JPS6210850A - 電子ビ−ム静電レンズ - Google Patents
電子ビ−ム静電レンズInfo
- Publication number
- JPS6210850A JPS6210850A JP14971985A JP14971985A JPS6210850A JP S6210850 A JPS6210850 A JP S6210850A JP 14971985 A JP14971985 A JP 14971985A JP 14971985 A JP14971985 A JP 14971985A JP S6210850 A JPS6210850 A JP S6210850A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- electrode plate
- electrode
- distance
- focusing
- Prior art date
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- Pending
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕本発明はリボン状の電子ビームラ集束す
る、いわゆるアインツエルレンズと称されている電子ビ
ームの静電レンズに関するものである。
る、いわゆるアインツエルレンズと称されている電子ビ
ームの静電レンズに関するものである。
従来のこの種の静電レンズを第4図について説明する。
1は線状の熱陰極で、直径20〜50μmのタングステ
ン線の表面に電子放射性酸化物が電着又は塗着されてお
シ、加熱用電源6により約700Cに加熱すると電子ビ
ームを放射する。
ン線の表面に電子放射性酸化物が電着又は塗着されてお
シ、加熱用電源6により約700Cに加熱すると電子ビ
ームを放射する。
2は電子ビーム取り出し電極板で、線状熱陰極1の長手
方向に沿って電子ビームの通過するスリット3が設けで
ある。4a14bはこのスリット3を通過したリボン状
の電子ビームを集束する1対の集束電極板、5は加速電
極板で、これらの各電極は線状熱陰極1の長手方向に相
互に平行に配置されており、集束電極板4a、4bおよ
び加速電極板5に所定の電圧を印加すると、スリット3
を通過したリボン状の電子ビームは加速電極板5の上に
集束する。
方向に沿って電子ビームの通過するスリット3が設けで
ある。4a14bはこのスリット3を通過したリボン状
の電子ビームを集束する1対の集束電極板、5は加速電
極板で、これらの各電極は線状熱陰極1の長手方向に相
互に平行に配置されており、集束電極板4a、4bおよ
び加速電極板5に所定の電圧を印加すると、スリット3
を通過したリボン状の電子ビームは加速電極板5の上に
集束する。
ところで上記の構造においては、加速電極板5の上に集
束する電子ビーム7は第4図仲)に示すように、その長
手方向に沿って集束中を異にし、均一な集束中で集束し
ない。その原因は線状熱陰極】を加熱するためにその両
端に印加する加熱用電源6の電位差にある。すなわち、
外径35μm、長さ20crnの線状熱陰極1を70O
r’に加熱するためにはIOVの電圧を必要とする。い
ま、加熱用電源6の左側を+10■、右側を0■とし、
電子ビーム取り出し電極板2に、−)−30Vを印加し
たとすると、線状熱陰極1と電極板2との間の電位は、
左側は20Vで右側は30Vになる。このように静電レ
ンズ系に入射する電f−ビームのエネルギー分布に不均
一があると加速電極板5の上に集束する電子ビームの集
束中に不均一が生ずるのである。
束する電子ビーム7は第4図仲)に示すように、その長
手方向に沿って集束中を異にし、均一な集束中で集束し
ない。その原因は線状熱陰極】を加熱するためにその両
端に印加する加熱用電源6の電位差にある。すなわち、
外径35μm、長さ20crnの線状熱陰極1を70O
r’に加熱するためにはIOVの電圧を必要とする。い
ま、加熱用電源6の左側を+10■、右側を0■とし、
電子ビーム取り出し電極板2に、−)−30Vを印加し
たとすると、線状熱陰極1と電極板2との間の電位は、
左側は20Vで右側は30Vになる。このように静電レ
ンズ系に入射する電f−ビームのエネルギー分布に不均
一があると加速電極板5の上に集束する電子ビームの集
束中に不均一が生ずるのである。
本発明はこの問題を解決することを意図するものであっ
て、加速電極板5の上に集束する電子ビームの集束[1
コを均一にすることのできる電子ビーム静電レンズを提
供することをその目的とするものである。
て、加速電極板5の上に集束する電子ビームの集束[1
コを均一にすることのできる電子ビーム静電レンズを提
供することをその目的とするものである。
〔発明の構成〕本発明の電子ビーム静電レンズは、電子
ビームを放射する線状熱陰極からリボン状の電子ビーム
を取り出す電子ビーム取り出し電極板と平行に、1対の
集束電極板と加速電極板とを設けた静電レンズ系におい
て、前記電子ビームのエネルギーの分布に対応して前記
1対の集束電極板の間隔、前記集束電極板の電極中およ
び前記電子ビーム取り出し電極と前記加速電極板との間
隔のうち、少くともそのlを前記線状熱陰極の長手方向
に沿って変化させたことを特徴とする。
ビームを放射する線状熱陰極からリボン状の電子ビーム
を取り出す電子ビーム取り出し電極板と平行に、1対の
集束電極板と加速電極板とを設けた静電レンズ系におい
て、前記電子ビームのエネルギーの分布に対応して前記
1対の集束電極板の間隔、前記集束電極板の電極中およ
び前記電子ビーム取り出し電極と前記加速電極板との間
隔のうち、少くともそのlを前記線状熱陰極の長手方向
に沿って変化させたことを特徴とする。
本発明の実施例を第1図について説明する。
同図において1ないし6は第4図と同じものを示してい
るからその説明を省略する。この種の静電レンズ系にお
いては入射する電子ビームのもつエネルギーが大きいほ
ど焦点距離が大となる。したがってエネルギー差のある
電子ビームを加速電極板上に均一な集束rlJで集束す
るためにはレンズ系の焦点距離を線状熱陰極1の長手方
向に沿って変化させる必要がある。第1図の本発明の第
1実施例においては1対の集束電極板4a、4bの間隔
dを電子ビームのエネルギーの分布に対応してd1〜d
、 (d、> d2>と変化させている。間隔dの狭い
方が同一エネルギーの電子ビームに対して集束力が大き
く作用する。
るからその説明を省略する。この種の静電レンズ系にお
いては入射する電子ビームのもつエネルギーが大きいほ
ど焦点距離が大となる。したがってエネルギー差のある
電子ビームを加速電極板上に均一な集束rlJで集束す
るためにはレンズ系の焦点距離を線状熱陰極1の長手方
向に沿って変化させる必要がある。第1図の本発明の第
1実施例においては1対の集束電極板4a、4bの間隔
dを電子ビームのエネルギーの分布に対応してd1〜d
、 (d、> d2>と変化させている。間隔dの狭い
方が同一エネルギーの電子ビームに対して集束力が大き
く作用する。
dlとd2の間隔差は各電極に印加される電圧および電
極の寸法によって定まる。
極の寸法によって定まる。
第2図は本発明の第2実施例で、1対の集束電極板4a
、4bはガラス製の絶縁基板8と集束電極9とによって
形成されており集束電極9の巾aを長手方向に沿ってa
1〜a2(a、 < a2)と変化させ、線状熱陰極1
に沿って焦点距離を異にするレンズ系を形成している。
、4bはガラス製の絶縁基板8と集束電極9とによって
形成されており集束電極9の巾aを長手方向に沿ってa
1〜a2(a、 < a2)と変化させ、線状熱陰極1
に沿って焦点距離を異にするレンズ系を形成している。
第3図は本発明の第3実施例で、1対の集束電極板4a
、4bを、長手方向に沿ってその巾すがb1〜b* (
b+ < bt)と変化するガラス製の絶縁基板8と、
一定巾Cの集束電極9とによって形成することにより、
電子ビーム取り出し電極板2と加速電極板5との間隔を
絶縁基板8の巾の変化す、〜b、と一致させている。こ
の間隔1)が大きいほどレンズ作用が大きく作用する。
、4bを、長手方向に沿ってその巾すがb1〜b* (
b+ < bt)と変化するガラス製の絶縁基板8と、
一定巾Cの集束電極9とによって形成することにより、
電子ビーム取り出し電極板2と加速電極板5との間隔を
絶縁基板8の巾の変化す、〜b、と一致させている。こ
の間隔1)が大きいほどレンズ作用が大きく作用する。
かくして加速電極板5の上に均一な集束中を有する電子
ビームをうろことができる。
ビームをうろことができる。
以上、本発明の第1実施例、第2実施例お、Lび第3実
施例を説明したが、本発明においでは。
施例を説明したが、本発明においでは。
この3つの実施例のうち、少くともぞの1が採用される
。また、この3つの実施例を適宜組合せて実施する場合
のあることりいう−までもない。
。また、この3つの実施例を適宜組合せて実施する場合
のあることりいう−までもない。
なお、以−Fの実施例において、電子ビーム取り出し電
極板2の電子ビームの取り出しにスリット$3を用いる
場合を示したがスリット材3の代りに丸穴、角孔等を使
用しても差支えはない。
極板2の電子ビームの取り出しにスリット$3を用いる
場合を示したがスリット材3の代りに丸穴、角孔等を使
用しても差支えはない。
〔発明の効果3以上述べたように、本発明の電子ビーム
静電レンズは、電子ビームを放射する線状熱陰極1から
リボン状の電子ビームを取り出す電子ビーム取り出し電
極板2と平行に、1対の集束電極板4a、4bと加速電
極板5とを設けた静電レンズ系において、前記電子ビー
ムのエネルギーの分布に対応し2て前記1対の集束電極
板4a、4bの間隔d1前記集束電極板の電極巾aおよ
び前記電子ビーム取り出(−電極2と前記加速電極板5
との間隔すのうち、少くともその1を前記線状熱陰極1
の長手方向に沿って変化させるように構成されているの
で、エネルギー分布の異なるリボン状の電子ビームを加
速電極板5の上に均一な集束中で、集束することができ
る。したがって発明の目的を達成する効果を有する。
静電レンズは、電子ビームを放射する線状熱陰極1から
リボン状の電子ビームを取り出す電子ビーム取り出し電
極板2と平行に、1対の集束電極板4a、4bと加速電
極板5とを設けた静電レンズ系において、前記電子ビー
ムのエネルギーの分布に対応し2て前記1対の集束電極
板4a、4bの間隔d1前記集束電極板の電極巾aおよ
び前記電子ビーム取り出(−電極2と前記加速電極板5
との間隔すのうち、少くともその1を前記線状熱陰極1
の長手方向に沿って変化させるように構成されているの
で、エネルギー分布の異なるリボン状の電子ビームを加
速電極板5の上に均一な集束中で、集束することができ
る。したがって発明の目的を達成する効果を有する。
第1N:本発明の電子ビーム静電レンズの第1実施例の
分解斜視図 第2図:本発明の電子ビーム静電レンズの第2実施例を
示す図で、(イ)は側面図、(ロ)は正面図 第3図:本発明の電子ビーム静電レンズの第3実施例を
示す図で、(イ)は側面図、(ロ)は正面図 第4図:(イ)は従来の電子ビーム静電レンズの分解斜
視図、(ロ)はその加速電極板の斜視図 1・・・線状熱陰極、2・・・電子ビームをり出し電極
板、3・・・スリン) 、48.4b・・・集束電極板
、5・・・加速電極板、6・・・加熱用電源、7・・・
電子ビーム、8・・・絶縁基板、9・・・集束電極3・
−スリット 屯、4b−一一集束電極ネ反5−加速電庫
恢6−加熱用電源 t□−−−−−−−− 第3 .8 (ロ) 包 伯 す 図 (ロ) i 4Q 41)
分解斜視図 第2図:本発明の電子ビーム静電レンズの第2実施例を
示す図で、(イ)は側面図、(ロ)は正面図 第3図:本発明の電子ビーム静電レンズの第3実施例を
示す図で、(イ)は側面図、(ロ)は正面図 第4図:(イ)は従来の電子ビーム静電レンズの分解斜
視図、(ロ)はその加速電極板の斜視図 1・・・線状熱陰極、2・・・電子ビームをり出し電極
板、3・・・スリン) 、48.4b・・・集束電極板
、5・・・加速電極板、6・・・加熱用電源、7・・・
電子ビーム、8・・・絶縁基板、9・・・集束電極3・
−スリット 屯、4b−一一集束電極ネ反5−加速電庫
恢6−加熱用電源 t□−−−−−−−− 第3 .8 (ロ) 包 伯 す 図 (ロ) i 4Q 41)
Claims (1)
- 電子ビームを放射する線状熱陰極からリボン状の電子ビ
ームを取り出す電子ビーム取り出し電極板と平行に、1
対の集束電極板と加速電極板とを設けた静電レンズ系に
おいて、前記電子ビームのエネルギーの分布に対応して
前記1対の集束電極板の間隔、前記集束電極板の電極巾
および前記電子ビーム取り出し電極と前記加速電極板と
の間隔のうち、少くともその1を前記線状熱陰極の長手
方向に沿つて変化させたことを特徴とする電子ビーム静
電レンズ
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14971985A JPS6210850A (ja) | 1985-07-08 | 1985-07-08 | 電子ビ−ム静電レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14971985A JPS6210850A (ja) | 1985-07-08 | 1985-07-08 | 電子ビ−ム静電レンズ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6210850A true JPS6210850A (ja) | 1987-01-19 |
Family
ID=15481323
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14971985A Pending JPS6210850A (ja) | 1985-07-08 | 1985-07-08 | 電子ビ−ム静電レンズ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6210850A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6465758A (en) * | 1987-09-07 | 1989-03-13 | Hitachi Ltd | Electron source |
JPH01113952U (ja) * | 1988-01-26 | 1989-07-31 | ||
JP2004507861A (ja) * | 1999-12-13 | 2004-03-11 | セメクイップ, インコーポレイテッド | イオン注入イオン源、システム、および方法 |
JP2008027846A (ja) * | 2006-07-25 | 2008-02-07 | Nissin Ion Equipment Co Ltd | イオン注入装置およびその調整方法 |
US11213177B2 (en) | 2017-09-22 | 2022-01-04 | Sharkninja Operating Llc | Hand-held surface cleaning device |
-
1985
- 1985-07-08 JP JP14971985A patent/JPS6210850A/ja active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6465758A (en) * | 1987-09-07 | 1989-03-13 | Hitachi Ltd | Electron source |
JPH01113952U (ja) * | 1988-01-26 | 1989-07-31 | ||
JP2004507861A (ja) * | 1999-12-13 | 2004-03-11 | セメクイップ, インコーポレイテッド | イオン注入イオン源、システム、および方法 |
JP4820038B2 (ja) * | 1999-12-13 | 2011-11-24 | セメクイップ, インコーポレイテッド | イオン注入イオン源、システム、および方法 |
JP2008027846A (ja) * | 2006-07-25 | 2008-02-07 | Nissin Ion Equipment Co Ltd | イオン注入装置およびその調整方法 |
US11213177B2 (en) | 2017-09-22 | 2022-01-04 | Sharkninja Operating Llc | Hand-held surface cleaning device |
US11672388B2 (en) | 2017-09-22 | 2023-06-13 | Sharkninja Operating Llc | Hand-held surface cleaning device |
US11864714B2 (en) | 2017-09-22 | 2024-01-09 | Sharkninja Operating Llc | Hand-held surface cleaning device |
US11930988B2 (en) | 2017-09-22 | 2024-03-19 | Sharkninja Operating Llc | Hand-held surface cleaning device |
US12029375B2 (en) | 2017-09-22 | 2024-07-09 | Sharkninja Operating Llc | Hand-held surface cleaning device |
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