JPS6213571A - 片面連続真空蒸着方法 - Google Patents
片面連続真空蒸着方法Info
- Publication number
- JPS6213571A JPS6213571A JP15122385A JP15122385A JPS6213571A JP S6213571 A JPS6213571 A JP S6213571A JP 15122385 A JP15122385 A JP 15122385A JP 15122385 A JP15122385 A JP 15122385A JP S6213571 A JPS6213571 A JP S6213571A
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- Japan
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- deposition chamber
- metal
- tension
- strip
- metal strip
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は主として連続的に鋼帯などの金属帯の片面に亜
鉛などの真空蒸着用金属を真空蒸着させる際に、真空蒸
着用金属が金属帯の裏面に蒸着される現象が発生するこ
とを防止することのできる片面連続真空蒸着方法及び該
方法を実施するための装置に関するものである。
鉛などの真空蒸着用金属を真空蒸着させる際に、真空蒸
着用金属が金属帯の裏面に蒸着される現象が発生するこ
とを防止することのできる片面連続真空蒸着方法及び該
方法を実施するための装置に関するものである。
従来より真空蒸着は被蒸着用の基材の片面に簡単且つ均
一に所望の厚さに真空蒸着用金属を蒸着できるため、小
さな物品には広く応用されていた。 しかしながら、銅帯に亜鉛を真空蒸着させて大量の亜鉛
蒸着鋼帯を製造するというような大樹りな連続真空蒸着
装置は技術的に種々の問題があって殆んど開発されてい
ない。 ［発明が解決しようとする問題点］ このような現状において、本出願人等は工業的に大量の
真空蒸着亜鉛鋼帯を製造すべく大規模なテストプラント
を製作して連続真空蒸着を行ってきた。 この連続真空蒸着装置は、前処理炉により表面を清浄化
された金属帯を大気圧から蒸着室までの圧力勾配を作る
真空シール装置を経て蒸着室内へ導き、該蒸着室内に設
置されている巻付はロールに金属帯を巻き付けてその移
動方向を変向せしめる過程で該蒸着室内に設置されてい
る蒸発槽から蒸発した蒸発金属を金属帯の表面にのみ蒸
着せしめる片面連続真空蒸着装置であるが、このような
片面連続真空蒸着装置においては真空蒸着される金属帯
は予め前処理炉により表面を清浄化させる必要があり、
この前処理炉としては還元性ガス雰囲気中で加熱処理す
る方法を採用するため金属帯に大きな張力を付与せしめ
ておくと破断してしまうためその張力は小さな状態で前
処理を行う必要があり、また大きな張力を付与する必要
もなかったのである。 しかしながら、このような前処理炉により表面を清浄化
された金属帯を大気圧から蒸着室までの圧力勾配を作る
真空シール装置を経て蒸着室内へ導き、該蒸着室内に設
置されている巻付はロールに金属帯を巻き付けてその移
動方向を変向せしめる過程で該蒸着室内に設置されてい
る蒸発槽から蒸発した蒸発金属を金属帯の片面すなわち
表面のみに蒸着せしめるに際し、蒸着室内に設置されて
いる巻付はロールに金属帯を巻き付けてその移動方向を
変向せしめる過程で該蒸着室内に設置されている蒸発槽
から蒸発した蒸発金属を金属帯の表面に蒸着せしめると
、金属帯の両端部が巻付はロールに密着した状態に巻き
付かない現象が生じて金属帯と巻付はロールとの間に蒸
発金属が侵入して金属帯の裏面に蒸着が行われてしまい
、片面連続真空蒸着を行う目的が達成できないという問
題点が生じた。
一に所望の厚さに真空蒸着用金属を蒸着できるため、小
さな物品には広く応用されていた。 しかしながら、銅帯に亜鉛を真空蒸着させて大量の亜鉛
蒸着鋼帯を製造するというような大樹りな連続真空蒸着
装置は技術的に種々の問題があって殆んど開発されてい
ない。 ［発明が解決しようとする問題点］ このような現状において、本出願人等は工業的に大量の
真空蒸着亜鉛鋼帯を製造すべく大規模なテストプラント
を製作して連続真空蒸着を行ってきた。 この連続真空蒸着装置は、前処理炉により表面を清浄化
された金属帯を大気圧から蒸着室までの圧力勾配を作る
真空シール装置を経て蒸着室内へ導き、該蒸着室内に設
置されている巻付はロールに金属帯を巻き付けてその移
動方向を変向せしめる過程で該蒸着室内に設置されてい
る蒸発槽から蒸発した蒸発金属を金属帯の表面にのみ蒸
着せしめる片面連続真空蒸着装置であるが、このような
片面連続真空蒸着装置においては真空蒸着される金属帯
は予め前処理炉により表面を清浄化させる必要があり、
この前処理炉としては還元性ガス雰囲気中で加熱処理す
る方法を採用するため金属帯に大きな張力を付与せしめ
ておくと破断してしまうためその張力は小さな状態で前
処理を行う必要があり、また大きな張力を付与する必要
もなかったのである。 しかしながら、このような前処理炉により表面を清浄化
された金属帯を大気圧から蒸着室までの圧力勾配を作る
真空シール装置を経て蒸着室内へ導き、該蒸着室内に設
置されている巻付はロールに金属帯を巻き付けてその移
動方向を変向せしめる過程で該蒸着室内に設置されてい
る蒸発槽から蒸発した蒸発金属を金属帯の片面すなわち
表面のみに蒸着せしめるに際し、蒸着室内に設置されて
いる巻付はロールに金属帯を巻き付けてその移動方向を
変向せしめる過程で該蒸着室内に設置されている蒸発槽
から蒸発した蒸発金属を金属帯の表面に蒸着せしめると
、金属帯の両端部が巻付はロールに密着した状態に巻き
付かない現象が生じて金属帯と巻付はロールとの間に蒸
発金属が侵入して金属帯の裏面に蒸着が行われてしまい
、片面連続真空蒸着を行う目的が達成できないという問
題点が生じた。
本発明者等は上記したような問題点を除去すべく鋭意研
究の結果、金属帯の裏面に蒸発金属が蒸着されるのは蒸
着室内を移動する金属帯の張力が小さいために金属帯が
巻付はロールに密接した状態で移動しないからであって
、前処理炉の出側にブライドルロールを設置して蒸着室
内を移動する金属帯の張力を前処理炉中を移動する金属
帯の張力よりも大きくして金属帯を巻付はロールに密接
させた状態に巻き付けて移動させればよいことを究明し
て本発明を完成したのである。 すなわち、本発明は前処理炉により表面を清浄化された
金属帯を大気圧から蒸着室までの圧力勾配を作る真空シ
ール装置を経て蒸着室内へ導き、該蒸着室内に設置され
ている巻付はロールに金属帯を巻き付けてその移動方向
を変向せしめる過程で該蒸着室内に設置されている蒸発
槽から蒸発した蒸発金属を金属帯の表面に蒸着せしめる
に際し、前記前処理炉の出側にブライドルロールを設置
して該蒸着室内を移動する金属帯の張力を前記前処理炉
中を移動する金属帯の張力より高めて金属帯の両縁部を
前記巻付はロールに密接させた状態に巻き付けて移動さ
せることを特徴とする片面連続真空蒸着方法及びこの方
法を実施するための装置に関するものである。
究の結果、金属帯の裏面に蒸発金属が蒸着されるのは蒸
着室内を移動する金属帯の張力が小さいために金属帯が
巻付はロールに密接した状態で移動しないからであって
、前処理炉の出側にブライドルロールを設置して蒸着室
内を移動する金属帯の張力を前処理炉中を移動する金属
帯の張力よりも大きくして金属帯を巻付はロールに密接
させた状態に巻き付けて移動させればよいことを究明し
て本発明を完成したのである。 すなわち、本発明は前処理炉により表面を清浄化された
金属帯を大気圧から蒸着室までの圧力勾配を作る真空シ
ール装置を経て蒸着室内へ導き、該蒸着室内に設置され
ている巻付はロールに金属帯を巻き付けてその移動方向
を変向せしめる過程で該蒸着室内に設置されている蒸発
槽から蒸発した蒸発金属を金属帯の表面に蒸着せしめる
に際し、前記前処理炉の出側にブライドルロールを設置
して該蒸着室内を移動する金属帯の張力を前記前処理炉
中を移動する金属帯の張力より高めて金属帯の両縁部を
前記巻付はロールに密接させた状態に巻き付けて移動さ
せることを特徴とする片面連続真空蒸着方法及びこの方
法を実施するための装置に関するものである。
以下、図面により本発明に係る片面連続真空蒸着方法及
び装置について詳細に説明する。 図は本発明方法を実施するための本発明装置により真空
蒸着を行っている状態を示す概略説明図である。 図中、１は真空蒸着される金属帯２の表面を清浄化させ
るために、燃料空気比率を不完全燃焼域にて燃焼させた
高温燃焼ガスによって金属帯２の表面に付着している圧
延油や防錆油を蒸発又は化学反応により除去した侵に弱
酸化した金１帯２を水素等の還元性ガス雰囲気中で還元
させると同時に金属帯２の軟化を行う焼鈍を目的とした
前処理炉である。３は前処理炉１により表面を清浄化さ
れた金属帯２を大気圧から次に説明する蒸着室までの圧
力勾配を作る真空シール装置、４は真空シール装置３を
経て移動せしめられてきた金属帯２の片面である表面に
のみ蒸発金属を真空蒸着せしめるための蒸着室であり通
常真空蒸着用金属の飽和蒸気圧力より低い圧力（例えば
１０ Ｔｏｒｒ程度）の不活性ガス雰囲気下にある。 ５は蒸着室４内に設置されている蒸発槽であり、大気圧
下にある真空蒸着用金属の溶解炉７によって溶解された
真空蒸着用溶融金属８が吸上管９を介して蒸着室４の圧
力と大気圧との差によってこの蒸発槽５内へ供給される
ようになっている。６は蒸着室４内に設置されている巻
付はロールであり、金属帯２がその周囲に巻き付けられ
てその移動方向を変向せしめられる過程で蒸着室４内に
設置されている蒸発槽５から蒸発した蒸発金属が金属帯
２の表面に蒸着せしめられるのである。１０は蒸着室４
内を移動する金属帯２の張力を前処理炉１中を移動する
金属帯２の張力より高めるために処理炉１の出側に設置
されているブライドルロールである。
び装置について詳細に説明する。 図は本発明方法を実施するための本発明装置により真空
蒸着を行っている状態を示す概略説明図である。 図中、１は真空蒸着される金属帯２の表面を清浄化させ
るために、燃料空気比率を不完全燃焼域にて燃焼させた
高温燃焼ガスによって金属帯２の表面に付着している圧
延油や防錆油を蒸発又は化学反応により除去した侵に弱
酸化した金１帯２を水素等の還元性ガス雰囲気中で還元
させると同時に金属帯２の軟化を行う焼鈍を目的とした
前処理炉である。３は前処理炉１により表面を清浄化さ
れた金属帯２を大気圧から次に説明する蒸着室までの圧
力勾配を作る真空シール装置、４は真空シール装置３を
経て移動せしめられてきた金属帯２の片面である表面に
のみ蒸発金属を真空蒸着せしめるための蒸着室であり通
常真空蒸着用金属の飽和蒸気圧力より低い圧力（例えば
１０ Ｔｏｒｒ程度）の不活性ガス雰囲気下にある。 ５は蒸着室４内に設置されている蒸発槽であり、大気圧
下にある真空蒸着用金属の溶解炉７によって溶解された
真空蒸着用溶融金属８が吸上管９を介して蒸着室４の圧
力と大気圧との差によってこの蒸発槽５内へ供給される
ようになっている。６は蒸着室４内に設置されている巻
付はロールであり、金属帯２がその周囲に巻き付けられ
てその移動方向を変向せしめられる過程で蒸着室４内に
設置されている蒸発槽５から蒸発した蒸発金属が金属帯
２の表面に蒸着せしめられるのである。１０は蒸着室４
内を移動する金属帯２の張力を前処理炉１中を移動する
金属帯２の張力より高めるために処理炉１の出側に設置
されているブライドルロールである。
かかる構成において、前処理炉１により表面を清浄化さ
れた金属帯２は大気圧から蒸着室までの圧力勾配を作る
真空シール装置３を経て蒸着室４内へ導かれ、蒸着室４
内に設置されている巻付はロール６に巻き付いてその移
動方向を変向せしめられる過程で蒸着室４内に設置され
ている蒸発槽５から蒸発した蒸発金属をその表面に蒸着
せしめられるのであるが、前処理炉１の出側にはブライ
ドルロール１０が設置されていて蒸着室４内を移動する
金属帯２の張力が前処理炉１中を移動する金属帯２の張
力より高められているため、蒸着室４内を移動する金属
帯２はその高い張力によりその両縁部が巻付はロール６
に密接させた状態に巻き付いた状態で移動することにな
るので巻付はロールに密接している側である金属帯２の
裏面には真空蒸着用金属の蒸発金属が蒸着することがな
いのである。 【効果１ 以上詳述した如く本発明は、工業的規模で連続的に金屑
帯の表面のみに蒸着室内に設置されている蒸発槽から蒸
発した蒸発金属を蒸着せしめるに際し、蒸着室内に設置
されている蒸発槽から蒸発した蒸発金属が金属帯の表面
のみならず裏面にも蒸着される現像を、金属帯の表面を
清浄化させるために設置しである前処理炉の出側にブラ
イドルロールを設置して蒸着室内を移動する金属帯の張
力を前処理炉中を移動する金属帯の張力より高めて金属
帯の両縁部を蒸着室内に設置されている巻付はロールに
密接させた状態に巻き付けて移動させるという極めて簡
単な手段により防止する方法及びこの方法を実施するた
めの装置であり、本出願人等が先に提案した連続真空蒸
着装置に新らたに設置するのは処理炉の出側に設置する
ブライドルロールのみであるので安価且つ容易に実施で
きると共に前処理炉による前処理に何に弊害も発生せし
めないのであり、真空蒸着の片面連続蒸着が可能である
という特長を有効に発揮せしめ得るので、片面連続真空
蒸着を工業的に効率良〈実施できる本発明の工業的価値
は非常に大きなものがある。
れた金属帯２は大気圧から蒸着室までの圧力勾配を作る
真空シール装置３を経て蒸着室４内へ導かれ、蒸着室４
内に設置されている巻付はロール６に巻き付いてその移
動方向を変向せしめられる過程で蒸着室４内に設置され
ている蒸発槽５から蒸発した蒸発金属をその表面に蒸着
せしめられるのであるが、前処理炉１の出側にはブライ
ドルロール１０が設置されていて蒸着室４内を移動する
金属帯２の張力が前処理炉１中を移動する金属帯２の張
力より高められているため、蒸着室４内を移動する金属
帯２はその高い張力によりその両縁部が巻付はロール６
に密接させた状態に巻き付いた状態で移動することにな
るので巻付はロールに密接している側である金属帯２の
裏面には真空蒸着用金属の蒸発金属が蒸着することがな
いのである。 【効果１ 以上詳述した如く本発明は、工業的規模で連続的に金屑
帯の表面のみに蒸着室内に設置されている蒸発槽から蒸
発した蒸発金属を蒸着せしめるに際し、蒸着室内に設置
されている蒸発槽から蒸発した蒸発金属が金属帯の表面
のみならず裏面にも蒸着される現像を、金属帯の表面を
清浄化させるために設置しである前処理炉の出側にブラ
イドルロールを設置して蒸着室内を移動する金属帯の張
力を前処理炉中を移動する金属帯の張力より高めて金属
帯の両縁部を蒸着室内に設置されている巻付はロールに
密接させた状態に巻き付けて移動させるという極めて簡
単な手段により防止する方法及びこの方法を実施するた
めの装置であり、本出願人等が先に提案した連続真空蒸
着装置に新らたに設置するのは処理炉の出側に設置する
ブライドルロールのみであるので安価且つ容易に実施で
きると共に前処理炉による前処理に何に弊害も発生せし
めないのであり、真空蒸着の片面連続蒸着が可能である
という特長を有効に発揮せしめ得るので、片面連続真空
蒸着を工業的に効率良〈実施できる本発明の工業的価値
は非常に大きなものがある。
図面は本発明方法を実施するための本発明装置により真
空蒸着を行っている状態を示す概略説明図である。 １・・・・前処理炉 ２・・・・金属帯 ３・・・・真空シール装置 ４・・・・蒸着室 ５・・・・蒸発槽 ６・・・・巻付はロール ７・・・・溶解炉 ８・・・・真空蒸着用溶融金属 ９・・・・吸上管 １０・・・・ブライドルロール
空蒸着を行っている状態を示す概略説明図である。 １・・・・前処理炉 ２・・・・金属帯 ３・・・・真空シール装置 ４・・・・蒸着室 ５・・・・蒸発槽 ６・・・・巻付はロール ７・・・・溶解炉 ８・・・・真空蒸着用溶融金属 ９・・・・吸上管 １０・・・・ブライドルロール
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 前処理炉により表面を清浄化された金属帯を大気圧
から蒸着室までの圧力勾配を作る真空シール装置を経て
蒸着室内へ導き、該蒸着室内に設置されている巻付けロ
ールに金属帯を巻き付けてその移動方向を変向せしめる
過程で該蒸着室内に設置されている蒸発槽から蒸発した
蒸発金属を金属帯の表面に蒸着せしめるに際し、前記前
処理炉の出側にブライドルロールを設置して該蒸着室内
を移動する金属帯の張力を前記前処理炉中を移動する金
属帯の張力より高めて金属帯の両縁部を前記巻付けロー
ルに密接させた状態に巻き付けて移動させることを特徴
とする片面連続真空蒸着方法。 ２ 表面を清浄化された金属帯（２）を大気圧から蒸着
室（４）までの圧力勾配を作る真空シール装置（３）を
経て蒸着室（４）内へ導き該蒸着室（４）内に設置され
ている蒸発槽（５）から蒸発した蒸発金属を金属帯（２
）の片面に蒸着せしめる片面連続真空蒸着装置において
、前記前処理炉（１）の出側に蒸着室（４）内を移動す
る金属帯（２）の張力を前処理炉（１）中を移動する金
属帯（２）の張力より高めるブライドルロール（１０）
が設置されていことを特徴とする片面連続真空蒸着装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15122385A JPS6213571A (ja) | 1985-07-11 | 1985-07-11 | 片面連続真空蒸着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15122385A JPS6213571A (ja) | 1985-07-11 | 1985-07-11 | 片面連続真空蒸着方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6213571A true JPS6213571A (ja) | 1987-01-22 |
| JPH0568546B2 JPH0568546B2 (ja) | 1993-09-29 |
Family
ID=15513935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15122385A Granted JPS6213571A (ja) | 1985-07-11 | 1985-07-11 | 片面連続真空蒸着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6213571A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0356054U (ja) * | 1989-09-26 | 1991-05-29 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5330932A (en) * | 1976-09-03 | 1978-03-23 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Continuous vacuum deposition zinc plating method |
| JPS57162370U (ja) * | 1981-04-01 | 1982-10-13 | ||
| JPS5938382A (ja) * | 1982-08-26 | 1984-03-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 真空蒸着装置 |
| JPS60116787A (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-24 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | メツキ方法およびその装置 |
-
1985
- 1985-07-11 JP JP15122385A patent/JPS6213571A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5330932A (en) * | 1976-09-03 | 1978-03-23 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Continuous vacuum deposition zinc plating method |
| JPS57162370U (ja) * | 1981-04-01 | 1982-10-13 | ||
| JPS5938382A (ja) * | 1982-08-26 | 1984-03-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 真空蒸着装置 |
| JPS60116787A (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-24 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | メツキ方法およびその装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0356054U (ja) * | 1989-09-26 | 1991-05-29 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0568546B2 (ja) | 1993-09-29 |
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