JPS62171762U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62171762U JPS62171762U JP5818486U JP5818486U JPS62171762U JP S62171762 U JPS62171762 U JP S62171762U JP 5818486 U JP5818486 U JP 5818486U JP 5818486 U JP5818486 U JP 5818486U JP S62171762 U JPS62171762 U JP S62171762U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- helium
- compressor
- oil
- refrigerator
- surge tank
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 9
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 2
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- 238000005057 refrigeration Methods 0.000 claims 1
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
第１図は本考案ヘリウム圧縮機ユニツトの一実
施例を示す系統図、第２図は公知のヘリウム圧縮
機ユニツトを示す系統図である。 １…圧縮機、１ａ…吸入管、１ｂ…吐出管、１
ｃ…パイプ、２…オイルセパレーター、３…アド
ソーバー、３ａ…出口、４…冷凍機、５…サージ
タンク、６…電磁弁、７…オイルクーラー、８…
絞り、９…絞り、１０…熱交換器、ａ…冷却水入
口、ｂ…冷却水出口。
施例を示す系統図、第２図は公知のヘリウム圧縮
機ユニツトを示す系統図である。 １…圧縮機、１ａ…吸入管、１ｂ…吐出管、１
ｃ…パイプ、２…オイルセパレーター、３…アド
ソーバー、３ａ…出口、４…冷凍機、５…サージ
タンク、６…電磁弁、７…オイルクーラー、８…
絞り、９…絞り、１０…熱交換器、ａ…冷却水入
口、ｂ…冷却水出口。
Claims (1)
- ヘリウム圧縮機から吐出されるヘリウムを熱交
換器、オイルセパレーターを経て冷凍機に供給し
、上記冷凍機からのヘリウムをサージタンクを経
て上記圧縮機へ戻す冷凍回路を具え、上記圧縮機
の油を圧縮機外部へ導き、オイルクーラーで冷却
したのち、これを上記圧縮機の吸入側へインジエ
クシヨンし、油による冷却作用でヘリウムの圧縮
ガスを冷却するようにしたヘリウム圧縮機ユニツ
トにおいて、運転停止時に圧縮機の高圧側圧力と
低圧側圧力とをバランスさせる電磁弁を上記アド
ソーバー出口側とサージタンクとの間の管路に挿
入したことを特徴とするヘリウム圧縮機ユニツト
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5818486U JPS62171762U (ja) | 1986-04-17 | 1986-04-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5818486U JPS62171762U (ja) | 1986-04-17 | 1986-04-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62171762U true JPS62171762U (ja) | 1987-10-31 |
Family
ID=30888542
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5818486U Pending JPS62171762U (ja) | 1986-04-17 | 1986-04-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62171762U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022176652A1 (ja) * | 2021-02-22 | 2022-08-25 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温冷凍機用の圧縮機およびアドゾーバユニット |
| KR102562102B1 (ko) * | 2023-03-02 | 2023-08-02 | (주)본씨앤아이 | 친환경 냉매를 사용하는 반도체 설비용 냉각 시스템 |
-
1986
- 1986-04-17 JP JP5818486U patent/JPS62171762U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022176652A1 (ja) * | 2021-02-22 | 2022-08-25 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温冷凍機用の圧縮機およびアドゾーバユニット |
| KR102562102B1 (ko) * | 2023-03-02 | 2023-08-02 | (주)본씨앤아이 | 친환경 냉매를 사용하는 반도체 설비용 냉각 시스템 |
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