JPS62114628U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62114628U JPS62114628U JP252986U JP252986U JPS62114628U JP S62114628 U JPS62114628 U JP S62114628U JP 252986 U JP252986 U JP 252986U JP 252986 U JP252986 U JP 252986U JP S62114628 U JPS62114628 U JP S62114628U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- raw material
- lid
- phase synthesis
- vapor phase
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 claims description 4
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図は、本考案の１実施例である気相合成用
原料ボートの断面図、第２図はボートとふたの端
部接合状態を示す拡大図、第３図は従来の気相合
成装置の原料ボート部の断面及び炉内の温度分布
をした図である。
原料ボートの断面図、第２図はボートとふたの端
部接合状態を示す拡大図、第３図は従来の気相合
成装置の原料ボート部の断面及び炉内の温度分布
をした図である。
Claims (1)
- 原料ボートに可撓性フイルムを介して着脱可能
なふたを設け、該ふた若しくはボートにキヤリア
ガス導入用細管及び原料蒸気を気相合成領域に供
給する細管を設けることを特徴とする気相合成用
原料ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP252986U JPS62114628U (ja) | 1986-01-14 | 1986-01-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP252986U JPS62114628U (ja) | 1986-01-14 | 1986-01-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62114628U true JPS62114628U (ja) | 1987-07-21 |
Family
ID=30781452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP252986U Pending JPS62114628U (ja) | 1986-01-14 | 1986-01-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62114628U (ja) |
-
1986
- 1986-01-14 JP JP252986U patent/JPS62114628U/ja active Pending