JPS6167241A - 半導体装置用選別機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体装置の特性を測定し、その測定結果に
よって該半導体装置を特性毎に分類、選別する半導体装
置用選別機に関するものである。

〔従来技術〕

半導体装置用選別機の一例を第２図に示す。第２図に示
すように、従来の選別機はパーツフィダー１を用いて半
導体装置を整列されこれをシュート２にて送り出す供給
部３と、シュート２にて送られた半導体装置を測定ヘッ
ド４でその特性を測定する測定部５と、測定ヘッド４よ
りの出力信号で半導体装置をソータ６ａで収納部６ｂに
振シ分けて分類、収納する分類部７とからなっている。

そして、従来は分類部１台あたりにつき、供給部３、測
定部５をそれぞれ１台ずつ設置していた。

〔発明が解決しようとする閏勃虎Ｊ 従来、選別機の処理能力を上げるには、供給部３、測定
部５、分類部７の各々のスピードを上げるのが一般的で
あるが、分類部７の処理能力は供給部３、測定部５より
も大きく、供給部３、測定部５の処理時間には限界があ
るため、分類部７の能力を最大限に利用することができ
ず、したがって、従来の装置による処理能力には自ずか
ら限度があった。

本発明は装置の処理能力を従来の限界を超えてさらに向
上させる装置を提供するものである。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、半導体装置を整列させてこれを送り出す供給
部３と、該供給部３から送られた半導体装置の特性を測
定する測定部５と、該測定部５からの信号に基いて、測
定終了後の半導体装置を特性毎に分類、収納する分類部
７とからなり、前記供給部３及び測定部５を、分類部７
１台あたりの処理能力に合せて２組以上並列に設置して
分類部に接続したことを特徴とする半導体装置用選別機
である。

〔作用〕

１台の分類部７に複数組の供給部３及び測定部５を通し
て半導体装置を送り込み、分類部のスピードに見合った
処理を行な〜・、装置全体の処理能力を向上させる。

〔実施例〕

以下に、本発明の一実施例を図によシ説明する。

第１図において、３はツクーツフィーダ１を用いて半導
体装置を整列させこれをシュート２にて送り出す供給部
、５はシュート２にて送られた半導体装置を測定へノド
４でその特性を測定する測定部、７は測定ヘッド４より
の出力信号で半導体装置をノータロａにて収納部６ｂに
振分けて分類、収納する分類部である。

本実施例にお（・て、分類部７と供給部３及び測定部５
との処理能力の比は２：１であるため、供給部３及び測
定部５を分類部７１台あたりの処理能力に合せて２組設
置しである。尚実施例では、分類部７はその処理能力が
供給部３等に比べて２倍あるものを用いたが、これに限
られるものではな％　Ｓ。

本実施例では、１台の分類部７に２台の供給部３及び測
定部５を通して半導体装置を送り込み、分類部７のスピ
ードに見合った処理が行なわれる。

〔発明の効果〕

本発明は以上説明したように、１台の分類部に複数台の
供給部及び測定部を通して半導体装置を送り込み、分類
部の処理能力に見合った処理を行なうようにしたので、
供給部、測定部の動作を安定させたまま選別機の処理能
力を大巾に向上できる効果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は従来
装置を示す斜視図である。 ３・・・供給部、５・・・測定部、７・・・分類部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）半導体装置を整列させてこれを送り出す供給部と
   、該供給部から送られた半導体装置の特性を測定する測
   定部と、該測定部からの出力信号に基いて、測定終了後
   の半導体装置を特性毎に分類、収納する分類部とからな
   り、前記供給部及び測定部を分類部１台あたりの処理能
   力に合せて少くとも２組以上設置して分類部に接続した
   ことを特徴とする半導体装置用選別機。