JPS6161332A - ブラウン管用露光装置 - Google Patents
ブラウン管用露光装置Info
- Publication number
- JPS6161332A JPS6161332A JP18050784A JP18050784A JPS6161332A JP S6161332 A JPS6161332 A JP S6161332A JP 18050784 A JP18050784 A JP 18050784A JP 18050784 A JP18050784 A JP 18050784A JP S6161332 A JPS6161332 A JP S6161332A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- panel
- bulb
- exposure
- mask pattern
- color
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
- H01J9/2271—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines by photographic processes
- H01J9/2272—Devices for carrying out the processes, e.g. light houses
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はブラウン管用露光装置に係わシ、特にシャドウ
マスクを用いない、いわゆるシャドウマスクレスカラー
ブラウン管の露光に好適な露光装置の構造に関するもの
でちシ、詳細にはブラウン管パネル内面にドライプロセ
スを基本として背面露光によシ数十ミクロン幅の複数色
螢光体ストライプを形成するのに好適なカラーブラウン
管の露光装置の構成に関するものである。
マスクを用いない、いわゆるシャドウマスクレスカラー
ブラウン管の露光に好適な露光装置の構造に関するもの
でちシ、詳細にはブラウン管パネル内面にドライプロセ
スを基本として背面露光によシ数十ミクロン幅の複数色
螢光体ストライプを形成するのに好適なカラーブラウン
管の露光装置の構成に関するものである。
従来、カラーブラウン管として例えばカラービュファイ
ンダ管に螢光体ストライプを形成する場合は、パルプ固
定機構を設けたテーブル上にガラスバルブを固定し、マ
イクロメータヘッドによシ移動位置出しし、パルプとマ
スクパターンとの相対位置を変え、各色の選択露光を行
なっていた（特開昭５８−２１４２５３号公報）。
ンダ管に螢光体ストライプを形成する場合は、パルプ固
定機構を設けたテーブル上にガラスバルブを固定し、マ
イクロメータヘッドによシ移動位置出しし、パルプとマ
スクパターンとの相対位置を変え、各色の選択露光を行
なっていた（特開昭５８−２１４２５３号公報）。
しかしながら、この方法は、パネル側面と固定ビンとの
接触位置決め法を採用しているので、パルプの繰シ返し
位置決め精度が保証されず、作業者の管理能力にたよっ
ていた。このため、パルプの露光精度の向上が困難であ
シ、かつ装置の自動化の障害となυ、作業時間の短縮が
図れないという問題があった。
接触位置決め法を採用しているので、パルプの繰シ返し
位置決め精度が保証されず、作業者の管理能力にたよっ
ていた。このため、パルプの露光精度の向上が困難であ
シ、かつ装置の自動化の障害となυ、作業時間の短縮が
図れないという問題があった。
したがって本発明は、前述した従来の問題に鑑みてなさ
れたものであシ、その目的とするところは、パルプを繰
υ返し高精度で位置出し移動させることによシ、カラー
ブラウン管パネル内面に複数色の微細なストライプを露
光することが可能でかつ自動化によシエ数低減を図るこ
とができるブラウンｇ露光装置を提供することにある。
れたものであシ、その目的とするところは、パルプを繰
υ返し高精度で位置出し移動させることによシ、カラー
ブラウン管パネル内面に複数色の微細なストライプを露
光することが可能でかつ自動化によシエ数低減を図るこ
とができるブラウンｇ露光装置を提供することにある。
このような目的を達成するため本発明は、露光装置にお
いて、パルスモータと梃の合成による微細移動機構を有
するＸＹテーブルに、バルブチャック機構を設け、エア
ーマイクロメータによシバルプのチャック時の位置ずれ
を補正するとともに、位置の補正をしたパルプをマグネ
スケールで移動距離をはかシながら、露光位置まで移動
し、パルプとストライプパターンとの相対位置を変え、
露光して螢光体ストライプを形成する０ 〔発明の実施例〕 次に図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。
いて、パルスモータと梃の合成による微細移動機構を有
するＸＹテーブルに、バルブチャック機構を設け、エア
ーマイクロメータによシバルプのチャック時の位置ずれ
を補正するとともに、位置の補正をしたパルプをマグネ
スケールで移動距離をはかシながら、露光位置まで移動
し、パルプとストライプパターンとの相対位置を変え、
露光して螢光体ストライプを形成する０ 〔発明の実施例〕 次に図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。
第１図および第２図は本発明によるブラウン管露光装置
の一例を示す図であシ、第１図は要部縦断面構成図、第
２図はその上面図である。これらの図において、１は架
台、２はランプバウス、３はシャッタ、４はマスクパタ
ーン、５はマスクパターン４の固定台、６は架台１上に
固定配置されたＸＹテーブルである。また、７はＸＹテ
ーブル６の中央開口部分に配置されるパルプである。こ
のパルプ７はパネルフェース面に２７Ｘ２１ｍｍの表示
領域が形成されたパネル部とファンネル部とが一体構成
されている。８はＸＹテーブル６の背面に設けられたパ
ルプＴのチャック機構であシ、このチャック機構８は第
２図に上面図で示すようにパルプ７を、そのパネル部組
径、長径側面をブツシャピン ８＆および複数の位置決
めピン８ｂによシはぼ中心軸にクランプさせている。９
はＸＹテーブル６上に配設された梃とパルスモータとか
らなシバルプ７を次の露光位置まで所定距離移動させる
微細移動機構、１０ａ、１０ｂはパルプ７をチャック機
構８の中央でクランプさせた状態でパネルの短径、長径
方向から±０．５μｍの検出精度で位置補正を行なりエ
アーマイクロメータ、１１はパルプＴの移動を±１μｍ
の精度で位置検出するマグネスケールである。
の一例を示す図であシ、第１図は要部縦断面構成図、第
２図はその上面図である。これらの図において、１は架
台、２はランプバウス、３はシャッタ、４はマスクパタ
ーン、５はマスクパターン４の固定台、６は架台１上に
固定配置されたＸＹテーブルである。また、７はＸＹテ
ーブル６の中央開口部分に配置されるパルプである。こ
のパルプ７はパネルフェース面に２７Ｘ２１ｍｍの表示
領域が形成されたパネル部とファンネル部とが一体構成
されている。８はＸＹテーブル６の背面に設けられたパ
ルプＴのチャック機構であシ、このチャック機構８は第
２図に上面図で示すようにパルプ７を、そのパネル部組
径、長径側面をブツシャピン ８＆および複数の位置決
めピン８ｂによシはぼ中心軸にクランプさせている。９
はＸＹテーブル６上に配設された梃とパルスモータとか
らなシバルプ７を次の露光位置まで所定距離移動させる
微細移動機構、１０ａ、１０ｂはパルプ７をチャック機
構８の中央でクランプさせた状態でパネルの短径、長径
方向から±０．５μｍの検出精度で位置補正を行なりエ
アーマイクロメータ、１１はパルプＴの移動を±１μｍ
の精度で位置検出するマグネスケールである。
このように構成された露光装置は、予めパネル内面に露
光によって光粘着性を呈する感光液を塗布したパルプ７
を、チャック機構８にクランプさせ、エアーマイクロメ
ータ１０ａ、１０ｂによシＸＹ方向の所定原点位置に位
置補正し位置決めした後、ソノパネルフェース面がマス
クパターン４に接Ｍするように下方に移動させて設定し
、シャッタ３を開閉することによシ第１色目の露光を行
なってこの露光した部分に光粘着性を呈する前記マスク
パターン４の微細ストライプパターンを転写させる。し
かる後、パルプ７を取シ外し、公知のドライプロセス法
（特公昭５７−２０６５１号公報参照）によシバルプ７
内に螢光体を付与して調湿空気を吹き付けて現像し、第
１色目の螢光体ストライプを形成する。次にこのパルプ
γを前述と同様にしてチャック機構８にクランプさせエ
アーマイクロメータ１０＆、１０ｂによシ前述と同様の
所定原点位置に位置決め設定した後、微細移動機構９に
よシ所定距離移動させ、同一のマスクパターン４を用い
てシャッタ３を開閉させ、第２色目の露光を行ない、光
粘着性を呈する＠２色目の微細なストライプパターンを
形成して前述と同様に螢光体を付与して現像し、第２色
目の螢光体ストライプを形成する。このように°して同
一のマスクパターン４を用いて例えばインデックス、緑
、青、赤各色のストライプを、４色の露光現像作業を繰
シ返し行ない、その都度チャック機’ｆｆ（８でパルプ
γをクランプ７をクランプし、微細移動機構９によυ次
の色の露光位置まで所定ピッチで移動させ、パルプＴと
マスクパターン４との位置をずらして形成する。
光によって光粘着性を呈する感光液を塗布したパルプ７
を、チャック機構８にクランプさせ、エアーマイクロメ
ータ１０ａ、１０ｂによシＸＹ方向の所定原点位置に位
置補正し位置決めした後、ソノパネルフェース面がマス
クパターン４に接Ｍするように下方に移動させて設定し
、シャッタ３を開閉することによシ第１色目の露光を行
なってこの露光した部分に光粘着性を呈する前記マスク
パターン４の微細ストライプパターンを転写させる。し
かる後、パルプ７を取シ外し、公知のドライプロセス法
（特公昭５７−２０６５１号公報参照）によシバルプ７
内に螢光体を付与して調湿空気を吹き付けて現像し、第
１色目の螢光体ストライプを形成する。次にこのパルプ
γを前述と同様にしてチャック機構８にクランプさせエ
アーマイクロメータ１０＆、１０ｂによシ前述と同様の
所定原点位置に位置決め設定した後、微細移動機構９に
よシ所定距離移動させ、同一のマスクパターン４を用い
てシャッタ３を開閉させ、第２色目の露光を行ない、光
粘着性を呈する＠２色目の微細なストライプパターンを
形成して前述と同様に螢光体を付与して現像し、第２色
目の螢光体ストライプを形成する。このように°して同
一のマスクパターン４を用いて例えばインデックス、緑
、青、赤各色のストライプを、４色の露光現像作業を繰
シ返し行ない、その都度チャック機’ｆｆ（８でパルプ
γをクランプ７をクランプし、微細移動機構９によυ次
の色の露光位置まで所定ピッチで移動させ、パルプＴと
マスクパターン４との位置をずらして形成する。
このような構成によれば、チャック機構８による位置決
め精度が±２μｍ以下、梃とパルスモータによシ構成さ
れる微細位置決め機＃ｌ￥９の移動精度が±１ μｍ以
下とすることが可能となるので、マスクパターン４の露
光のストライプ位置出し精度を再現性良く±２μｍまで
向上させることができる。
め精度が±２μｍ以下、梃とパルスモータによシ構成さ
れる微細位置決め機＃ｌ￥９の移動精度が±１ μｍ以
下とすることが可能となるので、マスクパターン４の露
光のストライプ位置出し精度を再現性良く±２μｍまで
向上させることができる。
以上説明したように本発明によれば、ガラスバルブパネ
ル側面を、固定ピンに当ててクランプしチャックした後
、エアーマイクロメータで補正するので、再現性良く高
粘度で位置決めが可能となる。これによってガラスバル
ブとパターンとの相対位置を各色に合わせ変えるパター
ンの互換性の不要な多色１台露光方式により、安定した
高精度、高品質の螢光体ストライプのシャドウマスクレ
スカラープ２ウン管を製作することができる。また、同
一パターンで安定した高精度な露光が行なえるため、装
置の自動化がはかれ、ガラスバルブの露光作業の工数が
減シ、従来の半分以下の作業時間とすることができるな
どの極めて優れた効果が得られる。
ル側面を、固定ピンに当ててクランプしチャックした後
、エアーマイクロメータで補正するので、再現性良く高
粘度で位置決めが可能となる。これによってガラスバル
ブとパターンとの相対位置を各色に合わせ変えるパター
ンの互換性の不要な多色１台露光方式により、安定した
高精度、高品質の螢光体ストライプのシャドウマスクレ
スカラープ２ウン管を製作することができる。また、同
一パターンで安定した高精度な露光が行なえるため、装
置の自動化がはかれ、ガラスバルブの露光作業の工数が
減シ、従来の半分以下の作業時間とすることができるな
どの極めて優れた効果が得られる。
第１図は本発明によるブラウン管用露光装置の一例を示
す縦断面構成図、＠２図は第１図の上面図である。 １・・＠争架台、２・・・・ランプハウス、３＠＠争・
シャッタ、４・・・・マスクパターン、５・１・・固定
台、６・・・・ＸＹテーブル、ＴＱ＠φ・パルプ、８１
１＠１１１１チャック機構、８＆・・−Φプッシャーピ
ン、８ｂ脅・・拳位ｆ！決メピン、９”＊１１ｅ微細移
動機構、１０＆、１０ｂＩＩ・・Φエアーマイクロメー
タ、１１・Ｉ＠・マグキスケール。
す縦断面構成図、＠２図は第１図の上面図である。 １・・＠争架台、２・・・・ランプハウス、３＠＠争・
シャッタ、４・・・・マスクパターン、５・１・・固定
台、６・・・・ＸＹテーブル、ＴＱ＠φ・パルプ、８１
１＠１１１１チャック機構、８＆・・−Φプッシャーピ
ン、８ｂ脅・・拳位ｆ！決メピン、９”＊１１ｅ微細移
動機構、１０＆、１０ｂＩＩ・・Φエアーマイクロメー
タ、１１・Ｉ＠・マグキスケール。
Claims (1)
- ガラスバルブのパネル側面をクランプするチャック機構
と、前記ガラスバルブを所定位置に補正して設定するエ
アーマイクロメータと、前記ガラスバルブの位置を検出
するマグネスケールと、前記ガラスバルブのパネル設定
位置を所定ピッチで移動させる微細移動機構と、前記ガ
ラスバルブのパネルフェース面に接触配置させたマスク
パターンと、前記マスクパターンに光を照射させるラン
プハウスとを備え、複数回の露光の際にガラスバルブと
マスクパターンとの相対位置をずらし、露光位置を順次
移動して多色露光を行なうことを特徴としたカラーブラ
ウン管用露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18050784A JPS6161332A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | ブラウン管用露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18050784A JPS6161332A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | ブラウン管用露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6161332A true JPS6161332A (ja) | 1986-03-29 |
Family
ID=16084447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18050784A Pending JPS6161332A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | ブラウン管用露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6161332A (ja) |
-
1984
- 1984-08-31 JP JP18050784A patent/JPS6161332A/ja active Pending
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