JPS62142265A - ふつ素濃度測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ふつ酸を含む水晶エツチング液の濃度管理
方法に関するものである。

〔発明の概要〕

希望濃度のふっ酸を含む水晶エツチング液の足囲ポンプ
により、一定量、ふつ化物イオン電極を装着したフロー
セル内に導入し、イオンメーターにより、ふっ素濃度を
直読、管理する方法の発明である。

〔従来の技術〕

従来、ふっ酸を含む水晶エツチング液の濃度管理方法と
しては、水晶エツチング液の一定量を採取し、定量分析
法により、ふつ化水素濃度を算出し、ふつ化水素濃度を
管理する方法、水晶エツチング液の一定量を採取し、希
釈後、吸光光度法、イオン電極法などにより、ふっ素濃
度を測定、ふつ化水素濃度を算出し、ふつ化水素濃度を
管理する方法などが知られていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、これらの方法は、ふつ化水素濃度の測定
、算出に時間がかかり、また、測定に熟練を要するなど
の欠点を有しており、水晶エツチング液の迅速な濃度管
理には、適していなかった。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明は、上記の欠点を改良するために、なされたも
のであり、ふつ酸を含む水晶エツチング液の簡単で、迅
速な濃度管理方法を提供することを目的としたものであ
る。

この発明の特徴は、希望濃度のふつ酸を含む水晶エツチ
ング液を定量ポンプにより、一定量、ふつ化物イオン電
極を装着したフローセル内に導入し、イオンメーターに
より、ふっ素濃度を直読、管理することにある。

この発明による水晶エソチンダ液の濃度管理方法では、
水晶エツチングの進行中でも、ただちにふっ素濃度を測
定できるので、不足分のふっ酸をただちに補充できるな
ど、簡単に、迅速に、水晶エツチング液の濃度管理をす
ることが可能である。

〔実施例〕

以下、図面の示す実施例によって、この発明を詳述する
。

１は水晶工・ノチング浴、２はイオンメーター、３は一
定量の水晶エツチング液を採取するための定量ポンプ、
４は採取した水晶エツチング液を希釈するために、一定
量の純水を入れたビーカー、５は６のふつ化物イオン電
極と７の比較電極を装着したフローセル、８はペリスタ
ポンプ、９は廃液だめである。

この装置において、４のビーカーに１２の純水を入れて
おき、３の定量ポンプにより、ふり化水素２５０ｇ／ｆ
ｆ、ふつ化アンモニウム１５０　ｇ／ｒを含む水晶エツ
チング液の１ｍ７！を採取し、４のビーカーに入れ、攪
拌して均一にした後、８のペリスタポンプにより、５の
フローセル中に導入し、６のふつ化物イオン電掘で、ふ
っ素イオン濃度を測定したところ、３００ｍｇ／１１！
であった。

この水晶工・７チンダ液を用いて、水晶エツチングを開
始し、３時間経過したところで、同様に、４のビーカー
にＩ！！の純水を入れ、３の定量ポンプにより、水晶エ
ツチング液の１ｍβを採取し４のビーカーに入れ、攪拌
して均一にした後、８のペリスタポンプにより、５のフ
ローセル中に導入し、６のふつ化物イオン電極で、ふっ
素イオン濃度を測定したところ、２５０ｍｇ／Ｉｔであ
ったので、水晶エツチング液に、計算量のふつ酸を添加
し、水晶エツチングを続行したところ、良好なエツチン
グができた。

〔発明の効果〕

以上述べたように、この発明によれば、従来の方法と異
なり、簡単に、迅速に、水晶エツチング液の濃度管理を
行うことができ、また、熟練者でなくても、濃度管理を
行うことができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

図は、この発明の方法を行うための装置プロ・ツク図で
ある。 １・・・水晶エツチング浴 ２・・・イオンメーター ３・・・定量ポンプ ４・・・ビーカー ５・・・フローセル ６・・・ふつ化物イオン電極 ７・・・比較電極 ８・・・ペリスタポンプ ９・・・廃液だめ 以上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 希望濃度のふっ酸を含む水晶エッチング液の一定量をポ
   ンプにより、ふっ化物イオン電極を装着したフローセル
   内に導入し、イオンメーターにより、ふっ素濃度を測定
   するふっ素濃度測定方法。