JPS6166296A - Complementary mos memory device - Google Patents

Complementary mos memory device

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JPS6166296A
JPS6166296A JP59187609A JP18760984A JPS6166296A JP S6166296 A JPS6166296 A JP S6166296A JP 59187609 A JP59187609 A JP 59187609A JP 18760984 A JP18760984 A JP 18760984A JP S6166296 A JPS6166296 A JP S6166296A
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JP
Japan
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memory device
complementary mos
mos memory
capacitor
wiring
Prior art date
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Pending
Application number
JP59187609A
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Japanese (ja)
Inventor
Isao Sasaki
佐々木 勇男
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Publication of JPS6166296A publication Critical patent/JPS6166296A/en
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Abstract

PURPOSE:To obtain a complementary MOS memory device which is stable to noises by inserting a capacitor between drains of two inverters constituting a MOS memory cell. CONSTITUTION:The 1st layer polysilicone wiring 11 contains a word line and a gate electrode. In addition, the 2nd layer polysilicone wiring 12 is provided together with a VCC dispersion layer wiring 13 and contact holes 14, 14' and 14' respectively. The holes 14' and 14' serve as a GND contact hole and a bit line contact hold respectively. The capacity between both wirings 11 and 12 is used to form a capacitor which is inserted between two inverters, i.e., between nodes 1 and 2. In such a way, a capacitor is put between two inverters by means of the difference between the drain transient answer of a MOS transistor and the gate transient answer. Thus it is possible to obtain a complementary MOS memory device which is stable to noise.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は6個のトランジスタからなる相補型MOSメモ
リ装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a complementary MOS memory device consisting of six transistors.

(従来の技術) 近年、MOSメモリ装置の微細化が進み、メモリセルの
情報保持電荷量は減少している。そのためメモリセルは
、α線などのノイズに対して、誤動作しやすくなってき
ている。相補型MOSメモリ装置(以下0M0Sメモリ
セルと記す)は、他のセルに比べ、ノイズに強い構成に
なっているが、それでも上記現象は現実の問題となって
きている。
(Prior Art) In recent years, the miniaturization of MOS memory devices has progressed, and the amount of information-holding charge in memory cells has been decreasing. Therefore, memory cells are becoming more prone to malfunction due to noise such as alpha rays. Complementary MOS memory devices (hereinafter referred to as 0M0S memory cells) have a structure that is more resistant to noise than other cells, but the above phenomenon is still becoming a real problem.

(発明が解決しようとする問題点) 第4図は従来の6トランジスタfiOMOsメモリセル
の回路図である。
(Problems to be Solved by the Invention) FIG. 4 is a circuit diagram of a conventional 6-transistor fiOMOs memory cell.

第4図において、TriとTr2はPチャンネルトラン
ジスタ、Tr3〜Tr6はNチャンネルトランジスタと
する。今、節点1がハイレベル、即ちVcc、節点2が
ロウレベル、即ちGND(接地電位)とする。この状態
では、トランジスタTrl はゲート電圧がGND、 
 ドレイン電圧がVccであり、ゲート電極直下にチャ
ンネル領域が形成されているが、ソース・ドレイン間電
圧がOvなので電流は流れない。
In FIG. 4, Tri and Tr2 are P-channel transistors, and Tr3 to Tr6 are N-channel transistors. Now, assume that node 1 is at high level, ie, Vcc, and node 2 is at low level, ie, GND (ground potential). In this state, the gate voltage of the transistor Trl is GND,
Although the drain voltage is Vcc and a channel region is formed directly under the gate electrode, no current flows because the source-drain voltage is Ov.

一方、トランジスタTr2はゲート電圧がVcc。On the other hand, the gate voltage of the transistor Tr2 is Vcc.

ドレイン電圧がGNDであシ、ソース・ドレイン間にV
ccの電圧がかかっているが、ゲート電極直下にチャン
ネル領域が形成されていないので電流は流れない。今、
節点1にノイズによシミ子が流入し、節点10レベルが
VccからG?JD  に落ちたときのTriとTr2
の応答を考えてみる0第5図(a)、 (b)はMOS
ト、Fンジスタの過渡応答を説明するための接続図、第
6図(a)、 (b)は第5図(a) 、 (b)に示
すトランジスタの過渡応答を説明するための特性図でお
る。
Drain voltage is GND, V between source and drain
Although a voltage of cc is applied, no current flows because no channel region is formed directly under the gate electrode. now,
A stain flows into node 1 due to noise, and the node 10 level changes from Vcc to G? Tri and Tr2 when falling to JD
Figure 5 (a) and (b) are MOS
Figure 6(a) and (b) are characteristic diagrams for explaining the transient response of the transistor shown in Figures 5(a) and (b). is.

トランジスタTri  の応答は第5図(a)のトラン
ジスタTri  のドレインに、第6図(a)に示す電
圧Vccの波形が加えられた場合に相当する0このとき
、Triを流れる電流工、は、まずチャンネル電荷の放
電による成分が流れ、次に通常のトランジスタ電流が流
れる0その結果を第6図(b)に模式的に示″j。
The response of the transistor Tri corresponds to the case where the waveform of the voltage Vcc shown in FIG. 6(a) is applied to the drain of the transistor Tri shown in FIG. 5(a). At this time, the current flowing through Tri is: First, a component due to channel charge discharge flows, and then a normal transistor current flows.The result is schematically shown in FIG. 6(b).

一方、トランジスタTr2を流れるfig It 14
.85図(b)K示すトランジスタTr2のゲートに第
6図(a)に示す電圧波形が加えられた場合に相当し、
Vccから流れ込む電流は、まずチャンネル領域の形成
のため消費されるので、結果として、第6図(b)に示
されるようになる0 トランジスタTri、Trzともゲート電圧がGND。
On the other hand, fig It 14 flows through the transistor Tr2.
.. This corresponds to the case where the voltage waveform shown in FIG. 6(a) is applied to the gate of the transistor Tr2 shown in FIG. 85(b)K,
The current flowing from Vcc is first consumed to form the channel region, so as a result, the gate voltage of both transistors Tri and Trz is GND as shown in FIG. 6(b).

ドレイン電圧がGNDであるが、初期状態としてチャン
ネル領域が形成されていた方が、過渡電流は大きい。従
って、節点1がVccからGNDに落ちたとき、節点2
がGNDレベル以下ならば節点1の電圧上昇の方が、節
点2より速い。そのため、 0M0Sメモリセルのもつ
増幅作用により節点1は、再びVCCレベルまで持ち上
シ、節点2は一旦上昇するものの、Tr4によシ放電さ
れ再びGNDレベルに落ちる。
Although the drain voltage is GND, the transient current is larger when the channel region is formed in the initial state. Therefore, when node 1 falls from Vcc to GND, node 2
If is below the GND level, the voltage at node 1 increases faster than at node 2. Therefore, due to the amplification effect of the 0M0S memory cell, node 1 rises to the VCC level again, and node 2 rises once, but is discharged by Tr4 and falls to the GND level again.

以上説明したように、従来の6トランジスタ型0M0S
メモリにおいてはノイズに対して誤動作しやすいという
問題があった。
As explained above, the conventional 6-transistor type 0M0S
Memory has a problem in that it tends to malfunction due to noise.

本発明の目的は、上記欠点を除去し、ノイズに強い相補
型MOSメモリ装置を提供することにある0 (問題点を解決するための手段) 本発明の相補型MOSメモリ装置は6イ圓のトランジス
タから成る相補型MOSメモリセルを有する相補型MO
8メモリ装置において、前記MO8メモリセルを構成す
る2個のインバータのドレイン間にコンデンサを挿入し
たことを特徴として構成される。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to eliminate the above-mentioned drawbacks and provide a complementary MOS memory device that is resistant to noise. Complementary MOS having complementary MOS memory cells consisting of transistors
The MO8 memory device is characterized in that a capacitor is inserted between the drains of two inverters constituting the MO8 memory cell.

(発明の原理と作用) 次に、本発明の原理と作用について説明する。(Principle and operation of the invention) Next, the principle and operation of the present invention will be explained.

第1図は本発明による0M0Sメモリセルの回゛路図、
第2図は第1図に示すCMOSメモリセルの過渡応答を
説明する特性図である。
FIG. 1 is a circuit diagram of an 0M0S memory cell according to the present invention;
FIG. 2 is a characteristic diagram illustrating the transient response of the CMOS memory cell shown in FIG. 1.

0MO8メモリセルを構成する二つのインバータのドレ
インは節点1.2である。この節点1,2間にコンデン
サOtt ′t−接続する。節点1.2の容量(浮遊容
量)をa、 、 O,とする。
The drains of the two inverters constituting the 0MO8 memory cell are node 1.2. A capacitor Ot't- is connected between nodes 1 and 2. Let the capacitance (stray capacitance) of node 1.2 be a, , O,.

今、節点1がハイレベルとし、ハイレベルの節点1にノ
イズによる電子が流れ込み、節点1の電圧v1がVcc
から低下した場合について考える。
Now, node 1 is at high level, electrons due to noise flow into node 1 at high level, and voltage v1 of node 1 becomes Vcc.
Consider the case where the

NチャンネルトランジスタのN+ ドレイy−P型基板
(またはウェル)接合のため、■、は−VP (VFは
接合の順方向耐圧で正の値とする。)以下にはならない
。従って、v!がVccから低下するとき、■、≧V、
がV、 、 V、≧−VFの範囲で成立てば良い。
Because of the N+ drain y-P type substrate (or well) junction of the N-channel transistor, ■ does not become less than -VP (VF is the forward breakdown voltage of the junction and is a positive value). Therefore, v! When decreases from Vcc, ■, ≧V,
It suffices if it holds within the range of V, , V, ≧-VF.

■、は初期状態のOvから低下するが、その値は、と表
わされる。上記条件を満たす之めにはテ1Lij’jL
イo flltハ、Vcc= 5 V、 VF= 0.
5 V条件が満たされれば、ノイズに対するV、 、 
V、の応答は第6図(aL(b)で説明したMOSトラ
ンジスタの過渡応答特性によシ第2図のようになり、ノ
イズにも拘らずVl、 V、は元の状態に回復する。
(2) decreases from the initial state Ov, and its value is expressed as. To meet the above conditions, TE1Lij'jL
I o fllt C, Vcc = 5 V, VF = 0.
5 If the V condition is met, V against noise, ,
The response of V is as shown in FIG. 2 due to the transient response characteristics of the MOS transistor explained in FIG. 6 (aL(b)), and Vl and V recover to their original states despite the noise.

■、にノイズ電流が流入したときも同様の式で表わされ
る。tた、ノイズ電流がホール電流の場合もほぼ同様に
扱える。
A similar equation applies when a noise current flows into (2). Furthermore, the case where the noise current is a Hall current can be handled in almost the same way.

(実施例) 次に、本発明の実施例について図面を用いて説明する。(Example) Next, embodiments of the present invention will be described using the drawings.

第3図は本発明の一実施例の平面図でおる。FIG. 3 is a plan view of one embodiment of the present invention.

WJ3図において、11は第1層ポリシリコン配線で、
ワード線及びゲート電極となる。12は第2層ポリシリ
コン配線、13はvCC拡散層配線、4.4’、4“は
コンタクト孔であシ、4′はGNDコンタクト孔、4“
はビット線コンタクト孔を示す〇 二つのインバータのドレイン間、すなわち節点1.2間
に挿入するコンデンサを第1層ポリシリコン配線11と
第2層ポリシリコン配線12の層間容量で形成している
。拡散層容量やトランジスタゲート容量からなる容量0
1.0!を20fFとする(1.5μルールのとき、こ
の程度の値になる)。
In the WJ3 diagram, 11 is the first layer polysilicon wiring,
This becomes the word line and gate electrode. 12 is second layer polysilicon wiring, 13 is vCC diffusion layer wiring, 4.4', 4" are contact holes, 4' is GND contact hole, 4"
indicates a bit line contact hole. A capacitor inserted between the drains of the two inverters, that is, between nodes 1 and 2, is formed by the interlayer capacitance between the first layer polysilicon wiring 11 and the second layer polysilicon wiring 12. Capacitance 0 consisting of diffusion layer capacitance and transistor gate capacitance
1.0! is set to 20fF (when using the 1.5μ rule, the value is about this value).

01g≧zfF であれば良い。第1層ポリシリコン配
線11と第2層ポリシリコン配線12の皿な9部の面積
を10μm2とし、層間のシリコン酸化膜(比誘電率3
.8)の膜厚を1500Xとすると、0□は2.24f
F となプ上記条件を満足し、本発明の効果を発揮する
ことができる。節点間容量形成法は、この他種々考える
ことができる。
It is sufficient if 01g≧zfF. The area of the dish-like 9 parts of the first layer polysilicon wiring 11 and the second layer polysilicon wiring 12 is 10 μm2, and the silicon oxide film between the layers (relative dielectric constant 3
.. If the film thickness of 8) is 1500X, 0□ is 2.24f
F satisfies the above conditions and can exhibit the effects of the present invention. Various other methods of forming inter-nodal capacitance can be considered.

(発明の効果) 以上説明したように本発明は、MOS)ランジスタのド
レイン過渡応答とゲート過渡応答の違いを利用し、二つ
のインバータのドレイン間に容量を挿入するようにした
ので、ノイズに対して安定な相補型MOSメモリ装置を
実現できるという効果を有する。
(Effects of the Invention) As explained above, the present invention takes advantage of the difference between the drain transient response and gate transient response of a MOS transistor, and inserts a capacitor between the drains of two inverters, so that noise can be reduced. This has the effect that a stable complementary MOS memory device can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明による相補型MOSメモリセルの回路図
、第2図は第1図に示す相補型MOSメモリセルの過渡
応答を説明する特性図、第3図は本発明の一実施例の平
面図、第4図は従来の6トランジスタ型0M0Sメモリ
セルの回路図、第5図(a) 、 (b)はMOSトラ
ンジスタの過渡応答を説明するための接続図、第6図(
a)、(b)は第5図(a)、 (b)に示すMOSト
ランジスタの過渡応答を説明するための特性図である。 1.2・・・・・・節点(インバータのドレイン〕、1
1・・・・・・第1層ポリシリコン配線、12・・・・
・・第2層ポリシリコン配線、13・・・・・・Vcc
拡散層配線。 14.14’、14“・・・・・・コンタクト孔、Tr
i。 Tr2・・・・・・Pチャンネルトランジスタ、Tr3
〜Tr6・・・・・・Nチャンネルトランジスタ。 第1図        第2図 弾3図
FIG. 1 is a circuit diagram of a complementary MOS memory cell according to the present invention, FIG. 2 is a characteristic diagram illustrating the transient response of the complementary MOS memory cell shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a circuit diagram of a complementary MOS memory cell according to an embodiment of the present invention. 4 is a circuit diagram of a conventional 6-transistor type 0M0S memory cell, FIGS. 5(a) and 5(b) are connection diagrams for explaining the transient response of MOS transistors, and FIG.
5a) and 5(b) are characteristic diagrams for explaining the transient response of the MOS transistor shown in FIGS. 5(a) and 5(b). 1.2...Node (inverter drain), 1
1...First layer polysilicon wiring, 12...
...Second layer polysilicon wiring, 13...Vcc
Diffusion layer wiring. 14.14', 14"...Contact hole, Tr
i. Tr2...P channel transistor, Tr3
~Tr6...N-channel transistor. Figure 1 Figure 2 Bullet Figure 3

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims]  6個のトランジスタから成る相補型MOSメモリセル
を有する相補型MOSメモリ装置において、前記MOS
メモリセルを構成する2個のインバータのドレイン間に
コンデンサを挿入したことを特徴とする相補型MOSメ
モリ装置。
In a complementary MOS memory device having a complementary MOS memory cell consisting of six transistors, the MOS
A complementary MOS memory device characterized in that a capacitor is inserted between the drains of two inverters constituting a memory cell.
JP59187609A 1984-09-07 1984-09-07 Complementary mos memory device Pending JPS6166296A (en)

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