JPS6191543A - Icリ−ド曲り検出方法及び装置 - Google Patents

Icリ−ド曲り検出方法及び装置

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JPS6191543A
JPS6191543A JP59214908A JP21490884A JPS6191543A JP S6191543 A JPS6191543 A JP S6191543A JP 59214908 A JP59214908 A JP 59214908A JP 21490884 A JP21490884 A JP 21490884A JP S6191543 A JPS6191543 A JP S6191543A
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JP
Japan
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lead
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leads
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Pending
Application number
JP59214908A
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English (en)
Inventor
Masahiro Nagao
長尾 正博
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕 この発明はtCのリード曲りの有無を検査するためのI
Cリードの曲り検出方法及び装置に関する。 (従来の技術〕 第7図は従来のこの種の検査装置を示したものであり、
lはIcチップ、2はICガイド、3は照明用光源、4
はITVカメラ1,5はサンプリング2値化回路、6は
画像メモリ、7は中央情報処理装置である。 この構成においては、ICチップ1はICガイド2によ
り案内移送され、ITVカメラ4の視野に入ると、その
映像がITVカメラ4に読込まれる。ICチップ1のモ
ールド部は反射率の悪い樹脂であるがそのリードしは金
属光沢があるので反射率が高く、サンプリング2値化回
路5は映像(信号)の明レベルと暗レベルを識別して第
8図に示す如きリードLが明レベル(斜線部分)である
2値画像を画像メモリ6に送出する。中央情処理装置7
はこの2値画像を処理し、リードし先端或いはリード中
心座標を演演算し、その座標からリード間隔a1〜a6
を算出し、リード拡がり或いは狭ぼり等を演算測定して
、リード部がりを検出する。 〔発明が解決しようとする問題点〕 このように、従来は、ITVカメラの映像を2値化処理
してICチップのリード部を抽出し、抽出さたリード部
の画像からリードのピッチ間隔を求めるようにしている
ので、その積度が分解能によって制限される他、高速処
理ができないと云う問題かあった。 この発明は、上記した従来の問題を解決するためになさ
れたもので、従来に比して高速、高精度にリード部がり
を検出することができるICリードの曲りを検出する装
置及び方法をiBることを目的とする。 C問題を解決するための手段〕 この発明は上記目的を達成すふるため、レーザ光線によ
りI CIJ−ド列を走査し、順次走査されるリードの
相隣るリードが反射する反射光の反射タイミングの間隔
を検出し、続いて該間隔の相隣る間隔差を求め、該間隔
差を設定値もしくは設定範囲と比較してリード部りの有
無を判定する構成としたものである。 〔作用〕 この発明においては、リード列が反射するレーザ光線の
反射タイミングに同期して立上るピーク出力列の間隔が
パルス計数により求められ、相隣るり−ド間隔に対応す
る計数値の冬着が設定範囲と比較されることによりリー
ド部がりの有無が検出される。 〔発明の実施例〕 第1図はこの発明の一実施例を示したブロック図であり
、同図において、11はレーザ光源であって、これが送
出するレーザ光線Oは焦点合わせ装置12により、第3
図に示す如く、ICガイド上のICチップ1のリードし
に焦点を結ぶように調整されている。13はスキャニン
グ装置であって、レーザ光線0が、第2図に矢印すで示
す如く、ICチップ1のジー15列を横断する方向にス
キャンせしめる為に設けられている。14は集光装置で
あって、複数本の光ファイバーからなり、一端側は、各
リードLが正反射するレーザ光線0の全てを受光し得る
一定幅の細長い受光面を形成してICチップ1のリード
部に向で配設されており、他端側は結束されて結束側面
は光電変換器15に達している。光電変換器15は受光
した光強度に対応する大きさの電気信号を立上り検出器
16に入力する。立上り検出器16は入力された電気信
号の立上りに同期して検出パルスをリード間隔検出用パ
ルスカウンタ18に送出する。パルスカウンタ18はク
ロック17からクロックパルスを受け、検出パルスが入
力されてから次の検出パルスが入力されるまでの期間に
到来したクロックパルスの数nを計数して一時メモリ1
9に送出する。20は一時メモリであって、一時メモリ
。 19が第N番目の計数値を格納している場合に第N−1
番目の計数値を格納している。21はリード間隔差検出
器であって、一時メモリ19が格納している計数値と一
時メモリ20が格納している計数値との差を演算して加
算データ格納装置22の選択された加算ダーク格納レジ
スタに入力する。加算データ格納装置22はICチップ
1のリード本数をYとした場合に(Y−1)個の加算デ
ータ格納レジスタ22M〜22M6を具えている。 23はタイミング制御器であって、一時メモリ19.2
0の書込みタイミグを制御するタイミング信号を送出す
る。24は格納レジスタ選択装置であって、立上り数検
出用カウンタ25、デコー  □ダ26、ゲート27か
らなる。カウンタ25は1スキャン期間内に立上り検出
器16が送出する検出パルスの数を計数する。この計数
値はデコーダ26でデコードされる。ゲートはデコーダ
26の出力に従い一定のシーケンスで加算データ格納レ
ジスタ22M1〜22M6の−を選択する。28ば判定
器(比較器)であって、メモリ22の内容を所定値と比
較して曲がりの有無を判定する。 29は主制御器であって、上記各カウンタ、メモリ等の
初期化を行ったり、レーザスキャンの制御を司る。 次にこの装置の動作について説明する。 リードしにより正反射されたレーザ光線旦は、第3図に
示す如く、確実に、集光装置14の受光面に入射する。 リードLが無い部分では正反射光はな(、レーザ光線0
は同図に−で示す方向に直進する。従って、光電変換器
15は、−スキャン時において、第5図に示す如く、リ
ードLの数だけのピーク出力Pを時間間隔ωl、ω2・
・・ω7で送出する。この時間間隔ω1、ω2・・・。 ω7はリードLが正常である場合にはほぼ等しくなる。 リードLが外側もしくは内側に曲がっていると、第4図
に示す如く反射元旦が集光装置14に入射せず、光電変
換器15は該IJ −1” Lにスj応するピーク出力
9を発生しない。 第6図は第2図に示すICチップの図において左から3
番目のり一ドLがαだけ左に位置ずれしテイル場合のピ
ーク出力2列を示しており、この時、上記時間間隔はω
l、ω2−α、ω3+α・・・ω7となる。 立上り検出器16は上記ピーク出力列の各ピーク出力P
の立上り位置を検出し、パルスカウンタ18は時間間隔
ω1、ω2・・・ω7、 ω1、ω2−α、ω3+α・
・・ω7等を検出することになる。リード間隔差検出器
21はこの時間間隔を順次差演算するので、その演算結
果は、リード間隔が全て正常である場合には、 ω1−ω2職0  (レジスタ22M1に格納)ω2−
ω3−0  (レジスタ22M2に格納)ω3−ω4ζ
0  (レジスタ22M3に格納)ω4−ω5=0  
 <レジスタ22M4に格納)ω5−ω6崎O(レジス
タ22M5に格納)ω6−ω7′:0  (レジスタ2
2M6に格納)となるが、第6図に示すような位置ずれ
がある場合には、 ω1−(ω2−α)+α (ω2−α)−(ω3+α)特−2α (ω3−α)−ω4毎α ω4−ω5涛O ω5−ω6 ’−,0 ω6−ω7′:0 となる。 この演算結果は1スキヤン毎に加算データ格納装置22
の対応する加算データ格納レジスタ22M1〜22M6
に格納され、判定器28は、所定スキャン回数N後に、
各加算ダーク格納レジスタ22M1〜22M6に累積格
納された値を数値
〔0〕を中心とした一定数値範囲にあ
るか否かを比較し、一定数値範囲にある場合にはリード
が正常であると判定し、一定数値範囲外がある場合には
リード不良と判定して、不良検出信号εを送出する。勿
論、ピーク出力の数が一定数なければリード不良となる
。 本実施例では、tCリード部をレーザ光線でスキャンし
、その正反射光のみ集めて光電変換し、光電変換されて
出力される信号の立上りタイミングを順次パルス計数に
より求める構成であるので、画像データを演算処理して
求める場合と異なって、その検出速度は極めて高い。 また、本実施例では、加算データ格納装置22とこれを
制御する格納レジスタ選択装置24を設けて、同一チッ
プに対して複数回のスキャンを行えるようにし、リード
間隔差検出器21の演算結果を累積加算する構成となっ
ているので、判定器28で比較される格納値はリード曲
がりの有無により顕著な開きが生じ、レーザ光線を用い
ることとあいまって、高い検出精度がfQられる。 〔発明の効果〕 この発明は以上説明した通り、レーザ光線によりICリ
ード列を走査し、順次走査されるリードの相隣るリード
か反射する反射光の反射開始タイミングのタイミング間
隔を検出し、続いて該間隔の相隣る間隔差を求めてこれ
を設定値と比較する構成としたことにより、従来に比し
、検出精度を高めることができる上、簡単な信号処理で
済むので検出速度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例を示すブロック図、第2図
はリード列のスキャン方向を説明する為の図、第3図及
び第4図は上記実施例におけるレーザ光線の光路を示す
図、第5図及び第6図は上記実施例における光電変換器
の出力波形を示す図、第7図は従来のI CIJ−ドの
曲り検出装置を示すブロック図、第8図は上記従来装置
の欠点を説明する為の図である。 図において、it−レーザ光源、13−・・スキャニン
グ装置、14−集光装置、15〜・光電変換器、16−
・立上り検出器、18−リード間隔検出用パルスカウン
タ、19.20・−−一時メモリ、21はリード間隔差
検出器、22−加算データ格納装置22.22M1〜2
2M6・−加算ダーク格納レジスタに、23・−タイミ
ング制御器、24−・−格納レジスタ選択装置、25−
立上り数検出用カウンタ25.26−デコーダ、27−
ゲート、28−・−判定器、29−主制御器。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)レーザ光線によりICのリード列を走査し、順次
    走査される上記リードの相隣るリードが反射する反射光
    の反射タイミングのタイミング間隔を検出し、続いて、
    検出された上記タイミング間隔の相隣る間隔相互の大き
    さの差を演算し、これらの差を設定値もしくは設定範囲
    と比較してリード曲りの有無を判定することを特徴とす
    るICリード曲り検出方法
  2. (2)ICのリード列を光走査するレーザスキャニング
    装置、上記リード列によるレーザ光線の反射光を集光し
    て光電変換器に導く集光装置、該光電変換器の出力の立
    上りに同期する検出パルスを発生する立上り検出器、ク
    ロックパルスを発生するクロック、上記立上り検出器の
    検出パルス間に発生する上記クロックパルスの数を計数
    するリード間隔検出用カウンタ、該カウンタの相隣る計
    数値の差を演算するリード間隔差検出器、複数の加算デ
    ータ格納レジスタを具える加算データ格納装置、上記リ
    ード間隔差検出器の出力を一定のシーケンスに従い上記
    加算データ格納レジスタに入力する格納レジスタ選択装
    置、所定走査回数後の上記各加算データ格納レジスタの
    累積格納内容を設定範囲と比較して該該設定範囲を超え
    る累積格納内容がある場合に不良検出信号を発生する判
    定器を有することを特徴とするICリード曲り検出装置
JP59214908A 1984-10-12 1984-10-12 Icリ−ド曲り検出方法及び装置 Pending JPS6191543A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63177046A (ja) * 1987-01-19 1988-07-21 Nagoya Denki Kogyo Kk 実装済プリント基板自動検査装置におけるフラツトパツケ−ジのリ−ド浮き検出方式
US4875778A (en) * 1987-02-08 1989-10-24 Luebbe Richard J Lead inspection system for surface-mounted circuit packages
US4875779A (en) * 1988-02-08 1989-10-24 Luebbe Richard J Lead inspection system for surface-mounted circuit packages
CN102023163A (zh) * 2010-12-28 2011-04-20 中国计量学院 基于dsp的接插件检测系统和检测方法

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US4875779A (en) * 1988-02-08 1989-10-24 Luebbe Richard J Lead inspection system for surface-mounted circuit packages
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