JPS6173368A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
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- JPS6173368A JPS6173368A JP59194040A JP19404084A JPS6173368A JP S6173368 A JPS6173368 A JP S6173368A JP 59194040 A JP59194040 A JP 59194040A JP 19404084 A JP19404084 A JP 19404084A JP S6173368 A JPS6173368 A JP S6173368A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0216—Coatings
- H01L31/02161—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02162—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
- H01L31/02164—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors for shielding light, e.g. light blocking layers, cold shields for infrared detectors
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- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えばＭＯＳ型、ＣＣＤ型あるいはＢＢＤ型
の固体撮像装置に係り、特にカラー化の為に色分離フィ
ルタを接着剤で半導体撮像素子に接着構成した固体撮像
装置に関するものである。
の固体撮像装置に係り、特にカラー化の為に色分離フィ
ルタを接着剤で半導体撮像素子に接着構成した固体撮像
装置に関するものである。
従来、固体撮像装置は、第４図〜第７図に示す如く、パ
ッケージ１内に半導体撮像素子２が接着剤３で接着固定
され、さらに例えば約０．３〜１．０朋厚のガラス基板
に、このガラス基板の前記半導体撮像素子２対向面側に
ゼラチン等の高分子膜あるいは無機材料等でＲ，Ｇ、Ｂ
のフィルタ部の構成された色分離フィルタ４が透明な光
学接着剤５で半導体撮像素子２上に接着固定されたもの
である。
ッケージ１内に半導体撮像素子２が接着剤３で接着固定
され、さらに例えば約０．３〜１．０朋厚のガラス基板
に、このガラス基板の前記半導体撮像素子２対向面側に
ゼラチン等の高分子膜あるいは無機材料等でＲ，Ｇ、Ｂ
のフィルタ部の構成された色分離フィルタ４が透明な光
学接着剤５で半導体撮像素子２上に接着固定されたもの
である。
同、同図中、６はポンディングワイヤ、７はパッケージ
１の透明なガラスよりなる蓋であり、８は半導体撮像素
子２の受光部である。
１の透明なガラスよりなる蓋であり、８は半導体撮像素
子２の受光部である。
このような固体撮像装置が用いられてＴＶモニターで受
像すると、明暗の乱れがあり、正常な撮像パターンの画
質でなく、ムラのあることに気付いた。
像すると、明暗の乱れがあり、正常な撮像パターンの画
質でなく、ムラのあることに気付いた。
本発明者は、このような問題点の原因について検討した
ところ、半導体撮像素子２に色分離フィルタ４を接着し
ている接着剤の具合によって上記問題点の起きることが
わかった。
ところ、半導体撮像素子２に色分離フィルタ４を接着し
ている接着剤の具合によって上記問題点の起きることが
わかった。
つまり、第６図及び第７図に示す如く、色分離フィルタ
４を半導体撮像素子２に接着している光学接着剤５はそ
の使用量が多少長目であり、この結果光学接着剤５はボ
ンディングパット近くまで流出しており、特に色分離フ
ィルタ４のガラス基板の側面に付いていて、そのガラス
基板の側面に付いた光学接着剤′５の厚みは例えば０．
５ ｍｍ位あることもｉ、この為第７図の矢印で示す如
く、側部に入射した光は光学接着剤５に入り、この光学
接着剤５内部を乱反射して半導体撮像素子２の受光部８
に至り、これがＴＶモニター上では周辺に明暗の乱れを
引き起こし、正常な撮像パターンにムラを生じさせてい
るのであることがわかった。
４を半導体撮像素子２に接着している光学接着剤５はそ
の使用量が多少長目であり、この結果光学接着剤５はボ
ンディングパット近くまで流出しており、特に色分離フ
ィルタ４のガラス基板の側面に付いていて、そのガラス
基板の側面に付いた光学接着剤′５の厚みは例えば０．
５ ｍｍ位あることもｉ、この為第７図の矢印で示す如
く、側部に入射した光は光学接着剤５に入り、この光学
接着剤５内部を乱反射して半導体撮像素子２の受光部８
に至り、これがＴＶモニター上では周辺に明暗の乱れを
引き起こし、正常な撮像パターンにムラを生じさせてい
るのであることがわかった。
すなわち、周辺部に流出した光学接着剤５は透明かつ不
規則な形を、していることから、ある部分はレンズのよ
うな働きをしたり、ある部分はプリズムのような働きを
するといったように、光導波路のような役割を果たすよ
うになり、この結果第７図中矢印で示す入射光が周辺部
に位置する半導体撮像素子の受光部８に入射し、明暗の
乱れを引き起こすのである。
規則な形を、していることから、ある部分はレンズのよ
うな働きをしたり、ある部分はプリズムのような働きを
するといったように、光導波路のような役割を果たすよ
うになり、この結果第７図中矢印で示す入射光が周辺部
に位置する半導体撮像素子の受光部８に入射し、明暗の
乱れを引き起こすのである。
前記色分離フィルタ４を半導体撮像素子２上に接着固定
する光学接着剤の接着層厚は約５〜２０μｍ程度で、そ
して色分離フィルタ４のガラス基板の側面からボンディ
ングパノトまでの距離は約２００〜３００μｍ程度であ
り、周辺に光学接着剤が流出しないように光学接着剤の
使用量を正確に調整し、光学接着剤が不要な光導波路と
いった働きをしないようにすることが考えられる。
する光学接着剤の接着層厚は約５〜２０μｍ程度で、そ
して色分離フィルタ４のガラス基板の側面からボンディ
ングパノトまでの距離は約２００〜３００μｍ程度であ
り、周辺に光学接着剤が流出しないように光学接着剤の
使用量を正確に調整し、光学接着剤が不要な光導波路と
いった働きをしないようにすることが考えられる。
しかし、光学接着剤の使用量の調整を極めて正確にする
ことは困難であり、そして光学接着剤の使用量が少ない
場合には、半導体（最像素子と色分離フィルタとの間に
気泡が入り、光の通過を妨げる致命的欠点が起きること
より、光学接着剤の使用量は気泡力多発生しないよう多
少長目にせざるを得す、このようなことより不要な光導
波路といった働きをしない程度でかつ気泡が発生しない
程度に光学接着剤の使用量を調整することは困難で、実
用上の実現性は極めて乏しい。
ことは困難であり、そして光学接着剤の使用量が少ない
場合には、半導体（最像素子と色分離フィルタとの間に
気泡が入り、光の通過を妨げる致命的欠点が起きること
より、光学接着剤の使用量は気泡力多発生しないよう多
少長目にせざるを得す、このようなことより不要な光導
波路といった働きをしない程度でかつ気泡が発生しない
程度に光学接着剤の使用量を調整することは困難で、実
用上の実現性は極めて乏しい。
そこで、上記のような出口での問題解決ではなく、色分
離フィルタの周辺部の光学接着剤を通して光が半導体撮
像素子の受光部に至ることがそもそもの問題を引き起こ
すのであるから、色分離フィルタの周辺部に流出した光
学接着剤の部分から光が入射しないようにすることが入
口での基本的な問題解決となる。
離フィルタの周辺部の光学接着剤を通して光が半導体撮
像素子の受光部に至ることがそもそもの問題を引き起こ
すのであるから、色分離フィルタの周辺部に流出した光
学接着剤の部分から光が入射しないようにすることが入
口での基本的な問題解決となる。
色分離フィルタを接着剤で半導体撮像素子に接着した固
体撮像装置において、前記接着剤のうちの前記色分離フ
ィルタ周辺部に流出した接着剤を介して前記半導体撮像
素子の受光部に光が当たらないよう遮光材を設ける。
体撮像装置において、前記接着剤のうちの前記色分離フ
ィルタ周辺部に流出した接着剤を介して前記半導体撮像
素子の受光部に光が当たらないよう遮光材を設ける。
〔実施例１〕
第１図ａ、ｂは、本発明に係る固体撮像装置の第１実施
例の説明図である。
例の説明図である。
同図中、１１は遮光性のパッケージ、１２は半導体撮像
素子、１３は半導体撮像素子１２をパッケージ１１に接
着固定する接着剤、１４は色分離フィルタ、１５は色分
離フィルタ１４を半導体撮像素子１２に接着固定する光
学接着剤、１６はボンディングワイヤであり、これらの
構成は従来のものと略同様である。
素子、１３は半導体撮像素子１２をパッケージ１１に接
着固定する接着剤、１４は色分離フィルタ、１５は色分
離フィルタ１４を半導体撮像素子１２に接着固定する光
学接着剤、１６はボンディングワイヤであり、これらの
構成は従来のものと略同様である。
尚、パンケージ１１は、ボンディング配線や半導体撮像
素子の取付作業が容易なように、半導体撮像素子よシも
充′分に大きい。
素子の取付作業が容易なように、半導体撮像素子よシも
充′分に大きい。
１７は、パッケージ１１の透明なガラスよりなる約０．
５〜１朋厚の蓋であり、この蓋１７の表又は裏面の周辺
部には、色分離フィルタ１４の接着に用いた光学接着剤
１５のうちの周辺に流出した光学接着剤に光が当たらな
いよう光遮蔽層１８が設けられている。
５〜１朋厚の蓋であり、この蓋１７の表又は裏面の周辺
部には、色分離フィルタ１４の接着に用いた光学接着剤
１５のうちの周辺に流出した光学接着剤に光が当たらな
いよう光遮蔽層１８が設けられている。
伺、この光遮蔽層１８の領域は、半導体撮像素子１２の
受光部に直接至る光を遮らない程度のものでなければな
らず、つまり周辺部に位置する受光部に光が入射しない
ようなものであってはならないこと当然である。
受光部に直接至る光を遮らない程度のものでなければな
らず、つまり周辺部に位置する受光部に光が入射しない
ようなものであってはならないこと当然である。
上記のように構成することにより、色分離フィルタ１４
を半導体撮像素子１２に接着固定する光学接着剤の使用
量の調整といった面倒な作業は要らず、又、光学接着剤
の使用量が少なすぎた際に起こシがちな気泡の発生とい
った問題はなく、入射光は全て正確に半導体撮は素子１
２の受光部に至るようになり、正確なふ品位の画質が得
られるようになり、又、色分離フィルタ１４０周辺部に
流出した光学接着剤の部分に光は当らないので、周辺部
に流出した光学接着剤が光導波路の役割をすることなく
、従って周辺部の受光部に不要な光が入射することなく
、よって画像の周辺部において明暗の乱れが起きなくな
り、高品位な画質のものとなる。
を半導体撮像素子１２に接着固定する光学接着剤の使用
量の調整といった面倒な作業は要らず、又、光学接着剤
の使用量が少なすぎた際に起こシがちな気泡の発生とい
った問題はなく、入射光は全て正確に半導体撮は素子１
２の受光部に至るようになり、正確なふ品位の画質が得
られるようになり、又、色分離フィルタ１４０周辺部に
流出した光学接着剤の部分に光は当らないので、周辺部
に流出した光学接着剤が光導波路の役割をすることなく
、従って周辺部の受光部に不要な光が入射することなく
、よって画像の周辺部において明暗の乱れが起きなくな
り、高品位な画質のものとなる。
尚、光遮蔽層１８は、例えばＣｒ、 Ｔｉ、Ｃｕ、Ａ７
、Ｆｅ、Ｇｅ、ＩｎＳＭｎ、Ｍｏ、Ｎｉ、Ｐｂ、Ｐｄ、
Ｓｉ、Ｔａ、Ｔｅ。
、Ｆｅ、Ｇｅ、ＩｎＳＭｎ、Ｍｏ、Ｎｉ、Ｐｂ、Ｐｄ、
Ｓｉ、Ｔａ、Ｔｅ。
Ｚｎ等の金属、これらの合金あるいは化合物といった反
射率が低く、低透過率の材料を用いて、例えば真空蒸着
、スパッタリング、イオンブレーティング等の真空中で
の成膜手段、溶液中での電気又は無電界メッキといった
成膜手段で形成できる。
射率が低く、低透過率の材料を用いて、例えば真空蒸着
、スパッタリング、イオンブレーティング等の真空中で
の成膜手段、溶液中での電気又は無電界メッキといった
成膜手段で形成できる。
ちるいは、光遮蔽性物質を溶かした塗料をスプレー法あ
るいはハケスリ法でコートしても出来、さらにはシール
状にした光遮蔽ノートを貼着する方法でも出来る。
るいはハケスリ法でコートしても出来、さらにはシール
状にした光遮蔽ノートを貼着する方法でも出来る。
尚、光遮蔽層１８は蓋１７の裏面側に設けられている方
が直接空気にさらされないので、耐久性に富み、信頼性
に富んでいる。
が直接空気にさらされないので、耐久性に富み、信頼性
に富んでいる。
〔実施例２〕
第２図は、本発明に係る固体撮像装置の第２実施例の説
明図である。
明図である。
本実施例の固体撮像装置は、前記実施例の固体撮像装置
が、光遮蔽層１８を蓋１７面上に構成したのに対し、光
遮蔽材の中央部を削り貫いたマスク材２８を蓋１７と色
分離フィルタ１４との中間に介在させた点が異なるにす
ぎず、その他の構成は基本的に同じであるので詳細な点
は省略する。
が、光遮蔽層１８を蓋１７面上に構成したのに対し、光
遮蔽材の中央部を削り貫いたマスク材２８を蓋１７と色
分離フィルタ１４との中間に介在させた点が異なるにす
ぎず、その他の構成は基本的に同じであるので詳細な点
は省略する。
間、第２図中、第１図と同一番号のものは同一構成を示
す。
す。
〔実施例３〕
第３図は、本発明に係る固体撮像装置の第３実施例の要
部説明図である。
部説明図である。
本実施例の固体撮像装置は、前記第１及び第２実施例の
固体撮像装置が色分離フィルタ１４の周辺に流出した光
学接着剤１５以外の不要な部分も遮蔽するという技術思
想に基づいているのに対し、色分離フィルタ１４の周辺
に流出した光学接着剤１５の上部に、例えば黒色のエポ
キシ樹脂あるいは黒色の／リコーン樹脂といった材料を
スプレー法又は・・ケヌリ法でコートして光遮蔽層３８
を形成した点が異なるにすぎず、その他の構成は基本的
に同じであるので詳細な点は省略する。
固体撮像装置が色分離フィルタ１４の周辺に流出した光
学接着剤１５以外の不要な部分も遮蔽するという技術思
想に基づいているのに対し、色分離フィルタ１４の周辺
に流出した光学接着剤１５の上部に、例えば黒色のエポ
キシ樹脂あるいは黒色の／リコーン樹脂といった材料を
スプレー法又は・・ケヌリ法でコートして光遮蔽層３８
を形成した点が異なるにすぎず、その他の構成は基本的
に同じであるので詳細な点は省略する。
尚、第３図中、第１図と尚一番号のものは同一構成を示
す。
す。
但し、本実施例の固体撮像装置は、色分離フィルタ１４
の上面をマスクしてこの部分に光遮蔽層が形成されない
ようにすることが簡単にでき、つまり第１及び第２実施
例のものより光遮蔽領域の設定が簡単になる。
の上面をマスクしてこの部分に光遮蔽層が形成されない
ようにすることが簡単にでき、つまり第１及び第２実施
例のものより光遮蔽領域の設定が簡単になる。
尚、本実施例の技術思想と前記実施例の技術思出部分を
経由して半導体撮像素子の受光部に光が入射しなくなり
、画像周辺部に明暗の乱れが起きなくなり、高品位な画
質が得られる。
経由して半導体撮像素子の受光部に光が入射しなくなり
、画像周辺部に明暗の乱れが起きなくなり、高品位な画
質が得られる。
第１図ａ、ｂ、第２図及び第３図は本発明に係る固体撮
像装置の実施例の説明図、第４１図〜第７・図は従来の
固体撮像装置の説明図である。 １２・・・半導体撮像素子、１４・・・色分離フィルタ
、１５・・・光学接着剤、１８．３８・・・光遮蔽層（
遮光材）、２８・・・マスク材（遮光材）。
像装置の実施例の説明図、第４１図〜第７・図は従来の
固体撮像装置の説明図である。 １２・・・半導体撮像素子、１４・・・色分離フィルタ
、１５・・・光学接着剤、１８．３８・・・光遮蔽層（
遮光材）、２８・・・マスク材（遮光材）。
Claims (1)
- 色分離フィルタを接着剤で半導体撮像素子に接着した
固体撮像装置において、前記接着剤のうちの前記色分離
フィルタ周辺部に流出した接着剤を介して前記半導体撮
像素子の受光部に光が当たらないよう遮光材を設けたこ
とを特徴とする固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59194040A JPS6173368A (ja) | 1984-09-18 | 1984-09-18 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59194040A JPS6173368A (ja) | 1984-09-18 | 1984-09-18 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6173368A true JPS6173368A (ja) | 1986-04-15 |
Family
ID=16317933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59194040A Pending JPS6173368A (ja) | 1984-09-18 | 1984-09-18 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6173368A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01154569A (ja) * | 1987-12-11 | 1989-06-16 | Nec Corp | 固体撮像装置 |
| JPH09205590A (ja) * | 1995-07-27 | 1997-08-05 | Olympus Optical Co Ltd | 固体撮像装置 |
| KR100853016B1 (ko) * | 2007-07-25 | 2008-08-19 | 삼성전기주식회사 | 노이즈 제거를 위한 프로젝션 방식의 디스플레이 장치 |
| JP2008193441A (ja) * | 2007-02-06 | 2008-08-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学デバイス及びその製造方法 |
| US9559137B2 (en) | 2010-11-05 | 2017-01-31 | Visera Technologies Company Limited | Color filter of illumination image sensor and method for fabricating the same |
-
1984
- 1984-09-18 JP JP59194040A patent/JPS6173368A/ja active Pending
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