圧電セラミックトラオ 1
図 升2図
ンスジューサの例を示す図で(a)は平面図、(b)は
新面図、第2図(a)、(b)は本発明のトランスジュ
ーサに使用される音響放射板の一例を示す図で(a)は
平面図、(b)は正面図、第3図は従来の円筒状圧電ト
ランスジューサである。 図において、11は音響放射板、12は柱体、13は圧
電セラミック積層体、14はボルト、15はヒンジ、2
1は補強部、30は円筒状圧電セラミックトラオ 1
図 升2図
Claims (1)
- 撓み変形が可能な矩形状の音響放射板が正n角形をな
すように配列されたn個の音響放射板と、前記正n角形
に配列されたn個の音響放射板の中心に配置される正n
角形の剛い柱体と、さらに前記各音響放射板と前記柱体
との間に配置される内部に貫通孔のある圧電セラミック
積層体と、前記圧電セラミック積層体に設けられた貫通
孔を通して、圧電セラミック積層体に圧縮応力を加える
ボルトとを備え、ボルトと前記音響放射板との接合部、
圧電セラミック積層体又は該積層体から突き出た高強度
材からなるヒンジと前記音響放射板との接合部の両接合
部をてこの腕として、てこの原理により前記音響放射板
外縁部の振動変位を生じせしめることを特徴とする水中
超音波トランスジューサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1944586A JPS62176397A (ja) | 1986-01-30 | 1986-01-30 | 無指向性水中超音波トランスジユ−サ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1944586A JPS62176397A (ja) | 1986-01-30 | 1986-01-30 | 無指向性水中超音波トランスジユ−サ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62176397A true JPS62176397A (ja) | 1987-08-03 |
JPH0441879B2 JPH0441879B2 (ja) | 1992-07-09 |
Family
ID=11999505
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1944586A Granted JPS62176397A (ja) | 1986-01-30 | 1986-01-30 | 無指向性水中超音波トランスジユ−サ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62176397A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02238799A (ja) * | 1989-03-13 | 1990-09-21 | Nec Corp | ソーナー用送受波器 |
JP2011077631A (ja) * | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Nec Corp | 音響トランスデューサ |
US8570836B2 (en) | 2010-05-17 | 2013-10-29 | Nec Corporation | Acoustic transducer |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS49129492A (ja) * | 1973-04-11 | 1974-12-11 | ||
JPS6118299A (ja) * | 1984-07-04 | 1986-01-27 | Nec Corp | ボルト締めランジュバン振動子 |
-
1986
- 1986-01-30 JP JP1944586A patent/JPS62176397A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS49129492A (ja) * | 1973-04-11 | 1974-12-11 | ||
JPS6118299A (ja) * | 1984-07-04 | 1986-01-27 | Nec Corp | ボルト締めランジュバン振動子 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02238799A (ja) * | 1989-03-13 | 1990-09-21 | Nec Corp | ソーナー用送受波器 |
JP2011077631A (ja) * | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Nec Corp | 音響トランスデューサ |
US8565043B2 (en) | 2009-09-29 | 2013-10-22 | Nec Corporation | Acoustic transducer |
US8570836B2 (en) | 2010-05-17 | 2013-10-29 | Nec Corporation | Acoustic transducer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0441879B2 (ja) | 1992-07-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4706230A (en) | Underwater low-frequency ultrasonic wave transmitter | |
US4672591A (en) | Ultrasonic transducer | |
JPH0431480B2 (ja) | ||
CN112718437A (zh) | 基于多振膜耦合的压电微机械超声换能器 | |
JPS62176397A (ja) | 無指向性水中超音波トランスジユ−サ | |
JP2985509B2 (ja) | 低周波水中送波器 | |
Akhbari et al. | An equivalent circuit model for curved piezoelectric micromachined ultrasonic transducers with spherical-shape diaphragms | |
JP4466215B2 (ja) | 超音波送受波器 | |
JPH02309799A (ja) | 送受波器 | |
JPS6149670A (ja) | 片持梁状超音波捻り楕円振動子 | |
JPS62176399A (ja) | 水中超音波トランスジユ−サ | |
JPS62176396A (ja) | 水中超音波トランスジユ−サ | |
JPH0511711B2 (ja) | ||
JPS6143896A (ja) | 低周波水中超音波送波器 | |
JP2546488B2 (ja) | 低周波水中送波器 | |
EP3941091A1 (en) | Ultrasonic wave generation device | |
JPS61133883A (ja) | 低周波水中超音波送波器 | |
JPS61181299A (ja) | 低周波水中超音波送波器 | |
He et al. | Design and Modeling of a Dual-Driving PMUT with Increased Round-Trip Sensitivity | |
JPH0511719B2 (ja) | ||
JPS6143098A (ja) | 低周波水中超音波送波器 | |
JPH07231496A (ja) | 低周波水中送波器 | |
INOUE et al. | Low-frequency flextensional piezoelectric underwater transmitter with displacement amplifier | |
JPS6118299A (ja) | ボルト締めランジュバン振動子 | |
JPH0475720B2 (ja) |