JPS62124748U - - Google Patents
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- JPS62124748U JPS62124748U JP1036986U JP1036986U JPS62124748U JP S62124748 U JPS62124748 U JP S62124748U JP 1036986 U JP1036986 U JP 1036986U JP 1036986 U JP1036986 U JP 1036986U JP S62124748 U JPS62124748 U JP S62124748U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- type ion
- source
- ionization type
- surface ionization
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 5
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例のブロツク図、第２
図はイオン化原料容器の変形例の断面図である。 １……イオン化原料容器、２……イオン化原料
、３……原料充填室、４……ガス溜室、５，５′
……オリフイス、６……多孔質金属、７……容器
支持体、８……フイラメント、９……抵抗加熱源
、１０……抵抗加熱用電源、１１……引き出し電
極、１２……イオンビーム、１３……イオンモニ
タ、１４……信号検出器、１５……制御回路、１
６……指示回路。
図はイオン化原料容器の変形例の断面図である。 １……イオン化原料容器、２……イオン化原料
、３……原料充填室、４……ガス溜室、５，５′
……オリフイス、６……多孔質金属、７……容器
支持体、８……フイラメント、９……抵抗加熱源
、１０……抵抗加熱用電源、１１……引き出し電
極、１２……イオンビーム、１３……イオンモニ
タ、１４……信号検出器、１５……制御回路、１
６……指示回路。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ エミツタとしての多孔質金属およびイオン化
原料容器当該容器を電子衝撃加熱するフイラメン
トおよび抵抗加熱源とその電源更に当該容器から
放出されるイオンビームを検出する信号検出器よ
り構成される表面電離型イオン源において、上記
抵抗加熱用電源の制御回路を設けたことを特徴と
する表面電離型イオン源。 ２ 請求の範囲第１項において、上記制御回路へ
特定信号を指示する指示回路を設けたことを特徴
とする表面電離型イオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1036986U JPS62124748U (ja) | 1986-01-29 | 1986-01-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1036986U JPS62124748U (ja) | 1986-01-29 | 1986-01-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62124748U true JPS62124748U (ja) | 1987-08-07 |
Family
ID=30796593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1036986U Pending JPS62124748U (ja) | 1986-01-29 | 1986-01-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62124748U (ja) |
-
1986
- 1986-01-29 JP JP1036986U patent/JPS62124748U/ja active Pending
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