JPS619839U - 半導体アニ−ル装置におけるウエハ搬送装置 - Google Patents

半導体アニ−ル装置におけるウエハ搬送装置

Info

Publication number
JPS619839U
JPS619839U JP9260784U JP9260784U JPS619839U JP S619839 U JPS619839 U JP S619839U JP 9260784 U JP9260784 U JP 9260784U JP 9260784 U JP9260784 U JP 9260784U JP S619839 U JPS619839 U JP S619839U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer
annealing furnace
section
transfer device
wafer transfer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9260784U
Other languages
English (en)
Inventor
道喜男 中山
富雄 倉田
Original Assignee
真空理工株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 真空理工株式会社 filed Critical 真空理工株式会社
Priority to JP9260784U priority Critical patent/JPS619839U/ja
Publication of JPS619839U publication Critical patent/JPS619839U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はアニール炉を分解して示した本考案の一実施例
の概略的斜視図、第２図及び第３図はそれそれ本考案の
一実施例の要部の截断正面図及び截断側面図である。 Ａ・・・ウエハ搬送用アーム開閉機構部、Ｂ・・・回動
機構部、Ｃ・・・昇降機構部、１・・・アニール炉、９
・・・ウエハ供給部の載置台、１０， １０， ，
１０・・・ウエハ、１１・・・ウエハ収納部、１２，
．１２・・・ウエハ搬送用アーム、１５， ． １５
．・・・ピニオン、１６・・・ラック、１７．２３・・
・エアシリンダ、２０・・・エアロークリアクチュエー
タ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウエハ供給部とウエハ収納部との間にアニール炉を介在
    させてなる半導体アニール装置において、基端部が並設
    された２軸にそれぞれ軸支され、先端部がそれぞれウエ
    ハを支持する２つのウエハ搬送用アームと、前記２軸を
    それそれ回転させて該２つのアームの先端部を互に接近
    させ、あるいはその１つを前記ウエハ供給部若しくはア
    ニール炉に、他の１つをアニール炉若しくはカセット収
    納部に位置するように離間させるウエハ搬送用アーム開
    閉機構部と、前記１つのアームの先端部がウエハ供給部
    からアニール炉に、他の１つの先端部がアニール炉から
    ウエハ収納部に位置するように該開閉機構部を回動させ
    る回動機構部と、前記２つのアームがウエハ供給部、ウ
    エ／’％収納部及びアニール炉に位置するウエハを支持
    あるいは離脱するように前記アーム開閉機構部及び回動
    機構部を昇降させる昇降機構部とを具備することを特徴
    とする半導体アニール装置におけるウエハ搬送装置。
JP9260784U 1984-06-22 1984-06-22 半導体アニ−ル装置におけるウエハ搬送装置 Pending JPS619839U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9260784U JPS619839U (ja) 1984-06-22 1984-06-22 半導体アニ−ル装置におけるウエハ搬送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9260784U JPS619839U (ja) 1984-06-22 1984-06-22 半導体アニ−ル装置におけるウエハ搬送装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS619839U true JPS619839U (ja) 1986-01-21

Family

ID=30649551

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9260784U Pending JPS619839U (ja) 1984-06-22 1984-06-22 半導体アニ−ル装置におけるウエハ搬送装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS619839U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS619839U (ja) 半導体アニ−ル装置におけるウエハ搬送装置
JPS5839935U (ja) テ−ブルリフタ
JPS60163743U (ja) 回転装置
JPS60133898U (ja) 高所作業装置
JPS60125733U (ja) 半導体製造装置
JPS60161004U (ja) 半導体装置チユ−ブ移替え治具
JPS6367247U (ja)
JPS5961535U (ja) ウエ−ハ搬送装置
JPS59195197U (ja) 高所作業装置
JPS59171337U (ja) 半導体ウエハ洗浄装置
JPS60125086U (ja) 半導体ウエハ−の搬送装置
JPS58194893U (ja) パネル枠位置決め装置
JPS607599U (ja) 炉蓋の構造
JPS5815353U (ja) 半導体製造用ウエハ−等の搬送装置
JPS58181534U (ja) 熱転写装置
JPS59178136U (ja) 棚受装置
JPS6080825U (ja) 組立装置
JPS6066652U (ja) 金型装置
JPS6048987U (ja) ロボット腕
JPH0412647U (ja)
JPS5961804U (ja) ロ−タリ−エバポレ−タにおける昇降作動装置
JPS6024483U (ja) ワ−ク取出し装置
JPS59180868U (ja) 部品交換用保持具
JPS58140662U (ja) プリント板反り防止機構
JPS60160927U (ja) 造管設備における内張りロ−ル交換装置