JPS62139238A - 静電レンズ電圧供給装置 - Google Patents
静電レンズ電圧供給装置Info
- Publication number
- JPS62139238A JPS62139238A JP27892685A JP27892685A JPS62139238A JP S62139238 A JPS62139238 A JP S62139238A JP 27892685 A JP27892685 A JP 27892685A JP 27892685 A JP27892685 A JP 27892685A JP S62139238 A JPS62139238 A JP S62139238A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- power source
- lens
- electrostatic lens
- correction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、静電レンズ電圧供給装置に係り、特に荷電ビ
ーム装置における静電レンズ電圧供給装置の改良に関す
る。
ーム装置における静電レンズ電圧供給装置の改良に関す
る。
従来の装置は特開昭６０−８１７４９号において論じら
れており、それは、第４図に示すように加速電圧源１に
ブリーダ抵抗１０を接続し、ブリーダ抵抗１０の分圧端
子からレンズ７に電圧を供給している。これによりレン
ズ電源は不電となっている。
れており、それは、第４図に示すように加速電圧源１に
ブリーダ抵抗１０を接続し、ブリーダ抵抗１０の分圧端
子からレンズ７に電圧を供給している。これによりレン
ズ電源は不電となっている。
しかし、その反面、ブリーダ抵抗１０をその抵抗器とし
ての性能を落すことなく連続的に抵抗値を可変できるよ
うな抵抗器を用いて構成することは難しいため、ブリー
ダ抵抗１０の分圧端子は予め定められた個所にしか設定
できず、レンズ電圧を、細かく調整する事ができない。
ての性能を落すことなく連続的に抵抗値を可変できるよ
うな抵抗器を用いて構成することは難しいため、ブリー
ダ抵抗１０の分圧端子は予め定められた個所にしか設定
できず、レンズ電圧を、細かく調整する事ができない。
よって第４図の例では集束レンズ７の上方に補助の集束
レンズ６と可変電圧電源８が設けられている。従って、
集束レンズの焦点距離調整は、粗調整をブリーダ抵抗１
０の分圧端子の選択切換えによって行い、微調整は補助
レンズ６の電源８の出力調整により行っている。
レンズ６と可変電圧電源８が設けられている。従って、
集束レンズの焦点距離調整は、粗調整をブリーダ抵抗１
０の分圧端子の選択切換えによって行い、微調整は補助
レンズ６の電源８の出力調整により行っている。
上記従来技術は抵抗分圧器を用いレンズ電源を省略して
いるにもかかわらず、あらかじめ設定した離散的な電圧
しか選択できないため、集束作用の微調整用に補助レン
ズが必要になる欠点があった。
いるにもかかわらず、あらかじめ設定した離散的な電圧
しか選択できないため、集束作用の微調整用に補助レン
ズが必要になる欠点があった。
本発明の目的は抵抗分圧点電位の微調整を可能にするこ
とにより、レンズ電源、補助レンズを省略し、システム
を簡略化した静電レンズ電圧供給装置を提供することに
ある。
とにより、レンズ電源、補助レンズを省略し、システム
を簡略化した静電レンズ電圧供給装置を提供することに
ある。
上記目的は、ビーム加速用電源に抵抗分圧器を、接続し
、その分圧器の接地側と接地の間に補正用゛の可変電源
を接続することにより、達成される。
、その分圧器の接地側と接地の間に補正用゛の可変電源
を接続することにより、達成される。
ビーム加速用電源の電圧をＶａ（ｖ）、分圧抵抗器の分
圧比をγ、補正電源の出力電圧をＶｓ（ｖ）とすると静
電レンズが接続される出力端子の電圧ＶＬは次式で表現
できる。
圧比をγ、補正電源の出力電圧をＶｓ（ｖ）とすると静
電レンズが接続される出力端子の電圧ＶＬは次式で表現
できる。
ＶＬ ＝ ｙ Ｖａ＋ （１７） Ｖｓ
”・（１）よって、分圧比γが一定であっても補正電源
の出力電圧ｖｓを変化させることにより出力端子の電圧
■し、すなわち静電レンズに供給される電圧を微調整す
ることができる。
”・（１）よって、分圧比γが一定であっても補正電源
の出力電圧ｖｓを変化させることにより出力端子の電圧
■し、すなわち静電レンズに供給される電圧を微調整す
ることができる。
以下、本発明の一実施例を説明する。第１図はイオン源
５から出たイオンビームを静電レンズ７により露光材料
９上に集束させるものである。加速電源１の電圧を１０
０ （ｋＶ）、分圧抵抗２の分圧比を０．６、補正電源
３の電圧可変範囲をＯ〜−５ｋＶとした。前記した一般
式（１）より、Ｖｓ＝０ 、 ５ ｋ Ｖノ時（１）
Ｖ Ｌ値は、それぞれ、ＶＬ＝０．６Ｘ１００Ｘ１０”
＝６０Ｘ１０’（Ｖ）Ｖｔ、＝０．６Ｘ１００Ｘ１０’
（１−０，６）Ｘ５Ｘ１０８＝５８Ｘ１０’ （ｖ
） となる。補正電源３の出力電圧■８を０〜−５ｋＶの間
で連続的に変えることによりレンズ電圧ＶＬを６０ｋＶ
〜５８ｋＶの間で連続的に変えることができた。
５から出たイオンビームを静電レンズ７により露光材料
９上に集束させるものである。加速電源１の電圧を１０
０ （ｋＶ）、分圧抵抗２の分圧比を０．６、補正電源
３の電圧可変範囲をＯ〜−５ｋＶとした。前記した一般
式（１）より、Ｖｓ＝０ 、 ５ ｋ Ｖノ時（１）
Ｖ Ｌ値は、それぞれ、ＶＬ＝０．６Ｘ１００Ｘ１０”
＝６０Ｘ１０’（Ｖ）Ｖｔ、＝０．６Ｘ１００Ｘ１０’
（１−０，６）Ｘ５Ｘ１０８＝５８Ｘ１０’ （ｖ
） となる。補正電源３の出力電圧■８を０〜−５ｋＶの間
で連続的に変えることによりレンズ電圧ＶＬを６０ｋＶ
〜５８ｋＶの間で連続的に変えることができた。
この例の様に、加速電源１に正極性のものを使用する場
合１分圧抵抗器２を介し補正電源３に電流が流入する状
態となるため、補正電源３としては電流吸収能力のある
負極性のものを使用することが望ましい。補正電源３に
正極性のものを使用した例を第２図に示す。この場合、
電流吸収能力を拡大するため補正電圧源３と並列に抵抗
器１２を接続した。負極性ビームの集束を行った場合、
加速電源１は負極性のものとなるが、前記と同様の考察
により、補正電源３は正極性のものが望ましく、負極性
のものを使用する際には抵抗器１２の付加が望ましいと
いう結果が得られた。
合１分圧抵抗器２を介し補正電源３に電流が流入する状
態となるため、補正電源３としては電流吸収能力のある
負極性のものを使用することが望ましい。補正電源３に
正極性のものを使用した例を第２図に示す。この場合、
電流吸収能力を拡大するため補正電圧源３と並列に抵抗
器１２を接続した。負極性ビームの集束を行った場合、
加速電源１は負極性のものとなるが、前記と同様の考察
により、補正電源３は正極性のものが望ましく、負極性
のものを使用する際には抵抗器１２の付加が望ましいと
いう結果が得られた。
第３図は２組の静電レンズ７ａ、７ｂを駆動したもので
、分圧抵抗器２ａ、２ｂと補正電源３ａ。
、分圧抵抗器２ａ、２ｂと補正電源３ａ。
３ｂの増設のみで複数の静電レンズ７ａ、７ｂが駆動で
きることが出来る。
きることが出来る。
本発明によれば１通常高電圧仕様となるレンズ電源が省
略でき、かつレンズ電圧が容易に連続的に調整できるた
め、経済性、制御性の面で効果がある。
略でき、かつレンズ電圧が容易に連続的に調整できるた
め、経済性、制御性の面で効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す静電レンズ電圧供給装
置の回路図、第２図、第３図はそれぞれ本発明の他の実
施例を示す静電レンズ電圧供給装置の回路図、第４図は
従来の一例を示す静電レンズ電圧供給装置の回路図であ
る。 １・・・加速電源、２，２ａ、２ｂ・・・分圧抵抗器、
３゜３ａ、３ｂ・・・補正電源、４・・・出力端子、５
・・・イオン源、６・・・補助レンズ、７，７ａ、７ｂ
・・・静電レンズ、８・・・補助レンズ用電源、９・・
・露光材料、１０・・・ブリーダ抵抗、１１・・・真空
カラム、１２・・・抵抗器。
置の回路図、第２図、第３図はそれぞれ本発明の他の実
施例を示す静電レンズ電圧供給装置の回路図、第４図は
従来の一例を示す静電レンズ電圧供給装置の回路図であ
る。 １・・・加速電源、２，２ａ、２ｂ・・・分圧抵抗器、
３゜３ａ、３ｂ・・・補正電源、４・・・出力端子、５
・・・イオン源、６・・・補助レンズ、７，７ａ、７ｂ
・・・静電レンズ、８・・・補助レンズ用電源、９・・
・露光材料、１０・・・ブリーダ抵抗、１１・・・真空
カラム、１２・・・抵抗器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ビーム加速用電源に抵抗分圧器を接続し、その分圧
点から静電レンズに電圧を供給する静電レンズ電圧供給
装置において、上記抵抗分圧器の接地側と接地の間に補
正用の可変電源を接続したことを特徴とする静電レンズ
電圧供給装置。 ２、前記補正電源に並列に抵抗器を接続した特許請求の
範囲第１項記載の静電レンズ電圧供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27892685A JPS62139238A (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 | 静電レンズ電圧供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27892685A JPS62139238A (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 | 静電レンズ電圧供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62139238A true JPS62139238A (ja) | 1987-06-22 |
Family
ID=17604003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27892685A Pending JPS62139238A (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 | 静電レンズ電圧供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62139238A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012033467A (ja) * | 2010-07-05 | 2012-02-16 | Sii Nanotechnology Inc | 荷電粒子ビーム装置及び試料加工方法 |
-
1985
- 1985-12-13 JP JP27892685A patent/JPS62139238A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012033467A (ja) * | 2010-07-05 | 2012-02-16 | Sii Nanotechnology Inc | 荷電粒子ビーム装置及び試料加工方法 |
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