JPS6192439A - 光学式情報記録再生装置 - Google Patents
光学式情報記録再生装置Info
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- JPS6192439A JPS6192439A JP59213801A JP21380184A JPS6192439A JP S6192439 A JPS6192439 A JP S6192439A JP 59213801 A JP59213801 A JP 59213801A JP 21380184 A JP21380184 A JP 21380184A JP S6192439 A JPS6192439 A JP S6192439A
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- JP
- Japan
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- luminous flux
- light
- optical
- condensing
- becomes
- Prior art date
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
Landscapes
- Optical Head (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、情報の記録されたディスクから光学的に情
報を再生したシ、ディスクに光学的に情報を記録再生す
る光学式情報記録再生装置に関するもので、特にその自
動焦点調整轡構に関するものである。
報を再生したシ、ディスクに光学的に情報を記録再生す
る光学式情報記録再生装置に関するもので、特にその自
動焦点調整轡構に関するものである。
第4図(a) 、 (b)は例えばP’rx i l
i p8 Te Qh n i Q a l RBVi
ew。
i p8 Te Qh n i Q a l RBVi
ew。
Volume 40.1982. No、6 piso
に記載された従来の代表的な光学式情報再生装置を
示す構成図であり、第5図ないし第8図はこの従来装置
の動作原理を説明するための説明図である。第4図にお
いて、(1)は半導体レーザ、(2)は半導体レーザ(
1)よυ′出射された光束、(3)はその反射面(4J
により照射光束(5)と反射光束(6)を分離するビー
ムスプリッタ、(7ンは、q6射光束(5)を平行光束
(8)にするコリメートレンズ、(9)は平行光束(8
)をディスク叫上の情報面(ロ)に光スポット叩)とし
て集光する対物レンズ、o3)は情報面01)上に作ら
れた情報単位を成すピットで、例えば、幅0.4〜0.
5μm、長さ数μmで、その深さは0.1μm程度であ
る。04)はピッ) (IBJが直列に並んでいる情報
トラック、Q5)は対物レンズ(9)を対物レンズの焦
点位置からの情報面C11)のずれ量を°示す信号(以
下フォーカスずれ信号と呼称する)によりY方向に動か
し対物レンズの焦点位置に絶えず情報面α℃がくる(以
下合焦状態と呼称する)ように制御するフォーカシング
アクチュエータ、(16)は反射光束(6)を2つの光
束07)とμs)に分けるウェッジプリズム、α偵は2
つの光検知器(19a)、 (19b)よりなる光検知
器で、(19a)、 (19b)はそれぞれ2つの素子
D工とD21 D3 とD4よりm成され、D工とD2
及びD3とD4の間隔は5〜10μmである。またA工
+ A2+ A5+ A4はそれぞれ光検知器α9の4
つの素子D工l D21 D31 D&の出力である。
に記載された従来の代表的な光学式情報再生装置を
示す構成図であり、第5図ないし第8図はこの従来装置
の動作原理を説明するための説明図である。第4図にお
いて、(1)は半導体レーザ、(2)は半導体レーザ(
1)よυ′出射された光束、(3)はその反射面(4J
により照射光束(5)と反射光束(6)を分離するビー
ムスプリッタ、(7ンは、q6射光束(5)を平行光束
(8)にするコリメートレンズ、(9)は平行光束(8
)をディスク叫上の情報面(ロ)に光スポット叩)とし
て集光する対物レンズ、o3)は情報面01)上に作ら
れた情報単位を成すピットで、例えば、幅0.4〜0.
5μm、長さ数μmで、その深さは0.1μm程度であ
る。04)はピッ) (IBJが直列に並んでいる情報
トラック、Q5)は対物レンズ(9)を対物レンズの焦
点位置からの情報面C11)のずれ量を°示す信号(以
下フォーカスずれ信号と呼称する)によりY方向に動か
し対物レンズの焦点位置に絶えず情報面α℃がくる(以
下合焦状態と呼称する)ように制御するフォーカシング
アクチュエータ、(16)は反射光束(6)を2つの光
束07)とμs)に分けるウェッジプリズム、α偵は2
つの光検知器(19a)、 (19b)よりなる光検知
器で、(19a)、 (19b)はそれぞれ2つの素子
D工とD21 D3 とD4よりm成され、D工とD2
及びD3とD4の間隔は5〜10μmである。またA工
+ A2+ A5+ A4はそれぞれ光検知器α9の4
つの素子D工l D21 D31 D&の出力である。
しかして、■は上記出力値からへ〇−h2f演算する差
動増幅器、嬶)は同じ< A4−A3を演算する差動増
幅器、舛)は差動増幅器(イ))と(211の出力を加
算することによりフォーカスずれ1ぎ号(A□+A4)
−(A2+A、)を出力する加算器、Sfは加算器−)
の出力であるフォーカスずれ量に比例した信号で、この
信号によってフォーカシングアクチュエータμs)は制
御され、む1報面(11)が絶えず対物レンズ(9)の
合焦位置にあるよう制御される。(転))はA工+A2
を演算する加算器、い1骨よA3+A、を演シーする加
算器、防)は加算器Eel、Gz111の出力を差動増
幅することにより情報トラック(14,1と光スポット
(121のずれ量を示す信号(以下トラックずれ信号と
呼称する) (A□+A2)−(A3+A4)を出力す
る差動増幅器、(261は再生元学系全体をX方向に動
かすトラッキングアクチュエータ、S、は差動増幅器回
の出力であるトラックずれ信号で、これによりトラッキ
ングアクチュエータ嘆)を制御し、IR報トラックCl
4)上に元スポット(121が絶えず照射されるように
する0また、頃)は加算器幽1. (2引の出力を加算
する加算器で、その出力S1はディスクσ0)の情報を
再生した電気信号であり、Slを情報処理することによ
って目的とするTV信号、オーディオ信号等を得ること
ができる。そして128)はディスク1iO)を回転さ
せるモータ、剛は上記各信号Sf、S、、日1を得るた
めの電子回路を示す。
動増幅器、嬶)は同じ< A4−A3を演算する差動増
幅器、舛)は差動増幅器(イ))と(211の出力を加
算することによりフォーカスずれ1ぎ号(A□+A4)
−(A2+A、)を出力する加算器、Sfは加算器−)
の出力であるフォーカスずれ量に比例した信号で、この
信号によってフォーカシングアクチュエータμs)は制
御され、む1報面(11)が絶えず対物レンズ(9)の
合焦位置にあるよう制御される。(転))はA工+A2
を演算する加算器、い1骨よA3+A、を演シーする加
算器、防)は加算器Eel、Gz111の出力を差動増
幅することにより情報トラック(14,1と光スポット
(121のずれ量を示す信号(以下トラックずれ信号と
呼称する) (A□+A2)−(A3+A4)を出力す
る差動増幅器、(261は再生元学系全体をX方向に動
かすトラッキングアクチュエータ、S、は差動増幅器回
の出力であるトラックずれ信号で、これによりトラッキ
ングアクチュエータ嘆)を制御し、IR報トラックCl
4)上に元スポット(121が絶えず照射されるように
する0また、頃)は加算器幽1. (2引の出力を加算
する加算器で、その出力S1はディスクσ0)の情報を
再生した電気信号であり、Slを情報処理することによ
って目的とするTV信号、オーディオ信号等を得ること
ができる。そして128)はディスク1iO)を回転さ
せるモータ、剛は上記各信号Sf、S、、日1を得るた
めの電子回路を示す。
次に動作について説明する。半導体レーザ(1)の出射
光束(2)は対物レンズ(9)によりディスク110)
上の情報トラック04)に集光される。また、情報トラ
ックCl41上の情報を読み取った反射光は、再び対物
レンズ(9)により平行光束にされ、コリメートレンズ
(γ)により収束する反射光束(6ンになり、ウェッジ
プリズムα6)により2つの光束(17) 、μs)に
分けられる。
光束(2)は対物レンズ(9)によりディスク110)
上の情報トラック04)に集光される。また、情報トラ
ックCl41上の情報を読み取った反射光は、再び対物
レンズ(9)により平行光束にされ、コリメートレンズ
(γ)により収束する反射光束(6ンになり、ウェッジ
プリズムα6)により2つの光束(17) 、μs)に
分けられる。
しかして、光束(5)と(18)の集光点には、それぞ
れ2分割された光検知器(19a)、 (19b)が置
かれており、光検知器(19a)、 (191:+)の
出力に基いて信号Sf。
れ2分割された光検知器(19a)、 (19b)が置
かれており、光検知器(19a)、 (191:+)の
出力に基いて信号Sf。
S、、Siを得ることができ、補正信号となるSf。
Stによりそれぞれフォーカシングアクチュエータμs
)、トラッキングアクチュエータ■1を制御し、フォー
カスずれ、トラックずれを補正することができる。
)、トラッキングアクチュエータ■1を制御し、フォー
カスずれ、トラックずれを補正することができる。
すなわち、ディスク(10)はモータt28)により回
転しており、ディスクのそれ等により回転に伴なってY
方向への位置ずれを生じる(代表的には300〜500
μmの位1i’t’、ずれを生じる)。一方、対物レン
ズ(9)によシ集光された光スポラ) (121は1〜
2μmの大きさで、その焦点深度も1〜2μmのオーダ
ーであるので、このままではディスク回転により焦点ず
れが生じることになり、これらフォーカス及びトラック
ずれは以下の方法によって補正される。
転しており、ディスクのそれ等により回転に伴なってY
方向への位置ずれを生じる(代表的には300〜500
μmの位1i’t’、ずれを生じる)。一方、対物レン
ズ(9)によシ集光された光スポラ) (121は1〜
2μmの大きさで、その焦点深度も1〜2μmのオーダ
ーであるので、このままではディスク回転により焦点ず
れが生じることになり、これらフォーカス及びトラック
ずれは以下の方法によって補正される。
第5図は対物レンズ(9)の焦点付近において、ディス
ク叫の情報面(111が合焦位置にある場合(第5図(
b))、及び合焦位置より前後にずれた場合(第5図(
−)と(C)’)の光検知器(19a)、 (19b)
上光束を示す。ここで、ディスク(10)の情報面α刀
が合焦点位置にある場合(以下合焦点状態と呼称する)
、反射光束集光点に置かれた検知器上光束は第5図(b
)に示すようになり、そのとき光検知器(19a)と(
i9b)は、D工とD2及びり、とD4に入射する光強
度が等しくなるように配置されている〇一方、ディスク
α0)の情報面(11)が合焦位置より前後にずれた場
合、光検知器(19a)、 (19b)上の光束は、第
5図(a)と(C)に示すようになる0従って加算器μ
)の出力S。
ク叫の情報面(111が合焦位置にある場合(第5図(
b))、及び合焦位置より前後にずれた場合(第5図(
−)と(C)’)の光検知器(19a)、 (19b)
上光束を示す。ここで、ディスク(10)の情報面α刀
が合焦点位置にある場合(以下合焦点状態と呼称する)
、反射光束集光点に置かれた検知器上光束は第5図(b
)に示すようになり、そのとき光検知器(19a)と(
i9b)は、D工とD2及びり、とD4に入射する光強
度が等しくなるように配置されている〇一方、ディスク
α0)の情報面(11)が合焦位置より前後にずれた場
合、光検知器(19a)、 (19b)上の光束は、第
5図(a)と(C)に示すようになる0従って加算器μ
)の出力S。
は、フォーカスずれに対して第6図に示すようになり、
公知のように出力S、で7オーカシングアクチユエータ
□□□)を制御し、絶えず対物レンズの焦点ずれを補正
することができる。
公知のように出力S、で7オーカシングアクチユエータ
□□□)を制御し、絶えず対物レンズの焦点ずれを補正
することができる。
また、ディスフケ0)は通常回転中心とディスク中心が
取付誤差等により一致していないことが多く、そのため
回転によりトラックずれが生じる。第7図は対物レンズ
(9)の焦点付近の光スポラ) (121が情報トラッ
クα4)の中心上に、f)る場合(第7図(a))と!
ずれた場合(第7図(b)と(C))のウェッジプリズ
ム(16)直後の反射光束光強度を示すもので、第7図
(a)のように情報トラック<14+の中心に光スポッ
ト(旧が照射された場合(以下合トラック状態と呼称す
る)には、ウェッジプリズムαt+)@後の光束分亜は
2分割光検知器(19a)、 (19b)と交差する左
右方向に対称となるが、第7図(b)、(C)に示すよ
うに情報トラック(14)の中心からずれた位置に元ス
ポット(121が照射された場合には、ウェッジプリズ
ム06)直後の光束分布は左右方向に非対称で、かつ光
スポット化)の情報トラック04)からのずれる方向に
より強くなる左右方向も異なる。従って、情報トランク
(14)と光スポット(頂のずれ(以下トラックすれと
呼称する)により差動増幅器@)の出力S、は第7図に
示すように変化するので、公知のようにこの出力S。
取付誤差等により一致していないことが多く、そのため
回転によりトラックずれが生じる。第7図は対物レンズ
(9)の焦点付近の光スポラ) (121が情報トラッ
クα4)の中心上に、f)る場合(第7図(a))と!
ずれた場合(第7図(b)と(C))のウェッジプリズ
ム(16)直後の反射光束光強度を示すもので、第7図
(a)のように情報トラック<14+の中心に光スポッ
ト(旧が照射された場合(以下合トラック状態と呼称す
る)には、ウェッジプリズムαt+)@後の光束分亜は
2分割光検知器(19a)、 (19b)と交差する左
右方向に対称となるが、第7図(b)、(C)に示すよ
うに情報トラック(14)の中心からずれた位置に元ス
ポット(121が照射された場合には、ウェッジプリズ
ム06)直後の光束分布は左右方向に非対称で、かつ光
スポット化)の情報トラック04)からのずれる方向に
より強くなる左右方向も異なる。従って、情報トランク
(14)と光スポット(頂のずれ(以下トラックすれと
呼称する)により差動増幅器@)の出力S、は第7図に
示すように変化するので、公知のようにこの出力S。
でトラッキングアクチュエータ12BIを制御し、絶え
ず合トラック状態に光スポット(la 7&:制御する
ことができる。
ず合トラック状態に光スポット(la 7&:制御する
ことができる。
従来の光学式情報記録再生装置は以上のように構成され
ているので、集光、合焦検出、及びトラッキング検出な
どの機能を持たせるためには複数のレンズ等の光学部品
から成る光学系を必要とし、その光学系調整は容易では
ない等の問題点があった0 この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、光学部品点数を減らすとともに、小型、軽量
化、及び高信頼化できる光学式情報再生装置を得ること
を目的とする。
ているので、集光、合焦検出、及びトラッキング検出な
どの機能を持たせるためには複数のレンズ等の光学部品
から成る光学系を必要とし、その光学系調整は容易では
ない等の問題点があった0 この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、光学部品点数を減らすとともに、小型、軽量
化、及び高信頼化できる光学式情報再生装置を得ること
を目的とする。
この発明に係る光学式情報再生装置は、IKEEJou
rnal of Quantum Electron’
Ws、 QFli−17(1981)p1257〜p
1263に報告されているように光導波路上を伝搬する
導波光を回折格子にょシ回折させ外部の点に収束される
装置に半導体レーザ及びフォーカスセンサ、トラッキン
グセンサ等の信号検知を行なう光学素子等を同一基板上
にモノリンツクに、形成して組込んだものである。
rnal of Quantum Electron’
Ws、 QFli−17(1981)p1257〜p
1263に報告されているように光導波路上を伝搬する
導波光を回折格子にょシ回折させ外部の点に収束される
装置に半導体レーザ及びフォーカスセンサ、トラッキン
グセンサ等の信号検知を行なう光学素子等を同一基板上
にモノリンツクに、形成して組込んだものである。
この発明においては、同一基板上に光学素子をモノリシ
ックに形成することにょジ、集光機構、信号検知機構、
フォーカスセンサ、及ヒトラッキングセンサを構成する
ことができるようにしたので、光学系調整がなくなると
ともに光学部品点数も大幅に減少する。
ックに形成することにょジ、集光機構、信号検知機構、
フォーカスセンサ、及ヒトラッキングセンサを構成する
ことができるようにしたので、光学系調整がなくなると
ともに光学部品点数も大幅に減少する。
以下、この発明の一実施例の構成を従来構成と同一部分
は同一符号を附して示す第1図(a) 、 (klにつ
いて説明する。図において、鴎はシリコン(Si)基板
、間はシリコン基板上に形成された1〜2μm厚のSi
O2膜、囮は5102膜上に形成された淳さ1〜2μm
の薄膜状の光導波路で、例えばコーニング社の1705
9ガラスで作成しており、半纏体レーザ(1)はその出
射光束が光導波路上に入射するよう結合されて、光導波
路中の光束は薄膜中を伝搬するようになっている。(6
))は光導波路中に注入された半導体レーザ(1)の拡
散光束、暦ノは拡散光束(6))を平行な光束四にする
厚さ1〜2μmのSiN膜でなる格子状のコリメート素
子、知)はディスク叫への照射^(とディスク叫の情報
を読み取った反射光束囮を分離する部さ1〜2μmの5
ilJ膜でなる格子状のビームスプリット素子、10)
は照射光束+1r11を光スポット(彼に集光する厚さ
1〜2μmのSiN膜でなるグレーティング型の集光素
子、worは反射光束1181を2光束に分けるととも
に別の点に集光するグレーティング型の光束分離集光素
子で厚さ1〜2μmの81N膜でできている。
は同一符号を附して示す第1図(a) 、 (klにつ
いて説明する。図において、鴎はシリコン(Si)基板
、間はシリコン基板上に形成された1〜2μm厚のSi
O2膜、囮は5102膜上に形成された淳さ1〜2μm
の薄膜状の光導波路で、例えばコーニング社の1705
9ガラスで作成しており、半纏体レーザ(1)はその出
射光束が光導波路上に入射するよう結合されて、光導波
路中の光束は薄膜中を伝搬するようになっている。(6
))は光導波路中に注入された半導体レーザ(1)の拡
散光束、暦ノは拡散光束(6))を平行な光束四にする
厚さ1〜2μmのSiN膜でなる格子状のコリメート素
子、知)はディスク叫への照射^(とディスク叫の情報
を読み取った反射光束囮を分離する部さ1〜2μmの5
ilJ膜でなる格子状のビームスプリット素子、10)
は照射光束+1r11を光スポット(彼に集光する厚さ
1〜2μmのSiN膜でなるグレーティング型の集光素
子、worは反射光束1181を2光束に分けるととも
に別の点に集光するグレーティング型の光束分離集光素
子で厚さ1〜2μmの81N膜でできている。
上記構成を備える光学式情報記録再生装置((おいて、
半導体レーザ(1)の出射光は光導波路数1に拡散光東
側として出射され、該拡散光東側はコリメート素子温1
により平行光束fi51になる。そして、この平行光束
1461はビームスプリット素子Mを透過し照射光束8
7+となり、集光素子(ト)ノにより集光され光スポッ
ト(功になる。
半導体レーザ(1)の出射光は光導波路数1に拡散光東
側として出射され、該拡散光東側はコリメート素子温1
により平行光束fi51になる。そして、この平行光束
1461はビームスプリット素子Mを透過し照射光束8
7+となり、集光素子(ト)ノにより集光され光スポッ
ト(功になる。
しかして、情報面α℃の情報を読み取った反射光は再び
集光素子(ト))により光導波路に中を伝搬する平行光
束になり、ビームスプリット素子部)により光束(3)
)と分離され反射光束ii8+となる。反射光束1!8
1は光束分離集光素子1501により収束する2つの光
束(51a)、 (51b) I雰けられる。光束(s
la)、 (51b)は光検知器(19a)、 (19
b)に入射し、集光素子(ト))の焦点位置に情報面0
υがくる場合にちょうど光束(51a)。
集光素子(ト))により光導波路に中を伝搬する平行光
束になり、ビームスプリット素子部)により光束(3)
)と分離され反射光束ii8+となる。反射光束1!8
1は光束分離集光素子1501により収束する2つの光
束(51a)、 (51b) I雰けられる。光束(s
la)、 (51b)は光検知器(19a)、 (19
b)に入射し、集光素子(ト))の焦点位置に情報面0
υがくる場合にちょうど光束(51a)。
(51b)の集光位置に光検知器(19a)、 (19
b) カ置かれており、光検知器入射光強度は検知素子
D□とD2及びD3とD4に入射する光強度が相等しい
ようになっている。
b) カ置かれており、光検知器入射光強度は検知素子
D□とD2及びD3とD4に入射する光強度が相等しい
ようになっている。
そのとき光検知器上の光束は、集光素子(ト)フの合焦
位置からのずれに応じて、第2図(a)〜(c)のよう
に光検知器(19a)、 (19b)の分割線方向に押
しっぷされたような形状で変化する。すなわち(a)は
情報面が合焦位置より近づいた場合、(b)は合焦位置
にある場合、(C)は合焦位置より遠ざかった場合をそ
れぞれ示す。従って従来装置の場合と同様に焦点ずれに
対する出力B、は第5図のように変化し、従来装置の場
合と同様に焦点制御を行なうことが可能となる。
位置からのずれに応じて、第2図(a)〜(c)のよう
に光検知器(19a)、 (19b)の分割線方向に押
しっぷされたような形状で変化する。すなわち(a)は
情報面が合焦位置より近づいた場合、(b)は合焦位置
にある場合、(C)は合焦位置より遠ざかった場合をそ
れぞれ示す。従って従来装置の場合と同様に焦点ずれに
対する出力B、は第5図のように変化し、従来装置の場
合と同様に焦点制御を行なうことが可能となる。
また出力S工からは従来装置と類似の原理により、第8
図に示すセンサ特性を得ることができる。
図に示すセンサ特性を得ることができる。
なおコリメート素子1141、ビームスプリット素子部
、集光素子11りl、及び光束分離集光素子150)は
、例えばガラスt’taO上にSiNの薄膜をOV D
(chemicalVapour Depositi
on )で形成し、フォトレジスト膜を塗布し、上記光
学素子の部分に7オトレジストが残るよう電子ビーム露
光し、プラズマエツチングにて光学素子部以外のSiN
膜をプラズマエツチングすれば作成することができる
。
、集光素子11りl、及び光束分離集光素子150)は
、例えばガラスt’taO上にSiNの薄膜をOV D
(chemicalVapour Depositi
on )で形成し、フォトレジスト膜を塗布し、上記光
学素子の部分に7オトレジストが残るよう電子ビーム露
光し、プラズマエツチングにて光学素子部以外のSiN
膜をプラズマエツチングすれば作成することができる
。
なお、上記実施例では、光検知器を薄膜当波路の端面に
配置する+trt成としたが、第5図(a) 、 (1
)Jに示すように、n型シリコン基板(叩上に不純物を
拡散することによりP層を形成しモノリシックに光検知
器(6]Jを形成しても良い。また、上記実施例では、
ディスク上の情報を再生する装置に適用した例を示した
が、例えばT e 02などを蒸着したディスク上の薄
膜に、記録情報信号で変調したハイパワー半導体レーザ
を照射し、情報の記録を行なう記録装置に適用しても良
い。
配置する+trt成としたが、第5図(a) 、 (1
)Jに示すように、n型シリコン基板(叩上に不純物を
拡散することによりP層を形成しモノリシックに光検知
器(6]Jを形成しても良い。また、上記実施例では、
ディスク上の情報を再生する装置に適用した例を示した
が、例えばT e 02などを蒸着したディスク上の薄
膜に、記録情報信号で変調したハイパワー半導体レーザ
を照射し、情報の記録を行なう記録装置に適用しても良
い。
以上のようにこの発明によれば、装置構成に複数の光学
部品を必要としなく、調整も不要となり、装置が安価に
でき、信頼性の高いものが得られる効果がある。
部品を必要としなく、調整も不要となり、装置が安価に
でき、信頼性の高いものが得られる効果がある。
第1図(a) 、 (b)はこの発明の一実施例による
光学式情報再生装置を示す構成図、第2図(a)〜(C
)はこの発明の光学式情報記録再生装置の合焦ずれ検出
原理を示す説明図、第6図(a) 、 (b)はこの発
明の他の実施例を示す構成図、第4図(a)、(b)は
従来の光学式情報再生装置を示す構成図、第5図(a)
〜(C)と第6図は従来装置の合焦ずれ検出原理を示す
説明図、第7図(a)〜(C)は従来装置のトラックず
れ検出(5)1は光導波路、(・お)は拡散光束、11
4)はコリメート素子、(15jは平行光束、(+(I
Iはビームスプリット素子、ゆ1jは照射光束、f18
)は反射光束、は9)は集光素子、!501は光束分離
集光素子、(噛はn梨シリコン基板、took。 (61&)、 (61b)は光検知器である。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
光学式情報再生装置を示す構成図、第2図(a)〜(C
)はこの発明の光学式情報記録再生装置の合焦ずれ検出
原理を示す説明図、第6図(a) 、 (b)はこの発
明の他の実施例を示す構成図、第4図(a)、(b)は
従来の光学式情報再生装置を示す構成図、第5図(a)
〜(C)と第6図は従来装置の合焦ずれ検出原理を示す
説明図、第7図(a)〜(C)は従来装置のトラックず
れ検出(5)1は光導波路、(・お)は拡散光束、11
4)はコリメート素子、(15jは平行光束、(+(I
Iはビームスプリット素子、ゆ1jは照射光束、f18
)は反射光束、は9)は集光素子、!501は光束分離
集光素子、(噛はn梨シリコン基板、took。 (61&)、 (61b)は光検知器である。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (2)
- (1)シリコン基板上にSiO_2膜を形成すると共に
、このSiO_2膜上に薄膜状の光導波路を形成し、か
つ該薄膜状光導波路上に、半導体レーザからの拡散光束
を平行光束にする格子状のコリメート素子と、ディスク
への照射光とディスクの情報を読取った反射光束を分離
する格子状のビームスプリット素子と、照射光束を光ス
ポットに集光するグレーテイング型の集光素子と、ディ
スクからの反射光を第1と第2の収束光に集光する光束
分離集光素子とを極薄のSiN膜で形成し同一基板上に
モノリシックに形成して成り、上記第1と第2の収束光
の集光位置にそれぞれ2つの検知領域から成る第1と第
2の光検知器を備えたことを特徴とする光学式情報記録
再生装置。 - (2)上記光導波路をn型シリコン基板上に形成すると
ともに上記シリコン基板上にP型領域を形成することに
より上記光検知器をシリコン基板上にモノリシックに形
成したことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光
学式情報記録再生装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59213801A JP2507983B2 (ja) | 1984-10-12 | 1984-10-12 | 光学式情報記録再生装置 |
DE3546796A DE3546796C2 (ja) | 1984-10-01 | 1985-09-30 | |
DE19853534776 DE3534776A1 (de) | 1984-10-01 | 1985-09-30 | Kopfanordnung fuer eine optische scheibe |
US06/781,993 US4718052A (en) | 1984-10-01 | 1985-09-30 | Head assembly for optical disc |
DE3546795A DE3546795C2 (ja) | 1984-10-01 | 1985-09-30 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59213801A JP2507983B2 (ja) | 1984-10-12 | 1984-10-12 | 光学式情報記録再生装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6192439A true JPS6192439A (ja) | 1986-05-10 |
JP2507983B2 JP2507983B2 (ja) | 1996-06-19 |
Family
ID=16645268
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59213801A Expired - Lifetime JP2507983B2 (ja) | 1984-10-01 | 1984-10-12 | 光学式情報記録再生装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2507983B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62283430A (ja) * | 1986-05-31 | 1987-12-09 | Sony Corp | 光学ヘツド |
JPS63183636A (ja) * | 1986-09-09 | 1988-07-29 | Hitachi Ltd | 薄膜光導波路型光ヘツド |
JPH0210527A (ja) * | 1988-06-29 | 1990-01-16 | Hitachi Ltd | 光集積回路 |
JPH03125338A (ja) * | 1989-10-11 | 1991-05-28 | Mitsubishi Electric Corp | 光学式ヘッド装置 |
-
1984
- 1984-10-12 JP JP59213801A patent/JP2507983B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62283430A (ja) * | 1986-05-31 | 1987-12-09 | Sony Corp | 光学ヘツド |
JPS63183636A (ja) * | 1986-09-09 | 1988-07-29 | Hitachi Ltd | 薄膜光導波路型光ヘツド |
JPH0210527A (ja) * | 1988-06-29 | 1990-01-16 | Hitachi Ltd | 光集積回路 |
JPH03125338A (ja) * | 1989-10-11 | 1991-05-28 | Mitsubishi Electric Corp | 光学式ヘッド装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2507983B2 (ja) | 1996-06-19 |
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