JPS6196410A - ロ−タリ−エンコ−ダ−用デイスクの製造法 - Google Patents
ロ−タリ−エンコ−ダ−用デイスクの製造法Info
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- JPS6196410A JPS6196410A JP59216387A JP21638784A JPS6196410A JP S6196410 A JPS6196410 A JP S6196410A JP 59216387 A JP59216387 A JP 59216387A JP 21638784 A JP21638784 A JP 21638784A JP S6196410 A JPS6196410 A JP S6196410A
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- disk
- disc
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- metal
- rotary encoder
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Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/264—Mechanical constructional elements therefor ; Mechanical adjustment thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M1/00—Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
- H03M1/12—Analogue/digital converters
- H03M1/22—Analogue/digital converters pattern-reading type
- H03M1/24—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip
- H03M1/28—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding
- H03M1/30—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding incremental
- H03M1/303—Circuits or methods for processing the quadrature signals
- H03M1/305—Circuits or methods for processing the quadrature signals for detecting the direction of movement
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔利用分野〕
本発明は、光学式ロータリーエンコーダー用ディスクの
製造方法に関する。
製造方法に関する。
ロータリーエンコーダーは、モーターの制御等に用いら
れ、回転角度を検知するセンナ−として、幅広い分野で
使用されている。
れ、回転角度を検知するセンナ−として、幅広い分野で
使用されている。
光学式ロータリーエンコーダーの内部には、スリットが
多数刻まれた回転ディスクが組込まれている。これらの
うち、高分解能エンコーダー用のディスクは、ガラス板
に金属を蒸着し、蒸着金属をエツチングすることにより
スリット等を形成する方法１：より製造されているが、
製造工程は複雑となり製品は高価である。一方、それよ
り安価なエンコーダーとしてシ金楓板にスリットを刻ん
だものをディスクとして使用する事が行なわれている。
多数刻まれた回転ディスクが組込まれている。これらの
うち、高分解能エンコーダー用のディスクは、ガラス板
に金属を蒸着し、蒸着金属をエツチングすることにより
スリット等を形成する方法１：より製造されているが、
製造工程は複雑となり製品は高価である。一方、それよ
り安価なエンコーダーとしてシ金楓板にスリットを刻ん
だものをディスクとして使用する事が行なわれている。
これら金属製ディスクはまた下記に示すような３通りの
方法により製造される。
方法により製造される。
Ｌ 金属板を機械的に打ち抜くことにより、ディスクを
製造する方法 λ 金属板にレジストパターンを形成後、エツチングを
行なう事によりディスクを製造する方法。
製造する方法 λ 金属板にレジストパターンを形成後、エツチングを
行なう事によりディスクを製造する方法。
この場合、ディスクとディスク以外の金属板部分に、つ
なぎ線を入れておき、最後に機械的につなぎ線を切断す
る方法とエツチング時にスリット形成と同時：ニディス
クを金属板から分離する方法とがある。
なぎ線を入れておき、最後に機械的につなぎ線を切断す
る方法とエツチング時にスリット形成と同時：ニディス
クを金属板から分離する方法とがある。
ａ 金属板にレジストパターンを形成後、レジスト以外
の部分に電解メッキを行ない、ディスク形成後、金属板
の除去を行なう事によりディスクを形成する方法。
の部分に電解メッキを行ない、ディスク形成後、金属板
の除去を行なう事によりディスクを形成する方法。
前記方法によって得られた金属製ディスクは、材料であ
る金属板の反り、機械加工時の反りの発生、メッキ時の
内部応力（二よる反りの発生、収り扱い時の反りの発生
等の理由により、平面性に劣るものとなる。これら平面
性に劣るディスクをエンコーダーに組込んだ場合、エン
コーダー中の受゛ 光素子とディスクとの距離が、回転
角によって変化する為、信号の強さ及びコントラストが
不安定となり、誤動作の原因となる。受光素子とディス
クとの距離は、ディスクのスリットのピッチより小さい
串が好ましく、ディスクの反りは、受光素子とディスク
との距離より小さい必要がある。よって、スリット密度
の高いディスクでは、反りは小さなものでなければなら
ない。例えば、スリット密度が周方向に／θ個、４、受
光素子とディスクとの距離が、６０４ｍの場合、ディス
クの反り、即ち理思的な平面板との面垂直方向のずれの
距離は、３θμｍ以下が望ましいが、前記方法によって
得られたディスクの反りを、常に１０μｍ以下に抑える
事は、製造上のばらつき等を考慮すれば、非常に困難で
ある事は明確である。
る金属板の反り、機械加工時の反りの発生、メッキ時の
内部応力（二よる反りの発生、収り扱い時の反りの発生
等の理由により、平面性に劣るものとなる。これら平面
性に劣るディスクをエンコーダーに組込んだ場合、エン
コーダー中の受゛ 光素子とディスクとの距離が、回転
角によって変化する為、信号の強さ及びコントラストが
不安定となり、誤動作の原因となる。受光素子とディス
クとの距離は、ディスクのスリットのピッチより小さい
串が好ましく、ディスクの反りは、受光素子とディスク
との距離より小さい必要がある。よって、スリット密度
の高いディスクでは、反りは小さなものでなければなら
ない。例えば、スリット密度が周方向に／θ個、４、受
光素子とディスクとの距離が、６０４ｍの場合、ディス
クの反り、即ち理思的な平面板との面垂直方向のずれの
距離は、３θμｍ以下が望ましいが、前記方法によって
得られたディスクの反りを、常に１０μｍ以下に抑える
事は、製造上のばらつき等を考慮すれば、非常に困難で
ある事は明確である。
そこで、この発明は、金属製光学式ロータリーエンコー
ダー用ディスクの製造において、ばらつき無く、反りを
小さく抑え、平面性の良いディスクの製造方法を提供す
る事を目的とする。
ダー用ディスクの製造において、ばらつき無く、反りを
小さく抑え、平面性の良いディスクの製造方法を提供す
る事を目的とする。
この発明は、金属製の光学式ロータリーエンコーダー用
ディスクを平面性の優れた治具に挾み加熱加圧する事に
より、コンスタントに反りの小ささく平面性に優れたデ
ィスクを得る方法である。
ディスクを平面性の優れた治具に挾み加熱加圧する事に
より、コンスタントに反りの小ささく平面性に優れたデ
ィスクを得る方法である。
対象となるディスクは、前記３方法、即ち、機械的打ち
抜き法、エツチング法、メッキ法のいずれによって作製
されたものでも良いが、メッキ法は、高密度のスリット
を作製するのに適した方法であり、又、内部応力による
反りが、発生しやすい為、この発明が、有効に適用され
る。
抜き法、エツチング法、メッキ法のいずれによって作製
されたものでも良いが、メッキ法は、高密度のスリット
を作製するのに適した方法であり、又、内部応力による
反りが、発生しやすい為、この発明が、有効に適用され
る。
この発明に適用されるディスクの金属種類は特に限定さ
れないが、ステンレス鋼、ニッケル、ニッケルクロム合
金、リンを５−／夕％含んだニッケル、イオウを微量に
含んだニッケル等がよく用いられ、特に、硬さ、靭性、
耐食性、゛再結晶温度等を考慮し、ニッケル系合金が好
ましい。
れないが、ステンレス鋼、ニッケル、ニッケルクロム合
金、リンを５−／夕％含んだニッケル、イオウを微量に
含んだニッケル等がよく用いられ、特に、硬さ、靭性、
耐食性、゛再結晶温度等を考慮し、ニッケル系合金が好
ましい。
加ＰＡ７ｍ度は、金属の融点、或は共晶温度を絶対温度
で表わした場合の０．３〜０，９倍、好ましくは０．３
ｊ〜０６７倍、更には０．３７〜θ、６倍が適している
。適切な温度範囲より加熱温度が低い場合には、反りは
修正されない事が多く、高い場合（＝は、ディスクのス
リット部の微細形状に変形がおこり、ディスクの劣化を
招く事が多く、また空気中加熱の場合１１．用用に金属
の酸化が促進される。加熱時間は７分〜３時間、特に信
・碩性と作業性の点から夕分〜／時間が好ましい。
で表わした場合の０．３〜０，９倍、好ましくは０．３
ｊ〜０６７倍、更には０．３７〜θ、６倍が適している
。適切な温度範囲より加熱温度が低い場合には、反りは
修正されない事が多く、高い場合（＝は、ディスクのス
リット部の微細形状に変形がおこり、ディスクの劣化を
招く事が多く、また空気中加熱の場合１１．用用に金属
の酸化が促進される。加熱時間は７分〜３時間、特に信
・碩性と作業性の点から夕分〜／時間が好ましい。
特（二、対象となる金属が、リンを含んだニッケルの場
合は、加熱温度が比較的低く済み、経済性及び作業性に
優れたものとなる。
合は、加熱温度が比較的低く済み、経済性及び作業性に
優れたものとなる。
ディスクを挾む治具のディスクに接する面の平面性によ
り、加熱後のディスクの平面性が影響される為、治具の
平面性は要求されるディスクの平面性と同等以上、好ま
しくは、２倍以上の平面性を有している事が望ましいが
、通常、治具は、／θμｍ程度の反り以下であれば良く
、＠磨加工等によって十分達せられる。加熱方式は、治
具本体にヒーターを収り付けて加熱しても良く、又ディ
スクを治具に挾み、オーブン、電気炉等に入れて加熱し
ても良い。治具の素拐は、使用されるｔ品度で溶融、或
は軟化しない必要があり、また、加熱によ・る治具の変
形を抑える為（−１熱膨張率が小さいものが良く、特に
５００℃以上のＡ ７Ｍで使用する場合は、線膨張率が
、／θ×／θ−６以下のものが好ましい。例として、セ
ラミックス、磁器、石英ガラス等があげられる。低温で
は、金属、ソーダガラス等も使用可能である。
り、加熱後のディスクの平面性が影響される為、治具の
平面性は要求されるディスクの平面性と同等以上、好ま
しくは、２倍以上の平面性を有している事が望ましいが
、通常、治具は、／θμｍ程度の反り以下であれば良く
、＠磨加工等によって十分達せられる。加熱方式は、治
具本体にヒーターを収り付けて加熱しても良く、又ディ
スクを治具に挾み、オーブン、電気炉等に入れて加熱し
ても良い。治具の素拐は、使用されるｔ品度で溶融、或
は軟化しない必要があり、また、加熱によ・る治具の変
形を抑える為（−１熱膨張率が小さいものが良く、特に
５００℃以上のＡ ７Ｍで使用する場合は、線膨張率が
、／θ×／θ−６以下のものが好ましい。例として、セ
ラミックス、磁器、石英ガラス等があげられる。低温で
は、金属、ソーダガラス等も使用可能である。
加熱時には同時に加圧を行ない、圧力はθ３を重／（−
Ｊ 〜／ ００ Ｋ９重層の範囲で良いが、ディスクの
スリット部の変形を避けるため、圧力はディスクの反り
が矯正される程度が好ましく、／？１−〜３００ｆ’Ｌ
−が適切である。
Ｊ 〜／ ００ Ｋ９重層の範囲で良いが、ディスクの
スリット部の変形を避けるため、圧力はディスクの反り
が矯正される程度が好ましく、／？１−〜３００ｆ’Ｌ
−が適切である。
以下に、この発明の態様を一層明確にする為に実施例を
あげて説明するが、この発明は、以下の ”実施例に限
定されるものでなくて種々の変形が可能である。
あげて説明するが、この発明は、以下の ”実施例に限
定されるものでなくて種々の変形が可能である。
「実施例／」
奥野製薬工業株式会社の「ニッケリン」を使用し、メッ
キ法により、リンを７０パーセント含んだニッケル製エ
ンコーダー用ディスクを作製した。
キ法により、リンを７０パーセント含んだニッケル製エ
ンコーダー用ディスクを作製した。
直径２い−１厚さ夕θμｍ、反り／θθμｍ〜Ｊ鳴の前
記ディスクを１０ｃｍ四方、厚さ５鴨の市販の板ガラス
に挾み、３１１１−の圧力をかけ、２００℃、り！分間
の加熱を行ない、その後、自然空冷させた結果、反りが
３〜コ０μｍの平面性の良い光学式ロータリーエンコー
ダー用ディスクを得た。
記ディスクを１０ｃｍ四方、厚さ５鴨の市販の板ガラス
に挾み、３１１１−の圧力をかけ、２００℃、り！分間
の加熱を行ない、その後、自然空冷させた結果、反りが
３〜コ０μｍの平面性の良い光学式ロータリーエンコー
ダー用ディスクを得た。
「実施例コ、１
スルフアミノ酸ニッケル浴よりメッキ法により作製され
た直径グθｆｉｚ、厚さ７００μｍ、反り２０〜♂θ０
μｍのニッケル製ディスクを、表面の研磨された“セラ
ミックス板に挾み、３１１−の圧力をかけ、電気炉によ
り、♂０θ℃、７５分間の加熱を行ない、その後自然空
冷させた結果、反りが３〜２θμｍの平面性の良い光学
式ロータリーエンコーダー用ディスクを得た。
た直径グθｆｉｚ、厚さ７００μｍ、反り２０〜♂θ０
μｍのニッケル製ディスクを、表面の研磨された“セラ
ミックス板に挾み、３１１−の圧力をかけ、電気炉によ
り、♂０θ℃、７５分間の加熱を行ない、その後自然空
冷させた結果、反りが３〜２θμｍの平面性の良い光学
式ロータリーエンコーダー用ディスクを得た。
この発明によれば、平面性に優れた金属製光学式ロータ
リーエンコーダー用ディスクを再現性良く得る一事が出
来、実用上、極めて有用な発明といえる。更に、この発
明により製造されたディスクをエンコーダーに使用する
ことにより、高精度、高信頼性のエンコーダーを実現で
きる。
リーエンコーダー用ディスクを再現性良く得る一事が出
来、実用上、極めて有用な発明といえる。更に、この発
明により製造されたディスクをエンコーダーに使用する
ことにより、高精度、高信頼性のエンコーダーを実現で
きる。
特許出願人 旭化成工業株式会社
手続補正書（自発）
昭和６０年１月１４日
特許庁長官 志 賀 学 殿
１、事件の表示
昭和５９年特許願第２１６３８７号
２、発明の名称
ロータリーエンコーダー用ディスクの製造法３、補正を
する者 事件との関係 特許出願人 大阪府大阪市北区堂島浜１丁目２番６号４、補正の対象 明細書の「特許請求の範囲」及び「発明の詳細な説明」
の欄 ５、補正の内容 （３）明細書第８頁第２〜３行の間に次の文を挿入する
。
する者 事件との関係 特許出願人 大阪府大阪市北区堂島浜１丁目２番６号４、補正の対象 明細書の「特許請求の範囲」及び「発明の詳細な説明」
の欄 ５、補正の内容 （３）明細書第８頁第２〜３行の間に次の文を挿入する
。
「なお、？＃ｌＩでいう反りとは、反りを有するディス
クを互いに平行な２つの幾可学的平面で挟んだとき、そ
れら側平面の間隔が最小となる場合の両手面間の距離か
らディスクの厚みを差し引いた値をいう。」以 上 特許請求の範囲 金属製の光学式ロータリーエンコーダー用ディスクの製
造において、ディスク至准具に挟み、加熱加圧する事に
より、反りを抑え、平面性に優れたディスクとする方法
。
クを互いに平行な２つの幾可学的平面で挟んだとき、そ
れら側平面の間隔が最小となる場合の両手面間の距離か
らディスクの厚みを差し引いた値をいう。」以 上 特許請求の範囲 金属製の光学式ロータリーエンコーダー用ディスクの製
造において、ディスク至准具に挟み、加熱加圧する事に
より、反りを抑え、平面性に優れたディスクとする方法
。
Claims (1)
- 金属製の光学式ロータリーエンコーダー用ディスクの製
造において、ディスクを平面性の良い治具に挟み、加熱
加圧する事により、反りを抑え、平面性に優れたディス
クとする方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59216387A JPS6196410A (ja) | 1984-10-17 | 1984-10-17 | ロ−タリ−エンコ−ダ−用デイスクの製造法 |
| US06/783,081 US4673808A (en) | 1984-10-17 | 1985-10-02 | Disc for rotary encoder and method for producing same |
| DE19853537054 DE3537054A1 (de) | 1984-10-17 | 1985-10-17 | Drehscheibe fuer einen optischen drehcodierer und verfahren zu ihrer herstellung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59216387A JPS6196410A (ja) | 1984-10-17 | 1984-10-17 | ロ−タリ−エンコ−ダ−用デイスクの製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6196410A true JPS6196410A (ja) | 1986-05-15 |
Family
ID=16687768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59216387A Pending JPS6196410A (ja) | 1984-10-17 | 1984-10-17 | ロ−タリ−エンコ−ダ−用デイスクの製造法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4673808A (ja) |
| JP (1) | JPS6196410A (ja) |
| DE (1) | DE3537054A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009076235A (ja) * | 2007-09-19 | 2009-04-09 | Toshiba Lighting & Technology Corp | 埋込形標識灯 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US7344825B2 (en) | 2002-04-04 | 2008-03-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of fabricating semiconductor device, and developing apparatus using the method |
| US7875419B2 (en) * | 2002-10-29 | 2011-01-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for removing resist pattern and method for manufacturing semiconductor device |
| CN101382442B (zh) * | 2007-09-03 | 2010-06-09 | 赖云龙 | 胶质码盘/码尺的制作方法 |
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| JPS5124243A (ja) * | 1974-08-23 | 1976-02-27 | Mitsubishi Electric Corp | Kojikuchoseisochi |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| NL279651A (ja) * | 1961-07-14 | |||
| US4286871A (en) * | 1980-08-11 | 1981-09-01 | Keuffel & Esser Company | Photogrammetric measuring system |
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| GB2110165B (en) * | 1981-12-02 | 1985-09-11 | Kenseido Kabushiki Kaisha | Thin metal precision apertured sheets |
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-
1984
- 1984-10-17 JP JP59216387A patent/JPS6196410A/ja active Pending
-
1985
- 1985-10-02 US US06/783,081 patent/US4673808A/en not_active Expired - Lifetime
- 1985-10-17 DE DE19853537054 patent/DE3537054A1/de not_active Ceased
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5124243A (ja) * | 1974-08-23 | 1976-02-27 | Mitsubishi Electric Corp | Kojikuchoseisochi |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009076235A (ja) * | 2007-09-19 | 2009-04-09 | Toshiba Lighting & Technology Corp | 埋込形標識灯 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4673808A (en) | 1987-06-16 |
| DE3537054A1 (de) | 1986-04-24 |
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