JPS62160537U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62160537U JPS62160537U JP492486U JP492486U JPS62160537U JP S62160537 U JPS62160537 U JP S62160537U JP 492486 U JP492486 U JP 492486U JP 492486 U JP492486 U JP 492486U JP S62160537 U JPS62160537 U JP S62160537U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- quartz tube
- boat
- heating furnace
- tube
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 12
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 239000002699 waste material Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例の概要を示す縦断面図
、第２図は従来の縦形半導体熱処理炉の一例の概
要を示す縦断面図である。 Ｆ……加熱炉、１……炉体、２……ヒータ、８
……ボート、Ｗ……半導体基板、１０……外部石
英管、１２……内部石英管、１２ａ……ガス吸気
孔、１３……ガス通路、１５……ガス供給口、１
６……ガス供給管、１６ａ……ガス噴出孔、１７
……ガス排出口。
、第２図は従来の縦形半導体熱処理炉の一例の概
要を示す縦断面図である。 Ｆ……加熱炉、１……炉体、２……ヒータ、８
……ボート、Ｗ……半導体基板、１０……外部石
英管、１２……内部石英管、１２ａ……ガス吸気
孔、１３……ガス通路、１５……ガス供給口、１
６……ガス供給管、１６ａ……ガス噴出孔、１７
……ガス排出口。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 下端側が開放された炉体の内壁にヒータを備え
た縦形の加熱炉と、熱処理すべき複数の半導体基
板を上下に所定の間隔をおいて重ねて保持するボ
ートと、前記加熱炉と前記ボートとの垂直方向の
関係位置を相対的に変化させて前記ボートを前記
加熱炉の下方から該加熱炉内に出し入れする駆動
機構とを備え、前記ボートが挿入された前記加熱
炉内に所要のガス又は空気を供給して廃気を炉外
に排出するようにした縦形半導体熱処理装置にお
いて、 上端側が閉鎖されていて前記炉体の内側に配設
された外部石英管と、 該外部石英管よりも小径で側壁の一方の所定部
分に縦方向に並設された複数のガス吸気孔を備え
下端側が開放されて前記外部石英管の内側に配設
され下端側より前記ボートが管内に挿入される内
部石英管と、 前記両石英管の管壁間に形成されて前記ガス吸
気孔からの吸出ガスを前記管壁に沿つて流下させ
るガス通路と、 該ガス通路の下端側に設けられたガス排出口と
、 前記内部石英管内に挿入された前記ボートを間
にして該内部石英管の前記ガス吸気孔が設けられ
た側壁部分に対向するように該内部石英管内に縦
向きに配設されたガス供給管とを具備し、 該ガス供給管には前記ボート上の各半導体基板
の面に平行に前記ガス又は空気を流すように所定
の間隔で複数のガス噴出孔が並設されていること
を特徴とする縦形半導体熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986004924U JP2513315Y2 (ja) | 1986-01-17 | 1986-01-17 | 縦形半導体熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986004924U JP2513315Y2 (ja) | 1986-01-17 | 1986-01-17 | 縦形半導体熱処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62160537U true JPS62160537U (ja) | 1987-10-13 |
| JP2513315Y2 JP2513315Y2 (ja) | 1996-10-02 |
Family
ID=30786037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986004924U Expired - Lifetime JP2513315Y2 (ja) | 1986-01-17 | 1986-01-17 | 縦形半導体熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2513315Y2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01134911A (ja) * | 1987-11-20 | 1989-05-26 | Tel Sagami Ltd | 縦形気相成長装置 |
| JPH0261068A (ja) * | 1988-08-26 | 1990-03-01 | Tel Sagami Ltd | 縦型熱処理装置 |
| JPH0297014A (ja) * | 1988-10-03 | 1990-04-09 | Tel Sagami Ltd | 熱処理装置及びそのチューブ取付方法並びにそれに用いる治具 |
| CN113957540A (zh) * | 2021-11-01 | 2022-01-21 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种适用于碲镉汞材料的热处理装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014090212A (ja) * | 2014-02-01 | 2014-05-15 | Tokyo Electron Ltd | 処理容器構造及び処理装置 |
| JP6368282B2 (ja) * | 2015-06-29 | 2018-08-01 | クアーズテック株式会社 | ウエハボート及びその製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6192049U (ja) * | 1984-11-21 | 1986-06-14 |
-
1986
- 1986-01-17 JP JP1986004924U patent/JP2513315Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6192049U (ja) * | 1984-11-21 | 1986-06-14 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01134911A (ja) * | 1987-11-20 | 1989-05-26 | Tel Sagami Ltd | 縦形気相成長装置 |
| JPH0261068A (ja) * | 1988-08-26 | 1990-03-01 | Tel Sagami Ltd | 縦型熱処理装置 |
| JPH0297014A (ja) * | 1988-10-03 | 1990-04-09 | Tel Sagami Ltd | 熱処理装置及びそのチューブ取付方法並びにそれに用いる治具 |
| CN113957540A (zh) * | 2021-11-01 | 2022-01-21 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种适用于碲镉汞材料的热处理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2513315Y2 (ja) | 1996-10-02 |
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