JPS62152208U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62152208U JPS62152208U JP3897286U JP3897286U JPS62152208U JP S62152208 U JPS62152208 U JP S62152208U JP 3897286 U JP3897286 U JP 3897286U JP 3897286 U JP3897286 U JP 3897286U JP S62152208 U JPS62152208 U JP S62152208U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- position detection
- optical
- optical position
- convex lens
- optical axis
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Description
第１図は本考案に係る光位置検出器の一実施例
を示す概略構成図、第２図はこの光位置検出器に
用いる圧電アクチユエータを駆動する圧電アクチ
ユエータ駆動回路、第３図はこの光位置検出器に
用いる光位置検出素子の中心に結像する反射光線
を示す正面図、第４図は従来の光位置検出器を示
す概略構成図である。 １…レーザ発振器、２…凸レンズ、３…被対象
物、４…光位置検出素子、５…圧電アクチユエー
タ、４ａ，４ｂ…受光面。
を示す概略構成図、第２図はこの光位置検出器に
用いる圧電アクチユエータを駆動する圧電アクチ
ユエータ駆動回路、第３図はこの光位置検出器に
用いる光位置検出素子の中心に結像する反射光線
を示す正面図、第４図は従来の光位置検出器を示
す概略構成図である。 １…レーザ発振器、２…凸レンズ、３…被対象
物、４…光位置検出素子、５…圧電アクチユエー
タ、４ａ，４ｂ…受光面。
Claims (1)
- 被対象物に照射される光位置検出光の反射光を
凸レンズを介して受光すると共にこの凸レンズの
光軸上に一体的に設けられた光位置検出素子と、
この光位置検出素子における前記反射光の受光位
置に基づいて前記凸レンズの光軸を前記光位置検
出光の反射中心に合致させる光軸移動手段とを備
えてなる光位置検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3897286U JPS62152208U (ja) | 1986-03-19 | 1986-03-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3897286U JPS62152208U (ja) | 1986-03-19 | 1986-03-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62152208U true JPS62152208U (ja) | 1987-09-26 |
Family
ID=30851709
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3897286U Pending JPS62152208U (ja) | 1986-03-19 | 1986-03-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62152208U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5319053A (en) * | 1976-08-06 | 1978-02-21 | Toyoda Chuo Kenkyusho Kk | Hollow coordinate measuring apparatus |
-
1986
- 1986-03-19 JP JP3897286U patent/JPS62152208U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5319053A (en) * | 1976-08-06 | 1978-02-21 | Toyoda Chuo Kenkyusho Kk | Hollow coordinate measuring apparatus |