JPS62152133A - リ−ド位置決め方法 - Google Patents
リ−ド位置決め方法Info
- Publication number
- JPS62152133A JPS62152133A JP29218985A JP29218985A JPS62152133A JP S62152133 A JPS62152133 A JP S62152133A JP 29218985 A JP29218985 A JP 29218985A JP 29218985 A JP29218985 A JP 29218985A JP S62152133 A JPS62152133 A JP S62152133A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- leads
- lead
- positions
- distance
- interval
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体の製造において、半導体素子にリード
のボンディングの際に、リードの正規の間隔と実際の間
隔の間の誤差を考慮してリードの位置を決定する方法に
関するものである。
のボンディングの際に、リードの正規の間隔と実際の間
隔の間の誤差を考慮してリードの位置を決定する方法に
関するものである。
半導体製造工程の一つである半導体素子の電極とパッケ
ージ上のリードとを接続するワイヤボンディング作業を
行う場合、作業に先立ってそれぞれの位置を正確に検出
しておく必要がある。
ージ上のリードとを接続するワイヤボンディング作業を
行う場合、作業に先立ってそれぞれの位置を正確に検出
しておく必要がある。
そのため、通常、モニターカメラを有するパターン認識
装置等から成る認識システムによってリードの位置を自
動的に検出することが行われている。
装置等から成る認識システムによってリードの位置を自
動的に検出することが行われている。
従来のリード位置認識作業において、なんらかの理由で
リードの位置が認識不可能または認識不良であったり、
或いはスキップ等により認識に失敗することがある。
リードの位置が認識不可能または認識不良であったり、
或いはスキップ等により認識に失敗することがある。
そのような場合、初めから認識作業をやりなおしていて
は、作業が停滞して生産性に悪影響を及ぼすことになる
。
は、作業が停滞して生産性に悪影響を及ぼすことになる
。
本発明は、従来の方法の上記の問題点を解決することを
目的とするものである。
目的とするものである。
本発明は、検出すべき一連のリードの内の認識し得た二
つのリードの間隔測定値に基づいて、認識できなかった
リードの位置を推定するようにしたものである。即ち、
本発明は、パッケージ上のリードが一定の法則に従って
配置され、若しその配置に誤差が生ずることがあっても
、その誤差も成る一定の法則に従うものであることに鑑
み、認識された二個或いは数個のリードの位置に基づい
て全体の配置を推定する。
つのリードの間隔測定値に基づいて、認識できなかった
リードの位置を推定するようにしたものである。即ち、
本発明は、パッケージ上のリードが一定の法則に従って
配置され、若しその配置に誤差が生ずることがあっても
、その誤差も成る一定の法則に従うものであることに鑑
み、認識された二個或いは数個のリードの位置に基づい
て全体の配置を推定する。
すなわち、本発明は、上記問題点を解決するため、パタ
ーン認識装置により、一連の複数個のリードのうちの少
なくとも二つのリード間の間隔を測定し、該受なくとも
二つのリード間の間隔の基準値と前記測定値との比を求
め、その比の値により、他のリードの位置を比例計算に
より修正して実際の前記他のリードの位置を決めること
を特徴とするリード位置決め方法を提供せんとするもの
でこれにより、測定をやり直すことなしに、実用上差し
支えない方法でリードの位置決定し、ワイヤボンディン
グ作業を遅滞無く遂行することができる。
ーン認識装置により、一連の複数個のリードのうちの少
なくとも二つのリード間の間隔を測定し、該受なくとも
二つのリード間の間隔の基準値と前記測定値との比を求
め、その比の値により、他のリードの位置を比例計算に
より修正して実際の前記他のリードの位置を決めること
を特徴とするリード位置決め方法を提供せんとするもの
でこれにより、測定をやり直すことなしに、実用上差し
支えない方法でリードの位置決定し、ワイヤボンディン
グ作業を遅滞無く遂行することができる。
〔実施例〕
以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図に示すように、正規の状態では、ｎ個のリードｎ
＝ １ 、 ｎ ＝ ２ 、 ｎ ＝ ３ 、
−−−一−−，ｎ −ｎは、全体でｌの間にそれぞれ
の間隔１．．１２゜ｇ、、ｘ、、 −−−−−−・−
を以て配置されている。
＝ １ 、 ｎ ＝ ２ 、 ｎ ＝ ３ 、
−−−一−−，ｎ −ｎは、全体でｌの間にそれぞれ
の間隔１．．１２゜ｇ、、ｘ、、 −−−−−−・−
を以て配置されている。
これがモニタによって測定されたとき例えば最初と最後
のリードが検出されその間隔がｌ＋Δｌであったとする
。すると、上記のように各リードはそれぞれ無差別に配
置されてはおらず、ある一定の法則に従って配置されて
いるので、上記の誤差Δｌを全体に按分しても格別不具
合の生ずることはない。
のリードが検出されその間隔がｌ＋Δｌであったとする
。すると、上記のように各リードはそれぞれ無差別に配
置されてはおらず、ある一定の法則に従って配置されて
いるので、上記の誤差Δｌを全体に按分しても格別不具
合の生ずることはない。
ｌ十Δｌ
そこで ｌに□１１
！＋Δ１
１ 、 ＝ −Ａ′。
ｌ ＋Δ ｌ
れ ＝ −７！。
となる。
従って、リード列の先端のものと終端のものとを測定す
れば十分である。
れば十分である。
なお、上記の実施例では先端および後端の２個のり一層
を選択したが、先端および後端以外の２個ないし数個の
リードを選択しても差し支えない。
を選択したが、先端および後端以外の２個ないし数個の
リードを選択しても差し支えない。
すなわち、連続しているリードパターンにおいて、ｎ個
のリードパターンの検出ができなかった場合、検出可能
なリードまで次々に検出をおこない、検出可能なリード
から座標位置を求める。検出不可能のリードの前のリー
ドの座標をフィードバックし、この２点間の座標か位置
と正規に入力されている座標との相互関係から中間の検
出不可能なリード座標またはスキップしたリードの座標
、 を求める。またリードの数を２個以上のｎ個とする
と一層正確な間隔を得ることができる。
のリードパターンの検出ができなかった場合、検出可能
なリードまで次々に検出をおこない、検出可能なリード
から座標位置を求める。検出不可能のリードの前のリー
ドの座標をフィードバックし、この２点間の座標か位置
と正規に入力されている座標との相互関係から中間の検
出不可能なリード座標またはスキップしたリードの座標
、 を求める。またリードの数を２個以上のｎ個とする
と一層正確な間隔を得ることができる。
本発明によれば、リード列の内の少なくとも２個の位置
を正確に測定しさえすれば、他のリードの位置を認識し
損なっても実用上差し支えない範囲で推定し、ｒＲ後の
作業を迅速に実施することができるので、生産性の向上
寄与するところが大きい物と言うことができる。
を正確に測定しさえすれば、他のリードの位置を認識し
損なっても実用上差し支えない範囲で推定し、ｒＲ後の
作業を迅速に実施することができるので、生産性の向上
寄与するところが大きい物と言うことができる。
第１図はリードの基準座標、第２図は同じく推定座標を
求める場合のリードの座標を示す平面図である。
求める場合のリードの座標を示す平面図である。
Claims (1)
- １、パターン認識装置により、一連の複数個のリードの
うちの少なくとも二つのリード間の間隔を測定し、該少
なくとも二つのリード間の間隔の基準値と前記測定値と
の比を求め、その比の値により、他のリードの位置を比
例計算により修正して実際の前記他のリードの位置を決
めることを特徴とするリード位置決め方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29218985A JPH0239096B2 (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | Riidoichigimehoho |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29218985A JPH0239096B2 (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | Riidoichigimehoho |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62152133A true JPS62152133A (ja) | 1987-07-07 |
| JPH0239096B2 JPH0239096B2 (ja) | 1990-09-04 |
Family
ID=17778702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29218985A Expired - Lifetime JPH0239096B2 (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | Riidoichigimehoho |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0239096B2 (ja) |
-
1985
- 1985-12-26 JP JP29218985A patent/JPH0239096B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0239096B2 (ja) | 1990-09-04 |
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