JPS62162656A - 透明体の接合方法 - Google Patents

透明体の接合方法

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JPS62162656A
JPS62162656A JP567686A JP567686A JPS62162656A JP S62162656 A JPS62162656 A JP S62162656A JP 567686 A JP567686 A JP 567686A JP 567686 A JP567686 A JP 567686A JP S62162656 A JPS62162656 A JP S62162656A
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JP
Japan
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transparent
substrate
thin film
joining surface
thin films
Prior art date
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Application number
JP567686A
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English (en)
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JPH0575707B2 (ja
Inventor
Minoru Yoshida
稔 吉田
Koichi Nishizawa
西沢　絋一
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Nippon Sheet Glass Co Ltd
Original Assignee
Nippon Sheet Glass Co Ltd
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Publication date
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Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C27/00—Joining pieces of glass to pieces of other inorganic material; Joining glass to glass other than by fusing
    • C03C27/04—Joining glass to metal by means of an interlayer

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、一般に透明体を他の基材に対し高精度で強固
に接合する技術に関する。
［従来の技術］ 一般に、無機材料あるいは有機材料の透明体を接合する
場合、樹脂系の接着材を用いて加熱硬化させるかあるい
は紫外線硬化樹脂を用い紫外光を照射することにより接
着硬化させる方法が簡便な方法として用いられている。
［発明が解決しようとする問題点］ 上記従来の方法では、使用している間に接着材層が環境
温度サイクルの影響を受けて接合物同志が位置ずれした
り、あるいは使用限界温度に大きな制約があるといった
問題がある。また接着部の輪郭形状を精密に制御できな
い欠点がある。
また紫外線硬化型の樹脂接着材でも硬化中に収縮を生じ
、精密な位置合せを必要とする用途に使用し得ないとい
う問題があった。
［問題点を解決するための手段］ 透明体を他の基材に接合するに当り、透明体の接合面要
所に予め正周波スパッタリング、真空蒸着等の方法によ
り金属等のレーザ光吸収薄膜を設け、この薄膜に接合基
材面を密着させた後、透明体を通して上記薄膜にＹＡＧ
レーザ等の高パワーのレーザ光ビームを照射する。
［作　用コ 上記レーザ光の照射で接合面に予め設けられたレーザ光
の吸収体膜が急速に加熱されて溶融状態となり、両接合
物間に中間生成膜が形成され化学的に接着されることに
なる。
［実　施　例］ 以下本発明を図面に示した実施例に基づいて詳細に説明
する。
第１図、第２図において１は透明体、−例として先導波
路２が形成されたガラス、ＬｉＮｂｏ３゜ＬｉＴａＯ３
等からなる導波路基板であり、この透明基板１を金属製
ケーシングモジュール３の平担な表面３Ａに固着するに
当り以下のようにする。
まず透明基板１の接合面ＩＡの要所、例えば両側縁付近
に帯状にレーザ光吸収薄膜５を予め付着形成する。この
薄膜５は使用するレーザ光の波長域で充分な吸収係数を
もつ材料から成り、且っ膜厚は充分に薄いことが望まし
い。一般には晶周波スパッタリングあるいは真空蒸着で
付着形成した厚み数千オングストロームないし数十マイ
クロメートルの金属膜が好適であり、特にガラス部材同
志あるいはガラスと金属材との接合には薄膜５の祠質と
して５ＵＳ３０４ステンレス鋼が好適である。
上記のようにして薄膜５を設けた透明基板１の接合面Ｉ
Ａをケーシングモジュールの接合面３Ａに密着させ、両
者を挟持固定具等により仮固定する。
次に、透明基板１の上方から高パワーのレーザ光ビーム
６を、基板１を透過させて上記薄膜５に照射する。−例
としてＮｄ−ＹＡＧパルスレーザにより１〜１０ジユー
ル、１〜３ミリ秒のパルスを接合面より若干上部に焦点
を合せて照射する。これによりレーザ照射箇所の薄膜５
の部分が瞬時に溶融固着して両接合部材１，３が強固に
接着される。レーザ光ビーム６を薄膜５に照射する場合
、薄膜５の平面パターンが直線状であれば、パルス発振
あるいは連続発振のＹＡＧレーザのビーム６を上記薄膜
５に沿って矢符７の方向に走査させることができる。ま
た間隔をおいた適宜数の箇所で薄膜５にレーザ光ビーム
６を照射してもよい。第３図１第４図に本発明の他の実
施例を示す。本例は嘱液晶、ＥＬ１ＥＣＤなどのディス
プレイ素子の基板ガラス１０とネサガラス１１とを全周
にわたり気密に接合する場合に本発明を適用したもので
あり、両ガラス板１０．１１の各接合面に額縁帯状に例
えばステンレスを蒸着して薄膜５Ａ、５Ｂを設け、上記
両薄膜５Ａ、６Ｂを重ねて両ガラス板ｔ、ｏ、ｉｔを合
せ、ネサガラス１１の上面から接合面に焦点を合せて連
続発振またはパルス発振のＹＡＧレーザビーム６を照射
しつつ薄膜５Ａ。
５Ｂの全周に沿ってビーム６を走査子する。本発明方法
は透明無機材料の接合のみならず、レーザ照射条件およ
び薄膜材質を適当に選択することによって透明打機材料
の接合にも用いることができる。
［発明の効果コ 本発明によれば、透明な被接合物を正確に限定された所
望の箇所で接合することができ、且つ接着時に接合面の
位置ずれを生じることがなく精密なアライメント接合が
可能となるとともに、接着部領域が極めて限定されてい
る細密な部品でも不側の箇所で接合されるといった問題
が生じない。
さらに、熱の拡散距離がレーザによるスポット（一般に
０．２〜１．０ｍｍΦ）の数倍以下と小さく、熱的に弱
い部材が接合部近（にあっても何ら悪影響を与えずに接
合できるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は同実
施例で用いる透明体の接合面を示す斜視図、第３図は本
発明の他の実施例を示す平面図、第４図は同側断面図で
ある。 １．１０．１１・・・・・・被接合透明体５．５Ａ、５
Ｂ・・・・・・レーザ光吸収薄膜６・・・・・・レーザ
光ビーム　７・・・・・・走査方向第１図 ア 第２図 第３図 第４図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １）透明体を他の基材に接合するに当り、透明体の接合
    面要所に予めレーザ光吸収薄膜を設け、この薄膜に基材
    の接合面を密接させた後、前記透明体を通して前記薄膜
    にレーザ光を照射することを特徴とする透明体の接合方
    法 ２）前記透明体はガラスである特許請求の範囲第１項記
    載の透明体の接合方法 ３）前記薄膜はスパッタリング付着させた金属膜である
    特許請求の範囲第１項記載の透明体の接合方法
JP567686A 1986-01-14 1986-01-14 透明体の接合方法 Granted JPS62162656A (ja)

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JPH0575707B2 JPH0575707B2 (ja) 1993-10-21

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