JPS62109638A - 硬質表面シ−ト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は種々な表面形状を有し得ると共に、耐環境性に
富む表面を有した硬質表面シートに関する。

従来の技術 従来、ダイヤモンド又はダイヤモンド状炭素（水素も含
む）からなる硬質薄膜を気相法により真空容器内で高温
に保持されたシート状基材の表面に直接形成することが
行なわれている。

発明が解決しよ、つとする問題点 しかしながら、上記従来例では、真空容器内でシート状
基材を予混に保持する必要があるため・基材の物質が限
定されると共に、基材の表面に気相法により直接硬質薄
膜を形成するものであるため、基材の表面にミリメート
ルオーダの凹部や凸部等がある場合には１．これら凹部
や凸部の側面には膜形成を行なえないという問題があっ
た。

問題点を解決するための手段 上記従来の欠点を解決するために、本発明の硬質表面シ
ートは、予じめ可撓性を消失せしめない膜厚でダイヤモ
ンド又はダイヤモンド状炭素からなる硬質薄膜を形成し
た可撓性フィルムの裏面を、任意形状を有するシート状
基材の表面にその表面形状に沿って接着又は熱溶着によ
り接合した構成である。

作用 上記構成においては、可撓性フィルム上に従来の気相法
等により予じめダイヤモンド又はダイヤモンド状炭素か
らなる硬質薄膜が形成されており、この際に、フィルム
の可撓性は硬質薄膜の膜厚を制限することにより維持す
ることができる。従って、硬質薄膜が形成された可撓性
フィルムは凹凸を有するシート状基材の表面に完全に沿
うことができるため、基材表面全体を均等に硬質表面化
できるものである。しかも、可撓性フィルムと基材との
接合は、空気中でも行なうことができるため、基材の物
質が限定されることはない。

予じめ別途行なわれる硬質薄膜の形成は、従来の気相法
で行なってもよいが、この場合には、可撓性フィルムの
物質が限定される（但し、シート状基材の物質が限定さ
れる訳ではない）ので、シート状基材表面への接合は接
着剤を用いて行なう必要がある。

一方、硬質薄膜形成を本出願人の先願である特願昭６０
−６１１３５に開示されている方法により行なうことも
できる。すなわち、上記先願には、真空容器を用いるこ
となく、しかも基板としての可撓性フィルムを高温に保
つ必要なく、その上にダイヤモンド又はダイヤモンド状
炭素薄膜を形成する方法を開示すると共に、薄膜の膜厚
を１０００Å以下にすることにより、可撓性フィルムの
可撓性が消失しない旨が開示されている。従って、この
方法では可撓性フィルムの物質が限定されることがなく
、可撓性フィルムをアクリル等の熱融着性材料で構成す
ることができ、本発明に適用した場合、シート状基材も
アクリル等の熱融着性材料で構成することにより、可撓
性フィルムとシート状基材との接合を加熱による熱融着
により行なえることになり、接着剤の使用を回避できる
ものである。なお、可撓性を維持し得る硬質薄膜の膜厚
は、可撓性フィルムの材質や膜厚及び硬質薄膜をダイヤ
モンド状炭素で構成した場合における水素含量等に応じ
て変化させ得るものなので、必ずしも１０００Å以下に
する必要はないが、多くの場合は１０００Å以下にする
ことにより好結果が得られるものである。

実施例 以下、本発明の実施例を添付図面に基づき説明する。

第１図において、１は金属等からなる可撓性フィルムで
、このフィルム１の表面には予じめ別工程において平坦
状とされた状態でダイヤモンド又はダイヤモンド状炭素
からなる硬質薄膜２が１０００Å以下の膜厚で形成され
ている。３は例えばガラスや金属等からなるシート状基
材で、その表面には顕著な曲り３ａを有している。本実
施例においては、可撓性フィルム１の裏面とシート状基
材３の表面との接合はエポキシ等の接着剤４を介して行
なわれるが、その際に、硬質薄膜２の膜厚を１０００Å
以下としたことにより、可撓性フィルム１の可撓性が消
失することはないため、可撓性フィルム１は基板３表面
の曲り３ａに容易に追随することができ、しかも曲り３
ａに対応する部分において硬質薄ｌ！！２に割れや剥離
が生ずることはなかった。以上のようにして、シート状
基材３、可撓性フィルム１及び硬質薄膜２からなる積層
シート全体としての表面２ａを耐薬性や耐摩耗性等をも
含めた広い意味での耐環境性に優れたものとすることが
できた。

第２図に示した実施例では、可撓性フィルム１としてア
クリル等の熱融着性材料を用いると共に、凹部の存在に
より曲り３ａを生じたシート状基材３としてもアクリル
等の熱融着性材料を用いているため、フィルム１と基材
３との接合にあたっては、積層シート全体を加熱するこ
とにより両者を直接熱融着させたものであり、中間に接
着剤を介在させる必要がなくなっている。なお、本実施
例において、可撓性フィルム１への硬質薄膜２の形成は
、前述した特願昭６０−６１１３５号に従って、イオン
ビームスパッタ、イオンブレーティング、スパッタ、Ｃ
ＶＤ、イオンビーム蒸着等によって行なった。また、本
実施例のように、可撓性フィルム１及びシート状基材３
に熱融着性材料を用いる場合でも、両者の接合を接着剤
を介して行なうことを妨げられるものではない。

発明の効果 以上述べたごとく、本発明の硬質表面シートでは、別途
子じめ硬質薄膜を可撓性を消失させない−〇　− 膜厚で表面に形成された可撓性フィルムをその可撓性を
利用してシート状基材に接合した構成をとったので、基
材の物質が限定されることがないと共に、あらゆる表面
形状を有する基材の表面を耐環境性に優れた硬質表面と
することができるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における硬質表面シートを示
す断面図、第２図は本発明の他の実施例による硬質表面
シートを示す断面図である。 １・・・可撓性フィルム、２・・・硬質薄膜、３・・・
シート状基材、４・・・接着剤 代理人　　　森　　本　　義　　弘 第１図 第２図 ｚ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、予じめ表面に可撓性を消失せしめない膜厚でダイヤ
   モンド又はダイヤモンド状炭素からなる硬質薄膜を形成
   した可撓性フィルムの裏面を、任意形状を有するシート
   状基材の表面にその表面形状に沿って接着又は熱融着に
   より接合してなる硬質表面シート。 ２、硬質薄膜の膜厚が１０００Å以下である特許請求の
   範囲第１項に記載の硬質表面シート。