JPS6157811A - 光電式変位検出器 - Google Patents

光電式変位検出器

Info

Publication number
JPS6157811A
JPS6157811A JP18007884A JP18007884A JPS6157811A JP S6157811 A JPS6157811 A JP S6157811A JP 18007884 A JP18007884 A JP 18007884A JP 18007884 A JP18007884 A JP 18007884A JP S6157811 A JPS6157811 A JP S6157811A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light receiving
light
outputs
plate body
polarizing plates
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP18007884A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0263168B2 (ja
Inventor
Takashi Hashizume
隆 橋詰
Kazuo Makishima
一雄 巻島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ono Sokki Co Ltd
Original Assignee
Ono Sokki Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ono Sokki Co Ltd filed Critical Ono Sokki Co Ltd
Priority to JP18007884A priority Critical patent/JPS6157811A/ja
Publication of JPS6157811A publication Critical patent/JPS6157811A/ja
Publication of JPH0263168B2 publication Critical patent/JPH0263168B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/344Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using polarisation
    • G01D5/345Polarising encoders

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業−1Zの」I弧淀」 本発明は、軸の回動変位の検出器に関するものであり、
例えば、ロボットアームの支承軸、あるいはエンシ゛ン
等の原動機の回転軸に結合されてその回動角度の検出に
供され、この検出信号は前記検出対象の回動角位置や回
転速度の制御系における帰還信号やその表示に用いられ
る。
従−米q−抹−術− この種の検出器には、ロータリエンコーダやレゾルバ算
がある。中でもレゾルバは高いご       分解能
をも〜にもかかわらず、比較的構造力・簡+itで、し
かも角度情報がその1般送波の周j111ごとに取出ぜ
る9、v徴を有している。
すなわち、レゾルバはスデータの直交する2方向の極に
それぞれ第1、第2のフィルを巻装し、その内部で回転
するロータには第3のフィルを巻装し、第1、第2のコ
イルには相互に90度位相の搬送波Va、Vb、〜7 
a= V 2sinωt ■1〕二\72eO8ωt ここに、\72:搬送波の振幅 ω:搬送波の角速度を
供給して各様から搬送波V a、Vbに対応した磁束を
放射させるようにしたものである。したがって、このロ
ータを被測定軸と結合して回動させると、その回動角度
θに応じてそれぞれの放射磁束のうちロータと鎖交する
磁束の割合が変わり、その結果、第3のフィルには回動
角度θに応じて位相の変わる位相信号Vc \’ c= K 2V 2cosωtsinθ十に2V
2Sinωtcosθ = K 、V 2sin(ωt+θ) ここに、K2、K3:  比例係数が誘起されることに
なる。しかしながら、レゾルバは−1−記のように電磁
的な信号発生手段を用いているために、そのフィルおよ
びコイルからのイ、(分取出用ロータリトランス等を必
要とし、小型化するに際して制約を受ける、:と、また
、ロータの慣性モーメントもロータリエンコーダに比べ
て大きいことなどの問題点をもつ。
また、製作に際して所定の磁束分布を得るにはコイルの
形状、配置位置に厳しい精度が要求され、結果的に高価
となる問題点もある。
このようなレゾルバの欠点は、電磁的な信号発生手段を
採用しでいることに起因したものであり、その解決には
光電的な信号発生手段の採用が考えられる。
その種のものとしては、例えば米国特許第3.306,
159号に開示されたものがある。これは、回転軸に固
着した偏光板の一部分と対向状態に、第1〜第4の4個
の静11−偏光板を配設し、その各静止偏光板は相互に
その透過軸を45度づつずらしておぎ、その各静止偏光
板と前記回転偏光板の各々の外側で光源と受光部を対向
配置したものである。
以上のものにおいて、光源からの光は、回転偏光板を通
り、続いて第1〜第4の静止偏光板の各一つを経由して
それぞれの受光部に達するが、このとき、各受光部に達
する光量は、回転偏光板と各第1〜第4の静止偏光板の
透過軸の交り角により変わる。すなわち、光の透過率は
、交り角の倍角のコサイン関数に対応じて変わる。した
がって、今、回転偏光板が角度θだけ回動すると、その
回転偏光板と第1〜第4のm +l−偏光板との各文り
角は、それぞれθ、θ十115゛、θ+90°、θ+1
35° となり、その結果、それぞれの透過率は、co
s 2θ、−5in2θ、−cos 2θ、5in2θ
1こ対応し、各受光部にもそれらと対応した出力が発生
する。ただし、上記透過率は、必ずOより大であり、し
たがって、上記透過率を厳密に表わすと、交り角が90
度の場合、すなわち直交位透過率と−に記した透過率の
和となり、各受光部も直交位透過率に対応した直流成分
を含む。
次に、各受光部出力には、搬送波sinω1、cosω
t、 −5ir+6Jt、−cosωtが乗算され、そ
の後加算される。したがって、前記の直流成分はこの加
算により相殺され、加算出力は、位相が回転偏光板の回
動角θの倍角に対応じて変わる5in(ω1+2θ)と
なる。
しかし、これにおいでは、第1〜第4の偏光板をその透
過軸が45度づつずれた状態に正確に配置しておく必要
があるが、それには、検出器の組立、調整技術に熟練を
要し、かつ多大の作業時間を要することが避けられない
また、特に光源は経年変化等により特性変化を起こし易
いが、そうした場合、受光部出力の振幅も変化すること
になり、結局、その振幅情報を利用して形成する信号に
誤差が生じる問題点がある。
発−明−剋解−汰−レ支邊−とする問題点本発明は、偏
光板の配置に際して、多数の偏光板を位置決め調整しな
ければならない問題点を解決しようとするものである。
同時に、本発明は、光源の特性変化による発光量の変化
を解決しようとするものである。
問−1((肛決するための手段 本発明は、前記問題点を解決するために、偏光板の透過
軸の位置調整を2ケ所に減少したものであり、透過軸を
45度ずらして大小2枚の偏光板を重合した重合部分と
非重合部分とを有する第1の板体と、その重合部分と対
向して配設され、透過軸を45度ずらした第1、第2の
偏光板を有する第2の板体と、第2の板体(あるいは第
1の板体)と一体面に結合され、前記第2の板体の第1
、第2の偏光板またはそれと対向する非重合部分のいす
、れか−側と対向して配設された第1、第2の受光部お
よび重合部分と対向して配設された=7− 第3の受光部と、前記第1、第2の板体を挟んで前記各
受光部と月向して配設された1または複数個の光源と、
その光源に一定の点灯信号を送出する点灯制御部と、前
記第1〜第3の受光部出力を演算して第1、第2の版本
の相対回動変位に対応した出力を形成する演算部と、前
記第3の受光部出力の一方または両方と設定値との偏差
に応じて前記点灯制御部の点灯信号を補正する光量補正
部とからなる。
作−1W 第1、第2の板体が相対的に回動変位θを生じると、第
1の板体の非重合部分の偏光板と第2の板体の第1、第
2の各透過軸との交り角がθだけずれ、その結果、それ
ぞれの光の透過率α1、α2は次のように変化する。
al−(Ho−I]9o)cos2θ+H90二に、c
os2θ十に2 ・・・・■ Q 2= (Ho−H90)(!032(θ+45°)
+H90= K 、cos2 (θ+45°)十に2=
−Ksin2θ+に2−−−、■ ここに、I]。:平行付透過率 ll9o:直交位透過率 K 1=(1/2 )(Ho−Hso)K 2= (1
/’2 )(Ho+ Hgo)このとき、第1の板体の
重合部分の透過率a3は、第2の板体の回動変位θとは
無関係に一定であり、次のとおりである。
Q 3=(Ho−1490) cos245 ’ +)
T!10二に2     ・・・・・・■ したがって、第1の板体の非重合部分と第2の板体の第
1、第2の偏光板を挟んで一側に配置された光源からの
光量は、それぞれの−10〜 透過率α1、α・倍されて他側に配置された受光部に達
し、また、重合部分を挟んで−・側に配置dされた光源
からの児腋は、一定の透過率a3倍されて飢例に配設さ
れた受光部に達する。
この結果、今、その発光量をCとおき、受光部の光量と
電気信号との変換係数をβとおくと、第1〜第3の受光
部には、次のような出力81〜e3がそれぞれ発生する
el”(ZICβ=  K3cos2θ十K。
e2−α2Cβ= −K 3sin2θ十に、   ■
e3=Q3cβ=  K。
ここに、K、=に、Cβ に4=に2Cβ ヂ         以下、この出力e1〜e3は、演
算部に導入され、先ず加減回路において、(’el−e
3L(e2−e3)の演算が行なわれ、el He2中
の定数項に4が除去される。続いてこれらの差は変調回
路に送られ、90度位相の周期的信号、sinω1、c
osωtにより変調された後、加減算回路において、そ
の各変調信号の加算が行なわれ、次のように第1、第2
の板体の相対回動変位θに対応した位相ずれをもつ出力
e。が形成される。
eo” ((’!1− e3)Sinωt +(e2−
 e、)(!O8ωt= K 3sin(ω1.−2θ
)        ■尚、演算部における演算は、最初
にels e2e3を変調した後、加減算しても全く同
様である。
次に、光源の光量Cが変化した場合、受光部出力e、〜
e、変化する。このとき、第3の受光部出力は光量補正
部にも送られており、そこで所定の光量に対応した設定
値と比較され、その偏差信号が点灯制御部に送られてい
る。
そして、点灯制御部では、この偏差に応じて11一 点灯信号の大きさを変化させることになり、これにより
常時光源の発光量を一定に保つように制御が行なわれる
実施秒〔 実施例の機構部分を示す第1,2図において、1は回動
自在に支承された軸であり、軸1」二には大径の偏光円
板11と小径の偏光円板12とを相互に透過軸を45度
ずらして同心状態で重合させた第1の板体10が一体的
に固着されている。
その第1の板体の外周側に位置する大径の偏光円板11
のみからなる非重合部分と対向して第2の板体40が配
設され、第2の板体40には、相互に透過軸を45度ず
らして第1、第2の偏光板4.1.42が固定されてい
る。そして、その第1、第2の偏光板41゜42と第1
の板体10の非重合部分とを挟んで対向状態に第1.第
2の光源21.22と第1、第2の受光部31.32(
但し、32は図示されていない。)が配設されている。
また、第1の板体10の内周側に位置する大径と小径の
偏光円板11.12の重合部分を挟んで対向状態に第3
の光源23と第3の受光部33が配置されている。
しかして、この機構部においては、大小径の偏光円板1
1.12の重合に際して透過軸を45度に組立調整する
ことと、第2の板体において第1、第2の偏光板41.
42の透過軸を45度だけずらして組立調整することの
二つの調整操作のみとなる。
次に、第3図は前記第1〜第3の光源の発光量を制御す
る点灯制御部と、前記第1〜第3の受光部の出力を演算
して第1の板体10の回動変位を算出する演算部の実施
例であり、第1,2図と同番号を付した第1〜第3の光
源21〜23、受光部31〜33は第1,2図と同一の
ものである。
これにおいては、定電流発生器よりなる点灯制御部50
の出力端が第1〜第3の光源21〜23と直列に結線さ
れ、常時、第1・〜第3の光源21〜23から一定のW
′、=、を発范させている。
また、光量補正部701i:、第3の受光81;33の
出力と設定器72から出力されるIl1票発光量に対応
した設定電気信号との偏差算出器71からなり、その偏
差信号は点灯制御部50に送出され、点灯制御部50で
はその偏差に対応させて各光源21〜23に送出してい
る点灯信号の大きさを変化させている。
また、演算部60は、第1、第2の受光部31.32の
出力e1、e、と第3の受光部33の出力e3とのそれ
ぞれ差を算出する第1、第2の加減回路61,62、そ
の加減回路61゜62の出力にキャリア発振器66から
送出されるキャリアsinωt、 eOsωtを乗じる
第1、第2の変調器63.64、その各変調器63゜6
4の出力の和を算出する第3の加減回路65とからなる
以上のものにおいて、軸1がθだけ回動変位すると、第
1の板体10も一体的にθだけ回動し、第1、第2の偏
光板41.42と偏光板11の非重合部分との透過軸の
交り角がそれぞれθ 、(θ+45°)となり、その透
過率α1、a2は前記■、■式のように回動変位θに応
じて変化したものとなる。
他方、第1の板体10の重合部の透過率は、軸1の回動
変位θとは無関係に一定であり、前記0式のようになる
したがって、第1、第2、第3の光源21.22.23
から発光された一定光量は、それぞれal、α2.03
倍されて各対応する受光部31〜33に達し、受光部3
1〜33はその受光量に対応した前記0式に示す電気信
号e1〜e3を発生する。
そして、第1、第2の加減回路61.62において、第
1、第2の受光部出力e1、e2と第3の受光部出力e
3との差が算出され、続いて、その差は第1、第2の変
調器63.64において、90度位相の正弦波により平
衡変調された後、第3の加減回路65により加算され、
前記0式に示す出力e。が形成される。
そして、光源23の発光量が変化した場合には、受光部
33の出力が変化し、その結果、偏差算出器71に偏差
が生じて点灯制御部50から送出される点灯信号が変化
させられ、光源21〜23の発光量が所定量となるよう
な制御が行なわれる。
尚、上記実施例において、光源と受光部は直接発光素子
と受光素子を用いた場合を例示したが、これらと光ファ
イバーを用いて構成しても同様である。
また、演算部60の各受光部出力に対する演算の順序は
」−記実施例に限られるものでなく、前記0式の演井式
を満たすもの、例えば、el、e2を90度位相の周期
的信号により変調した後加算し、また、e3を90度位
相の周期的信号の和の信号により変調し、前記加i1信
号からその変調信号を差引いても同様である。
また、上記実施例は第1〜第3の別の光源を各受光部と
対向させた場合を例示したが、単一の光源を各受光部と
対向させても同様である。
また、演算部60の各受光部出力に対する演算の順序は
、」二記実施例に限られるものでなく、前記0式の演算
式を満たすもの、例えば、e++22を90度位相の周
期的信号の和の信号により変調し、前記加算信号からそ
の変調信号を差引いても同様である。
また、上記実施例は第1〜第3の別の光源を各受光部と
対向させた場合を例示したが、単一の光源を各受光部と
対向させても同様である。
また、上記実施例においては第1の板体10を軸1に固
着して回動変位させた場合を例示したが、第2の板体4
oの第1.第2の偏光板をドーナッツ状とし、円板の異
なる半径−にに設け、それを軸に固着して回動変位させ
ても同様である。
発明の効」 以上のとおりであり、本発明は、2枚の偏光板を重合さ
せた部分と非重合の部分とを有する第1の板体の非重合
部分に対して第2の板体の2枚の偏光板を対向させ、そ
の開の透過光量の変化および第1の板体の重合部の透過
光量を電気信号に変換して処理し、第1と第2の板体の
回動変位に対応した出力を形成するので、偏光板の透過
軸の調整は、2対の偏光板に対して行なうだけでよく、
全体の糾立調達が簡略化され、作業性が向−1ニする。
また、光源の発光量が変化した場合には、受光部出力を
フィードバック信号とする光域補正部により自動的に発
光量の補正が行なわれるので、検出精度か向−1−する
【図面の簡単な説明】
−第1図は本発明の磯構部の実施例を示す正面図、第2
図は第1図の左側面図、第3図は本発明の点灯制御部、
演算部の実施例を示すブロック線図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、透過軸を45度ずらして2枚の偏光板を重合した重
    合部分と非重合部分とを有する第1の板体と、その非重
    合部分と対向して配設され、透過軸を45度ずらした第
    1、第2の偏光板を有する第2の板体と、第1、第2の
    板体のいずれかと一体的に結合され、前記第1、第2の
    偏光板またはそれと対向する非重合部分のいずれか一側
    と対向して配設された第1、第2の受光部および重合部
    分と対向して配設された第3の受光部と、その第1〜第
    3の受光部と一体的に結合されると共に、第1、第2の
    板体を挟んで前記各受光部と対向して配設された一また
    は複数個の光源と、その光源に一定の点灯信号を送出す
    る点灯制御部と、前記第1〜第3の受光部出力を演算し
    て第1、第2の板体の相対回動変位に対応した出力を形
    成する演算部と前記第3の受光部出力の一方または両方
    と設定値との偏差に応じて前記点灯制御部の点灯信号を
    補正する光量補正部とからなるところの光電式変位検出
    器。 2、演算部は、第1、第3の受光部出力と第2、第3の
    受光部出力を90度位相の周期的信号によりそれぞれ変
    調する変調回路と、その同一変調の第1、第3の受光部
    出力の変調信号の差および第2と第3の受光部出力の変
    調信号の差との和を算出する加減回路としたところの特
    許請求の範囲第1項に記載の光電式変位検出器。 3、演算部は、第1、第3の受光部出力の差および第2
    、第3の受光部出力の差を算出する加減回路と、その各
    差を90度位相の同期的信号によりそれぞれ変調する変
    調回路と、その各変調信号の和を算出する加減回路とし
    たところの特許請求の範囲第1項に記載の光電式変位検
    出器。
JP18007884A 1984-08-29 1984-08-29 光電式変位検出器 Granted JPS6157811A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18007884A JPS6157811A (ja) 1984-08-29 1984-08-29 光電式変位検出器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18007884A JPS6157811A (ja) 1984-08-29 1984-08-29 光電式変位検出器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6157811A true JPS6157811A (ja) 1986-03-24
JPH0263168B2 JPH0263168B2 (ja) 1990-12-27

Family

ID=16077068

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18007884A Granted JPS6157811A (ja) 1984-08-29 1984-08-29 光電式変位検出器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6157811A (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0263168B2 (ja) 1990-12-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4046017A (en) Wheel balancing apparatus
CA1286385C (en) Variable reluctance position transducer
JP5815283B2 (ja) 共振器光ファイバージャイロスコープの信号対雑音比を高めるためのシステム及び方法
EP0133581B1 (en) Angle transducer employing polarized light
JP4362711B2 (ja) アンバランスダイナミックロード発生器
JPH08287173A (ja) ディジタル角度検出方法
JPH0752106B2 (ja) 自己故障診断機能付光干渉角速度計
US6326908B1 (en) Precision position encoder using coarse position indicator
JPS6157811A (ja) 光電式変位検出器
US4095159A (en) Electronic apparatus for automatic closed loop positioning of mobile members associated with an electromagnetic transducer with two pairs of windings
JPS6157810A (ja) 光電式変位検出器
JPH0249542Y2 (ja)
JPH0249543Y2 (ja)
JPH0342774B2 (ja)
JP2003042805A (ja) 磁気誘導型回転位置検出装置
JPH0263170B2 (ja)
JPH11108669A (ja) 光ファイバジャイロ
JPS6168511A (ja) 光電式変位検出器
JP7314426B2 (ja) レゾルバ
JPH0210214A (ja) 信号処理方法および装置
JPS63722B2 (ja)
JPH0132449B2 (ja)
JPH10267609A (ja) 回転量測定装置
SU849269A1 (ru) Устройство дл задани угла поворота
SU840995A1 (ru) Двухотсчетный преобразователь углапОВОРОТА ВАлА B КОд