JPS6156944A - 化学発光分析方法および装置 - Google Patents
化学発光分析方法および装置Info
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- JPS6156944A JPS6156944A JP15321084A JP15321084A JPS6156944A JP S6156944 A JPS6156944 A JP S6156944A JP 15321084 A JP15321084 A JP 15321084A JP 15321084 A JP15321084 A JP 15321084A JP S6156944 A JPS6156944 A JP S6156944A
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- chemiluminescence
- reaction chamber
- reaction
- chemiluminescent
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/75—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated
- G01N21/76—Chemiluminescence; Bioluminescence
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By The Use Of Chemical Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は化学発光法を利用した分析方法および装置に関
する。
する。
半導体製造彦どの電子工業では、シラン、アルシン、ホ
スフィン、ジボラン々どの毒性ガスが多量に使用されて
いるが、作業環境でのこれらのガスの許容濃度は、シラ
ン０．５ ｐｐｍ 、アルシン０．０５Ｉ）１：’ｍ
Ｉホスフィ７ Ｑ、 ３ ｐｐｍ 、ジボラン０．１
ｐｐｍと、それぞれごく低濃度である。半導体の製造が
盛んになるにつれ、作業環境でのこれらの毒性ガスを、
容易にかつ正確に検知分析できる漏洩検知器や分析器が
増々必要となってきており、これらのガスの測定方法と
して従来赤外分光分析法、化学反応原子吸光光度法、隔
膜ガルバーニ電池法、定電位電解法、化学発光法などが
知られている。
スフィン、ジボラン々どの毒性ガスが多量に使用されて
いるが、作業環境でのこれらのガスの許容濃度は、シラ
ン０．５ ｐｐｍ 、アルシン０．０５Ｉ）１：’ｍ
Ｉホスフィ７ Ｑ、 ３ ｐｐｍ 、ジボラン０．１
ｐｐｍと、それぞれごく低濃度である。半導体の製造が
盛んになるにつれ、作業環境でのこれらの毒性ガスを、
容易にかつ正確に検知分析できる漏洩検知器や分析器が
増々必要となってきており、これらのガスの測定方法と
して従来赤外分光分析法、化学反応原子吸光光度法、隔
膜ガルバーニ電池法、定電位電解法、化学発光法などが
知られている。
オゾンの存在下における化学発光の現象は、Ｃ０１ＴＨ
Ｃ，，８０２，ＮＯなどの大気、煙道ガス、自動車排気
中の成分そして上記した様な無機水素化物について知ら
れているが、化学発光法を利用した装置としては米国の
サーモエレクトロン社をはじめとして、大気用、煙道用
、自動車排気ガス用の窒素酸化物濃度計に既に長年の研
究と商業的実績をｈ！ 有している。しかし、無
機水素化物の分析法として化学発光法を適用するように
なったのは最近に々つでからである。
Ｃ，，８０２，ＮＯなどの大気、煙道ガス、自動車排気
中の成分そして上記した様な無機水素化物について知ら
れているが、化学発光法を利用した装置としては米国の
サーモエレクトロン社をはじめとして、大気用、煙道用
、自動車排気ガス用の窒素酸化物濃度計に既に長年の研
究と商業的実績をｈ！ 有している。しかし、無
機水素化物の分析法として化学発光法を適用するように
なったのは最近に々つでからである。
窒素酸化物濃度計に適した技術を、作業環境での無機水
素化物の検出に適用するには困難な問題がある。作業葉
境には通常ＴＨＣ，Ｃｏ、８０２．Ｎ。
素化物の検出に適用するには困難な問題がある。作業葉
境には通常ＴＨＣ，Ｃｏ、８０２．Ｎ。
橙どが或程度存在し、特に化学発光強度およびその存在
濃度の点から、そのうちＮｏが検出すべき無機水素化物
と同時に化学発光を起し、測定を妨害するからである。
濃度の点から、そのうちＮｏが検出すべき無機水素化物
と同時に化学発光を起し、測定を妨害するからである。
即ち、化学発光が無機水素化物に基づくものか、それと
も作業環境中のＮＯに基づくものかを区別出来なければ
ならない。
も作業環境中のＮＯに基づくものかを区別出来なければ
ならない。
特開昭５７−１．９６１３８号（フランス国ル・エール
・リクイラド社）に開示しである発明は、オゾンとＮＯ
との化学発光スペクトルおよびオゾンと無機水素化物と
の化学発光スペクトルの波長域のちがいを利用して、化
学発光によって放射されたスペクトルを、４９５から６
５０ｎｍで透過するフィルターを徒用して濾光した後検
出する方法および装置であり、これによりＮＯの妨害を
排除して無機水素化物を検出せんとするものである。
・リクイラド社）に開示しである発明は、オゾンとＮＯ
との化学発光スペクトルおよびオゾンと無機水素化物と
の化学発光スペクトルの波長域のちがいを利用して、化
学発光によって放射されたスペクトルを、４９５から６
５０ｎｍで透過するフィルターを徒用して濾光した後検
出する方法および装置であり、これによりＮＯの妨害を
排除して無機水素化物を検出せんとするものである。
ＮＯの化学発光スペクトルは６００ｎｍから１７００ｎ
ｍ以上の赤外域に拡がる分布を持っているのに ８一 対し、無機水素化物のそれはアルシンは８００−９００
ｎｍホスフィンは８５０−７５０ｎｍ々どであるので、
フィルターで濾光の波長域を選択すればＮｏの妨害を一
応排除することは出来るが、この方法の欠点はフィルタ
ーの光透過率による測光強度の損失を必然的に伴うこと
であシ、従って無機水素化物の検出感度が低下するのを
避けることが出来々い。
ｍ以上の赤外域に拡がる分布を持っているのに ８一 対し、無機水素化物のそれはアルシンは８００−９００
ｎｍホスフィンは８５０−７５０ｎｍ々どであるので、
フィルターで濾光の波長域を選択すればＮｏの妨害を一
応排除することは出来るが、この方法の欠点はフィルタ
ーの光透過率による測光強度の損失を必然的に伴うこと
であシ、従って無機水素化物の検出感度が低下するのを
避けることが出来々い。
本発明は各化学発光成分のオゾンとの化学発光反応の継
続時間が異なることに着目してなされたものである。即
ち、ＮＯはオゾンと接触すれば瞬時にして化学発光が終
る（継続時間数ミリ秒以下）のに対し、シラン、アルシ
ン、ホスフィン、ジボランなどの無機水素化物は、オゾ
ンの存在下では化学発光反応が暫く継続する（継続時間
数秒）ことを利用すべく鋭意研究の結果本発明を完成し
たものである。
続時間が異なることに着目してなされたものである。即
ち、ＮＯはオゾンと接触すれば瞬時にして化学発光が終
る（継続時間数ミリ秒以下）のに対し、シラン、アルシ
ン、ホスフィン、ジボランなどの無機水素化物は、オゾ
ンの存在下では化学発光反応が暫く継続する（継続時間
数秒）ことを利用すべく鋭意研究の結果本発明を完成し
たものである。
本発明は、オゾンの存在下におけるサンプルガス中の化
学発光物質の化学発光反応によって放射−４，− される輻射エネルギーを、センサーで受光して検出する
化学発光物質の分析方法において、サンプルガスとオゾ
ンとを混合して化学発光反応を開始せしめる時期を化学
発光反応により発生している輻射エネルギーをセンサー
で受光検出する時期の少なくとも１回よりも先立たせる
ことを特徴とする化学発光物質の分析方法である。
学発光物質の化学発光反応によって放射−４，− される輻射エネルギーを、センサーで受光して検出する
化学発光物質の分析方法において、サンプルガスとオゾ
ンとを混合して化学発光反応を開始せしめる時期を化学
発光反応により発生している輻射エネルギーをセンサー
で受光検出する時期の少なくとも１回よりも先立たせる
ことを特徴とする化学発光物質の分析方法である。
本発明の方法においては、化学発光反応により発生して
いる輻射エネルギーをセンサーで受光検出する時期は必
ずしも１回である必要はなく、間隔をおいて２回以上で
あっても差支えなく、時期が２回以上である場合は、そ
のうち］回は化学発光反応を開始せしめる時期と一致し
ていてもかまわないが、受光検出時期の少なくとも１回
よりも、サンプルガスとオゾンとを混合して化学発光反
応を開始せしめる時期が先立っていることが必要アある
。
いる輻射エネルギーをセンサーで受光検出する時期は必
ずしも１回である必要はなく、間隔をおいて２回以上で
あっても差支えなく、時期が２回以上である場合は、そ
のうち］回は化学発光反応を開始せしめる時期と一致し
ていてもかまわないが、受光検出時期の少なくとも１回
よりも、サンプルガスとオゾンとを混合して化学発光反
応を開始せしめる時期が先立っていることが必要アある
。
本発明はまた、上記方法の発明の実施に直接使用するた
めの装置である。即ち、２段以上の化学発光反応室が直
列に配列されていて、その第１の反応室には、サンプル
ガスを導入するための導管、オゾンを導入するための導
管（これら２本の導管は反応室入口の直前で打合わされ
ていてもよい）および混合ガスを第２反応室へと導出す
るための出口とが配設されており、第２段以降の反応室
には、前段の反応室から導出された混合ガスを導入する
ための入口と、混合ガスを後段の反応室または装置外へ
と導出するための出口とを具備しており、且第２段以降
の反応室には、該反応室で生起する化学発光を受光検出
するためのセンサーが、化学発光を透過する窓材を介し
て設けられていることを特徴とする化学発光物質の分析
装置である。
めの装置である。即ち、２段以上の化学発光反応室が直
列に配列されていて、その第１の反応室には、サンプル
ガスを導入するための導管、オゾンを導入するための導
管（これら２本の導管は反応室入口の直前で打合わされ
ていてもよい）および混合ガスを第２反応室へと導出す
るための出口とが配設されており、第２段以降の反応室
には、前段の反応室から導出された混合ガスを導入する
ための入口と、混合ガスを後段の反応室または装置外へ
と導出するための出口とを具備しており、且第２段以降
の反応室には、該反応室で生起する化学発光を受光検出
するためのセンサーが、化学発光を透過する窓材を介し
て設けられていることを特徴とする化学発光物質の分析
装置である。
本発明の装置においては、第１の反応室には、該反応室
で生起する化学発光を受光検出するためのセンサーを設
けることは必須ではないが、設置しである場合も含まれ
る。
で生起する化学発光を受光検出するためのセンサーを設
けることは必須ではないが、設置しである場合も含まれ
る。
（、〔発叶実施′ｔ′Ｂ＊ａ６ｏ具”“態様〕本発明の
分析の対象となる好ましい化学発光物質は、シラン、ア
ルシン、ホスフィン、ジボランなどの無機水素化物であ
る。これらの物質は、オゾンの存在下における化学発光
反応が数秒間継続するのに対して、ＮＯはオゾンと接触
すれば瞬時にして化学発光が終る（継続時間数ミリ秒以
下）。
分析の対象となる好ましい化学発光物質は、シラン、ア
ルシン、ホスフィン、ジボランなどの無機水素化物であ
る。これらの物質は、オゾンの存在下における化学発光
反応が数秒間継続するのに対して、ＮＯはオゾンと接触
すれば瞬時にして化学発光が終る（継続時間数ミリ秒以
下）。
従って、サンプルガスとオゾンとを混合して化学発光反
応を開始させる時期を、化学発光反応により発生してい
る輻射エネルギーをセンサーで受光検出する時期よりも
わずかに先立つようにしてやると、サンプルガス中にＮ
Ｏが共存していても、ＮＯによる化学発光はすっかり減
衰してしまっているので、上記無機水素化物（てよる化
学発光だけを選択的に受光検出することが出来る。
応を開始させる時期を、化学発光反応により発生してい
る輻射エネルギーをセンサーで受光検出する時期よりも
わずかに先立つようにしてやると、サンプルガス中にＮ
Ｏが共存していても、ＮＯによる化学発光はすっかり減
衰してしまっているので、上記無機水素化物（てよる化
学発光だけを選択的に受光検出することが出来る。
また、サンプルガスとオゾンとを混合して化学発光反応
が開始したときに１回、それよシや＼おくれで１回と、
別々の時期に化学発光反応により発生している輻射エネ
ルギーをセンサーで壺光検出してやれば、はじめの１回
めには化学発光反応を起すすべての物質に基づく発光が
、第２回めのときは化学発光反応が継続する物質のみに
基づく発光が検出出来るので、２つの測定値からそれぞ
れの発光物質を分析することが可能である。
が開始したときに１回、それよシや＼おくれで１回と、
別々の時期に化学発光反応により発生している輻射エネ
ルギーをセンサーで壺光検出してやれば、はじめの１回
めには化学発光反応を起すすべての物質に基づく発光が
、第２回めのときは化学発光反応が継続する物質のみに
基づく発光が検出出来るので、２つの測定値からそれぞ
れの発光物質を分析することが可能である。
また、化学発光反応が数秒間継続する化学種間にも、そ
の継続時間には個々の化合物毎に差異があるので、輻射
エネルギーを受光検出する時期を８回またはそれ以上に
することによシ、各回の測定結果を解析して更に詳細に
サンプルガス中に含まれる化学種を識別分析することも
可能である。
の継続時間には個々の化合物毎に差異があるので、輻射
エネルギーを受光検出する時期を８回またはそれ以上に
することによシ、各回の測定結果を解析して更に詳細に
サンプルガス中に含まれる化学種を識別分析することも
可能である。
本発明で用いるセンサーとしては、光電子増倍管、光半
導体などが適当である。
導体などが適当である。
以下、本発明の方法を実施するための装置の具体的態様
を、図面を参照し々から更に説明する。
を、図面を参照し々から更に説明する。
第１図は本発明の装置の１実施態様を説明するための概
要図であり、第１図において、８は前置反応室ともいう
べき第１反応室であり、サンプルガス導入用の導管２と
オゾン導入用の導管１とが第１反応室８の入口直前で打
合わされており、両ガスがこの反応室８で混合されると
同時にサンプルガス中の化学発光物質は化学発光反応を
起す。
要図であり、第１図において、８は前置反応室ともいう
べき第１反応室であり、サンプルガス導入用の導管２と
オゾン導入用の導管１とが第１反応室８の入口直前で打
合わされており、両ガスがこの反応室８で混合されると
同時にサンプルガス中の化学発光物質は化学発光反応を
起す。
サンプルガス中のＮｏに基づく継続時間の短い化学発光
は、混合ガスが第２反応室４に入る時期にはすっかり減
衰しているが、無機水素化物に基づ〈継続時間の長い発
光は第２反応室４中でも続いており、これが１７０乃至
７００ｎｍの全波長を透過する石英製の光学窓５を通し
てセンサー７に入光するので、ＮＯの妨害なしにサンプ
ルガス中の無機水素化物の化学発光分析が可能となる。
は、混合ガスが第２反応室４に入る時期にはすっかり減
衰しているが、無機水素化物に基づ〈継続時間の長い発
光は第２反応室４中でも続いており、これが１７０乃至
７００ｎｍの全波長を透過する石英製の光学窓５を通し
てセンサー７に入光するので、ＮＯの妨害なしにサンプ
ルガス中の無機水素化物の化学発光分析が可能となる。
第１図では第１反応室３と第２反応室４とが導管８を介
して連結されているが、第２図に示す如く導管８を欠い
た構造になっていても差支えない。
して連結されているが、第２図に示す如く導管８を欠い
た構造になっていても差支えない。
第２図は反応室まわりの構造を示す図で、（Ａ）は側断
面図、（Ｂ）は平断面図であるが、この例では第１反応
室３の出口が第２反応室４の入口に直結されている。
面図、（Ｂ）は平断面図であるが、この例では第１反応
室３の出口が第２反応室４の入口に直結されている。
第８図は本発明の装置の別の実施態様を説明するための
概要図であり、第３図において、第１反応室８にはサン
プルガス導入用の導管１とオゾン導入用の導管２および
混合ガスを第２反応室４へと導出する導管８とが配設さ
れており、こ＼で生起した化学発光は光学窓５を通して
センサー７に入光し、電気信号１１を与える。導管８を
経た混合ガスは第２反応室４に入り、こ＼で尚発光を継
続している寿命の長い化学発光は光学窓９を通してセン
サー１０に入光し電気信号１２を与える。
概要図であり、第３図において、第１反応室８にはサン
プルガス導入用の導管１とオゾン導入用の導管２および
混合ガスを第２反応室４へと導出する導管８とが配設さ
れており、こ＼で生起した化学発光は光学窓５を通して
センサー７に入光し、電気信号１１を与える。導管８を
経た混合ガスは第２反応室４に入り、こ＼で尚発光を継
続している寿命の長い化学発光は光学窓９を通してセン
サー１０に入光し電気信号１２を与える。
電気信号１３は電気信号１１から電気信号１２を減じた
値を意味する。この様に構成することにより、サンプル
ガス中の無機水素化物などの寿命の長い化学発光物質と
、ＮＯのような寿命の短い化学発光物質との含有量を電
気信号１２および１３として検出することが出来る。
値を意味する。この様に構成することにより、サンプル
ガス中の無機水素化物などの寿命の長い化学発光物質と
、ＮＯのような寿命の短い化学発光物質との含有量を電
気信号１２および１３として検出することが出来る。
本発明においては、測光スペクトルを限定せず、全波長
を透過する石英々どの窓材を使用出来るので、特開昭５
７−１９６１８８号に開示されている発明のような光学
フィルター使、用による透過率のための測光強度の損失
も少なく、検出感度が著しく向上する。
を透過する石英々どの窓材を使用出来るので、特開昭５
７−１９６１８８号に開示されている発明のような光学
フィルター使、用による透過率のための測光強度の損失
も少なく、検出感度が著しく向上する。
実施例
第２図に示す装置を使用して０．５ ｐｐｍのホスフィ
ンを含む窒素ガス、 ８．７４ ｐｐｍのＮＯを含む窒
儀） 素ガスおよび０．５ ｐｐｍのホスフィンと８．７４
ｐｐｍのＮｏとを含む窒素ブスの化学発光分析を行々つ
た。但し、第２図において、ａ＝＝１０朋メ、ｂ＝８０
朋〆、ｃ＝１３＋＋＋ｍでありｌは０ｍｌ１＋即ち第１
反応室を設け々い場合および５２．５１ｎｍの装置を使
用した。
ンを含む窒素ガス、 ８．７４ ｐｐｍのＮＯを含む窒
儀） 素ガスおよび０．５ ｐｐｍのホスフィンと８．７４
ｐｐｍのＮｏとを含む窒素ブスの化学発光分析を行々つ
た。但し、第２図において、ａ＝＝１０朋メ、ｂ＝８０
朋〆、ｃ＝１３＋＋＋ｍでありｌは０ｍｌ１＋即ち第１
反応室を設け々い場合および５２．５１ｎｍの装置を使
用した。
まづ、第１反応室を設けない装置を用いて導管ｌよりサ
ンプルガスを１．５５ ｃｃ ／ ｍｉｎ 、 導管
２よりオゾンを１２ Ｑ ｃｃ ／ ｍｉｎ 反応室
圧カー５５０ｔｎｍ Ｈｇの条件で反応室に導入して、
こ＼で発生する化学発光をセンサー７で受光したところ
、０．５ｐｐｍのホスフィンを含むサンプルについての
センサーの出力を１００としたとき、３．７４ｐｐｍの
ＮＯを含むサンプルの場合の出力１４９３．５．ホスフ
ィンとＮＯとを含むサンプルの場合の出力は１９８を示
し、ホスフィンの検出をＮｏが大きく妨害した。
ンプルガスを１．５５ ｃｃ ／ ｍｉｎ 、 導管
２よりオゾンを１２ Ｑ ｃｃ ／ ｍｉｎ 反応室
圧カー５５０ｔｎｍ Ｈｇの条件で反応室に導入して、
こ＼で発生する化学発光をセンサー７で受光したところ
、０．５ｐｐｍのホスフィンを含むサンプルについての
センサーの出力を１００としたとき、３．７４ｐｐｍの
ＮＯを含むサンプルの場合の出力１４９３．５．ホスフ
ィンとＮＯとを含むサンプルの場合の出力は１９８を示
し、ホスフィンの検出をＮｏが大きく妨害した。
次にｌ ＝ ５２．５ ｉｎの第１反応室を有する装置
を用いて同様な流量および反応室圧力下で実験を行々つ
だところ、０．５ＴＩＩ）ｍのホスフィンを含むサン
１゜プルについてのセンサー出力は５９５と、発光
が第２反応室でも継続していることを示したが、３、７
４ ｐｐｍのＮＯを含むサンプルの場合は発光はすっか
り減衰し、わずかに０６のセンサー出力を示し、た。ホ
スフィンとＮＯとを含むサンプルの場合は、ホスフィン
のみを含むサンプルの場合とはソ同等のセンサー出力を
示し、この条件で測定すれば、ＮＯの妨害なしにホスフ
ィンのみを分析出来ることを示した。
を用いて同様な流量および反応室圧力下で実験を行々つ
だところ、０．５ＴＩＩ）ｍのホスフィンを含むサン
１゜プルについてのセンサー出力は５９５と、発光
が第２反応室でも継続していることを示したが、３、７
４ ｐｐｍのＮＯを含むサンプルの場合は発光はすっか
り減衰し、わずかに０６のセンサー出力を示し、た。ホ
スフィンとＮＯとを含むサンプルの場合は、ホスフィン
のみを含むサンプルの場合とはソ同等のセンサー出力を
示し、この条件で測定すれば、ＮＯの妨害なしにホスフ
ィンのみを分析出来ることを示した。
上記と同様の実験を導管ｌよりオゾンを１２０ｃｃ ／
ｍｉｎ 、 導管２よりサンプルガスを１５５ＣＯ／
ｍｉｎの流量条件で、他の条件は全く同様にして行な
ったところ、この場合もｔ ＝ ５′２．５ ａｍの第
１反応室を有する装置を用いて測定すれば、ＮＯの妨害
なしにホスフィンのみを選択的に検出分析出来ることを
示した。
ｍｉｎ 、 導管２よりサンプルガスを１５５ＣＯ／
ｍｉｎの流量条件で、他の条件は全く同様にして行な
ったところ、この場合もｔ ＝ ５′２．５ ａｍの第
１反応室を有する装置を用いて測定すれば、ＮＯの妨害
なしにホスフィンのみを選択的に検出分析出来ることを
示した。
第１図および第３図は本発明の装置の実施態様を説明す
るための概要図であり、第２図は他の実施態様における
反応室まわりの構造を示すだめの図で、（Ａ）は側断面
図、（Ｂ）は平断面図である。 ゛丁、２．８・・・導 管 ８・・・第１反応室 ゛ ４・・・第′２反応室 ５．９・・・光学窓 ７．１０・・・センサー 特許出願人 日本サーモエレクトロン株式会社手続
補正書（自発） 昭和６０年 ８月２６日
るための概要図であり、第２図は他の実施態様における
反応室まわりの構造を示すだめの図で、（Ａ）は側断面
図、（Ｂ）は平断面図である。 ゛丁、２．８・・・導 管 ８・・・第１反応室 ゛ ４・・・第′２反応室 ５．９・・・光学窓 ７．１０・・・センサー 特許出願人 日本サーモエレクトロン株式会社手続
補正書（自発） 昭和６０年 ８月２６日
Claims (4)
- （１）オゾンの存在下におけるサンプルガス中の化学発
光物質の化学発光反応によつて放射される輻射エネルギ
ーを、センサーで受光して検出する化学発光物質の分析
方法において、サンプルガスとオゾンとを混合して化学
発光反応を開始せしめる時期を、化学発光反応により発
生している輻射エネルギーをセンサーで受光検出する時
期の少なくとも１回よりも先立たせることを特徴とする
化学発光物質の分析方法。 - （２）該化学発光物質が無機水素化物である、特許請求
の範囲第１項記載の分析方法。 - （３）２段以上の化学発光反応室が直列に配列されてい
て、その第１の反応室には、サンプルガスを導入するた
めの導管、オゾンを導入するための導管（これら２本の
導管は反応室入口の直前で打合わされていてもよい）お
よび混合ガスを第２反応室へと導出するための出口とが
配設されており、第２段以降の反応室には、前段の反応
室から導出された混合ガスを導入するための入口と、混
合ガスを後段の反応室または装置外へと導出するための
出口とを具備しており、且第２段以降の反応室には該反
応室で生起する化学発光を受光検出するためのセンサー
が、化学発光を透過する窓材を介して設けられているこ
とを特徴とする化学発光物質の分析装置。 - （４）該第１段の反応室にも、該反応室で生起する化学
発光を受光検出するためのセンサーが、化学発光を透過
する窓材を介して設けられている特許請求の範囲第３項
記載の分析装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15321084A JPS6156944A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 化学発光分析方法および装置 |
| DE19853525700 DE3525700A1 (de) | 1984-07-25 | 1985-07-18 | Verfahren und vorrichtung fuer chemilumineszenzanalyse |
| GB08518097A GB2163553B (en) | 1984-07-25 | 1985-07-18 | Method and apparatus for chemiluminescence analysis |
| FR8511395A FR2568376B1 (fr) | 1984-07-25 | 1985-07-25 | Procede et dispositif d'analyse par chimioluminescence |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15321084A JPS6156944A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 化学発光分析方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| JPS6156944A true JPS6156944A (ja) | 1986-03-22 |
Family
ID=15557449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15321084A Pending JPS6156944A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 化学発光分析方法および装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPS6156944A (ja) |
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- 1985-07-25 FR FR8511395A patent/FR2568376B1/fr not_active Expired
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Also Published As
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| GB2163553B (en) | 1988-05-25 |
| FR2568376A1 (fr) | 1986-01-31 |
| DE3525700A1 (de) | 1986-02-06 |
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| GB2163553A (en) | 1986-02-26 |
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