JPS63105007U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63105007U JPS63105007U JP20277786U JP20277786U JPS63105007U JP S63105007 U JPS63105007 U JP S63105007U JP 20277786 U JP20277786 U JP 20277786U JP 20277786 U JP20277786 U JP 20277786U JP S63105007 U JPS63105007 U JP S63105007U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement surface
- photoelectric element
- reflected beam
- lens
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案の第１実施例の光学系を示す正
面図、第２図は光電素子の受光面の一状態を示す
平面図、第３図、第４図は本考案の他の実施例を
示す正面図である。 １…光源、３ａ…測定面、４，１０，１１…レ
ンズ、５…光電素子、６…マーク、Ｍ…出射ビー
ム、Ｎ…反射ビーム。
面図、第２図は光電素子の受光面の一状態を示す
平面図、第３図、第４図は本考案の他の実施例を
示す正面図である。 １…光源、３ａ…測定面、４，１０，１１…レ
ンズ、５…光電素子、６…マーク、Ｍ…出射ビー
ム、Ｎ…反射ビーム。
Claims (1)
- 光源からの出射ビームを測定面に入射させる方
向に集光させるレンズと、測定面に形成した位置
決め用のマーク部分を照射した後の反射ビームの
光学的変化を検出する光電素子とを具備し、前記
反射ビームを前記測定面と光電素子との間にて集
束させるようにしたことを特徴とする位置検出光
学装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20277786U JPS63105007U (ja) | 1986-12-24 | 1986-12-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20277786U JPS63105007U (ja) | 1986-12-24 | 1986-12-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63105007U true JPS63105007U (ja) | 1988-07-07 |
Family
ID=31167478
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20277786U Pending JPS63105007U (ja) | 1986-12-24 | 1986-12-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63105007U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010117353A (ja) * | 2008-11-14 | 2010-05-27 | Berkin Bv | コリオリ型流量センサシステム |
-
1986
- 1986-12-24 JP JP20277786U patent/JPS63105007U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010117353A (ja) * | 2008-11-14 | 2010-05-27 | Berkin Bv | コリオリ型流量センサシステム |