JPS62134231U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62134231U JPS62134231U JP2096086U JP2096086U JPS62134231U JP S62134231 U JPS62134231 U JP S62134231U JP 2096086 U JP2096086 U JP 2096086U JP 2096086 U JP2096086 U JP 2096086U JP S62134231 U JPS62134231 U JP S62134231U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- storage device
- wafers
- storing
- transfer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 8
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Devices That Are Associated With Refrigeration Equipment (AREA)
Description
第１図は本考案のウエハ搬送収納装置の一例を
示す斜視図、第２図は本考案のウエハ搬送収納装
置に係る搬送基板の平面図、第３図はその底面図
、第４図は第２図の―線断面図、第５図は第
２図の―線拡大断面図である。 １……ウエハ搬送収納装置、２……装置筐体、
３……ウエハ載置部、４……搬送部、５……搬送
基板、６……押さえ板、７……収納容器昇降機構
部。
示す斜視図、第２図は本考案のウエハ搬送収納装
置に係る搬送基板の平面図、第３図はその底面図
、第４図は第２図の―線断面図、第５図は第
２図の―線拡大断面図である。 １……ウエハ搬送収納装置、２……装置筐体、
３……ウエハ載置部、４……搬送部、５……搬送
基板、６……押さえ板、７……収納容器昇降機構
部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ウエハ載置部と、ウエハ搬送手段と、複数枚の
ウエハを収納する収納容器へ該ウエハを収納させ
る手段とを有するウエハ搬送収納装置において、 上記ウエハ載置部に、ウエハ真空吸着手段とウ
エハ冷却手段とを具備させてなることを特徴とす
るウエハ搬送収納装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2096086U JPS62134231U (ja) | 1986-02-18 | 1986-02-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2096086U JPS62134231U (ja) | 1986-02-18 | 1986-02-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62134231U true JPS62134231U (ja) | 1987-08-24 |
Family
ID=30816957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2096086U Pending JPS62134231U (ja) | 1986-02-18 | 1986-02-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62134231U (ja) |
-
1986
- 1986-02-18 JP JP2096086U patent/JPS62134231U/ja active Pending