JPS6160635B2 - - Google Patents
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- JPS6160635B2 JPS6160635B2 JP4032878A JP4032878A JPS6160635B2 JP S6160635 B2 JPS6160635 B2 JP S6160635B2 JP 4032878 A JP4032878 A JP 4032878A JP 4032878 A JP4032878 A JP 4032878A JP S6160635 B2 JPS6160635 B2 JP S6160635B2
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- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 11
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 11
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
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- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 5
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Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、半導体製造に利用されるホトマスク
の回路パターンなどを高速で自動的に検査する装
置に関するものである。
の回路パターンなどを高速で自動的に検査する装
置に関するものである。
従来、半導体製造などに利用されるホトマスク
の回路パターンなどにある短絡（シヨート）、断
線などの欠陥を発見するには、顕微鏡による目視
検査が行なわれる。しかし、この従来の検査方法
では、作業者が疲労し易いばかりか、欠陥の見逃
しも多々あり、全体的に非能率であるという欠点
を有している。一方、近年におけるIC，LSIの生
産量の増大、パターンの微細化を考慮すれば、こ
の事態に対処することは極めて困難となつてい
る。
の回路パターンなどにある短絡（シヨート）、断
線などの欠陥を発見するには、顕微鏡による目視
検査が行なわれる。しかし、この従来の検査方法
では、作業者が疲労し易いばかりか、欠陥の見逃
しも多々あり、全体的に非能率であるという欠点
を有している。一方、近年におけるIC，LSIの生
産量の増大、パターンの微細化を考慮すれば、こ
の事態に対処することは極めて困難となつてい
る。
本発明の目的は、上記した欠点をなくし、簡単
な構成により位置ずれを許容した状態で被検査二
次元画像を基準二次元画像と比較して迅速、且つ
正確に被検査二次元画像の検査ができるようにし
た二次元画像比較検査装置を提供することにあ
る。
な構成により位置ずれを許容した状態で被検査二
次元画像を基準二次元画像と比較して迅速、且つ
正確に被検査二次元画像の検査ができるようにし
た二次元画像比較検査装置を提供することにあ
る。
即ち本発明は、上記目的を達成するために、所
定の位置ずれ範囲内で位置決めされた被検査２次
元画像と基準２次元画像の各々を同期走査して撮
像する第１及び第２の撮像装置と、該第１及び第
２の撮像装置の各々により撮像される２次元画像
の各々を同期、且つ対応させて縦横複数個の記憶
因子にて配列された記憶要素に順次切出すと共に
上記記憶因子に２値絵素化信号を記憶する第１及
び第２の画像切出手段と、該第１及び第２の画像
切出手段の各々において、互いに定位置に対して
近接して上下、及び左右に線対称に設定された複
数の記憶因子からなる記憶因子群同志の２値化信
号が互いに異なつていることを検出して上記定位
置において境界が到来した境界２値絵素化信号を
出力する第１及び第２の境界検出手段と、該第１
の境界検出手段より出力された境界２値絵素化信
号の内、中心位置の境界２値絵素化信号を切出す
第３の画像切出手段と、上記第２の境界検出手段
より出力された境界２値絵素化信号について、上
記第３の画像切出手段により切出された中心位置
Ｐに対応する位置P′を中心として少なくとも上
下、及び左右に所定因子数切出す第４の画像切出
手段と、上記第３の画像切出手段の中心位置Ｐに
境界を示す境界２値絵素化信号が切出されたと
き、上記第４の画像切出手段により切出された上
下、及び左右の所定因子数の範囲内（所定の半径
ｒ内）に境界を示す境界２値絵素化信号が切出さ
れなかつたことにより被検査２次元画像に欠陥が
存在すると判定する比較手段とを備えたことを特
徴とする二次元画像比較検査装置である。更に具
体的に説明すれば、被検査２次元画像と基準２次
元画像との間の位置合せ許容誤差をａとし、半径
ｒをａより僅か大きくなるように設定し、被検査
２次元画像のＰ点に境界線があるとき、基準２次
元画像の対応する点P′を中心とする半径ｒの内部
に境界線が見い出されれば、位置合せ誤差による
ものであるということで被検査２次元画像は正常
とし、点P′を中心とする半径ｒの円の内部に境界
線が見い出されないならば、基準２次元画像に境
界が存在しないということで被検査２次元画像に
欠陥が存在すると判定することにある。
定の位置ずれ範囲内で位置決めされた被検査２次
元画像と基準２次元画像の各々を同期走査して撮
像する第１及び第２の撮像装置と、該第１及び第
２の撮像装置の各々により撮像される２次元画像
の各々を同期、且つ対応させて縦横複数個の記憶
因子にて配列された記憶要素に順次切出すと共に
上記記憶因子に２値絵素化信号を記憶する第１及
び第２の画像切出手段と、該第１及び第２の画像
切出手段の各々において、互いに定位置に対して
近接して上下、及び左右に線対称に設定された複
数の記憶因子からなる記憶因子群同志の２値化信
号が互いに異なつていることを検出して上記定位
置において境界が到来した境界２値絵素化信号を
出力する第１及び第２の境界検出手段と、該第１
の境界検出手段より出力された境界２値絵素化信
号の内、中心位置の境界２値絵素化信号を切出す
第３の画像切出手段と、上記第２の境界検出手段
より出力された境界２値絵素化信号について、上
記第３の画像切出手段により切出された中心位置
Ｐに対応する位置P′を中心として少なくとも上
下、及び左右に所定因子数切出す第４の画像切出
手段と、上記第３の画像切出手段の中心位置Ｐに
境界を示す境界２値絵素化信号が切出されたと
き、上記第４の画像切出手段により切出された上
下、及び左右の所定因子数の範囲内（所定の半径
ｒ内）に境界を示す境界２値絵素化信号が切出さ
れなかつたことにより被検査２次元画像に欠陥が
存在すると判定する比較手段とを備えたことを特
徴とする二次元画像比較検査装置である。更に具
体的に説明すれば、被検査２次元画像と基準２次
元画像との間の位置合せ許容誤差をａとし、半径
ｒをａより僅か大きくなるように設定し、被検査
２次元画像のＰ点に境界線があるとき、基準２次
元画像の対応する点P′を中心とする半径ｒの内部
に境界線が見い出されれば、位置合せ誤差による
ものであるということで被検査２次元画像は正常
とし、点P′を中心とする半径ｒの円の内部に境界
線が見い出されないならば、基準２次元画像に境
界が存在しないということで被検査２次元画像に
欠陥が存在すると判定することにある。
以下、本発明を第１図から第６図により説明す
る。
る。
一般に第１図ａに示すように、正常なパターン
においては、２個の二次元画像１，１′を位置合
せした後重ね合せれば、一方の二次元画像１の境
界線の１点Ｐの近傍には他方の画像１′の対応す
る境界線が必ず存在する。したがつて、２つの画
像１，１′の境界線を比較しつつ、互いに他方の
画像の境界線が定数γを半径とする円内にあれば
双方の画像は正常であり、第１図ｂに示すように
その円内になければ欠陥があるとすることができ
る。ここで半径としての定数γ２つの画像１，
１′の位置合せ誤差で決まる定数である。本発明
は以上のことに着目した比較検査方式であり、以
下、この比較検査方式を具体的に説明する。
においては、２個の二次元画像１，１′を位置合
せした後重ね合せれば、一方の二次元画像１の境
界線の１点Ｐの近傍には他方の画像１′の対応す
る境界線が必ず存在する。したがつて、２つの画
像１，１′の境界線を比較しつつ、互いに他方の
画像の境界線が定数γを半径とする円内にあれば
双方の画像は正常であり、第１図ｂに示すように
その円内になければ欠陥があるとすることができ
る。ここで半径としての定数γ２つの画像１，
１′の位置合せ誤差で決まる定数である。本発明
は以上のことに着目した比較検査方式であり、以
下、この比較検査方式を具体的に説明する。
第２図において、２は正規の二次元画像１が抽
かれた基準画像、２′は基準画像２と比較検査さ
れる画像１′が抽かれた被検査画像である。これ
ら２つの画像１，１′は互いに相対的に位置決め
され、それぞれレンズ等で形成された光学系３，
３′を介して適宜の倍率で対応する撮像装置４，
４′上に投影される。撮像装置４，４′からのビデ
オ信号はサンプリング回路５，５′により撮像装
置４，４′に同期した同期信号にもとづいて周期
的にサンプリングされ、二次元画像の一列の走査
線から得られるビデオ信号を時分割し、画像の明
暗に対応するシリーズの２値化ビデオ信号（０，
１信号）に変換する。シフトレジスタ６ａ〜６
ｃ，６a′〜６c′は上記一列の走査線当りのサンプ
リング数と同数の記憶素子で構成され、走査線の
２値化ビデオ信号を入力して１時記憶するととも
に、上記同期信号にもとづいて２値化ビデオ信号
をシフトさせるものである。読出可能な第２及び
第１の画像切出手段である二次元画像切出し回路
７，７′は、ｎ行ｎ列の記憶因子Aij，Bij（ｉ，
ｊ＝１，……，ｎ）を集合させた正方形の記憶マ
トリツクス（記憶要素）ΣAij，ΣBijから構成さ
れ、サンプリング回路５，５′とシフトレジスタ
６ａ〜６ｃ，６a′〜６c′からの２値化ビデオ信号
にもとづき画像１，１′の各々を網状の正方形の
因子に分割するとともに、同時に切出して記憶す
るものである。第２及び第１の境界検出手段であ
る境界線検出回路８，８′は、画像切出し回路
７，７′内の画像から境界線を検出する回路であ
る。境界線検出回路８，８′の詳細な構成例は第
３図に示すように画像切出し回路７（または
７′）内の記憶因子ｅ１〜ｅ４から図示のように
信号線を取り出し、記憶因子e1，e2からAND回路
１１、OR・否定（EOR）回路１３に記号を入れ
るようにする。これと同様に記憶因子e3，e4から
の信号をAND回路１０、OR・否定（EOR）回路
１２に入力する。これらのAND回路１０，１
１、OR・否定回路１２，１３の出力を図示のよ
うにAND回路１４，１５に入力すれば、（e1）＝
（e2）＝０，（e3）＝（e4）＝１のときにのみAND回路
１４の出力９ａ（または９a′）が１となり、ま
た、（e1）＝（e2）＝１，（e3）＝（e4）＝０のときに
の
みAND回路１５の出力９ｂ（または９b′）が１
となる。これ以外のときには出力９ａ，９ｂはと
もに０となる。即ち、第４図に示すように画像の
境界線１６がある場合は、（e1）＝（e2）＝１，
（e3）＝（e4）＝０、または（e1）＝（e2）＝０，（e3
）＝
（e4）＝１となるから、境界線の方向、即ち境界線
１６の左側が黒で右側が白であるか、またはこの
反対かによつて9a＝１または9b＝１なる出力が
得られるものである。
かれた基準画像、２′は基準画像２と比較検査さ
れる画像１′が抽かれた被検査画像である。これ
ら２つの画像１，１′は互いに相対的に位置決め
され、それぞれレンズ等で形成された光学系３，
３′を介して適宜の倍率で対応する撮像装置４，
４′上に投影される。撮像装置４，４′からのビデ
オ信号はサンプリング回路５，５′により撮像装
置４，４′に同期した同期信号にもとづいて周期
的にサンプリングされ、二次元画像の一列の走査
線から得られるビデオ信号を時分割し、画像の明
暗に対応するシリーズの２値化ビデオ信号（０，
１信号）に変換する。シフトレジスタ６ａ〜６
ｃ，６a′〜６c′は上記一列の走査線当りのサンプ
リング数と同数の記憶素子で構成され、走査線の
２値化ビデオ信号を入力して１時記憶するととも
に、上記同期信号にもとづいて２値化ビデオ信号
をシフトさせるものである。読出可能な第２及び
第１の画像切出手段である二次元画像切出し回路
７，７′は、ｎ行ｎ列の記憶因子Aij，Bij（ｉ，
ｊ＝１，……，ｎ）を集合させた正方形の記憶マ
トリツクス（記憶要素）ΣAij，ΣBijから構成さ
れ、サンプリング回路５，５′とシフトレジスタ
６ａ〜６ｃ，６a′〜６c′からの２値化ビデオ信号
にもとづき画像１，１′の各々を網状の正方形の
因子に分割するとともに、同時に切出して記憶す
るものである。第２及び第１の境界検出手段であ
る境界線検出回路８，８′は、画像切出し回路
７，７′内の画像から境界線を検出する回路であ
る。境界線検出回路８，８′の詳細な構成例は第
３図に示すように画像切出し回路７（または
７′）内の記憶因子ｅ１〜ｅ４から図示のように
信号線を取り出し、記憶因子e1，e2からAND回路
１１、OR・否定（EOR）回路１３に記号を入れ
るようにする。これと同様に記憶因子e3，e4から
の信号をAND回路１０、OR・否定（EOR）回路
１２に入力する。これらのAND回路１０，１
１、OR・否定回路１２，１３の出力を図示のよ
うにAND回路１４，１５に入力すれば、（e1）＝
（e2）＝０，（e3）＝（e4）＝１のときにのみAND回路
１４の出力９ａ（または９a′）が１となり、ま
た、（e1）＝（e2）＝１，（e3）＝（e4）＝０のときに
の
みAND回路１５の出力９ｂ（または９b′）が１
となる。これ以外のときには出力９ａ，９ｂはと
もに０となる。即ち、第４図に示すように画像の
境界線１６がある場合は、（e1）＝（e2）＝１，
（e3）＝（e4）＝０、または（e1）＝（e2）＝０，（e3
）＝
（e4）＝１となるから、境界線の方向、即ち境界線
１６の左側が黒で右側が白であるか、またはこの
反対かによつて9a＝１または9b＝１なる出力が
得られるものである。
これと同様に第３図に示す記憶素子e5〜e8の内
容を判定することにより水平方向の境界線の有無
を判別し、境界線有無の出力９ｃ（または９c′）
９ｄ（または９d′）を得ることができる。なお、
境界線検出回路８，８′の各々が、画像切出し回
路７，７′に切出された２記憶因子離間した記憶
因子e1，e2と記憶因子e3，e4、及び記憶因子e5，
e6と記憶因子e7，e8を取り出すようにしたのは、
撮像装置４，４′で撮像して得られる映像信号を
サンプリング回路５，５′で２値絵素化する際、
量子化誤差によつて境界線が±１絵素凸凹を有し
ても必ず記憶因子e1，e2と記憶因子e3，e4及び記
憶因子e5，e6と記憶因子e7，e8との信号が相違し
て境界が検出できるようにした。
容を判定することにより水平方向の境界線の有無
を判別し、境界線有無の出力９ｃ（または９c′）
９ｄ（または９d′）を得ることができる。なお、
境界線検出回路８，８′の各々が、画像切出し回
路７，７′に切出された２記憶因子離間した記憶
因子e1，e2と記憶因子e3，e4、及び記憶因子e5，
e6と記憶因子e7，e8を取り出すようにしたのは、
撮像装置４，４′で撮像して得られる映像信号を
サンプリング回路５，５′で２値絵素化する際、
量子化誤差によつて境界線が±１絵素凸凹を有し
ても必ず記憶因子e1，e2と記憶因子e3，e4及び記
憶因子e5，e6と記憶因子e7，e8との信号が相違し
て境界が検出できるようにした。
つぎに第１図に示すように被検査画像の境界点
Ｐを中心に基準画像との位置ずれ許容範囲９より
僅か大きく設定されたｒの範囲内に基準画像の境
界が検出されたか否かによつて被検査画像に欠陥
があるかどうかを検査判定する方法について第５
図にもとづいて説明する。
Ｐを中心に基準画像との位置ずれ許容範囲９より
僅か大きく設定されたｒの範囲内に基準画像の境
界が検出されたか否かによつて被検査画像に欠陥
があるかどうかを検査判定する方法について第５
図にもとづいて説明する。
境界線が有つた場合に１と出力される出力９
ａ，９a′をシフトレジスタ１７ａ〜１７ｄ，１７
a′〜１７d′に入力した後、Ｍ×Ｍ個のマトリツク
ス要素を持ち、且つ第４及び第３画像切出手段で
ある画像切出し回路１８，１８′に入力する。こ
の場合のシフトレジスタ１７ａ〜１７ｄ，１７
a′〜１７d′、画像切出し回路１８，１８′の働き
は前述したシフトレジスタ６ａ〜６ｃ，６a′〜６
c′、画像切出し回路７，７′と同様である。
ａ，９a′をシフトレジスタ１７ａ〜１７ｄ，１７
a′〜１７d′に入力した後、Ｍ×Ｍ個のマトリツク
ス要素を持ち、且つ第４及び第３画像切出手段で
ある画像切出し回路１８，１８′に入力する。こ
の場合のシフトレジスタ１７ａ〜１７ｄ，１７
a′〜１７d′、画像切出し回路１８，１８′の働き
は前述したシフトレジスタ６ａ〜６ｃ，６a′〜６
c′、画像切出し回路７，７′と同様である。
即ち境界線検出回路８′で被検査画像１′の境界
点（“１”なる信号）が検出されて画像切出し回
路１８′の中心の記憶因子e0に切出された際、境
界線検出回路８で基準画像１の境界点（“１”な
る信号）が検出されて画像切出し回路１８の中心
から許容位置ずれ誤差より僅か大きくした半径ｒ
絵素分（左右、及び上下に各々ｒ絵素分、斜め方
向には約ｒ絵素分）の範囲内に切り出されたこと
により第１図ａに示すように被検査画像は正常と
判定し、逆に基準画像の境界点が上記範囲内に切
り出されないことにより第１図ｂに示すように被
検査画像に欠陥有りと判定するようにした。要す
るに被検査画像１′に欠陥が存在するか否かの判
定は、画像切出回路１８′の中心の記憶因子e0に
境界点を示す“１”なる信号が切出された際、基
準画像１の境界点を示す“１”なる信号が画像切
出し回路１８の記憶要素ΣAkl（ｋ，ｌ＝１，
２，３……，Ｍ）の内、中心記憶因子から半径ｒ
＝Ｍ／２なる範囲に存在するか否かを判定すれば
よい。このためには、画像切出し回路１８の中心
記憶因子から半径ｒ＝Ｍ／２なる記憶要素ΣAkl
から取り出した信号をOR回路１９に入力し、さ
らにこの出力とe0の内容とをAND・否定
（NAND）回路２０に入力する。ついでAND・否
定回路２０の出力とe0とのANDをAND回路２１
によつてとる。このようにすると、AND回路２
１の出力２２ａはつぎのようになる。
点（“１”なる信号）が検出されて画像切出し回
路１８′の中心の記憶因子e0に切出された際、境
界線検出回路８で基準画像１の境界点（“１”な
る信号）が検出されて画像切出し回路１８の中心
から許容位置ずれ誤差より僅か大きくした半径ｒ
絵素分（左右、及び上下に各々ｒ絵素分、斜め方
向には約ｒ絵素分）の範囲内に切り出されたこと
により第１図ａに示すように被検査画像は正常と
判定し、逆に基準画像の境界点が上記範囲内に切
り出されないことにより第１図ｂに示すように被
検査画像に欠陥有りと判定するようにした。要す
るに被検査画像１′に欠陥が存在するか否かの判
定は、画像切出回路１８′の中心の記憶因子e0に
境界点を示す“１”なる信号が切出された際、基
準画像１の境界点を示す“１”なる信号が画像切
出し回路１８の記憶要素ΣAkl（ｋ，ｌ＝１，
２，３……，Ｍ）の内、中心記憶因子から半径ｒ
＝Ｍ／２なる範囲に存在するか否かを判定すれば
よい。このためには、画像切出し回路１８の中心
記憶因子から半径ｒ＝Ｍ／２なる記憶要素ΣAkl
から取り出した信号をOR回路１９に入力し、さ
らにこの出力とe0の内容とをAND・否定
（NAND）回路２０に入力する。ついでAND・否
定回路２０の出力とe0とのANDをAND回路２１
によつてとる。このようにすると、AND回路２
１の出力２２ａはつぎのようになる。
(1) e0＝１で、ΣAklのいずれかの要素が少なく
とも１のときは０となる。
とも１のときは０となる。
(2) e0＝１で、ΣAklの全てが０のときは１とな
る。
る。
(3) その他の場合は０となる。
なお、比較手段はOR回路１９、NAND回路２
０、及びAND回路２１によつて構成される。
０、及びAND回路２１によつて構成される。
(1)の場合、両方の画像１，１′は互に近傍に境
界があり、検査される画像１′は正常である。(2)
の場合は、基準画像１には境界があるが、被検査
画像１′には近傍に境界線がなく、検査される画
像１′には欠陥がある。また、(3)の場合は、境界
線有無は行なわない。
界があり、検査される画像１′は正常である。(2)
の場合は、基準画像１には境界があるが、被検査
画像１′には近傍に境界線がなく、検査される画
像１′には欠陥がある。また、(3)の場合は、境界
線有無は行なわない。
上記説明において画像切出回路１８，１８′の
マトリツクスＭ×Ｍの大きさは、２つの画像１，
１′の位置合せ誤差で定まる定数γの２倍に相当
するものである。また、以上の説明は画像の一方
向の境界線の有無を比較したものであるが、第５
図に示すような回路を対応する出力９ｂ，９b′，
９ｃ，９c′，９ｄ，９d′の組に対しても設けれ
ば、４方向の画像境界線におのおのについても境
界線の有無を比較判定することができるわけであ
る。
マトリツクスＭ×Ｍの大きさは、２つの画像１，
１′の位置合せ誤差で定まる定数γの２倍に相当
するものである。また、以上の説明は画像の一方
向の境界線の有無を比較したものであるが、第５
図に示すような回路を対応する出力９ｂ，９b′，
９ｃ，９c′，９ｄ，９d′の組に対しても設けれ
ば、４方向の画像境界線におのおのについても境
界線の有無を比較判定することができるわけであ
る。
最後に簡単な例によつて欠陥が検出される過程
を第６図を用いて示す。第６図における２３，２
３′は検査される画像１′にある欠陥である。画像
１，１′は第２図に示すように、各境界線の方向
ごとに検出される。このようにして検出された境
界線画像は、画像２４ａ〜２４ｄ，２４a′〜２４
d′として示すところである。ついで第５図に示す
比較回路により対応する画像２４ａ，２４a′，２
４ｂ，２４b′，２４ｃ，２４′ｃ，２４ｄ，２４
d′を相互に比較するものである。これにより互い
に近傍に境界線がない部分のみが出力２２ａ〜２
２ｄとして検出される。このようにして検出され
た部分はもとの検査される画像１′としてのパタ
ーンの欠陥２３，２３′に対応するものであるこ
とが判る。
を第６図を用いて示す。第６図における２３，２
３′は検査される画像１′にある欠陥である。画像
１，１′は第２図に示すように、各境界線の方向
ごとに検出される。このようにして検出された境
界線画像は、画像２４ａ〜２４ｄ，２４a′〜２４
d′として示すところである。ついで第５図に示す
比較回路により対応する画像２４ａ，２４a′，２
４ｂ，２４b′，２４ｃ，２４′ｃ，２４ｄ，２４
d′を相互に比較するものである。これにより互い
に近傍に境界線がない部分のみが出力２２ａ〜２
２ｄとして検出される。このようにして検出され
た部分はもとの検査される画像１′としてのパタ
ーンの欠陥２３，２３′に対応するものであるこ
とが判る。
以上説明したように、本発明においては、複数
個の二次元画像を各画像毎に設けた複数個の撮像
装置によつて撮像し、撮像された画像の各各をサ
ンプリングしてマトリツクス状に配置した記憶要
素に２値化ビデオ信号として記憶させ、これら記
憶内容により境界線を各方向成分ごとに検出して
再び画像として記憶し、複数個の画像から得られ
た各方向成分毎の境界線を比較することによつて
画像の対応近傍に同方向の境界線が有るか否かを
検出し、もしもない場合は画像に欠陥があると判
定する二次元画像比較検査方式である。したがつ
て、従来目視にたよつていた回路パターンなどの
欠陥を自動的に、かつ高速で行うことができるか
ら、生産量の増大、パターンの微細化、ウエハの
大面積化の傾向にある近年のIC，LSIのホトマス
クなどの検査に対処できるという、極めて優れた
効果がある。
個の二次元画像を各画像毎に設けた複数個の撮像
装置によつて撮像し、撮像された画像の各各をサ
ンプリングしてマトリツクス状に配置した記憶要
素に２値化ビデオ信号として記憶させ、これら記
憶内容により境界線を各方向成分ごとに検出して
再び画像として記憶し、複数個の画像から得られ
た各方向成分毎の境界線を比較することによつて
画像の対応近傍に同方向の境界線が有るか否かを
検出し、もしもない場合は画像に欠陥があると判
定する二次元画像比較検査方式である。したがつ
て、従来目視にたよつていた回路パターンなどの
欠陥を自動的に、かつ高速で行うことができるか
ら、生産量の増大、パターンの微細化、ウエハの
大面積化の傾向にある近年のIC，LSIのホトマス
クなどの検査に対処できるという、極めて優れた
効果がある。
第１図ａ，ｂは、本発明の原理的な説明図、第
２図から第５図までは、本発明による比較検査方
式の１実施例での方式図あるいはその１部回路で
の具体的回路構成図またはそれらの１部の説明図
であつて、第２図は撮像された画像から境界線を
検出するまでを示す図、第３図は第２図での境界
線検出回路の１具体的回路構成図を、第４図は境
界線検出回路の出力状態説明図を、第５図は境界
線が近傍に存在するか否かの判定回路の１具体的
回路構成図、第６図は、本発明によつて欠陥が検
出されるまでの説明図である。 １……基準としての画像、１′……検査される
画像、３，３′……光学系、４，４′……撮像装
置、５，５′……サンプリング回路、６（６ａ〜
６ｃ），６′（６a′〜６c′），１７（１７ａ〜１７
ｄ），１７′（１７a′〜１７d′）……シフトレジス
タ、７，７′，１８，１８′……画像切出回路、
８，８′……境界線検出回路。
２図から第５図までは、本発明による比較検査方
式の１実施例での方式図あるいはその１部回路で
の具体的回路構成図またはそれらの１部の説明図
であつて、第２図は撮像された画像から境界線を
検出するまでを示す図、第３図は第２図での境界
線検出回路の１具体的回路構成図を、第４図は境
界線検出回路の出力状態説明図を、第５図は境界
線が近傍に存在するか否かの判定回路の１具体的
回路構成図、第６図は、本発明によつて欠陥が検
出されるまでの説明図である。 １……基準としての画像、１′……検査される
画像、３，３′……光学系、４，４′……撮像装
置、５，５′……サンプリング回路、６（６ａ〜
６ｃ），６′（６a′〜６c′），１７（１７ａ〜１７
ｄ），１７′（１７a′〜１７d′）……シフトレジス
タ、７，７′，１８，１８′……画像切出回路、
８，８′……境界線検出回路。
Claims (1)
- １ 所定の位置ずれ範囲内で位置決めされた被検
査２次元画像と基準２次元画像の各々を同期走査
して撮像する第１及び第２の撮像装置と、該第１
及び第２の撮像装置の各々により撮像される２次
元画像の各々を同期、且つ対応させて縦横複数個
の記憶因子にて配列された記憶要素に順次切出す
と共に上記記憶因子に２値絵素化信号を記憶する
第１及び第２の画像切出手段と、該第１及び第２
の画像切出手段の各々において、互いに定位置に
対して近接して上下、及び左右に線対称に設定さ
れた複数の記憶因子からなる記憶因子群同志の２
値化信号が互いに異なつていることを検出して上
記定位置において境界が到来した境界２値絵素化
信号を出力する第１及び第２の境界検出手段と、
該第１の境界検出手段より出力された境界２値絵
素化信号の内、中心位置の境界２値絵素化信号を
切出す第３の画像切出手段と、上記第２の境界検
出手段より出力された境界２値絵素化信号につい
て、上記第３の画像切出手段により切出された中
心位置に対して、少なくとも上下、及び左右に所
定因子数切出す第４の画像切出手段と、上記第３
の画像切出手段の中心位置に境界を示す境界２値
絵素化信号が切出されたとき、上記第４の画像切
出手段により切出された上下、及び左右の所定因
子数の範囲内に境界を示す境界２値絵素化信号が
切出されなかつたことにより被検査２次元画像に
欠陥が存在すると判定する比較手段とを備えたこ
とを特徴とする二次元画像比較検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4032878A JPS54133022A (en) | 1978-04-07 | 1978-04-07 | Comparison and inspection system for two dimensional picture |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4032878A JPS54133022A (en) | 1978-04-07 | 1978-04-07 | Comparison and inspection system for two dimensional picture |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS54133022A JPS54133022A (en) | 1979-10-16 |
| JPS6160635B2 true JPS6160635B2 (ja) | 1986-12-22 |
Family
ID=12577533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4032878A Granted JPS54133022A (en) | 1978-04-07 | 1978-04-07 | Comparison and inspection system for two dimensional picture |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS54133022A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT1129509B (it) * | 1980-01-14 | 1986-06-04 | Tasco Spa | Procedimento ed apparecchiatura per il ritrovamento in tempo reale di difetti in oggetti industriali |
| JPS56118647A (en) * | 1980-02-25 | 1981-09-17 | Hitachi Ltd | Flaw inspecting apparatus |
-
1978
- 1978-04-07 JP JP4032878A patent/JPS54133022A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS54133022A (en) | 1979-10-16 |
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