JPS6182108A - 微小位置検出用アクチユエ−タ− - Google Patents
微小位置検出用アクチユエ−タ−Info
- Publication number
- JPS6182108A JPS6182108A JP18112584A JP18112584A JPS6182108A JP S6182108 A JPS6182108 A JP S6182108A JP 18112584 A JP18112584 A JP 18112584A JP 18112584 A JP18112584 A JP 18112584A JP S6182108 A JPS6182108 A JP S6182108A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diameter bellows
- bellows
- diameter
- small
- actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/42—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using fluid means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B13/00—Measuring arrangements characterised by the use of fluids
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Actuator (AREA)
- Measuring Arrangements Characterized By The Use Of Fluids (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ、産業上の利用分野
本発明は、工作機械可動部材すなわち移動可能なテーブ
ル等の直線若しくは回転等の定位置位置決めζこおいて
、固定部材若しくは移動部材に微小位置検出用アクチェ
ーターを固定し、移動部材の移動により、前記アクチェ
ーターを当接させ、その変位量を前記アクチェーター他
端に設けた検出器の検出信号により送り停止し、定位置
位置決めをさせる微小位置検出用アクチェーターに関す
る口、従来の技術 工作機械の油圧あるいは電動機等により直線運動や回転
等の工作機械可動部材の行程端の定位置位置決めに（可
動部若しくは移動部に取り付けられた）頑丈なメカニカ
ルストッパーに当接させることにより定位置位置決めを
行うやり方が多く用いられているが、可動部分のメカニ
カルストッパーが相手の当り面に当接するときの送り速
度、メカニカルストッパーの弾性変形量等のばらつき等
による位置決め誤差、反覆精度の不安定さ、オーバラン
による機械の破損等が発生した。すなわち従来の定位置
決めの原理は第３図に示す如く縦軸に位置決め距離Ｌ、
横軸に時間Ｔをとり、その動作を図示したもので、先づ
定位置決め開始指令によりｔ２まで早送りで前進し、減
速用信号を動作させ微速前進しｔｌで定位置決め検出信
号を動作させ、前進しメカニカルストッパに押し付け（
１＋時間）タイマーにて設定された時間ｔ。后に駆動装
置を停止し位置決めを完了している。減速用検出信号か
ら定位置決め検出信号まで２〜３酎以上の距離をとらな
いと動作が不安定になる欠点、メカニカルストッパ自身
の剛性不足によるばら付き１位置決め近傍の送り速度の
選び方が難かしくタイマー等の信頼性の低い制御素子を
使用するため回路が複雑になり誤動作の原因になってい
た。
ル等の直線若しくは回転等の定位置位置決めζこおいて
、固定部材若しくは移動部材に微小位置検出用アクチェ
ーターを固定し、移動部材の移動により、前記アクチェ
ーターを当接させ、その変位量を前記アクチェーター他
端に設けた検出器の検出信号により送り停止し、定位置
位置決めをさせる微小位置検出用アクチェーターに関す
る口、従来の技術 工作機械の油圧あるいは電動機等により直線運動や回転
等の工作機械可動部材の行程端の定位置位置決めに（可
動部若しくは移動部に取り付けられた）頑丈なメカニカ
ルストッパーに当接させることにより定位置位置決めを
行うやり方が多く用いられているが、可動部分のメカニ
カルストッパーが相手の当り面に当接するときの送り速
度、メカニカルストッパーの弾性変形量等のばらつき等
による位置決め誤差、反覆精度の不安定さ、オーバラン
による機械の破損等が発生した。すなわち従来の定位置
決めの原理は第３図に示す如く縦軸に位置決め距離Ｌ、
横軸に時間Ｔをとり、その動作を図示したもので、先づ
定位置決め開始指令によりｔ２まで早送りで前進し、減
速用信号を動作させ微速前進しｔｌで定位置決め検出信
号を動作させ、前進しメカニカルストッパに押し付け（
１＋時間）タイマーにて設定された時間ｔ。后に駆動装
置を停止し位置決めを完了している。減速用検出信号か
ら定位置決め検出信号まで２〜３酎以上の距離をとらな
いと動作が不安定になる欠点、メカニカルストッパ自身
の剛性不足によるばら付き１位置決め近傍の送り速度の
選び方が難かしくタイマー等の信頼性の低い制御素子を
使用するため回路が複雑になり誤動作の原因になってい
た。
・・１発明が解決しようとする問題点
本発明の目的は停止位置の高精度検出、タイマーを使用
しないことによる信頼性の向上１部品点数を少くするこ
とにより小型化、堅牢さの向上またベローズ、マイクロ
スイッチを密封化することにより耐環境性、耐用年数の
向上を計る微小位置検出用アクチェーターを提供するに
ある。
しないことによる信頼性の向上１部品点数を少くするこ
とにより小型化、堅牢さの向上またベローズ、マイクロ
スイッチを密封化することにより耐環境性、耐用年数の
向上を計る微小位置検出用アクチェーターを提供するに
ある。
二０問題点を解決するための手段
微小位置検出用アクチーエータ−は第１図に示す如く、
大径ベローズ４と小径ベローズ６を可撓性を有しかつ内
圧により径が拡張しないパイプで連結し、大径ベローズ
４を覆うキャップ１を固定部材に当接させることにより
小径ベローズ６にその変位を伝達し、位置検出を行わせ
るものである。
大径ベローズ４と小径ベローズ６を可撓性を有しかつ内
圧により径が拡張しないパイプで連結し、大径ベローズ
４を覆うキャップ１を固定部材に当接させることにより
小径ベローズ６にその変位を伝達し、位置検出を行わせ
るものである。
すなわち 大径ベローズ４の断面積 Ａ Ｍａその変
位量 δヨ 小径ベローズ６の断面積 Ｂ− その変位量 Ｘ間 とすれば 小径ベローズ６の軸方向変位は で表わされる。
位量 δヨ 小径ベローズ６の断面積 Ｂ− その変位量 Ｘ間 とすれば 小径ベローズ６の軸方向変位は で表わされる。
その構成は前記大径ベローズ４を収納する有底円筒２は
他の固定部材に取付可能な座および取付穴を有しており
、有底円筒２の内周には大径ベローズを囲む様１０．１
１が装着され、１０が当接した場合にその微小変位を小
径ベローズ１１にて拡大し、精度よく検出し、その信号
を停止、運動の切換等に使用するものである。
他の固定部材に取付可能な座および取付穴を有しており
、有底円筒２の内周には大径ベローズを囲む様１０．１
１が装着され、１０が当接した場合にその微小変位を小
径ベローズ１１にて拡大し、精度よく検出し、その信号
を停止、運動の切換等に使用するものである。
ホ、 発明の効−果
第１図により説明した如く構造が簡単で内部が密封され
ているので切り屑、切削油、塵埃等の異物に強く、従っ
て耐環境性にすぐれている。
ているので切り屑、切削油、塵埃等の異物に強く、従っ
て耐環境性にすぐれている。
構造が堅牢であり、たとえ多小行き過ぎても本体とキャ
ップが当接してメカニカルストッパの役目を兼用してい
るので検出部が破損の心配はない。
ップが当接してメカニカルストッパの役目を兼用してい
るので検出部が破損の心配はない。
大径ベローズの微小変位量が小径ベローズで変位量が拡
大検出されるので高精度の位置検出ができる。
大検出されるので高精度の位置検出ができる。
本発明の説明は旋盤の実施例を示したが、旋盤に限らず
、一般の工作機械たとえばマシニングセンタなどにも使
用できること、また可動部分に取付けず固定部分に取付
けて使用することができることは勿論に蔓巻ばね３が取
付けられていて、これは大径ベローズ４を保護するため
被せられているキャップ１が当接し、その後外力が除去
された場合にキャップ１を原位置に復元させる作用をす
るためのものであり、大径ベローズ４は解放されている
ときはダストカバー９で行程を制限せられかつキャップ
１の裾部と有底円筒２はダストカバー９で連結され外部
より防塵の役目をしキャップ１が当接した時に有底円筒
２の頂部がキャップ１の底部に接触し、ストッパーの役
目を果たすため、衝突したとしても大径ベローズを破損
することはない。また大径ベローズが当接さね、ること
によりその変位量は（大径ベローズと小径ベローズと、
その連結されたパイプに充満された流体を媒体として）
前記の原理により小径ベローズ６の軸方向の変位として
拡大されるため、太径べａ−ズ４に発生する微小変位を
検出する小径ベローズ部１１の構造は小径ベローズ６は
一端を前記パイプ５′に連動し、マイクロスイッチ８と
共に保護箱７に密封され、外気と遮断され小径ベローズ
の拡大された変位量をマイクロスイッチで検出している
。
、一般の工作機械たとえばマシニングセンタなどにも使
用できること、また可動部分に取付けず固定部分に取付
けて使用することができることは勿論に蔓巻ばね３が取
付けられていて、これは大径ベローズ４を保護するため
被せられているキャップ１が当接し、その後外力が除去
された場合にキャップ１を原位置に復元させる作用をす
るためのものであり、大径ベローズ４は解放されている
ときはダストカバー９で行程を制限せられかつキャップ
１の裾部と有底円筒２はダストカバー９で連結され外部
より防塵の役目をしキャップ１が当接した時に有底円筒
２の頂部がキャップ１の底部に接触し、ストッパーの役
目を果たすため、衝突したとしても大径ベローズを破損
することはない。また大径ベローズが当接さね、ること
によりその変位量は（大径ベローズと小径ベローズと、
その連結されたパイプに充満された流体を媒体として）
前記の原理により小径ベローズ６の軸方向の変位として
拡大されるため、太径べａ−ズ４に発生する微小変位を
検出する小径ベローズ部１１の構造は小径ベローズ６は
一端を前記パイプ５′に連動し、マイクロスイッチ８と
共に保護箱７に密封され、外気と遮断され小径ベローズ
の拡大された変位量をマイクロスイッチで検出している
。
実施例として第２図に旋盤の横送り後に微小位置検出用
アクチェーターを取付けた状態を示したもので、その作
用の概略を示すと旋盤主軸台２１に被加工物２５を把持
し刃物２２は横送り台２３に取り付けられ横送り台は紙
面に平行にベット２４上を摺動するものである。横送り
白下部に微小位置検出用アクチェーターである。
アクチェーターを取付けた状態を示したもので、その作
用の概略を示すと旋盤主軸台２１に被加工物２５を把持
し刃物２２は横送り台２３に取り付けられ横送り台は紙
面に平行にベット２４上を摺動するものである。横送り
白下部に微小位置検出用アクチェーターである。
第１図は大径ベローズ部と小径ベローズ部の内部構造を
示したもので ２：有底円筒、１：キヤツジ、３：蔓巻バネ、４：太径
ベローズ、６：小径ベローズ、７：保護箱、 第２図は旋盤における実施例を示す。
示したもので ２：有底円筒、１：キヤツジ、３：蔓巻バネ、４：太径
ベローズ、６：小径ベローズ、７：保護箱、 第２図は旋盤における実施例を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、固定部材に案内面を設け、その案内面上を適当な駆
動装置による摺動させる移動部材よりなる装置の位置決
めに関し、片側が有底円筒に大径のベローズを収納し、
その外周に前記大径ベローズを囲むように蔓巻ばねを配
し、前記円筒、蔓巻バネおよび大径ベローズにキャップ
を被せ、そのキャップ底部は前記有底円筒頂部と適当な
隙間を保持しまたキャップ胴部は前記円筒外周部と適当
な隙間を有し滑動自在であり、そのキャップ裾部には防
塵用のダストカバーを前記円筒に挟着し、（以上を以下
大径ベローズ部という。）有底の円筒の底部には小穴を
設け、その小穴に大径ベローズに連導する可撓可能でか
つ内圧により容易に径方向に膨脹しないパイプを通し、
そのパイプの他端は小径ベローズに連導し、その小径ベ
ローズはマイクロスイッチと共に保護函に密封固定され
、小径ベローズの作動部にはマイクロスイッチを配し、
大径ベローズと小径ベローズとパイプに流体を満たし前
記移動部材若しくは固定部材に大径ベローズ部を固着し
かつ保護箱を同一部材の離隔した場所に固着し位置決め
近傍にて大径ベローズ部キャップを当接させ、その微小
変位を小径ベローズ部で拡大し、位置検出を行うことを
特徴とする微小位置検出用アクチェーター ２、特許請求の範囲１に関し、大径ベローズが当接した
場合に有底円筒頂部とキャップ底部がメカニカルストッ
パーとなることを特徴とする微小位置検出用アクチェー
ター
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18112584A JPS6182108A (ja) | 1984-08-30 | 1984-08-30 | 微小位置検出用アクチユエ−タ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18112584A JPS6182108A (ja) | 1984-08-30 | 1984-08-30 | 微小位置検出用アクチユエ−タ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6182108A true JPS6182108A (ja) | 1986-04-25 |
Family
ID=16095297
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18112584A Pending JPS6182108A (ja) | 1984-08-30 | 1984-08-30 | 微小位置検出用アクチユエ−タ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6182108A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63244118A (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-11 | Agency Of Ind Science & Technol | 圧電素子を用いた変位制御機構 |
-
1984
- 1984-08-30 JP JP18112584A patent/JPS6182108A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63244118A (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-11 | Agency Of Ind Science & Technol | 圧電素子を用いた変位制御機構 |
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