JPS62159438A - Heat block for die bonder - Google Patents
Heat block for die bonderInfo
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- JPS62159438A JPS62159438A JP110086A JP110086A JPS62159438A JP S62159438 A JPS62159438 A JP S62159438A JP 110086 A JP110086 A JP 110086A JP 110086 A JP110086 A JP 110086A JP S62159438 A JPS62159438 A JP S62159438A
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- lead frame
- heat block
- die bonder
- die
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- Pending
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- Die Bonding (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明はダイボンダー用ヒートブロックに関スる。更に
詳細には、本発明はリードフレームとの接触面に、リー
ドフレームのタブの位置に対応して、上面が平担な突起
部を有するダイボンダー用ヒートブロックに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application] The present invention relates to a heat block for a die bonder. More specifically, the present invention relates to a heat block for a die bonder, which has a protrusion with a flat upper surface on the contact surface with the lead frame, corresponding to the position of the tab of the lead frame.
[従来の技術] トランジスタやICのベレットを別名チップ。[Conventional technology] Another name for a transistor or IC pellet is a chip.
またはダイと呼ぶ。メサやブレーナのような拡散型系統
のトランジスタでは普通ダイ自体がコレクタなので、ダ
イをコレクタリードの上またはステムの上に貼り付ける
ことでコレクタに接続できる。Or call it Dai. In diffused-type transistors such as mesa and brainer transistors, the die itself is usually the collector, so you can connect it to the collector by attaching the die to the collector lead or stem.
これが、いわゆる、ダイボンディングである。ダイボン
ディングの方法には共晶合金法、導電性接着剤法、ハン
ダ法およびガラス法などがある。これらの方法に共通す
ることは、いずれもダイボンディング作業が200℃か
ら600℃程度の高温で実施されることである。このダ
イボンディング作業にはダイボンダー用ヒートブロック
が従来から使用されてきた。This is so-called die bonding. Die bonding methods include a eutectic alloy method, a conductive adhesive method, a soldering method, and a glass method. What these methods have in common is that the die bonding work is performed at a high temperature of about 200°C to 600°C. Heat blocks for die bonders have traditionally been used for this die bonding work.
[発明が解決しようとする問題点]
第2図に示されるように、ダイボンダー用ヒートブロッ
ク10は上下動可能な軸部14により上F運動すること
ができる。このダイボンダー用ヒートブロック10には
導体16により給電されるカートリッジヒータ18が配
設されている。リードフレーム20は図示された左方向
から右方向に移送される。ヒートブロック10はリード
フレーム20がピッチ送りされる毎に上下運動を行い、
上死点のときリードフレーム20と接触しヒートブロッ
クの熱をリードフレームへ伝導し、リードフレームを加
熱する。[Problems to be Solved by the Invention] As shown in FIG. 2, the die bonder heat block 10 can be moved up and down by the shaft portion 14 that is movable up and down. A cartridge heater 18 that is powered by a conductor 16 is disposed in the die bonder heat block 10 . The lead frame 20 is moved from the left direction to the right direction in the drawing. The heat block 10 moves up and down every time the lead frame 20 is pitch-fed,
At the top dead center, the heat block contacts the lead frame 20, conducts the heat of the heat block to the lead frame, and heats the lead frame.
しかし、従来のダイボンダー用ヒートブロック10はリ
ードフレーム20との接触加熱面12が平面構造に形成
されている。このため、リードフレーム20はタブ22
およびリード24の他その全面がダイボンダー用ヒート
ブロックの加熱面12と接触する。その結果、リードフ
レームの接触部(特にリード部分24)が変色を起こす
ことがある。このような変色はワイヤボンディング時す
ぐにワイヤがリードから離れてしまう原因ともなり、次
工程で様々な悪影響を及ぼし、半導体素子の製造歩留り
が低下するばかりか、ICの信頼性をも低下させる。However, in the conventional heat block 10 for a die bonder, the contact heating surface 12 with the lead frame 20 is formed in a planar structure. For this reason, the lead frame 20 has tabs 22
The other entire surfaces of the leads 24 are in contact with the heating surface 12 of the die bonder heat block. As a result, the contact portion of the lead frame (particularly the lead portion 24) may become discolored. Such discoloration causes the wire to separate from the lead immediately during wire bonding, which has various adverse effects on the next process, reducing not only the manufacturing yield of semiconductor devices but also the reliability of ICs.
[発明の目的]
従って、本発明の目的はリードフレームのり−ド部分な
どに変色を起こさせないダイボンダー用ヒートブロック
を提供することである。[Object of the Invention] Therefore, an object of the present invention is to provide a heat block for a die bonder that does not cause discoloration of the lead frame adhesive portion.
[問題点を解決するための手段]
この問題点を解決するための手段として、本発明は、ダ
イボンダー用ヒートブロックのリードフレームとの接触
面に、リードフレームのタブの位置に対応して、上面が
平担な突起部を配設したことを特徴とするダイボンダー
用ヒートブロックを提供する。[Means for Solving the Problem] As a means for solving this problem, the present invention provides a heat block for a die bonder that has an upper surface on the contact surface with the lead frame, corresponding to the position of the tab of the lead frame. To provide a heat block for a die bonder, characterized in that a flat protrusion is provided.
[作用]
前記のように、本発明のダイボンダー用ヒートブロック
によ−れば、リードフレームのタブの位置に対応する箇
所だけでしかリードフレームと接触しないので、リード
部分の変色は効果的に防止できる。その結果、ダイボン
ディングの後の工程において不都合な事態の発生する可
能性が少なくなり、スループットが向上する。また、半
導体素子の製造歩留り及びICの信頼性も向上する。[Function] As described above, according to the heat block for a die bonder of the present invention, discoloration of the lead portion is effectively prevented because it comes into contact with the lead frame only at the location corresponding to the position of the tab on the lead frame. can. As a result, the possibility of an inconvenient situation occurring in a process after die bonding is reduced, and throughput is improved. Furthermore, the manufacturing yield of semiconductor devices and the reliability of ICs are also improved.
[実施例コ
以下、図面を参照しながら本発明の一実施例を史に詳細
に説明する。[Example 1] Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
第1図は本発明のダイボンダー用ヒートブロックのリー
ドフレームとの接触加熱面の実施例を示す部分斜視図で
ある。FIG. 1 is a partial perspective view showing an embodiment of the heating surface in contact with a lead frame of a heat block for a die bonder according to the present invention.
第1図(a)および(b)に示されるように、本発明の
ダイボンダー用ヒートブロック1のリードフレームとの
接触面には、リードフレームのタブの位置に対応して、
上面が平担な突起部3aまたは3bが配設されている。As shown in FIGS. 1(a) and 1(b), the contact surface with the lead frame of the heat block 1 for a die bonder of the present invention has a
A protrusion 3a or 3b having a flat upper surface is provided.
従って、リードフレームはタブの部分でしかダイボンダ
ー用ヒートブロックと接触しない。その結果、リードフ
レームはタブの部分が優先的に加熱されることとなる。Therefore, the lead frame contacts the die bonder heat block only at the tab portion. As a result, the tab portion of the lead frame is heated preferentially.
ダイボンダー用ヒートブロックのリードフレームとの接
触面に配設される上面が平担な突起部の広さは、第1図
(a)に示されるように、リードフレームのタブの広さ
と略同一とすることもできるし、あるいは、第1図(b
)に示されるように、リードフレームのタブおよび該リ
ードフレームの側端部26(第2図参照)まで接触する
広さとすることもできる。As shown in Fig. 1(a), the width of the protrusion with a flat upper surface disposed on the contact surface with the lead frame of the heat block for die bonder is approximately the same as the width of the tab of the lead frame. or, alternatively, as shown in Figure 1 (b
), it may be wide enough to contact the tab of the lead frame and the side edge 26 (see FIG. 2) of the lead frame.
本発明のダイボンダー用ヒートプロ、ツクはリードフレ
ームとの接触加熱面に上面が平担な突起部が配設されて
いることを除いて、その他の構成および動作は第2図に
示されるような従来のダイボンダー用ヒートブロックの
構成および動作とほぼ同一とすることができる。The heat processor for a die bonder of the present invention has a protrusion with a flat upper surface on the heating surface in contact with the lead frame, but the other structure and operation are similar to those of the conventional heat processor as shown in FIG. The structure and operation can be almost the same as that of the heat block for a die bonder.
[発明の効果]
以上説明したように、本発明のダイボンダー用ヒートブ
ロックによれば、リードフレームのタブの位置に対応す
る箇所だけでしかリードフレームと接触しないので、リ
ード部の変色は効果的に防止できる。その結果、ダイボ
ンディングの後の工程において不都合の発生する可能性
が少なくなり、スループットが向」−する。また、半導
体素子の製造歩留り及びICの信頼性も向上する。[Effects of the Invention] As explained above, according to the heat block for a die bonder of the present invention, discoloration of the lead portion can be effectively prevented because the heat block for a die bonder of the present invention comes into contact with the lead frame only at the locations corresponding to the positions of the tabs on the lead frame. It can be prevented. As a result, the possibility of inconvenience occurring in the process after die bonding is reduced, and throughput is improved. Furthermore, the manufacturing yield of semiconductor devices and the reliability of ICs are also improved.
第1図は本発明のダイボンダー用ヒートブロツりのリー
ドフレームとの接触面の実施例を示す部分斜視図である
。
第2図は従来のダイボンダー用ヒートブロックの概念的
斜視図である。FIG. 1 is a partial perspective view showing an embodiment of the contact surface of a heat block for a die bonder according to the present invention with a lead frame. FIG. 2 is a conceptual perspective view of a conventional heat block for a die bonder.
Claims (3)
との接触面に、リードフレームのタブの位置に対応して
、上面が平担な突起部を配設したことを特徴とするダイ
ボンダー用ヒートブロック。(1) A heat block for a die bonder, characterized in that a protrusion with a flat upper surface is provided on the contact surface of the heat block with the lead frame, corresponding to the position of the tab of the lead frame.
タブの広さと略同一であることを特徴とする特許請求の
範囲第1項に記載のダイボンダー用ヒートブロック。(2) The heat block for a die bonder according to claim 1, wherein the width of the flat upper surface of the protrusion is approximately the same as the width of the tab of the lead frame.
タブおよび該リードフレームの側端部まで接触する広さ
であることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の
ダイボンダー用ヒートブロック。(3) The die bonder heat according to claim 1, wherein the flat upper surface of the protrusion is wide enough to contact the tab of the lead frame and the side end of the lead frame. block.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP110086A JPS62159438A (en) | 1986-01-07 | 1986-01-07 | Heat block for die bonder |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP110086A JPS62159438A (en) | 1986-01-07 | 1986-01-07 | Heat block for die bonder |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62159438A true JPS62159438A (en) | 1987-07-15 |
Family
ID=11492061
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP110086A Pending JPS62159438A (en) | 1986-01-07 | 1986-01-07 | Heat block for die bonder |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62159438A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020175417A (en) * | 2019-04-18 | 2020-10-29 | 株式会社デンソー | Soldering device |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5029793A (en) * | 1973-07-21 | 1975-03-25 |
-
1986
- 1986-01-07 JP JP110086A patent/JPS62159438A/en active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5029793A (en) * | 1973-07-21 | 1975-03-25 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020175417A (en) * | 2019-04-18 | 2020-10-29 | 株式会社デンソー | Soldering device |
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