JPS6210850A - 電子ビ−ム静電レンズ - Google Patents
電子ビ−ム静電レンズInfo
- Publication number
- JPS6210850A JPS6210850A JP14971985A JP14971985A JPS6210850A JP S6210850 A JPS6210850 A JP S6210850A JP 14971985 A JP14971985 A JP 14971985A JP 14971985 A JP14971985 A JP 14971985A JP S6210850 A JPS6210850 A JP S6210850A
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- Japan
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- electron beam
- electrode plate
- electrode
- distance
- focusing
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕本発明はリボン状の電子ビームラ集束す
る、いわゆるアインツエルレンズと称されている電子ビ
ームの静電レンズに関するものである。
る、いわゆるアインツエルレンズと称されている電子ビ
ームの静電レンズに関するものである。
従来のこの種の静電レンズを第４図について説明する。
１は線状の熱陰極で、直径２０〜５０μｍのタングステ
ン線の表面に電子放射性酸化物が電着又は塗着されてお
シ、加熱用電源６により約７００Ｃに加熱すると電子ビ
ームを放射する。
ン線の表面に電子放射性酸化物が電着又は塗着されてお
シ、加熱用電源６により約７００Ｃに加熱すると電子ビ
ームを放射する。
２は電子ビーム取り出し電極板で、線状熱陰極１の長手
方向に沿って電子ビームの通過するスリット３が設けで
ある。４ａ１４ｂはこのスリット３を通過したリボン状
の電子ビームを集束する１対の集束電極板、５は加速電
極板で、これらの各電極は線状熱陰極１の長手方向に相
互に平行に配置されており、集束電極板４ａ、４ｂおよ
び加速電極板５に所定の電圧を印加すると、スリット３
を通過したリボン状の電子ビームは加速電極板５の上に
集束する。
方向に沿って電子ビームの通過するスリット３が設けで
ある。４ａ１４ｂはこのスリット３を通過したリボン状
の電子ビームを集束する１対の集束電極板、５は加速電
極板で、これらの各電極は線状熱陰極１の長手方向に相
互に平行に配置されており、集束電極板４ａ、４ｂおよ
び加速電極板５に所定の電圧を印加すると、スリット３
を通過したリボン状の電子ビームは加速電極板５の上に
集束する。
ところで上記の構造においては、加速電極板５の上に集
束する電子ビーム７は第４図仲）に示すように、その長
手方向に沿って集束中を異にし、均一な集束中で集束し
ない。その原因は線状熱陰極】を加熱するためにその両
端に印加する加熱用電源６の電位差にある。すなわち、
外径３５μｍ、長さ２０ｃｒｎの線状熱陰極１を７０Ｏ
ｒ’に加熱するためにはＩＯＶの電圧を必要とする。い
ま、加熱用電源６の左側を＋１０■、右側を０■とし、
電子ビーム取り出し電極板２に、−）−３０Ｖを印加し
たとすると、線状熱陰極１と電極板２との間の電位は、
左側は２０Ｖで右側は３０Ｖになる。このように静電レ
ンズ系に入射する電ｆ−ビームのエネルギー分布に不均
一があると加速電極板５の上に集束する電子ビームの集
束中に不均一が生ずるのである。
束する電子ビーム７は第４図仲）に示すように、その長
手方向に沿って集束中を異にし、均一な集束中で集束し
ない。その原因は線状熱陰極】を加熱するためにその両
端に印加する加熱用電源６の電位差にある。すなわち、
外径３５μｍ、長さ２０ｃｒｎの線状熱陰極１を７０Ｏ
ｒ’に加熱するためにはＩＯＶの電圧を必要とする。い
ま、加熱用電源６の左側を＋１０■、右側を０■とし、
電子ビーム取り出し電極板２に、−）−３０Ｖを印加し
たとすると、線状熱陰極１と電極板２との間の電位は、
左側は２０Ｖで右側は３０Ｖになる。このように静電レ
ンズ系に入射する電ｆ−ビームのエネルギー分布に不均
一があると加速電極板５の上に集束する電子ビームの集
束中に不均一が生ずるのである。
本発明はこの問題を解決することを意図するものであっ
て、加速電極板５の上に集束する電子ビームの集束［１
コを均一にすることのできる電子ビーム静電レンズを提
供することをその目的とするものである。
て、加速電極板５の上に集束する電子ビームの集束［１
コを均一にすることのできる電子ビーム静電レンズを提
供することをその目的とするものである。
〔発明の構成〕本発明の電子ビーム静電レンズは、電子
ビームを放射する線状熱陰極からリボン状の電子ビーム
を取り出す電子ビーム取り出し電極板と平行に、１対の
集束電極板と加速電極板とを設けた静電レンズ系におい
て、前記電子ビームのエネルギーの分布に対応して前記
１対の集束電極板の間隔、前記集束電極板の電極中およ
び前記電子ビーム取り出し電極と前記加速電極板との間
隔のうち、少くともそのｌを前記線状熱陰極の長手方向
に沿って変化させたことを特徴とする。
ビームを放射する線状熱陰極からリボン状の電子ビーム
を取り出す電子ビーム取り出し電極板と平行に、１対の
集束電極板と加速電極板とを設けた静電レンズ系におい
て、前記電子ビームのエネルギーの分布に対応して前記
１対の集束電極板の間隔、前記集束電極板の電極中およ
び前記電子ビーム取り出し電極と前記加速電極板との間
隔のうち、少くともそのｌを前記線状熱陰極の長手方向
に沿って変化させたことを特徴とする。
本発明の実施例を第１図について説明する。
同図において１ないし６は第４図と同じものを示してい
るからその説明を省略する。この種の静電レンズ系にお
いては入射する電子ビームのもつエネルギーが大きいほ
ど焦点距離が大となる。したがってエネルギー差のある
電子ビームを加速電極板上に均一な集束ｒｌＪで集束す
るためにはレンズ系の焦点距離を線状熱陰極１の長手方
向に沿って変化させる必要がある。第１図の本発明の第
１実施例においては１対の集束電極板４ａ、４ｂの間隔
ｄを電子ビームのエネルギーの分布に対応してｄ１〜ｄ
、 （ｄ、＞ ｄ２＞と変化させている。間隔ｄの狭い
方が同一エネルギーの電子ビームに対して集束力が大き
く作用する。
るからその説明を省略する。この種の静電レンズ系にお
いては入射する電子ビームのもつエネルギーが大きいほ
ど焦点距離が大となる。したがってエネルギー差のある
電子ビームを加速電極板上に均一な集束ｒｌＪで集束す
るためにはレンズ系の焦点距離を線状熱陰極１の長手方
向に沿って変化させる必要がある。第１図の本発明の第
１実施例においては１対の集束電極板４ａ、４ｂの間隔
ｄを電子ビームのエネルギーの分布に対応してｄ１〜ｄ
、 （ｄ、＞ ｄ２＞と変化させている。間隔ｄの狭い
方が同一エネルギーの電子ビームに対して集束力が大き
く作用する。
ｄｌとｄ２の間隔差は各電極に印加される電圧および電
極の寸法によって定まる。
極の寸法によって定まる。
第２図は本発明の第２実施例で、１対の集束電極板４ａ
、４ｂはガラス製の絶縁基板８と集束電極９とによって
形成されており集束電極９の巾ａを長手方向に沿ってａ
１〜ａ２（ａ、 ＜ ａ２）と変化させ、線状熱陰極１
に沿って焦点距離を異にするレンズ系を形成している。
、４ｂはガラス製の絶縁基板８と集束電極９とによって
形成されており集束電極９の巾ａを長手方向に沿ってａ
１〜ａ２（ａ、 ＜ ａ２）と変化させ、線状熱陰極１
に沿って焦点距離を異にするレンズ系を形成している。
第３図は本発明の第３実施例で、１対の集束電極板４ａ
、４ｂを、長手方向に沿ってその巾すがｂ１〜ｂ＊ （
ｂ＋ ＜ ｂｔ）と変化するガラス製の絶縁基板８と、
一定巾Ｃの集束電極９とによって形成することにより、
電子ビーム取り出し電極板２と加速電極板５との間隔を
絶縁基板８の巾の変化す、〜ｂ、と一致させている。こ
の間隔１）が大きいほどレンズ作用が大きく作用する。
、４ｂを、長手方向に沿ってその巾すがｂ１〜ｂ＊ （
ｂ＋ ＜ ｂｔ）と変化するガラス製の絶縁基板８と、
一定巾Ｃの集束電極９とによって形成することにより、
電子ビーム取り出し電極板２と加速電極板５との間隔を
絶縁基板８の巾の変化す、〜ｂ、と一致させている。こ
の間隔１）が大きいほどレンズ作用が大きく作用する。
かくして加速電極板５の上に均一な集束中を有する電子
ビームをうろことができる。
ビームをうろことができる。
以上、本発明の第１実施例、第２実施例お、Ｌび第３実
施例を説明したが、本発明においでは。
施例を説明したが、本発明においでは。
この３つの実施例のうち、少くともぞの１が採用される
。また、この３つの実施例を適宜組合せて実施する場合
のあることりいう−までもない。
。また、この３つの実施例を適宜組合せて実施する場合
のあることりいう−までもない。
なお、以−Ｆの実施例において、電子ビーム取り出し電
極板２の電子ビームの取り出しにスリット＄３を用いる
場合を示したがスリット材３の代りに丸穴、角孔等を使
用しても差支えはない。
極板２の電子ビームの取り出しにスリット＄３を用いる
場合を示したがスリット材３の代りに丸穴、角孔等を使
用しても差支えはない。
〔発明の効果３以上述べたように、本発明の電子ビーム
静電レンズは、電子ビームを放射する線状熱陰極１から
リボン状の電子ビームを取り出す電子ビーム取り出し電
極板２と平行に、１対の集束電極板４ａ、４ｂと加速電
極板５とを設けた静電レンズ系において、前記電子ビー
ムのエネルギーの分布に対応し２て前記１対の集束電極
板４ａ、４ｂの間隔ｄ１前記集束電極板の電極巾ａおよ
び前記電子ビーム取り出（−電極２と前記加速電極板５
との間隔すのうち、少くともその１を前記線状熱陰極１
の長手方向に沿って変化させるように構成されているの
で、エネルギー分布の異なるリボン状の電子ビームを加
速電極板５の上に均一な集束中で、集束することができ
る。したがって発明の目的を達成する効果を有する。
静電レンズは、電子ビームを放射する線状熱陰極１から
リボン状の電子ビームを取り出す電子ビーム取り出し電
極板２と平行に、１対の集束電極板４ａ、４ｂと加速電
極板５とを設けた静電レンズ系において、前記電子ビー
ムのエネルギーの分布に対応し２て前記１対の集束電極
板４ａ、４ｂの間隔ｄ１前記集束電極板の電極巾ａおよ
び前記電子ビーム取り出（−電極２と前記加速電極板５
との間隔すのうち、少くともその１を前記線状熱陰極１
の長手方向に沿って変化させるように構成されているの
で、エネルギー分布の異なるリボン状の電子ビームを加
速電極板５の上に均一な集束中で、集束することができ
る。したがって発明の目的を達成する効果を有する。
第１Ｎ：本発明の電子ビーム静電レンズの第１実施例の
分解斜視図 第２図：本発明の電子ビーム静電レンズの第２実施例を
示す図で、（イ）は側面図、（ロ）は正面図 第３図：本発明の電子ビーム静電レンズの第３実施例を
示す図で、（イ）は側面図、（ロ）は正面図 第４図：（イ）は従来の電子ビーム静電レンズの分解斜
視図、（ロ）はその加速電極板の斜視図 １・・・線状熱陰極、２・・・電子ビームをり出し電極
板、３・・・スリン） 、４８．４ｂ・・・集束電極板
、５・・・加速電極板、６・・・加熱用電源、７・・・
電子ビーム、８・・・絶縁基板、９・・・集束電極３・
−スリット 屯、４ｂ−一一集束電極ネ反５−加速電庫
恢６−加熱用電源 ｔ□−−−−−−−− 第３ ．８ （ロ） 包 伯 す 図 （ロ） ｉ ４Ｑ ４１）
分解斜視図 第２図：本発明の電子ビーム静電レンズの第２実施例を
示す図で、（イ）は側面図、（ロ）は正面図 第３図：本発明の電子ビーム静電レンズの第３実施例を
示す図で、（イ）は側面図、（ロ）は正面図 第４図：（イ）は従来の電子ビーム静電レンズの分解斜
視図、（ロ）はその加速電極板の斜視図 １・・・線状熱陰極、２・・・電子ビームをり出し電極
板、３・・・スリン） 、４８．４ｂ・・・集束電極板
、５・・・加速電極板、６・・・加熱用電源、７・・・
電子ビーム、８・・・絶縁基板、９・・・集束電極３・
−スリット 屯、４ｂ−一一集束電極ネ反５−加速電庫
恢６−加熱用電源 ｔ□−−−−−−−− 第３ ．８ （ロ） 包 伯 す 図 （ロ） ｉ ４Ｑ ４１）
Claims (1)
- 電子ビームを放射する線状熱陰極からリボン状の電子ビ
ームを取り出す電子ビーム取り出し電極板と平行に、１
対の集束電極板と加速電極板とを設けた静電レンズ系に
おいて、前記電子ビームのエネルギーの分布に対応して
前記１対の集束電極板の間隔、前記集束電極板の電極巾
および前記電子ビーム取り出し電極と前記加速電極板と
の間隔のうち、少くともその１を前記線状熱陰極の長手
方向に沿つて変化させたことを特徴とする電子ビーム静
電レンズ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14971985A JPS6210850A (ja) | 1985-07-08 | 1985-07-08 | 電子ビ−ム静電レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14971985A JPS6210850A (ja) | 1985-07-08 | 1985-07-08 | 電子ビ−ム静電レンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6210850A true JPS6210850A (ja) | 1987-01-19 |
Family
ID=15481323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14971985A Pending JPS6210850A (ja) | 1985-07-08 | 1985-07-08 | 電子ビ−ム静電レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6210850A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6465758A (en) * | 1987-09-07 | 1989-03-13 | Hitachi Ltd | Electron source |
| JPH01113952U (ja) * | 1988-01-26 | 1989-07-31 | ||
| JP2004507861A (ja) * | 1999-12-13 | 2004-03-11 | セメクイップ， インコーポレイテッド | イオン注入イオン源、システム、および方法 |
| JP2008027846A (ja) * | 2006-07-25 | 2008-02-07 | Nissin Ion Equipment Co Ltd | イオン注入装置およびその調整方法 |
| US11213177B2 (en) | 2017-09-22 | 2022-01-04 | Sharkninja Operating Llc | Hand-held surface cleaning device |
-
1985
- 1985-07-08 JP JP14971985A patent/JPS6210850A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6465758A (en) * | 1987-09-07 | 1989-03-13 | Hitachi Ltd | Electron source |
| JPH01113952U (ja) * | 1988-01-26 | 1989-07-31 | ||
| JP2004507861A (ja) * | 1999-12-13 | 2004-03-11 | セメクイップ， インコーポレイテッド | イオン注入イオン源、システム、および方法 |
| JP4820038B2 (ja) * | 1999-12-13 | 2011-11-24 | セメクイップ， インコーポレイテッド | イオン注入イオン源、システム、および方法 |
| JP2008027846A (ja) * | 2006-07-25 | 2008-02-07 | Nissin Ion Equipment Co Ltd | イオン注入装置およびその調整方法 |
| US11213177B2 (en) | 2017-09-22 | 2022-01-04 | Sharkninja Operating Llc | Hand-held surface cleaning device |
| US11672388B2 (en) | 2017-09-22 | 2023-06-13 | Sharkninja Operating Llc | Hand-held surface cleaning device |
| US11864714B2 (en) | 2017-09-22 | 2024-01-09 | Sharkninja Operating Llc | Hand-held surface cleaning device |
| US11930988B2 (en) | 2017-09-22 | 2024-03-19 | Sharkninja Operating Llc | Hand-held surface cleaning device |
| US12029375B2 (en) | 2017-09-22 | 2024-07-09 | Sharkninja Operating Llc | Hand-held surface cleaning device |
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