JPS621430A

JPS621430A - 室内の清浄化方法

Info

Publication number: JPS621430A
Application number: JP13911285A
Authority: JP
Inventors: Masahiko Izumi; 泉　正彦
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1985-06-27
Filing date: 1985-06-27
Publication date: 1987-01-07

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、Ｌ８１．超ＬＳＩ製造工場、生物製剤製造工
場１手術室、精密機械の洗滌工場、無菌食品製造工場や
そこにおかれた物品、更には衣服を着た作業員、病人等
を清浄化する方法に関するものである。

更に詳細には、超ＬＳＩ製造工場、無菌食品製造工場、
又はこれら工場の就業前の作業員のいるエアーシャワー
ルーム、重病人のいる病室等に実質的に０．５ミクロン
以下のミストを１立方フイ一ト当！＋２００万個以上有
する空気を送って物体を清浄化する方法に関するもので
ある。

一般に、病院、薬品製造工場１食品製造工場。

研究所、実験室等では塵埃や微生物を含まない清浄気体
が必翠であり、そのためにはエアーフィルターを用いて
清浄化した空気を送気したシ、出入口部にエアーカーテ
ンを設置したシする方策が採られている。しかしながら
このような方法では充分に清浄化された気体を得ること
はできないし。

エアーシャワールームを利用しても充分に目的を達成す
ることはできない。

本発明者は、物体の清浄化について銃猟研究したところ
、水滴が小さくなるほど表面張力が弱くなり、水滴が０
．５ミクロン以下のミストになると強力に微小物体に付
着し、しかもこのミストを１立方フイート当９２００万
（面取上含有させた気体を物体にあてれば、そこに存在
する微細な塵埃はもちろんのこと、細菌、糸状菌、胞子
類はおろかウィルスまでもこれらを付着して持ち去シ、
清浄化できることを知ったのである。そして、このよう
な微細水滴を浮遊せしめた気体雰囲気では、該雰囲気を
清浄化できるのみでなく、全く予期せざることに、水滴
が存在するにもかかわらず、実質的に０．５ミクロン以
下のミストであればいかにその数が多くても、物体が濡
れるという現象が生じないという顕著な効果が奏される
ことをつきとめた。そして更に検討した結果、微細水滴
浮遊気体雰囲気中に通常の気体を通したところ、該通常
気体が超クリーンな状態にまで高度に清浄化され、この
ように高度の清浄化された気体をそれぞれの部屋、部署
、その他関係個所に直接適用できることも発見した。そ
して、これらの新知見を基礎とし、更に、この微細水滴
浮遊気体を製造するための工業的に特に有効な方法につ
いて各種の実験。

研究をくり返した結果１本発明の完成に到ったものであ
る。

すなわち１本発明は、実質的に０．５ミクロン以下のミ
ストを多量浮遊せしめた気体で物体を処理することを特
徴とする室内の清浄化方法である。

本発明において用いる実質的に０．５ミクロン以下のミ
ストを多量浮遊せしめた空気は１次に説明する装置によ
って製造することができる。不活性気体が必要な場合は
空気の代りに窒素ガスを用いればよいことは勿論である
。

本発明は水噴射器の中心部の噴射管に多数設けられた直
径０．２〜８罵罵、好ましくは０．５〜３朋のノズルか
らゲージ圧０．３〜５．５／ｃｇ／ｍ、好ましくは０，
５〜２．５　ｋｇ／ｃｙｒｔで水を噴射させ、ノズルか
ら１０〜１５０ｃｍはなれた側壁に衝突させてきわめて
多数のミストを発生させ、ここに空気を送って循環させ
、空気にきわめて多数のミストを含有させるとともに、
空気の循環による遠心作用によって実質的に０．５ミク
ロンより大きいものは分離し。

０．５ミクロン以下のミストを１立方フイ一ト当シ２０
０万個以上、好ましくは５００万個以上、より好ましく
は１０００万個以上含有する空気を得。

この空気を室内に送り、室内を清浄化することを特徴と
する室内の清浄化方法である。

第１図、第２図及び第３図は、効率よく、しかも温度コ
ントロールしたミスト浮遊空気を製造するための装置で
ある。

ここでは冷却したミスト浮遊空気を製造する場合を例に
とって説明するが、以下に述べる冷却関連システムを加
温したシステムに代えれば加温されたミスト浮遊空気も
自由に製造することができる。

水噴射器４Ｄには、その円筒部４１上部に空気人口４２
が接線方向に設けられている。円筒部４１の中央には上
方から出口管４３が下方に伸長して設けられ、出口管４
３にはそれと同軸に噴射管４４が出口管４５を囲んで配
置されＣいる。噴射管４４にはノズル４５が多数設けら
れている。

・１氷憧村≦４０の円筒部４１内には、冷凍装置の蒸発
管４７が配置されている。蒸発’！！Ｆ４７とノズル４
５との位置関係は、相互に完全にずらしてもよいし、ま
た少しずらしてもよ＜、また、噴射ノズル４５からの水
が蒸発管４７に対して垂直に噴霧又は噴射状態で吹き付
けられるように配置されている。ノズルから側壁までは
１０〜１５０ｃｍはなして設けられる。・−水噴射器の
円錐部５１の下端部には、濾過装置４日、水タンク４９
．ポンプ５０が順次設けられている。従って、冷水は、
矢印Ｂの方向、すなわち、ポンプ５０．循環管４６゜噴
射管４４、水噴射器の円筒部４１、円錐部５１゜濾過装
置４Ｂ、水タンク４９．ポンプ５ｏの順序で循環させら
れる。冷媒、特に高温冷媒（１℃〜−５℃）は、契印Ｃ
の方向に蒸発管４７内を循環する。空気は、矢印Ａの方
向にしたがって入口４２を通って水噴射器内に送り込ま
れ、水噴射器内で微細水滴を含有すると同時に冷却され
て目的とする空気となシ出ロ管４６を通ってそれぞれの
目的に使用される。噴射ｆ４４に設けたノズル４５から
ゲージ圧０．３〜５．５　ｋｇ／ｃｒｌｔ、好ましくは
０．５〜２．５に９／ｃｔｌｌで水を噴射させ、ノズル
から１０〜１５０αはなれた冷凍装置の蒸発管４７及び
／又は円筒部４１の側壁に衝突せしめると（Ｅ）、ミス
トが発生しくそれとともに、蒸発管４７と衝突した水流
はこの管４７内を通る冷媒と熱交換を行い、冷却される
）、且つ水滴は冷却される。このような雰囲気中空気を
矢印Ａにしたがって通過せしめると。

この空気は微細水滴を含有するとともに冷却された水滴
と熱交換を行ってそれ自体は冷却され、０．５ミクロン
以下のミストを１立方フィート当り２００万個以上、好
ましくは５００万個以上、より好ましくは１０００万個
以上含有する空気とするものである。この際、空気の循
環による遠心作用により実質的に０．５ミクロンより大
きいものは分離されている。

第４図は、本発明方法を６４キロピッｌ−ＲＡＭ量産工
場に対して実際に適用するためのトータルシステムを示
した模式図である。上述したところにしたがってパ水１
ｍ’Ａ４ｏで製造されたミスト浮遊空気は、矢印人にし
たがって除滴サイクロン５０に送シ込まれる。すなわち
、４０から出てきた気体は、除滴サイクロン５０の側壁
に切線方向に設けた入口からサイクロン内部に入シ、こ
の中を循環している間に余分の木簡、大きな水滴を除去
して０．５μ以下のミスト９０％以上浮遊せしめた気体
に調製して、サイクロン５０の中央部に設けた出口管か
らこれを取シ出す。

このようにして取シ出されたミスト浮遊空気は。

実質的に０．５ミクロンより大きいものを除くため　　
　　゛にフィルターＦを有するパイプＰを通ってエアー
シャワールーム６０に送られて、更には隣接する超クリ
ーンルーム７０で作業をする人々の洗滌を行う。また上
記ミスト浮遊空気の一部は、直接超クリーンルーム７０
に送られて、室内に塵埃を含まない清浄化した空気を送
入するとともにＬＳＩに用いるシリコン板の洗滌にもこ
れを使用する。

超クリーンルーム７０で使用された空気は、そこから取
シ出し、パイプＰ、ファンＦを介して’！−７３４１４
−％先旦へ戻し、このサイクルをくシ返すのである。こ
の方法によれば、超クリーンルーム内には、１　ｆｅｅ
ｔ”の空間に０．５μ以上の塵はわずか１個未満しかな
いという超クリーンな状態に保たれていることが判明し
た。ちなみに１通常の工場では数万個の塵埃が浮遊して
お沙、このことからも、本発明による方法がいかにすぐ
れているかが判るはずである。

また、第５図及び第６図に示される除滴サイクロン５０
の次に示す熱交換器１００を設け、これにミスト浮遊気
体を通すことによって、空気を最適温度に上昇させると
ともにミストをより小きなものとし効力を増大させるこ
とができるものである。熱交換器１００は次に説明され
る。即ち、缶体１０１の中心部には空気排出管１０５を
上下方向に設けてあり、管体１０１外に設けた空気導管
１０５′と連通ずる。従って、空気取入管１０４よりの
空気は缶体１０１内を旋回しながら下方に達し空気排出
管１０５の下部より上昇して矢印方向に移動することに
なる。又管体１０１の内部には外側配管１０６及び内側
配管１［）７を設けてあり、各配管１０６，１０７の下
端は缶体１０１外に設けたポンプ１０Ｂと連通し、温水
又は冷水を流通させ上部排水口１０９，１１０より排水
せられる。

管内１０１の上部及び下部には洗滌水管１１１の水噴出
口１１１ａ、１１１ｂ・・・を多数設けてあり、配管１
０６及び配管１０７の上下列の上方又は下方に望ませ、
配管１０６，１０７及び缶体１０１の内面、空気排出管
１０５の外面に向けて洗滌水を噴出できるようにしであ
る。又コーン部１０２の下方には、排水管１１２′が設
けられており、缶内の洗滌水又は気体冷却によるドレイ
ン等が排水できるようにしである。従って、空気取入口
１０４よりの空気は缶１０１内でサイクロン効果により
とみ等を分離し、配管１０６，１０７により適温に加熱
又は冷却され、適温となった空気は空気排出管１０５よ
り送出される。又分離したごみ等は洗滌水管１１１に通
水し、ノズル１１１ａ、１１１ｂ・・・より噴水させる
ことにより洗い去ることができるものである。

このように処理された空気はほぼ完全に０．５ミクロン
以下のミストを多量浮遊した状態となっているので、こ
れを用いてで内を処理することによってあらゆる物を清
浄化することができるのである。

本発明方法において使用する０、５ミクロン以下　、の
ミストは表面張力がきわめて低く、物体に耐着したシ、
空中に浮遊している塵埃にミストが容易に付着し、この
ようにミストが付着すると重量がふえ送風とともに塵埃
は除去されるようになるものと推定される。特に、拳法
によれば微細なミストを使用するために５非常に微細な
塵埃のみではなく、＃菌やウィルスまでも除去すること
ができ。

物理的にも生物的にも曾肉は清浄化されるという著効が
奏される。ウィルスは、従来エアーフィルタ等で除去し
ていたのであるが、ウィルスはわずか０．５μ〜０．０
１μの大きさしかないため、エアーフィルタでは充分に
除去することが不可能であった。したがって、本発明で
室内を清浄化すれば現実に風邪をひくといったことも非
常に少なくなシ、病院、薬局、研究型、産院等に使用す
るのに極めて好適である。

また、本発明方法は雑菌を含まなくすることができる特
色の故に１食品製造工場において、食品の洗滌、装置の
洗滌に使用することができ、例えば冷凍肉の解凍、サラ
ダや野菜、鮮魚、精肉の保存等食料品店、スーツ々−マ
ーケットその他で使用するのにも極めて好適であるし、
特に雑菌混入の危険性があるためにその製造に制約があ
った生ハムも自由に製造することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、ミスト浮遊気体製造装置を図示したものであ
シ、第２図は第１図の装置の上部横断面図であり、第３
図は第１図の装置の中央部を切断したときの断面図であ
り、そして第４図は、実際の半導体製造工場において適
用した場合のトータルシステムを模式的に図示したもの
である。また。第５図はミスト浮誘気製造装置のあとにつけることので
きる熱交換器を示す図で、第６図はその上部横断面図で
ある。１・・タンク　　　　　２，４５　・・ノズル４０・サ
イクロン　　　４２・・・気体人口４３・・・微細水滴
浮遊気体出口管５０・・・除滴サイクロン６０・・・エアーシャワールーム７０・・超クリーンルーム１００・・・熱交換器代理人　弁理士　戸　１）親　男第　　１　　図檎　２　図　　　　　　ｗＸ　３　図ムフ［４図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）水噴射器の中心部の噴射管に多数設けられた直径
０．２〜８ｍｍ、好ましくは０．５〜３ｍｍのノズルか
らゲージ圧０．３〜５．５ｋｇ／ｃｍ＾２、好ましくは
０．５〜２．５ｋｇ／ｃｍ＾２で水を噴射させ、ノズル
から１０〜１５０ｃｍはなれた側壁に衝突させてきわめ
て多数のミストを発生させ、ここに空気を送つて循環さ
せ、空気にきわめて多数のミストを含有させるとともに
、空気の循環による遠心作用によつて実質的に０．５ミ
クロンより大きいものは分離し、０．５ミクロン以下の
ミストを１立方フィート当り２００万個以上、好ましく
は５００万個以上、より好ましくは１０００万個以上含
有する空気を得、この空気を室内に送り、室内を清浄化
することを特徴とする室内の清浄化方法。
（２）水噴射器が円筒状の本体とその内部の中心部に設
けた多数のノズルをもつ噴射管と本体の側壁に開口する
循環空気吹入管と本体中心部に上下方向に貫通する空気
排出管とから成る特許請求の範囲第１項記載の室内の清
浄化方法。