JPS6155402A - サ−ボ機構 - Google Patents

サ−ボ機構

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Publication number
JPS6155402A
JPS6155402A JP59177078A JP17707884A JPS6155402A JP S6155402 A JPS6155402 A JP S6155402A JP 59177078 A JP59177078 A JP 59177078A JP 17707884 A JP17707884 A JP 17707884A JP S6155402 A JPS6155402 A JP S6155402A
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JP
Japan
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input
spool
output
rack teeth
actuator
Prior art date
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Pending
Application number
JP59177078A
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English (en)
Inventor
Yasuo Kita
喜多 康雄
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Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
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Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
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Publication of JPS6155402A publication Critical patent/JPS6155402A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、入力部材に加えられる変位入力を増力し、そ
の変位入力に比例した変位量の倍力出力を得る場合に使
用されるサーボ機構に関するものである。
[従来の技術] この種のサーボ機構としては、出力部材を油圧アクチュ
エータ等によって作動させるようにするとともに、この
油圧アクチュエータの駆動回路に介設した切換弁を人力
部材に加えられる変位入力によって切換操作し得るよう
にし、さらに、前記出力部材の変位出力を前記切換弁に
フィードバックして該切換弁の弁体位置を修正し得るよ
うに構改することによって前述した倍力比例出力を得る
ことがてきるようにしたものがある。
しかしながら、従来のものは、前記出力部材の出力変位
をリンク等を介して前記切換弁にフ(−ドパ・ツクする
ようにしている。そのため、部品点数が多く構造が複雑
なものにならざるを得す、組立てにくく小型軽量化が難
しいという問題がある。
[発明が解決しようとする問題点] 本発明は、このような事情に着目してなされたもので、
その目的とするところは、部品点数が多く組立てもむつ
かしいという問題点を解消することができ、小型軽量化
され組立てが容易で信頼性の高いサーボ機構を提供する
ことにある。
また、本発明の第2の目的は、前述した小型軽量化され
組立ても容易で信頼性が高いという特徴に加え、さらに
、作動の高精度化を容易に図ることができるサーボ機構
を提供することにある。
[問題点を解決するための手段コ 本発明は、以上の目的を達成するために、一定方向に往
復運動可能な出力部材と、この出力部材を波体圧を利用
して往復動作させるアクチュエータと、前記出力部材に
対向配置され操作入力を受けて前記出力部材と平行な方
向に往復動作する入力部材と、この入力部材および前記
出力部材の相互に対向する部位にそれぞれ設けたラック
歯と、これら両ラック歯間に配設され前記入、出力部材
と平行な方向に往復運動可能なスプールと、このスプー
ルに軸着され前記両ラック歯に噛合するアイドルギアと
、前記スプールが中立位置にある場合には前記アクチュ
エータをロックしておき前記入力部材の移動により前記
スプールが非中立位置へ移動した際に前記アクチュエー
タを該スプールが中立位置に戻る方向へ作動させ得るよ
うに切換わる流体圧回路とを具備してなることを特徴と
するものである。
また、本発明は、前述した第2の目的を達成するために
、以上の構成要素に、さらに、前記スプールを一定方向
に弾性変位するスプリングを設けたことを特徴とするも
のである。
[作用コ かかる構成によれば、スプールが中立位置に保持されア
クチュエータがロックされている状態から、入力部材が
作動すると、これに付勢されてアイドルギアが出力部材
側のラック歯を足場にして転動することになり、それに
伴なって、スプールが前記入力部材の移動距離に比例し
たある距離だけ該入力部材と同一方向へ移動しようとす
る。その結果、液圧回路が切換わって前記アクチュエー
タが作動し、出力部材が前記スプールを元の中立位置に
戻す方向に移動するので結果的にはスプールは殆ど静止
する。そのため、この出力部材は、常に、前記入力部材
と逆の方向に該入力部材の移動距離に比例した距離だけ
移動することになる。
[実施例] 以下、本発明を回転形流体工2ルギ変換機におけるビン
トルの位置調整用として使用した場合の一実施例につき
図面を参照して説明する。
ハウジング1の内周に、トルクリング2を複数の第1静
圧ベアリング3・・・を介して回転可能に嵌合させてい
る。ハウジング1は、一端に開口部1aを有した有底円
錐体状のもので、その内周の前記トルクリング2が嵌合
する部位には、前記開口部1a方向に漸次小径となるテ
ーパ面4が形成されている。また、トルクリング2は、
前記テーパ面4と同一円錐角の周壁2aを有した力・ン
プ状のもので、その一端軸6部には回転軸6゛が一体に
突設されており、この回転軸6の先端には前記開口部1
aを通して/\ウジング1外に臨ませてある。また、第
1の静圧ベアリング3は、前記トルクリング3の外周所
要個所に前記ハウジング1のテーバirn 4に添接す
るシュー5を固着するとともに、このシュー5に3個の
圧カポケラh7a。
7b、7cを軸方向に隣接させて形成し、これら各圧カ
ポ斤ット7a、7b、7c内に流体圧を導入するように
したものである。そして、奇数個の静圧ベアリング3・
・・が円周方向に等角間隔をあけて配設されている。ま
た、前記トルクリング2の内周の前記各第1の静圧ベア
リング3・φ・に対応する部位に内平面2Cを形成して
いる。そして、このトルクリング2の内周の前記各内平
面2c・・・に対応する部位にそれぞれピストン8・m
−を配設し、これら各ピストン8・・・の先端部8a1
1e・を第2の静圧ベアリング9拳争・を介して対応す
る内平面2C・・・に添接させている。第2の静圧ベア
リング9は、前記ピストン8の先端面8aを前記内平面
2C・・・に密着するように平面状に形成するとともに
、この先端面8aに圧力ポケット11を形成し、この圧
力ポケット11内に流体圧を導入するようにしたもので
ある。また、前記各ピストン8・・・の基端部をピスト
ン保持構体12によって保持し、該ピストン保持構体1
2と前記各ピストン8・・・との間に流体を導入するた
めの空間13・・・を形成している。すなわち、ピスト
ン保持構体12は、前記ハウジング1およびトルクリン
グ2の軸心、つまり、回転軸心mと平行な軸心nを有し
摺動部!4aを前記ハウジング1に支持させたビントル
14と、このビントル14の外周に回転可能に嵌着した
リング状のシリンダバレル15とからなり、このシリン
ダバレル15には前記ビントル14の外周面と略直交す
る軸心を有した複数のシリンダ16・・・が円周方向に
等角間隔をあけて放射状に形成されている。そして、こ
れら各シリンダ1611・ψに前記各ピストン81II
I・がスライド自在に嵌合させてあり、これら各ピスト
ン8・・・の基端面8b・・・と前記各シリンダ16・
ψ・の内面とによって前記空間13Φ・・が形成されて
いる。なお、前記シリンダバレル15は、オルダム継手
20等を介して前記トルクリング2に接続され、該トル
クリング2と同一の角速度で回転するようになっている
。また、前記ビントル14は、その外周面を前記トルク
リング2の周壁2aの円錐角と略等しい円錐面となした
截頭円錐形のものであり、前記各ピストン8・・・は前
記トルクリング2の周壁2aと直交する方向に進退し得
るように保持されている。そして、このビントル14の
摺動部14aは横断面台形の縦長ブロック状に成形され
ており、前記/\ウジング1の内部に設けた台形溝19
内に摺動可動に嵌合させである。すなわち、このビント
ル14は前記回転軸心mと直交する方向に摺動可能に保
持されており、それによって該ビントル14の軸心nと
前記軸心mとの離間距離りを零を含む所望の値に調節す
ることができるようになっている。そして、第2図に示
すように前記/\ウジングl内を、前記ビントル14の
摺動方向と一致する仮想分割線Pを境にして第1領域A
と第2領域Bとに2分割し、前記第1領域A内を通過中
の前記空間13會・・を第1の流体流通系路21に連通
させるとともに、第2領域B内を通過中の前記空間13
・・・を第2の流体流通系路22に連通させている。第
1の流体流通系路21は、前記各空間13・拳・をシリ
ンダバレル15の内周面に開口させる流体流路23・・
・と、一端をビントル14の外周面の第1領域A側の部
位に開口させ他端をビントル14の摺動部14aにおけ
る第2領域B側の斜面14bに開口させたビントル貫通
ポート24と、このビントル貫通ポート24の他端に対
応させて前記ハウジング1に穿設した流体流出入口25
とを具備してなる。そして、前記ビントル貫通ポート2
4の一端に、前記ビントル14の外周面と前記シリンダ
バレル15の内周面との間に第3の静圧ベアリング26
を形成するための圧力ポケット27を設けるとともに、
他端に前記ビントル14の斜面14bと前記ハウジング
1の内面との間に第4の静圧ベアリング28を形成する
ための圧力ポケット29を設けている。前記圧力ポケッ
ト27は円周方向に細長なもので、第1望域Aに存在す
るすべての空間13・・・を前記ビンI・ル貫通ポート
24に連通させる役割をも担っている。また、前記圧力
ポケット29は、前記ビントル14の摺動方向に細長な
もので、該ビントル14を摺動させた場合に前記ビント
ル貫通ポートト24と前記流体流出入口25との連通が
断たれるのを防止する役割をも担っている。一方、第2
の流体流通系路22は、前記流体通路23・・・と、一
端をビントル14の外周面の第2領域B側の部位に開目
させ他端をビントル14の摺動部14aにおける第1領
域A側の斜面14cに開口させたビントル貫通ポート3
4と、このビントル貫通ポート34の他端に対応yせて
前記ハウジング1に穿設した流体流出入口35とを具備
してなる。そして、前記ビントル貫通ポート34の一端
に、前記ビントル14と前記シリンダバレル15との間
に第3の静圧ベアリング36を形成するための圧力ポケ
、・、ト37を設けるとともに、他端に前記ビントル1
4の斜面14cと前記ハウジング1の内面との間に第4
の静圧ベアリング38を形成するための圧力ポケット3
9を設けている。なお、これらの圧力ポケット37.3
9は前記圧力ポケット27.29と同様な構成のもので
ある。
また、このようなものにおいて、前記各ピストン8に対
応する空間13内の流体圧を該ピストン8の軸心部に設
けた圧力導入路41を介して対応する第2の静圧ベアリ
ング9の圧力ポケット11内に導くとともに、該圧カポ
ケット11内の流体圧を前記トルクリング2に穿設した
流体通路42a、42b、42cを介して対応する第1
の静圧ベアリング3の圧力ポケッl−7a 、 7 b
 、 7 cに導びくようにしている。そして、これら
の流体通路42a、42b、42cと前記圧力ポケット
11とによってスライドパルプ要素50を構成している
。すなわち、このスライドバルブ要素50は、前記ピス
トン8と前記トルクリング2との軸方向の相対変位動作
を利用して前記各圧力ポケッ1−7 a 、 7 b 
、 7 cへの流体の供給を選択的に断続させるための
もので、前記第1の静圧ベアリング3の位置的中心と前
記ピストン8の中心との軸方向のずれが一定範囲内の場
合には、前記圧力ポケット11が全ての流体通路42a
、42b、42cに連通しているが、前記位置的中心と
前記ピストン8の中心との軸方向、の位置ずれが一定以
上になった場合には、前記ピストン8から遠い側の流体
通路42cまたは42aと前記圧力ポケット11との連
通が断たれるようにしである。なお、前記流体通路42
a、42b、42cの途中には、それぞれ絞り40a、
40b、40cがそれぞれ設けである。そして、前記両
静圧ベアリング3.9の方向および面積は、第1の静圧
ベアリング3に導入された流体の静圧によって前記トル
クリング2に作用する力と第2の静圧ベアリング9に導
入された流体の静圧によって前記トルクリング2に作用
する力とが、大きさが等しく向きが反対になるような値
に設定されている。また、前記第2の静圧ベアリング9
の面積は、該静圧ベアリング9に導入された流体の静圧
によって前記ピストン8に作用する力と前記空間13内
の流体の静圧によって前記ピストン8に作用する力とが
相殺し合うような値に設定されている。さらに、前記第
3の静圧ベアリング26(36)の面積は、該静圧ベア
リング26(36)に導入された静圧によって前記シリ
ンダバレル15に作用する力と、対応する領域A (B
)に存在する空間13内の流体の静圧によって前記シリ
ンダバレル15に作用する力とが相殺し合うような値に
設定されている。また、前記第4の静圧ベアリング28
(38)および該静圧ベアリング28(38)が設けら
れている斜面14b(14c)の傾斜角度は、該静圧ベ
アリング28(38)に導入された流体の静圧によって
前記ビントル14に作用する力と、前記斜面14b(1
4C)と対向する領域A(B)に存在する第3のベアリ
ング26(36)に導入された流体の静圧によって前記
ビントル14に作用する力とが相殺し合うような値に設
定されている。
なお、43はシール部材、44は前記回転軸を補助的に
支承するベアリングである。
そして、このような可変容量形の流体エネルギ変換機に
おいて、入力される電気的なデジタル信けを機械的な変
位量に変換するステッピングモータ51と、このステッ
ピングモータ51の出力変位品゛に比例させてビントル
14を往復動作させるサーボ機構52とを設けている。
前記サーボ機構52は、一定方向に往復運動可能な出力
部材たる前記ピン)・ル14と、このビントル14を流
体圧を利用して往復動作させるアクチュエータ53と、
前記ビントル14に対向配置され操作入力を受けて前記
ビントル14と平行な方向に往復動作する入力部材54
と、この入力部材54および前記ビントル14の相互に
対向する部位にそれぞれ設けたラック歯55.56と、
これら両ラック歯55.56間に配設され前記入力部材
54と平行な方向に往復連動可能なスプール57と、こ
のスプール57に軸着され前記両ラック歯55.56に
噛合するアイドルギア58と、前記スプール57が中立
位置にある場合には前記アクチュエータ53をロックし
ておき前記入力部材57の移動により前記スプール57
が非中立位置へ移動した際に前記アクチュエータ53を
該スプール57が中ケ位置に戻る方向へ作動させ得るよ
うに切換わる略体圧回路59とを具備してなる。詳述す
れば、前記アクチュエータ53は、前記ビントル14の
摺動部14aの長手方向両端部に設けた対をなすBE体
圧シリング61.62を主体にして構成されている。流
体圧シリンダ61.62は、前記ビントル14の摺動部
14a(7)各端面14d 、14eに開口させて設け
たシリンダ穴61a、62a+こ円筒体状のピストン6
1b、62bをスライド可能に嵌合させたもので、これ
ら各ピストン61b、62bを前記シリンダ穴61a、
62a内に収容したスプリング61c、62cにより外
方Δ。
付勢してその外方端を対向する前記/\ウジングlの内
面1a’、lbにシール部材61d、62dを介して常
時雄接させるようにしている。そして。
前記ハウジング1の内面1a、lbに、前記各シリンダ
穴61a、62a内に連通ずる流出入口61e 、62
eを設けている。また、前記入力部材54は、断面コの
字形のカバー63内にスライド可能に収容された角柱状
のもので、その軸心部にネジ孔54aを有している。そ
して、この入力部材54を前記ステッピングモータ51
の出力軸64に設けたネジ部64aに螺合させている。
また、前記スプール57は、両端近傍部にそれぞれラン
ド65.66を有しており、その両端部分を前記ハウジ
ング1と前記カバー63との間に介設したポートブロッ
ク67内にスライド可能に嵌合させている。そして、こ
のポートブロック67と前記スプール57とによって、
前記ランド65.66の内方側に高圧用通路68.69
を形成するとともに、外方側に戻りポート71.72を
介してケースドレンに連通ずる低圧用通路73.74を
形成している。また、前記ボートブロック67の内周に
は、前記高圧用通路68.69に常時連通する高圧ポー
ト75.76と、前記各流体圧シリンダ61.62の流
出入口61e 、62eに連通する流出入ポート77.
78とが開口させである。そして、前記スプール57を
中立位置に保持している場合には、前記ランド65.6
6が前記流出入ポート77.78を閉塞するように設定
しである。また、このスプール57の中央部には、平坦
部が設けてあり、この平坦部の両側に対をなすアイドル
ギア58をピン軸81を介して回転自在に軸着している
。さらに、このスプール57の下端と前記ボートブロッ
ク67の内面との間には、該スプール57を常時−ヒ方
へ弾性偏倚するスプリング82が介在させである。そし
て、前記流体圧回路59は、前記圧力ポードア5.76
、前記高圧用通路68.69、前記流出入ポート77.
78、前記低圧用通路73.74および前記戻りポート
71.72により構成されている。なお、前記圧力ポー
ドア5.76は、高圧側の流体流通系路、つまり、この
実施例では、第1の流体流通系路21に連通させである
次いで、図示実施例の作動を説明する。
本体部分の基本的な作動については、特開昭58−77
179号公報に示される通りである。すなわち、高圧の
流体を、第1の流体流通系路21を通して第1領域Aに
存在する空間1311・・内に供給するとトルクリング
2に、該トルクリング2を矢印S方向へ回転させようと
する偶力が発生し、モータとしての機能が発揮される。
また、前記トルクリング2を外力によって矢印R方向へ
回転させれば、高圧の流体が前記第1の流体流通系路2
1から吐出されることになり、ポンプとしての機能が営
まれる。そして、前記ビントル14を台形溝19に沿っ
て往復動作させて、その軸心nのハウジング1の−h心
mに対する偏心量を変更することによって、その容量を
調節することができるものである。
次いで、その容量を可変制御する部分の作動について説
明する。まず、ステッピングモータ51が停止1−して
おり、スプール57が第1図に示すような中立位置に保
持されている場合には、このスプール57のランド65
.66によって流出入ポート77.78が閉塞されてい
るため、アクチュエータ53の両流体圧シリンタロ1.
62はロックされ、ビントル14は一定位置に保持され
る。この状態から1図示しないコンピュータ等からの指
令によってステッピングモータ51が作動し、その出力
軸64が所要角度だけ回転すると、この出力軸64のネ
ジ部64aに螺合させたサーボ機構52の入力部材54
が、前記ビントル14の作動方向と平行な方向に進退動
作することになる。今、前記入力部材54が第1図に示
す状態から」1方へ移動したとする。そうすると、この
入力部材54のラック歯55に噛合しているアイドルギ
ア58が、停止しているビントル14のラック歯56を
足場にして上方へ転動することになる。
その結果、このアイドルギア58の中心部にピン軸81
を介して連結しであるスプール57が、前記入力部材5
4の作動距離の半分の距離だけ上方へ移動しようとする
。それにより、一方の圧力ポードア5と一方の流出入ポ
ート77とが高圧用通路68を介して連通ずることにな
る。その結果、第1の流体流通系路21内の高圧流体の
一部が前記各ポート75.77を通して一方のシリンダ
61の流出入口61eに供給されることになり、その圧
力流体がシリンダ六り1a内(と導入される。このとき
、他方の流出入ポート78は、他方の低圧用通路74を
介して戻りポート72に連通ずることになる。そのため
、前記一方のシリンダ61に供給された高圧流体の圧力
によって、前記ビントル14が下方へ移動することにな
る。ビントル14が下方へ移動すると、前記アイドルギ
ア58が前記入力部材54のラック歯55を足場にして
下方へ転動することになり、それに伴なって前記スプー
ル57が下方へ移動させられる。そして、このスプール
57が前述した中立位置にまで復帰した段階で、前記両
流出入ポート77.78が再び前記ランド65.66に
よって閉塞されることになり、前記両シリンダ61.6
2が元のようにロックされる。したがって、前記ビント
ル14は、前記入力部材54と同一距離だけ逆方向に移
動して停止することになる。次ぎに、前記入力部材54
が下方へ移動した場合には、以上の説明とは上下が逆に
なり、前記ビントル14が前記入力部材54の移動距離
と同一の距離だけ上方へ移動することになる。
よって、ステッピングモータ51の正逆回転量に対応す
る距離だけ、ビントル14を対応する方向に往復動作さ
せることができ、前記ステッピングモータ51に供給さ
れるデジタル信号に対応させてその容量を適宜変化させ
ることができる。
しかして、このサーボ機構52は、入力部材54と出力
部材たるビントル14との間にアイドルギア58を介在
させ、このアイドルギア58の転動作用によって前記入
力部材54から前記スプール67への入力変位の伝達お
よび、前記ビントル14から前記スプール57へのフィ
ードバック変位の伝達を行えるようにしているので、リ
ンク等を用いてフィードバックを行うものに比べて部品
点数が遥かに少なく、構造が簡略なものになる。
そのため、大幅な小形化ならびに軽量化を図ることがで
きるものである。また、前記スプール57をスプリング
82によって一定方向に常時弾性偏倚しておけば、前記
アイドルギア58の歯が前記両ラック歯55.56に常
時弾接させられることになるため、該アイドルギア58
と前記ラック歯55.56とのがたつきをなくすことが
できる。
すなわち、パ・ンクラシュの彰響をなくすことが可能と
なる。そのため、微妙な調整が可能そ、精度の高い目標
位置制御を行うことができるものである。
また実施例では出力部材の移動歇が入力部材の変位!市
に等しい場合について説明したが、例えば第4図、第5
図に示すごとく、半径比の異なるアイドルギアを組にし
て使用すれば入力部材に比例した量を(拡大、縮小いず
れもそれぞれのラックとギヤの仕方で可能)移動させる
ことができるごとく、種々変形が可能である。すなわち
アイドルギア58bはランク歯56に噛み合い、小型の
アイドルギア58aがラック歯55に噛み合う形になっ
ている。
なお、前記実施例では、入力部材をステッピングモータ
によって作動させるようにした場合について説明したが
、本発明は、必ずしもこのようなものに限られないのは
勿論であり、例えば、前記入力部材を手動で操作出来る
ようにするなど種々変形が可能である。
また、本発明は、ビントルの位置制御に限らず、他の種
々な分野に適用が可能である。
[発明の効果] 本発明は、以」−のような構成であるから、部品点数が
多く構造の複雑化を招くという問題点を解消することが
でき、小型軒量化が容易で信頼性の高いサーボ機構を提
供できるものである。
また、特許請求の範囲第2項記載の発明によれば、前記
の効果に加えて、さらに、高精度の制御を行うことがで
きるという効果も得られるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す断面図、第2図は第1
図におけるII −II線断面図、第3図は第1図にお
ける■−■線断面図、第4図は変形実施例を示す図、第
5図は第4図V−V線断面図である。 1III111ハウジング 2彎・・ トルクリング 13・・・空間 14・・・出力部材(ビントル) 51−・・ステッピングモータ 52拳・・サーボ機構 53・1アクチユエータ 54φ・・入力部材 55.56・―・う・ンク歯 57・1スプール 58・・拳アイドルギア 59・・◆流体圧回路 82・・・スプリング

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1) 一定方向に往復運動可能な出力部材と、この出
    力部材を流体圧を利用して往復動作させるアクチュエー
    タと、前記出力部材に対向配置され操作入力を受けて前
    記出力部材と平行な方向に往復動作する入力部材と、こ
    の入力部材および前記出力部材の相互に対向する部位に
    それぞれ設けたラック歯と、これら両ラック歯間に配設
    され前記入、出力部材と平行な方向に往復運動可能なス
    プールと、このスプールに軸着され前記両ラック歯に噛
    合するアイドルギアと、前記入力部材の移動により前記
    スプールが非中立位置へ移動した際に前記アクチュエー
    タを該スプールが中立位置に戻る方向へ作動させ得るよ
    うに切換わる流体圧回路とを具備してなることを特徴と
    するサーボ機構。
  2. (2) 一定方向に往復運動可能な出力部材と、この出
    力部材を流体圧を利用して往復動作させるアクチュエー
    タと、前記出力部材に対向配置され操作入力を受けて前
    記出力部材と平行な方向に往復動作する入力部材と、こ
    の入力部材および前記出力部材の相互に対向する部位に
    それぞれ設けたラック歯と、これら両ラック歯間に配設
    され前記入、出力部材と平行な方向に往復運動可能なス
    プールと、このスプールに軸着され前記両ラック歯に噛
    合するアイドルギアと、前記スプールを一定方向に常時
    弾性偏倚して前記アイドルギアと前記各ラック歯との間
    のバックラッシュを防止するスプリングと、前記入力部
    材の移動により前記スプールが非中立位置へ移動した際
    に前記アクチュエータを該スプールが中立位置に戻る方
    向へ作動させ得るように切換わる流体圧回路とを具備し
    てなることを特徴とするサーボ機構。
JP59177078A 1984-08-25 1984-08-25 サ−ボ機構 Pending JPS6155402A (ja)

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5261695A (en) * 1975-11-14 1977-05-21 Ouji Seiki Kougiyou Kk Proportional remote control using hydraulic bridge circuit
JPS5425596U (ja) * 1977-07-22 1979-02-20
JPS5840037A (ja) * 1981-09-03 1983-03-08 Kanebo Shokuhin Kk 乾燥きのこの製法

Patent Citations (3)

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