JPS6181645A - 自動探針装置 - Google Patents
自動探針装置Info
- Publication number
- JPS6181645A JPS6181645A JP20316184A JP20316184A JPS6181645A JP S6181645 A JPS6181645 A JP S6181645A JP 20316184 A JP20316184 A JP 20316184A JP 20316184 A JP20316184 A JP 20316184A JP S6181645 A JPS6181645 A JP S6181645A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probes
- electrodes
- integrated circuit
- probe
- semiconductor integrated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体基板上に整列して配置された半導体集積
回路装置を基板上で順次自動的に探針する装置に関する
ものである。
回路装置を基板上で順次自動的に探針する装置に関する
ものである。
従来、一つの半導体基板上に形成された多数の素子によ
って構成される半導体集積回路装置を半導体基板上で自
動的に探針する装置では、第２゜３図に示す様な専用の
探針基板を装置に装着して使用していた。第２．３図に
示すように探針基板は探針する半導体集積回路装置の探
針用電極の数て等しい探針２．２．・・・を基板５上に
固定し、探針２より基板５上の適切な位置に固定された
ビン６までワイヤー配線してちる。この探針基板を探針
装置本体のソケットに装着して使用する。この種の探針
基板は半導体集積回路装置のサイズ、探針用電唖数およ
び探針用電極の位置の違い等に対応して大部分か半導体
集積回路装置の種類毎の専用品であり、かつ、使用に際
しては基板の脱着を人間の手で行っていた。
って構成される半導体集積回路装置を半導体基板上で自
動的に探針する装置では、第２゜３図に示す様な専用の
探針基板を装置に装着して使用していた。第２．３図に
示すように探針基板は探針する半導体集積回路装置の探
針用電極の数て等しい探針２．２．・・・を基板５上に
固定し、探針２より基板５上の適切な位置に固定された
ビン６までワイヤー配線してちる。この探針基板を探針
装置本体のソケットに装着して使用する。この種の探針
基板は半導体集積回路装置のサイズ、探針用電唖数およ
び探針用電極の位置の違い等に対応して大部分か半導体
集積回路装置の種類毎の専用品であり、かつ、使用に際
しては基板の脱着を人間の手で行っていた。
近年、半導体集積回路装置は大規模化の進行と共に１多
品種少量化が進行しており、材料基板の大型化とあいま
って一度に製造する基板の枚数が少なくなっている。ま
た、現在８ビ／から２０８ビンまでの半導体集積回路装
置が実用化されており、今後もビン数即ち半導体集積回
路上に形成される探針用電極の数は増大する傾向にある
。従って前述した様な従来の専用の探針基板を使用する
かぎり電極数、サイズ等の変更と共に探針装置て着装さ
れた探針基板をその都度交換しなければならず、交換に
時間がかかり、また、基板を破損する等の欠点があった
。また、探針基板の枚数も増大し、装着まちがい即ち、
探針基板と半導体集積回路装置の対応の不一致を犯す可
能性もらった。
品種少量化が進行しており、材料基板の大型化とあいま
って一度に製造する基板の枚数が少なくなっている。ま
た、現在８ビ／から２０８ビンまでの半導体集積回路装
置が実用化されており、今後もビン数即ち半導体集積回
路上に形成される探針用電極の数は増大する傾向にある
。従って前述した様な従来の専用の探針基板を使用する
かぎり電極数、サイズ等の変更と共に探針装置て着装さ
れた探針基板をその都度交換しなければならず、交換に
時間がかかり、また、基板を破損する等の欠点があった
。また、探針基板の枚数も増大し、装着まちがい即ち、
探針基板と半導体集積回路装置の対応の不一致を犯す可
能性もらった。
本発明は従来の固定的な探針基板を使用せずに内蔵探針
の必要数を選択的に使用し、サイズまたは探針用電極数
の異なる半導体集積回路装置に対する自動探針を可能と
した自動探針装置を提供するものである。
の必要数を選択的に使用し、サイズまたは探針用電極数
の異なる半導体集積回路装置に対する自動探針を可能と
した自動探針装置を提供するものである。
本発明は半導体集積回路装置の電極にそれぞれ接触させ
る複数本の探針を探針基板に備えた探針装置において、
前記各探針をそれぞれ独立に駆動される進退動駆動装置
に連動させ、半導体集積回路装置のサイズ、電極の数に
応じて動作させる探針の数並びに各電極に接触させる探
針の先端位置を変更可能としたことを特徴とする自動探
針装置である。
る複数本の探針を探針基板に備えた探針装置において、
前記各探針をそれぞれ独立に駆動される進退動駆動装置
に連動させ、半導体集積回路装置のサイズ、電極の数に
応じて動作させる探針の数並びに各電極に接触させる探
針の先端位置を変更可能としたことを特徴とする自動探
針装置である。
以下に本発明を図によって説明する。第１図６）は本発
明の基本的な構成を示す図である。探針基板５の内縁に
、それぞれ探針２を、進退動、駆動装置１に連動させ、
その正面に設置された半導体集積回路装置３の各探針用
電極４に向けて進退調整可能に設置する。
明の基本的な構成を示す図である。探針基板５の内縁に
、それぞれ探針２を、進退動、駆動装置１に連動させ、
その正面に設置された半導体集積回路装置３の各探針用
電極４に向けて進退調整可能に設置する。
探針２は半導体集積回路装置３の電極４が形成されてい
る面に、対応して予想される半導体集積回路３のサイズ
、電極４の数を上廻る本数を並設し、それぞれ駆動装置
１によって別個独立に進退駆動されるように構成する。
る面に、対応して予想される半導体集積回路３のサイズ
、電極４の数を上廻る本数を並設し、それぞれ駆動装置
１によって別個独立に進退駆動されるように構成する。
なお、進退調整可能の意味は、探針２の基部が駆動装置
１などの内部に出入可能に支持されている態様などを含
むものである。
１などの内部に出入可能に支持されている態様などを含
むものである。
セットされた半導体集積回路装置３０電極４の数にあわ
せて、予じめ使用すべき探針２の数を選定し、選択され
た探針２の駆動装置１を作動させ、半導体集積回路装置
３のサイズの大小（で応じて探針２の先端の突出位置を
調整して、それぞれ対応する電極４に対する位置合せを
して固定し、以後自動探針を行なう。
せて、予じめ使用すべき探針２の数を選定し、選択され
た探針２の駆動装置１を作動させ、半導体集積回路装置
３のサイズの大小（で応じて探針２の先端の突出位置を
調整して、それぞれ対応する電極４に対する位置合せを
して固定し、以後自動探針を行なう。
以下に本発明の実施例を示す。第１図（ｂ）は本発明の
実施例を一本の探針について示したものである。図にお
いて、探針基板５に水平方向に進退動するグランツヤＰ
を備えた第１ソＶノイド１ａを据付け、該ソレノイドｌ
ａのグランジャＰに第２ンンノイド１ｂを下傾姿勢知支
持させる。第２ンレノイド１ｂてはそのグランツヤＰ（
図示略）Ｄ軸心方向に探針２を進退動可能て取付けたも
のである。
実施例を一本の探針について示したものである。図にお
いて、探針基板５に水平方向に進退動するグランツヤＰ
を備えた第１ソＶノイド１ａを据付け、該ソレノイドｌ
ａのグランジャＰに第２ンンノイド１ｂを下傾姿勢知支
持させる。第２ンレノイド１ｂてはそのグランツヤＰ（
図示略）Ｄ軸心方向に探針２を進退動可能て取付けたも
のである。
探針先端のピッチを探針する半導体集積回路装置の設計
基準に基く探針用電極ピッチに合わせて上記探針上第１
図（、）に示す様に大形に配置すれば、どの様な半導体
集積回路装置においても探針用電極４に探針することが
可能になる。
基準に基く探針用電極ピッチに合わせて上記探針上第１
図（、）に示す様に大形に配置すれば、どの様な半導体
集積回路装置においても探針用電極４に探針することが
可能になる。
自動探針を開始する前に、半導体集積回路装置を設計し
た時の探針用電極位置の清報をあらかじめ装置に記憶さ
せておき、その情報て基き、ソレノイドｌａ、ｌｂの変
位量を調節して必要な電極４の位置に探針２を合致させ
固定する。これにより探針２の位置合せは終了し、以後
自動探針が行なわれる。
た時の探針用電極位置の清報をあらかじめ装置に記憶さ
せておき、その情報て基き、ソレノイドｌａ、ｌｂの変
位量を調節して必要な電極４の位置に探針２を合致させ
固定する。これにより探針２の位置合せは終了し、以後
自動探針が行なわれる。
この様に半導体集積回路装置のサイズ、および電極位置
が変化してもその情報を入力しておけば、自動的に探針
位置を決定することが可能になる〇また同一基板上に多
数の異種半導体集積回路＠置が混在しても自動探針が可
能である。
が変化してもその情報を入力しておけば、自動的に探針
位置を決定することが可能になる〇また同一基板上に多
数の異種半導体集積回路＠置が混在しても自動探針が可
能である。
尚、実施例では一例としてソレノイドを使用して探針を
直線的に移動させているが、本発明で；ま探針の探針用
電極までの動きになんら制限を与えるものではなく、ま
た、探針の型動方法に関しても制限を与えるものではな
い。
直線的に移動させているが、本発明で；ま探針の探針用
電極までの動きになんら制限を与えるものではなく、ま
た、探針の型動方法に関しても制限を与えるものではな
い。
本発明は以上説明した様に自動探針装置に内蔵された探
針を自動的に位置合せすることにより、探針用電極数の
異なる半導体集積回路装置の探針を探針基板の交換なし
に自動的に行うことができる効果を有するものである。
針を自動的に位置合せすることにより、探針用電極数の
異なる半導体集積回路装置の探針を探針基板の交換なし
に自動的に行うことができる効果を有するものである。
第１図（ａ）は本発明の構成を示す平面図、第１図（ｂ
）は本発明における単体の探針の実施例を示す図、第２
図は従来の自動探針装置に使用する探針基板の図、第３
図は探針基板の側面図である。 １・・・進退動駆動装置、ｌａ、ｌｂ・・・ソレノイド
、２・・・探針、３・・・半導体集積回路装置、４・・
・探針用電極。 第１図 （α） 第１図
）は本発明における単体の探針の実施例を示す図、第２
図は従来の自動探針装置に使用する探針基板の図、第３
図は探針基板の側面図である。 １・・・進退動駆動装置、ｌａ、ｌｂ・・・ソレノイド
、２・・・探針、３・・・半導体集積回路装置、４・・
・探針用電極。 第１図 （α） 第１図
Claims (1)
- （１）半導体集積回路装置の電極にそれぞれ接触させる
複数本の探針を探針基板に備えた探針装置において、前
記各探針をそれぞれ独立に駆動される進退動駆動装置に
連動させ、半導体集積回路装置のサイズ、電極の数に応
じて動作させる探針の数並びに各電極に接触させる探針
の先端位置を変更可能としたことを特徴とする自動探針
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20316184A JPS6181645A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 自動探針装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20316184A JPS6181645A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 自動探針装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6181645A true JPS6181645A (ja) | 1986-04-25 |
Family
ID=16469446
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20316184A Pending JPS6181645A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 自動探針装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6181645A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01270670A (ja) * | 1988-04-21 | 1989-10-27 | Nec Corp | プローブ・カード |
| JP2010523945A (ja) * | 2007-04-03 | 2010-07-15 | スキャニメトリクス，インコーポレイテッド | アクティブプローブ集積回路を用いた電子回路試験 |
-
1984
- 1984-09-28 JP JP20316184A patent/JPS6181645A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01270670A (ja) * | 1988-04-21 | 1989-10-27 | Nec Corp | プローブ・カード |
| JP2010523945A (ja) * | 2007-04-03 | 2010-07-15 | スキャニメトリクス，インコーポレイテッド | アクティブプローブ集積回路を用いた電子回路試験 |
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