JPS62127789A - 薄膜elパネル - Google Patents
薄膜elパネルInfo
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- JPS62127789A JPS62127789A JP60267194A JP26719485A JPS62127789A JP S62127789 A JPS62127789 A JP S62127789A JP 60267194 A JP60267194 A JP 60267194A JP 26719485 A JP26719485 A JP 26719485A JP S62127789 A JPS62127789 A JP S62127789A
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 7
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 11
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- 239000010408 film Substances 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 description 3
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 2
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003570 air Substances 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 description 1
- BDVZHDCXCXJPSO-UHFFFAOYSA-N indium(3+) oxygen(2-) titanium(4+) Chemical compound [O-2].[Ti+4].[In+3] BDVZHDCXCXJPSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000003014 ion exchange membrane Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002808 molecular sieve Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000001603 reducing effect Effects 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N sodium aluminosilicate Chemical compound [Na+].[Al+3].[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は薄膜ELパネル、特にシリコンオイルなどの保
護用流体でEL素子への水分侵入を防止した構造の薄膜
ELパネルに関する。
護用流体でEL素子への水分侵入を防止した構造の薄膜
ELパネルに関する。
(従来技術)
最近薄膜ELパネルが表示装置として利用される傾向に
ある。
ある。
薄膜ELパネルは、透明なガラス基板上に、インジウム
・チタン酸化物などの透明電極と、醸化チタンなどの誘
電体から成る第1の絶縁層と、Mnが添加されたZnS
から成る発光層と、第1の絶縁層と同じ材料から成る第
2の絶縁層と、ざらにAnなどから成る背面電極とを順
次に真空蒸着やスパッタリングなどの方法で形成したも
のであるが、誘電体層には製造工程中に多数のピンホー
ルやマイクロクランクなどが発生し易く、そこから水分
や湿気が侵入して発光層に至り1発光特性を劣化させ寿
命を短縮させる原因となっている。
・チタン酸化物などの透明電極と、醸化チタンなどの誘
電体から成る第1の絶縁層と、Mnが添加されたZnS
から成る発光層と、第1の絶縁層と同じ材料から成る第
2の絶縁層と、ざらにAnなどから成る背面電極とを順
次に真空蒸着やスパッタリングなどの方法で形成したも
のであるが、誘電体層には製造工程中に多数のピンホー
ルやマイクロクランクなどが発生し易く、そこから水分
や湿気が侵入して発光層に至り1発光特性を劣化させ寿
命を短縮させる原因となっている。
この問題を解決するために、EL素子が形成されたガラ
ス基板上にEL素子を覆うようにガラス容器をa鐙し、
そこに形成された空間にシリコンオイルなどの封止剤を
充填した薄膜ELパネルが知られている(たとえば特開
昭56−48092号)。さらに、このような構造のF
l膜ELパネルにおいては、ガラス基板とガラス容器と
の接合部から素子製造後水分が侵入するおそれがあるの
で、これを防止するためにこの接合部に接着剤としての
エポキシ樹脂とともにモレキュラシーブのような強力な
吸湿剤を配して水分の侵入防止を確実にしたものも提案
されている(特開昭60−25193号)。
ス基板上にEL素子を覆うようにガラス容器をa鐙し、
そこに形成された空間にシリコンオイルなどの封止剤を
充填した薄膜ELパネルが知られている(たとえば特開
昭56−48092号)。さらに、このような構造のF
l膜ELパネルにおいては、ガラス基板とガラス容器と
の接合部から素子製造後水分が侵入するおそれがあるの
で、これを防止するためにこの接合部に接着剤としての
エポキシ樹脂とともにモレキュラシーブのような強力な
吸湿剤を配して水分の侵入防止を確実にしたものも提案
されている(特開昭60−25193号)。
一方、薄膜EL素子の製造プロセスにおいてはシリコン
オイルの充填時などに微量の水分がシリコンオイル中に
侵入してしまうことがあり、素子の劣化や破壊の主な原
因となり、素子の信頼性を低下させる。従来この問題を
解決するために、シリコンオイル中にシリカゲルのよう
な吸湿剤の粉末を分散させシリコンオイル中の水分を吸
収させてしまう方法が提案されているが(たとえば特開
昭55−124182号)、水分は吸着されるもののオ
イルの内部にはシリカゲルが依然として残るため水分を
完全に除去できないことと、シリカゲルの成分であるC
aのようなアルカリ土類金属は長い間にはEL素子の絶
縁膜に浸透し絶縁膜と発光膜との間の剥離の原因となり
、素子の寿命短縮につながる。
オイルの充填時などに微量の水分がシリコンオイル中に
侵入してしまうことがあり、素子の劣化や破壊の主な原
因となり、素子の信頼性を低下させる。従来この問題を
解決するために、シリコンオイル中にシリカゲルのよう
な吸湿剤の粉末を分散させシリコンオイル中の水分を吸
収させてしまう方法が提案されているが(たとえば特開
昭55−124182号)、水分は吸着されるもののオ
イルの内部にはシリカゲルが依然として残るため水分を
完全に除去できないことと、シリカゲルの成分であるC
aのようなアルカリ土類金属は長い間にはEL素子の絶
縁膜に浸透し絶縁膜と発光膜との間の剥離の原因となり
、素子の寿命短縮につながる。
(発明の目的および構成)
本発明は上記の点にかんがみてなされたもので、EL素
子をシリコンオイルなどの保護用流体で保護する構造の
薄膜ELパネルにおいて、保護用流体中に混入している
水分を積極的に除去してELパネルの長寿命化を図るこ
とを目的とし、この目的を達成するために、透明基板上
に形成したEL素子を封止するための封止部材の一部に
、EL素子周辺の封止空間と素子外部との間で気体の流
出は許容するが液体または液体分子の通過は阻止する気
体透過部を設けるともに、前記空間内に保護用流体中の
水分を分解するための電極を配置するように構成したも
のである。
子をシリコンオイルなどの保護用流体で保護する構造の
薄膜ELパネルにおいて、保護用流体中に混入している
水分を積極的に除去してELパネルの長寿命化を図るこ
とを目的とし、この目的を達成するために、透明基板上
に形成したEL素子を封止するための封止部材の一部に
、EL素子周辺の封止空間と素子外部との間で気体の流
出は許容するが液体または液体分子の通過は阻止する気
体透過部を設けるともに、前記空間内に保護用流体中の
水分を分解するための電極を配置するように構成したも
のである。
(実施例)
以下本発明を図面に基づいて説明する。
第1図は本発明による薄膜ELパネルの一実施例の構造
断面図を示す。
断面図を示す。
図において、lは透明基板ガラス、2は透明電極、4は
MnをドープしたZnSの発光層であり、この両側を酸
化イー2トリアなどの絶縁膜3゜5ではさんである。6
は表示パターンを形成するためのアルミニウムなどから
なる背面電極であり、これら発光表示に関するEL素子
2〜6を以下のようにして封止実装する。
MnをドープしたZnSの発光層であり、この両側を酸
化イー2トリアなどの絶縁膜3゜5ではさんである。6
は表示パターンを形成するためのアルミニウムなどから
なる背面電極であり、これら発光表示に関するEL素子
2〜6を以下のようにして封止実装する。
7は透明基板2と透明基板ガラス8とを接合する耐水性
に優れたエポキシ系の接着剤であり、9はフッ素樹脂系
の耐水性気体透過膜(たとえばテフロンフィルタ)であ
る、この気体透過115I9は水素、酸素、空素などの
気体は通過するが、水のような液体や水蒸気のような液
体分子の通過は阻止する性質を有し、エポキシ系の接着
剤10を用いて透明基板ガラス8に接着固定されている
。11はEL素子2〜6への水分侵入を防止するために
透明基板ガラス8と接着剤7とによりEL素子上に形成
された空間Sに充填された絶縁シリコンオイルである。
に優れたエポキシ系の接着剤であり、9はフッ素樹脂系
の耐水性気体透過膜(たとえばテフロンフィルタ)であ
る、この気体透過115I9は水素、酸素、空素などの
気体は通過するが、水のような液体や水蒸気のような液
体分子の通過は阻止する性質を有し、エポキシ系の接着
剤10を用いて透明基板ガラス8に接着固定されている
。11はEL素子2〜6への水分侵入を防止するために
透明基板ガラス8と接着剤7とによりEL素子上に形成
された空間Sに充填された絶縁シリコンオイルである。
また空間S内には、絶縁シリコンオイル11中に混入し
ている水分を分解するとともに絶縁シリコンオイル11
の絶縁度低下を防止する目的で以下の構成から成る水除
去用のイオン固定型の水分解電極1?が浸漬されている
。
ている水分を分解するとともに絶縁シリコンオイル11
の絶縁度低下を防止する目的で以下の構成から成る水除
去用のイオン固定型の水分解電極1?が浸漬されている
。
イオン固定型水分解電極12はイオンを固定しているイ
オン交換膜12aの両面に含浸法などの方法で水分解用
電極12b、12cを固定し、電極12b、12cに圧
着によりリード線12d。
オン交換膜12aの両面に含浸法などの方法で水分解用
電極12b、12cを固定し、電極12b、12cに圧
着によりリード線12d。
12eを接続したものである。この水分解電極12の側
面はエポキシ系の接着剤13により固定され、且つ透明
基板ガラス8に対しては接着剤14により固定されてい
る。
面はエポキシ系の接着剤13により固定され、且つ透明
基板ガラス8に対しては接着剤14により固定されてい
る。
薄膜ELパネルをこのような構造とし、イオン固定型水
分解電極12を直流電源15に接続しておくと、パネル
の製造プロセスにおいてシリコンオイルll内に侵入し
た木または製造後接着剤を経由してシリコンオイル11
内に侵入した水はシリコンオイルと混っているが水分解
電極12による電気分解によりH2と02のガスに変換
されて空間S内の気圧が外部より高まり、透明基板ガラ
ス8に設けられた気体透過膜9から外部に容易に排出さ
れる。この場合、気体透過膜9の性質上素子外部の気圧
は空間S内の気圧より低いので外部の水素や酸素は素子
の内部に侵入しないし、外部の水蒸気も素子内部に侵入
しない。こうして素子内部の水分が積極的に外部に排出
される。
分解電極12を直流電源15に接続しておくと、パネル
の製造プロセスにおいてシリコンオイルll内に侵入し
た木または製造後接着剤を経由してシリコンオイル11
内に侵入した水はシリコンオイルと混っているが水分解
電極12による電気分解によりH2と02のガスに変換
されて空間S内の気圧が外部より高まり、透明基板ガラ
ス8に設けられた気体透過膜9から外部に容易に排出さ
れる。この場合、気体透過膜9の性質上素子外部の気圧
は空間S内の気圧より低いので外部の水素や酸素は素子
の内部に侵入しないし、外部の水蒸気も素子内部に侵入
しない。こうして素子内部の水分が積極的に外部に排出
される。
(発明の効果)
以上説明したように、本発明においては、透明基板上に
形成したEL素子を封止するための封止部材の一部に気
体透過部を設けるとともにEL素子周辺の封止空間内に
保護用流体中の水分を分解するための電極を配置したの
で、ELパネル形成時またはその後入った微量の水を常
時積極的に除去できるため発光膜の劣化や破壊が防止で
き、大巾な素子の長寿命化がはかれるという効果が得ら
れる。
形成したEL素子を封止するための封止部材の一部に気
体透過部を設けるとともにEL素子周辺の封止空間内に
保護用流体中の水分を分解するための電極を配置したの
で、ELパネル形成時またはその後入った微量の水を常
時積極的に除去できるため発光膜の劣化や破壊が防止で
き、大巾な素子の長寿命化がはかれるという効果が得ら
れる。
第1図は本発明による薄膜EL素子の一実施例の断面構
造図である。
造図である。
Claims (1)
- 透明基板上に形成したEL素子を覆うように該透明基板
上に封止部材を設け、前記透明基板と前記封止部材との
間に形成される空間を前記EL素子への水分侵入を防止
する保護用流体で充填した薄膜ELパネルにおいて、前
記封止部材の一部に前記空間とパネル外部との間で気体
の通過は許容するが液体または液体分子の通過は阻止す
る気体透過部を設けるとともに、前記空間内に保護用流
体中の水分を分解するための電極を配置したことを特徴
とする薄膜ELパネル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60267194A JPS62127789A (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 | 薄膜elパネル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60267194A JPS62127789A (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 | 薄膜elパネル |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62127789A true JPS62127789A (ja) | 1987-06-10 |
Family
ID=17441423
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60267194A Pending JPS62127789A (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 | 薄膜elパネル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62127789A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009076479A (ja) * | 2009-01-13 | 2009-04-09 | Seiko Epson Corp | 電気泳動表示装置 |
US8553312B2 (en) | 2006-09-27 | 2013-10-08 | Seiko Epson Corporation | Electronic device, organic electroluminescence device, and organic thin film semiconductor device |
-
1985
- 1985-11-29 JP JP60267194A patent/JPS62127789A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8553312B2 (en) | 2006-09-27 | 2013-10-08 | Seiko Epson Corporation | Electronic device, organic electroluminescence device, and organic thin film semiconductor device |
JP2009076479A (ja) * | 2009-01-13 | 2009-04-09 | Seiko Epson Corp | 電気泳動表示装置 |
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