JPS62112710U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62112710U JPS62112710U JP19987785U JP19987785U JPS62112710U JP S62112710 U JPS62112710 U JP S62112710U JP 19987785 U JP19987785 U JP 19987785U JP 19987785 U JP19987785 U JP 19987785U JP S62112710 U JPS62112710 U JP S62112710U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bypass
- gas
- flow rate
- sensor
- bridge circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 claims 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Flow Control (AREA)
- Control Of Temperature (AREA)
Description
第1図はこの考案の質量流量調節装置の一実施
例の構成を示す図、第2図は従来の質量流量調節
装置の構成を示す図である。 21…センサ管、22…バイパス、23…ニー
ドルバルブ、24…ハンドル、25…目盛、26
,27…サーモレジスタ、28…ブリツジ回路、
31…比較回路、35…バルブ、36…オリフイ
ス、37…ニードル弁、38…通路。
例の構成を示す図、第2図は従来の質量流量調節
装置の構成を示す図である。 21…センサ管、22…バイパス、23…ニー
ドルバルブ、24…ハンドル、25…目盛、26
,27…サーモレジスタ、28…ブリツジ回路、
31…比較回路、35…バルブ、36…オリフイ
ス、37…ニードル弁、38…通路。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) (a) ガスを流入するバイパスと、 (b) このバイパスから分岐して上記ガスを分
流するセンサ管と、 (c) このセンサ管の上流側と下流側に設けら
れ流通するガスの温度を検出する1対のサーモレ
ジスタと、 (d) 上記センサ管にガスが流通しているとき
上記1対のサーモレジスタの出力の差により不平
衡状態となつて出力信号を発するブリツジ回路と
、 (e) 上記バイパスにおいて上記センサ管の直
下に設けられガスの種類とその最大流量を調節す
る第1の手段と、 (f) 上記バイパスにおいて上記手段の下流側
に設けられバイパスのガス流量を制御するバルブ
と、 (g) 上記ブリツジ回路の出力と所定の設定値
とを比較しその差がなくなるように上記バルブを
制御する第2の手段と、 よりなる質量流量調節装置。 (2) 第1の手段はマイクロメータ方式のニード
ルバルブであることを特徴とする実用新案登録請
求の範囲第1項記載の質量流量調節装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19987785U JPS62112710U (ja) | 1985-12-28 | 1985-12-28 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19987785U JPS62112710U (ja) | 1985-12-28 | 1985-12-28 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62112710U true JPS62112710U (ja) | 1987-07-17 |
Family
ID=31161907
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19987785U Pending JPS62112710U (ja) | 1985-12-28 | 1985-12-28 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62112710U (ja) |
-
1985
- 1985-12-28 JP JP19987785U patent/JPS62112710U/ja active Pending
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