JPS6168549A - 計測装置 - Google Patents

計測装置

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JPS6168549A
JPS6168549A JP18970584A JP18970584A JPS6168549A JP S6168549 A JPS6168549 A JP S6168549A JP 18970584 A JP18970584 A JP 18970584A JP 18970584 A JP18970584 A JP 18970584A JP S6168549 A JPS6168549 A JP S6168549A
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JP
Japan
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temperature
signal
output
nand gate
oscillator circuit
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JP18970584A
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English (en)
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Nobuo Takeuchi
武内 伸夫
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Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
    • G01K7/16Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements
    • G01K7/22Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a non-linear resistance, e.g. thermistor
    • G01K7/24Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a non-linear resistance, e.g. thermistor in a specially-adapted circuit, e.g. bridge circuit
    • G01K7/245Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a non-linear resistance, e.g. thermistor in a specially-adapted circuit, e.g. bridge circuit in an oscillator circuit
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/12Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
    • G01N27/122Circuits particularly adapted therefor, e.g. linearising circuits

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、温寂、湿匪等の計測を行ない、測定信号とし
て送出する装置に関するものでるる。
〔従来技術〕
か\る計測を行なう装置の一例としては、本出願人の別
途出願による「温度センサ」(特願昭57−16119
2)が挙げられ、同出願においては、所定の温度係数を
有する水晶発振子を用べ温度に応じた周波数の発振を行
なわせ、この周波数をカウンタにより一定時間カウント
し、これによって温度の計測1行なうものとなっている
しかし、水晶発振千金用いているため、発振同波数が数
10 MHzと高く、特に挿入形温度計へ適用する場合
には、温度の検出?行なう水晶発振子?長欠管状体のプ
ローブ先端部中へ設ける一方、発振回路の主体をプロー
ブの根元側へ固着した筐体中へ設けねばならず、水晶発
振子と発振回路の主体との間の布線長が増大し、分布足
数の影響により発振周波数の偏移が生じ、これを排除す
る目的上、種々の対策が必要になると共に、計測精度全
向上させるには比較的長時間のカラントラ行なわねばな
らず、高応答速度の温度制御には不適当でるるうえ、取
扱う周波数が高く、雑音による影響を受は易い等の問題
を生じている。
〔発明の概要〕
本発明は、従来のか\る問題点を根本的に解決する目的
を有し、発振回路全構成する能動素子の応答遅延時間を
無視できると共に、計測精度上支障のガい範囲であり、
かつ、検出値に応じた比較的大きい同期の交流信号を発
生し、所定数の周期ニワたる期間においてクロックパル
スのカウントを行ない、このカウント値に基づく演算に
よって検出値を示す測定信号を送出するものとした極め
て効果的な、温度のみならず、湿度、各種設定値、およ
び、制御弁開度等の各種検出値全計測できる計測装置を
提供するものでろる。
〔寅施例〕
以下、笑施例を示す図によって本発明の詳細な説明する
第1図は全構成のブロック図、第2図は第1図における
各部の波形を示すタイミングチャートでロシ、マイクロ
プロセッサ等のプロセッサおよびメモリ等からなる制御
部CNT 75f設けられ、伝送回路SRおよび伝送路
L?介して図上省略した上位装置と信号の送受信を行な
っており、上位装置から一定周期+poによりポーリン
グ信号が到来すると、こねが受信されたうえポーリング
信号(a)として与えられるため、これに応じて制御信
号5c(b) ffi送出し、検出累子全有する後述の
発振回路O8Cに発振全開始させると共に、カウンタ等
?用いた分局器DVのイネーブル端子ENへ制御信号(
b)を与え、これを動作状態とする。
すると、発振回路O8Cが検出素子による検出値に応じ
た同期T1 捷たはT2のパルス信号(c)を交流信号
として発生する一方、分局器DVの所定カウント出力等
?用いた分周出力(d)がM)I”C高レベル)となり
、これに応じてNANDゲートGIがオンへ転じ、水晶
発撮器等會用いたパルス発生器CPGからのクロックパ
ルス全通過させ、クロックパルス(e)として制御部C
NTへ与える。
制御部CNTは、分周出力(d)の1H“に応じ、プロ
セッサ中へ構成したカウンタによジクロツクパルス(e
)のカラン)f開始し、逐次登算全行なう一方、分周器
DVはパルス信号(c)’に分周し、所定数の分向全行
なうと分周出力(d)’lx 蟻L″(低レベル)とす
るため、これに応じてNANDゲーhG+がオフへ転じ
クロックパルス(,3)の通過を阻止すると共に、制御
部CNTが制御信号(b)全1LHとし、=3− 発振回路O8Cおよび分周器DVヲ非非動状状態する。
したがって、制御部CNTのカウンタには、所定数nの
周期TIまたはT2にわたる期間nT1またU nT2
に応じたクロックパルス(e)のカウント値N1−4た
けN2が保持され、 これが発振回路O8C中の検出素
子による検出値と対応したものとな9、これに基づいて
制御部CNTが補正演算等全行ない、検出値を示す測定
信号として伝送回路SRへ送出するため、測定信号が同
回路SRおよび伝送路I、¥介して送信される。
たソし、補正演算に際しては、ディジタルスイッチ等を
用いた零設定器zSおよびスパン設定器SSの出力に基
づき、測定信号の零値および最大値が定められており、
これらに応じて検出値が所定範囲内の測定信号へ変換さ
れる。
第3図乃至第5図は、温度検出用の発振回路O3C’i
=示し、第3図は基本釣力回路図でろ9、NANDゲー
トG2の一方の入力には、抵抗器R1全介し帰還信号が
与えられるものとなっており、他方の入力には、制御人
力CNTオから%I(″  の制御信号Scが与えられ
、これが’ H″の間のみNANDゲートGzがオンと
なpl 発振動作全行なう一方、これがy L u と
なれば、NANDゲートG2がオフと力るため、発振動
作を停止するものとなっている。
N ANDゲートG2の出力は、抵抗器R2+ Rs、
コンデンサCI、C2およびトランジスタQl、Q鵞に
より構成された第1の相補形プッシュプル増幅器(以下
、CPA)により反転増幅されると共に、インバータ■
Nヲ介し、抵抗器R4r R5、コンデンサCM * 
C4およびトランジスタQs 、 O4からなる第2の
CPAにより反転増幅されるものとなっており、これら
の互に逆相な各出力からは、抵抗器R+に介するNAN
DゲートGの入力に対し、各々、検出素子としてのサー
ミスタTHが直列に挿入された第1の帰還回路を介し、
かつ、コンデンサCTが直列に挿入された第2の帰還回
路を介し、各個に帰還信号が与えられている。
ただし、トランジスタQ1.Q2によるCPAの出力U
、NANDゲートG2の入力と同相、トランジスタQs
 、Q4によるCPA  の出力は、NANDゲートG
2の入力と逆相でめv1サーミスタTHを介してコンデ
ンサCTに対する充放電が行なわれ、コンデンサCTの
為子電圧が帰還信号として与えられるものとなっており
、各CPAの出力インピーダンスは十分に低く、NAN
DゲートGzの入力駆動およびコンデンサCTの充放電
駆動に必要とする十分な電圧および電流の供給ならびに
共通電位への地絡が可能となっている。
このため、制御信号Scが5H“と力れば、コンデンサ
CTの容量値およびサーミスタTHの抵抗値に応じた同
期の発振を開始し、第3図における各部の波形を第4図
に示すとおり、NANDゲートG2の入カヘ与えられる
帰還信号(a)は、コンデンサ0丁の充放電に応じて変
化し、これがNANDゲー)Gzにおいて波形整形およ
び反転を受けて出力(b)とカフ、これが更にインバー
タINにより反転されて出力(c)となったうえ、出力
OUTから送出されるものとなる。
また、出力色)および(e)に対し、トランジスタQ1
+QzによるCPAの出力(d)およびトランジスタ(
h、Q4によるCPAの出力(e) B各々反転状態と
ガっており、出力(d)が@ HII、出力(e)が囁
L IIのときKは、出力(d)からコンデンサCTお
よびサーミスタTHk介して出力(e)へ充電電流が通
じ、これによるサーミスタTHの端子電圧が帰還信号(
a)としてNAND ゲートGの入カヘ与えられる。
この帰還イロ号(a)は、コンデンサCTの充電初期に
おいて高く、充電の終了に応じて低下し、当初は出力(
b)k ’L”としているが、NAND  ゲートG2
の人力応答スレシホールド電圧■TH″i!で低下する
と、出力(b)が% HIIへ転じ、これに応じて出力
(d)が隼LIT、出力(e)が1H“へ反転し、この
とき、コンデンサCTへ充電電荷として残留した電圧は
、!HHケ電源電圧VDDに等しいとすればVDD  
VTHとなり、これが出力(d)ノ1L” iCより正
極側を基準電位とするため、−(Vnn −VTR) 
 まで帰還信号(a)が負方向へ変化し、これを基準と
して今度は出力(e)により逆方向の充電がなされ、コ
ンデンサCTの端子電圧が帰還信号(a)と々9、当初
は出力(1)) k ’ H”としているが、帰還信号
(a)が次第に上昇してvl・■へ達すると出力(b)
が 隼L″、出力(c)は 咀″と々るため、出力(d
)が’H”、出力(e)は+lL″へ転じ、このときに
コンデンサCT へ充電電荷として残留した電圧VTl
lとVDDとの和により VDD + VTRまで帰還
信号(a)が上昇し、これの後に放電および出力(d)
による充電が行々われ、以上の動作ケ反復する。
ここにおいて、コンデンサCTの充電および逆方向充電
による帰還11号(a)の上昇および下降各期間k t
+ + tz とすれば、周期Tに次式により与えられ
る。
T= t+ + t2 VTH: NAND ’l −) G2 (7)入力応
jJ スレシホールド電圧 VDD11電源電圧 コ(7)タメ、vTH=1//2・VDDトスレバ、(
1)式i”l:、次式のものとなる。
T中l争IRTeCT十ト弓RTSC1=2・2RT@
CT           ・・・・(2)したがって
、RTが温度に応じて一定の関係により変化すれば、周
期Tkクロックパルスのカウント等により検出すること
により、温度を詣測することができる。
々お、第3図において、NANDゲートG2の入力に対
する帰還のためにCPA k設けたのは、NANDゲー
iG2およびインバータINの出力インピーダンスがC
−B/IO8(Complementary −Met
al 0xide Sem1conductor、 )
の場合、5000〜敬に0と高く、十分な出力電圧、を
流および地絡効果が得られず、コンデンサCTの充放電
期間に誤差を生じ、(1)および(2)式の条件が得ら
れ々いためであり、抵抗器R2〜R5と並列のコンデン
サCl−04は、トランジスタQl−Q4の応答時間全
短縮し、波形の変化を急峻とする目的のものでめる。
−!た、第3図において、計測誤差?生ずる原因として
は、 la、  検出素子の非直線特性 lb、  ゲート回路の温度によるVTRの変動]c、
   #  #  の応答遅延時間ld、   I  
〆 の温度による出力電圧の変動1e、 コンデンサC
Tの温度Vこよる容量値変動等であるが、これらは、つ
ぎの対策または理由によジ排除できる。
2a、  プロセッサ処理または補正回路により補正す
る。
2b、  C−MO8回路ではΔVTH/Δθ−=−3
mv/℃であり、θ=0〜50℃では0.06%FSは
下のため無視できる。
2C,各期T’に大とすることにより無視できる。
2d、  C−MO8回路の場合、特に大き力変動がな
く、無視できる。
2e、  許容される範囲内におして支障のない温度特
性のものケ選定する。
したがって、NANDゲートG2、インバータINにC
−MO8回路または相当品?使用し、かつ、2aおよび
2eの各条件全適用すれば、十分に太き外周筋Tとする
ことが可能となり、2cの条件も満足され、安定かつ高
精度の温度計測が実現する。
第5図は、他の実施例全示す回路図であり、この場合は
、抵抗器RH、R42、コンデンサC11゜CI2 お
よびトランジスタQ++ + Q10 による第1のC
PA と、抵抗器Rts 、 Rt4、コンデンサ01
3゜CI4  およびトランジスタQ+s + Q14
による第2のCPA とを縦続接続すると共に、各々と
並列にインバータINI 、 IN! ’!r各個に並
列接続し、トランジスタQu + Q12  によるC
PAの同相出力と、抵抗器R1を介するNANDゲート
G2の入力との間の第1の帰還回路中へコンデンサCT
 k直列に挿入する一方、トランジスタQl!l + 
Q14によるCPAの逆相出力と、同様のNANDゲー
トGの入力との間の第2の帰還回路中ヘサーミスタTH
Thi列に挿入しており、第3図に対し、出力OUTか
らのパルス状信号は位相が反転するものとなっているが
、動作状況は第3図と同様でご)る。
ただし、各CPAQ入カスレジホールド電圧はトランジ
スタQ++〜Q目のベース・エミッタ間電圧V B P
、により定まジ、これが約1.4Vであるのに対し、C
−MO8回路の入カスレジホールド電圧り、約2.5■
であり、!L“から’ H″への立上りに対する応答は
谷CPAO方が速くても、1H゛からやL rrへの立
下りに対する応答はインバータIN、、IN2の方が遠
いため、互いに速い方の応答動作により波形変化全急峻
とする目的上、谷CPA とインバータIN+ 、IN
2 とt各々並列としている。
捷た、第5図においては、十分な駆動出力會有するCP
Aが縦続接続されており、第3図に比し、動作が安定と
なる。
第6図および第7図は、得度検出用の発振回路osc 
’i示し、第6図は基本的な回路図であり、第1の帰還
回路には、抵抗器R6の並列に接続されたサーミスタT
Hが抵抗器R7と共に直列に挿入され、かつ、第2の帰
還回路には、検出素子としてフィリップス社製■1形等
の湿度に応じて静電容量値の変化する感湿素子Coが直
列に挿入されているほかは、第3図と同様でろ9、動作
状況も第3図と同様なものとなっている。
ここにおいて、感湿素子CMの充電および逆方向充電に
よる帰還信号(a)の上昇および下降各期間ttztz
とすれば、周期Tは次式により与えられる。
T= tt + I2 ・・・・ (11) 7tりり、、Rt :サーミスタTHおよび抵抗器Re
 、 R7の合成抵抗値 CT :感湿素子Caの容量値 Vtu:NANDゲートGtノ入力応答スレシホールド
電圧 VDD:電源電圧 このため、VTR=し2・VDD  とすれば、(l]
)式は、次式のものとなる。
T中1IIIRT@C丁+1・IRT拳c丁=2・2R
T・Ct         ・・・・ (12)したが
って、CTが湿度に応じて一足の関係により変化すれば
、周期T=にクロックパルスのカウント等により検出す
ることにより、湿度ケ計測することができる。
なお、CTは次式により示される。
CT=に1 (H+Kg (θ−θo))2+Kz f
H+に2 (θ−θo))+に3・ψ・・(13) ただし、Kl + R2HKs :係数f■:湿度 θ :現在の温度 θ0 :基準温度 すなわち、CTは、■のほかθにも依存しており、温度
に応する0丁の変動全補償する必要があり、これをサー
ミスタTHEより補償するものとしなければならない。
このため、RTを求めれば次式により与えられる。
ただし、Ro 二基率温度におけるサーミスタTHの抵
抗値 F :係数 / :R6との並列合成を示す (13)、 (14)式から(12)式はつぎのものと
なる。
・・・・(15) したがって、サーミスタTHの特性および抵抗器Rs 
+ R7Kl”感湿素子CHの温度特性に応じて定めれ
ば、正確に湿度の計測?行なうことができる。
このほか、計測誤差を生ずる原因は、第3図の場合と同
様でめジ、上述の対策または理由により排除できるため
、安定かつ高精度な湿度計測が実現する。
第7図は、他の実施例を示す回路図であり、サ一ミスタ
Tl(と共に抵抗器R6,R7が用いられ、コンデンサ
CTの代ジに感湿素子CHが用いられているほかは第5
図と同様でるる。
したがって、検出素子の抵抗値’kR,または、検出素
子の静電容量値をCとすれば、発振器O8Cから得られ
る出力(c)の周期Tは次式によジ示される。
T=C−R−K           、、・−(21
)たソし、K:係数 −また、分局器DVの分周比をl/n とすれば、分目
出力(d)の期間TDは、次式により与えられる。
TD=n・T−n・C@TlIK  ・11(22)こ
のため、クロックパルス(e)の周波数音fとしたとき
、期間TDにおけるクロックパルス(e)のカウント値
NU、次式のものと々る。
N=fIITD ==f*n*C*R・K     1」・(23)こ\
において、温度θaのときの抵抗値上Ra。
温度θaのときの抵抗値’kRhとすれば、Nb = 
fIIn@CIIRbIIKまた、抵抗値Raと対応す
る補正演算前の計測温度管θa1抵抗値Rb と対応す
る同様の計測温度管θbとすれば、θa乃至θbのスパ
ンと対応するカウント値Nの差ΔNは、次式により求め
られる。
ΔN=f−nsC*R(θb−θa)・K・・・(25
)したがって、制御部CNT  において、ΔN?基準
としてカウント値Nに対する非直線性の補正演算を行な
えば、高精度の温度計測値を得ることができる。
なお、湿度の計測時には、Cについて同様の処理7行な
えばよい。
このほか、第3図または第5図において、サーミスタT
HO代りに可変抵抗器を用い、これ金温度または湿度等
の設定値に応じて可変し、あるいは、制御弁の開度等に
したがって可変すれば、これらを測定信号として送出す
ることができる。
たyし、発振回路O8Cが発生するパルス信号(c)の
周期Tは、上述の2cに示すとおり、発振回路08Ct
−構成するインバータIN、IN、〜IN意等各能動素
子の応答遅延時間を無視できると共に、クロックパルス
(e)のカウントによる計測精度上支障の々い範囲とし
て、例えば、は”; 10 KHz 程度に定めねばよ
く、これによって、検出素子と発振回路O8Cの主要部
との間の布線長が大となっても、分布足数による影響全
回避できると共に、雑音による妨害全骨は難いものとな
る。
寸だ、計測の応答速度は、クロックパルスの周波数を選
定することにより、分周出力(d)の1V期間を短縮す
ることが自在であり、これによって計測応答速度全十分
に高速とすることができる。
したがって、簡単力構成により、各種検出値の計測全安
定がつ高精度により、高応答速度として行なうことがで
きる。
たソし、第1図において、分周器DVおよびNANDゲ
ートG+の機能を制御部CNT中のプロセッサにより構
成してもよく、伝送回路SR’?省略し、制御部CNT
から直接測定信号を送出しても同様でめ9、発振回路O
8Cとしては、パルス信号(c)のみならず、他の波形
の交流信号全発生するものを用い、これを波形整形回路
によpカウントに適する波形としてもよい。
また、第3図以降においては、サーミスタTHおよび感
湿素子Cnとして、同等の他の素子音用いてもよく、N
ANDゲ〜トG茸の代りKANDゲート、インヒピット
ゲート、インバータおよびスイッチング素子の組み合せ
等上用いても同様でめり、谷CPAは互いに逆相の出力
音生ずるものとすればよく、状況にしたがってインバー
タ等を適宜入力側へ挿入すればよい等、種々の変形が自
在でるる。
〔発明の効果〕
以上の説明により明らかなとお9本発明によれば、簡単
かつ安価な構成により、各種検出値の計測全安定かつ高
精度により、高応答速度として行なえる計測装置が実現
し、各種用途の計測において顕著な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
図は本兆明の実施例全示し、第1図は全構成のブロック
図、第2図は第1図における各部の波形全示すタイミン
グチャート、第3図乃至第5図は温度検出用発振回路を
示し、第3図は基本的構成の回路図、第4図は第3図に
おける各部の波形を示す図、第5図は他の実施例を示す
回路図、第6図および第7図は湿度検出用発振回路を示
し、第6図は基本的構成の回路図、第7図は他の実施例
を示す回路図でるる。 O20・・・・発振回路、DV・・・・分周器、CPG
 ・・・・パルス発生器、Gl + Gl  ”・・・
NANDゲート、CNT−・―・制御部、TH・・・会
サーミスタ、CH・・・・感湿素子、IN。 IN+ 、 INt  ・Φ・・インバータ(能動素子
)、Q+= Q4 、 Qll−O14・O・・トラン
ジスタ、T・・・・周期。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 能動素子の応答遅延時間を無視できると共に計測精度上
    支障のない範囲でありかつ検出値に応じた同期の交流信
    号を発生する発振回路と、所定数の前記周期の期間クロ
    ックパルスをカウントしカウント値を求める手段と、該
    カウント値に基づいて演算を行ない前記検出値を示す測
    定信号を送出する手段とを備えたことを特徴とする計測
    装置。
JP18970584A 1984-09-12 1984-09-12 計測装置 Pending JPS6168549A (ja)

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