JPS62133641A - 進行波管の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、マイクロ波を増幅あるいは発振する進行波
管の製造方法に関する。

〔発明の技術的背景およびその問題点〕例えばヘリック
ス遅波回路形進行波管は、細長い電子ビームと非共振形
周期構造をもつヘリックス遅波回路との組合せで構成さ
れ、マイクロ波がこの遅波回路に沿って移動するときに
電子ビームとの間にある同期条件が成立するとこのマイ
クロ波にエネルギーを転移する。そして長時間にわたっ
て安定な動作を維持するためには、進行波管内が常に高
真空に保たれなければならない。一般に地上用通信機に
内蔵される進行波管においては、動作中もイオンポンプ
などを動作させて管内のガスを吸収するようにできるが
、例えば衛星搭載用などの進行波管は、重量の軽減、必
要最小限の電源で動作させなければならず、イオンポン
プなどを実装することができない。このためジルコニウ
ムのよりなゲッタを比較的高温となる位置にとシつけて
、動作中の放出ガスを吸収させるようにする。しかし比
較的初期に管内電極から多くのガスが放出されるので長
時間動作にあたってはそのガス吸収能力に限界がある。

〔発明の目的〕

この発明は、以上のような事情に鑑みてなされたもので
イオンポンプのような補助ポ／ゾを実装することなく長
時間の高真空動作を保証しうる進行波管の製造方法を提
供するものである。

〔発明の概要〕

この発明は、′電子銃部またはコレクタ電極部内に通電
加熱ヒータ内蔵形バルクゲッタを設けるとともに一部に
イオンポンプのような補助ポンプを接続しておき、進行
波管の排気工程に続く集束磁界Ａ整およびエージング工
程で、補助ポンプを作動させながらバルクゲッタの加熱
ヒータを通電加熱してこのゲッタからガスを放出させ、
且つ電子ビームによる管内電極衝撃による放出ガスを補
助ポンプに吸収させ、エージング工程の最終段階でこの
補助ポンプを切離すことを特徴とする進行波管の製造方
法である。この方法によって、バルクゲッタ自身が内蔵
するガスを確実洸放出するとともにこのピックからのガ
スおよび集束磁界装置の調整、エージング工程で放出さ
れる管内電極からのガスをともにピックには吸収させず
主として補助ポンプに吸収させることができ、実際の進
行波管の動作時は補助？ンプを有しないで放出ガスをバ
ルクゲッタに吸収させることができる。したがって長時
間にわたってバルクゲッタのガス吸収能力が維持され、
高真空動作を保証することができる。

〔発明の実施例〕

以下図面を参照してその実施例を説明する。

なお同一部分は同一符号であられす。

第１図により製造工程中の進行波管の構成を説明する。

図中の符号Ｌユは電子銃部、Ｌヱはへリックス形のよう
な周期性遅波回路部、１３はその外周に配置されたリン
グ状永久磁石およびそれらの間に介在された強磁性体製
シム板からなる集束磁界装置、Ｌヱはコレクタ電極部、
１５はベースグレート、１６はカバー、１７は電子銃部
内のカソード、１８は集束電極、１９は加速陽極、２０
はセラミック真空容器、２ノは電子ビーム導入電極、２
２は高周波入力部、２３は高周波出力部、２４はコレク
タ電極接続用端板、２５は熱シールド板、２６．２６・
・・は複数のコレクタ電極！極、２７は最下流の底部コ
レクタ電極、２８はコレクタ電極支持体、２９はコレク
タ電極カバーをあられしている。

さて、電子銃部内のカソードの近傍には、通電加熱ヒー
タを内蔵する非蒸発形バルクゲッタ３ノが近接配置され
ている。そしてそのヒータリード３２が、管外に引出さ
れている。また同様にコレクタ電極部の底部電極２７の
裏面部に、通電加熱ヒータを内蔵するバルクゲッタ３３
が配置されている。なおヒータリードは図示しないが同
様に管外に引出されている。これらバルクゲッタは、例
えばジルコニウムを主体にしてバナジウム、鉄等を含む
多孔質の公知のものである。また、コレクタ電極部の端
板２４の一部に、接続パイプ３４を介して補助ポンプで
あるイオンインｆｓｓが接続されている。

そこで、このような進行波管の排気工程に続いて、集束
磁界装置１３の電子ビーム集束磁界調整およびエージン
グ工程を経る。この工程で、イオンポンプ３５を動作さ
せる。またバルクゲッタ３１．３３を図示しない電源か
ら通電して例えば５００乃至８００℃程度に加熱し、ゲ
ッタ自身からのガス放出をする。このようにイオンポン
プを動作させ、ゲッタを加熱しながら、電子ビームを走
行させてビーム透過調整を行ない、それによシヘリック
スやコレクタ電極などの管内電極から内蔵ガスを放出さ
せる。これらの放出ガスは、ゲッタが高温に維持されて
いるのでこのゲッタにはほとんど吸収されずにイオンポ
ンプ３５に吸収される。このようにニーソングを行ない
、最終段階でゲッタのヒータ加熱を停止し、そして接続
パイプ３４の符号Ｘで示す途中を封止切りし、イオンポ
ンプ３５を管本体から切離す。こうして進行波管を完成
する。

進行波管の実際の動作においては、管内のパルクグッタ
は、カンード、またはコレクタ電極からの熱によりおよ
そ３００℃程度に維持されて適度のガス吸着能力を発揮
し、管内を高真空に維持する。

第２図および第３図に示す実施例は、コレクタ電極部の
端板に、電子ビーム通過孔をはさんで両側にバルクゲッ
タ３６．３７をとυつけたものである。これによれば、
管の動作時バルクゲッタは適度の温度になシ、遅波回路
部をコレクタ電・画側に移動するガス分子、ガスイオン
をこのバルクゲッタによシ能率よく吸収でき、一層効果
的である。

なお管内のバルクゲッタは、動作時に比較的高温となる
部分に設置すればよく、また１か所または複数か所に設
置すればよい。また補助ポンプは、イオンポンプに限ら
ず、他の型式のものでもよい。

〔発明の効果〕

以上説明したようにこの発明によれば、管内のバルクゲ
ッタ自身が内蔵するガスを確実に放出するとともにとの
ゲッタからのガスおよび集束磁界装置の調整、エージン
グ工程で放出される管内電極からのガスをともにこのバ
ルクゲッタには吸収させず補助ポンプすなわちイオンポ
ンプに吸収させることができ、実際の進行波管の動作時
は補助ポンプを有しないで放出がスをバルクゲッタに吸
収させることができる。したがって補助ポンプなしでも
長時間にわたって管内ピックのガス吸収能力が維持され
、高真空動作を保証することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を説明する進行波管の断面
図、第２図はこの発明の他の実施例を示す要部断面図、
第３図は第２図の３−３における横断面図である。 １ノ・・・電子銃部、１２・・・遅波回路部、１３・・
・集束磁界装置、ノ４・・・コレクタ電極部、３ノ。 ３３．３６．３７・・・バルクゲッタ、３５・・・イオ
ンポンｆ（補助ポンプ）。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 電子銃部、周期性遅波回路部、その外周に配置された集
   束磁界装置、およびコレクタ電極部を備える進行波管の
   製造方法において、 上記電子銃部またはコレクタ電極部内に通電加熱ヒータ
   内蔵形バルクゲッタを設けるとともに一部に補助ポンプ
   を接続しておき、 進行波管の排気工程に続く集束磁界調整およびエージン
   グ工程で、上記補助ポンプを作動させながら上記バルク
   ゲッタの加熱ヒータを通電加熱して該ゲッタからガスを
   放出させ、且つ電子ビームによる管内電極衝撃による放
   出ガスを前記補助ポンプに吸収させ、 エージング工程の最終段階で補助ポンプを切離すことを
   特徴とする進行波管の製造方法。