JPS63155055U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63155055U JPS63155055U JP4692087U JP4692087U JPS63155055U JP S63155055 U JPS63155055 U JP S63155055U JP 4692087 U JP4692087 U JP 4692087U JP 4692087 U JP4692087 U JP 4692087U JP S63155055 U JPS63155055 U JP S63155055U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- incident
- light source
- laser light
- laser
- polarizing filter
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す構成図、第
２図は他の実施例を示す構成図、第３図は従来例
を示す構成図である。 ８…基板、９…レーザ光、１０…レーザ光源、
１１…光検出器、１２…偏光フイルタ、１５ａ…
偏光フイルタ部。
２図は他の実施例を示す構成図、第３図は従来例
を示す構成図である。 ８…基板、９…レーザ光、１０…レーザ光源、
１１…光検出器、１２…偏光フイルタ、１５ａ…
偏光フイルタ部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 平担且つ光反射性を有する基板表面に対して斜
め方向からレーザ光を入射させる位置に設けられ
たレーザ光源と、 上記レーザ光による上記基板表面の入射位置上
部に設けられた光検出器と、 上記レーザ光源から上記入射位置を介して上記
光検出器に至る迄の光路上に設けられた入射光の
Ｓ成分を吸収する偏光フイルタとを有することを
特徴とする表面異物検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4692087U JPS63155055U (ja) | 1987-03-31 | 1987-03-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4692087U JPS63155055U (ja) | 1987-03-31 | 1987-03-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63155055U true JPS63155055U (ja) | 1988-10-12 |
Family
ID=30867033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4692087U Pending JPS63155055U (ja) | 1987-03-31 | 1987-03-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63155055U (ja) |
-
1987
- 1987-03-31 JP JP4692087U patent/JPS63155055U/ja active Pending