JPS6155402A

JPS6155402A - サ−ボ機構

Info

Publication number: JPS6155402A
Application number: JP59177078A
Authority: JP
Inventors: Yasuo Kita; 喜多　康雄
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 1984-08-25
Filing date: 1984-08-25
Publication date: 1986-03-19

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、入力部材に加えられる変位入力を増力し、そ
の変位入力に比例した変位量の倍力出力を得る場合に使
用されるサーボ機構に関するものである。

［従来の技術］この種のサーボ機構としては、出力部材を油圧アクチュ
エータ等によって作動させるようにするとともに、この
油圧アクチュエータの駆動回路に介設した切換弁を人力
部材に加えられる変位入力によって切換操作し得るよう
にし、さらに、前記出力部材の変位出力を前記切換弁に
フィードバックして該切換弁の弁体位置を修正し得るよ
うに構改することによって前述した倍力比例出力を得る
ことがてきるようにしたものがある。

しかしながら、従来のものは、前記出力部材の出力変位
をリンク等を介して前記切換弁にフ（−ドパ・ツクする
ようにしている。そのため、部品点数が多く構造が複雑
なものにならざるを得す、組立てにくく小型軽量化が難
しいという問題がある。

［発明が解決しようとする問題点］本発明は、このような事情に着目してなされたもので、
その目的とするところは、部品点数が多く組立てもむつ
かしいという問題点を解消することができ、小型軽量化
され組立てが容易で信頼性の高いサーボ機構を提供する
ことにある。

また、本発明の第２の目的は、前述した小型軽量化され
組立ても容易で信頼性が高いという特徴に加え、さらに
、作動の高精度化を容易に図ることができるサーボ機構
を提供することにある。

［問題点を解決するための手段コ本発明は、以上の目的を達成するために、一定方向に往
復運動可能な出力部材と、この出力部材を波体圧を利用
して往復動作させるアクチュエータと、前記出力部材に
対向配置され操作入力を受けて前記出力部材と平行な方
向に往復動作する入力部材と、この入力部材および前記
出力部材の相互に対向する部位にそれぞれ設けたラック
歯と、これら両ラック歯間に配設され前記入、出力部材
と平行な方向に往復運動可能なスプールと、このスプー
ルに軸着され前記両ラック歯に噛合するアイドルギアと
、前記スプールが中立位置にある場合には前記アクチュ
エータをロックしておき前記入力部材の移動により前記
スプールが非中立位置へ移動した際に前記アクチュエー
タを該スプールが中立位置に戻る方向へ作動させ得るよ
うに切換わる流体圧回路とを具備してなることを特徴と
するものである。

また、本発明は、前述した第２の目的を達成するために
、以上の構成要素に、さらに、前記スプールを一定方向
に弾性変位するスプリングを設けたことを特徴とするも
のである。

［作用コかかる構成によれば、スプールが中立位置に保持されア
クチュエータがロックされている状態から、入力部材が
作動すると、これに付勢されてアイドルギアが出力部材
側のラック歯を足場にして転動することになり、それに
伴なって、スプールが前記入力部材の移動距離に比例し
たある距離だけ該入力部材と同一方向へ移動しようとす
る。その結果、液圧回路が切換わって前記アクチュエー
タが作動し、出力部材が前記スプールを元の中立位置に
戻す方向に移動するので結果的にはスプールは殆ど静止
する。そのため、この出力部材は、常に、前記入力部材
と逆の方向に該入力部材の移動距離に比例した距離だけ
移動することになる。

［実施例］以下、本発明を回転形流体工２ルギ変換機におけるビン
トルの位置調整用として使用した場合の一実施例につき
図面を参照して説明する。

ハウジング１の内周に、トルクリング２を複数の第１静
圧ベアリング３・・・を介して回転可能に嵌合させてい
る。ハウジング１は、一端に開口部１ａを有した有底円
錐体状のもので、その内周の前記トルクリング２が嵌合
する部位には、前記開口部１ａ方向に漸次小径となるテ
ーパ面４が形成されている。また、トルクリング２は、
前記テーパ面４と同一円錐角の周壁２ａを有した力・ン
プ状のもので、その一端軸６部には回転軸６゛が一体に
突設されており、この回転軸６の先端には前記開口部１
ａを通して／＼ウジング１外に臨ませてある。また、第
１の静圧ベアリング３は、前記トルクリング３の外周所
要個所に前記ハウジング１のテーバｉｒｎ　４に添接す
るシュー５を固着するとともに、このシュー５に３個の
圧カポケラｈ７ａ。

７ｂ、７ｃを軸方向に隣接させて形成し、これら各圧カ
ポ斤ット７ａ、７ｂ、７ｃ内に流体圧を導入するように
したものである。そして、奇数個の静圧ベアリング３・
・・が円周方向に等角間隔をあけて配設されている。ま
た、前記トルクリング２の内周の前記各第１の静圧ベア
リング３・φ・に対応する部位に内平面２Ｃを形成して
いる。そして、このトルクリング２の内周の前記各内平
面２ｃ・・・に対応する部位にそれぞれピストン８・ｍ
−を配設し、これら各ピストン８・・・の先端部８ａ１
１ｅ・を第２の静圧ベアリング９拳争・を介して対応す
る内平面２Ｃ・・・に添接させている。第２の静圧ベア
リング９は、前記ピストン８の先端面８ａを前記内平面
２Ｃ・・・に密着するように平面状に形成するとともに
、この先端面８ａに圧力ポケット１１を形成し、この圧
力ポケット１１内に流体圧を導入するようにしたもので
ある。また、前記各ピストン８・・・の基端部をピスト
ン保持構体１２によって保持し、該ピストン保持構体１
２と前記各ピストン８・・・との間に流体を導入するた
めの空間１３・・・を形成している。すなわち、ピスト
ン保持構体１２は、前記ハウジング１およびトルクリン
グ２の軸心、つまり、回転軸心ｍと平行な軸心ｎを有し
摺動部！４ａを前記ハウジング１に支持させたビントル
１４と、このビントル１４の外周に回転可能に嵌着した
リング状のシリンダバレル１５とからなり、このシリン
ダバレル１５には前記ビントル１４の外周面と略直交す
る軸心を有した複数のシリンダ１６・・・が円周方向に
等角間隔をあけて放射状に形成されている。そして、こ
れら各シリンダ１６１１・ψに前記各ピストン８１ＩＩ
Ｉ・がスライド自在に嵌合させてあり、これら各ピスト
ン８・・・の基端面８ｂ・・・と前記各シリンダ１６・
ψ・の内面とによって前記空間１３Φ・・が形成されて
いる。なお、前記シリンダバレル１５は、オルダム継手
２０等を介して前記トルクリング２に接続され、該トル
クリング２と同一の角速度で回転するようになっている
。また、前記ビントル１４は、その外周面を前記トルク
リング２の周壁２ａの円錐角と略等しい円錐面となした
截頭円錐形のものであり、前記各ピストン８・・・は前
記トルクリング２の周壁２ａと直交する方向に進退し得
るように保持されている。そして、このビントル１４の
摺動部１４ａは横断面台形の縦長ブロック状に成形され
ており、前記／＼ウジング１の内部に設けた台形溝１９
内に摺動可動に嵌合させである。すなわち、このビント
ル１４は前記回転軸心ｍと直交する方向に摺動可能に保
持されており、それによって該ビントル１４の軸心ｎと
前記軸心ｍとの離間距離りを零を含む所望の値に調節す
ることができるようになっている。そして、第２図に示
すように前記／＼ウジングｌ内を、前記ビントル１４の
摺動方向と一致する仮想分割線Ｐを境にして第１領域Ａ
と第２領域Ｂとに２分割し、前記第１領域Ａ内を通過中
の前記空間１３會・・を第１の流体流通系路２１に連通
させるとともに、第２領域Ｂ内を通過中の前記空間１３
・・・を第２の流体流通系路２２に連通させている。第
１の流体流通系路２１は、前記各空間１３・拳・をシリ
ンダバレル１５の内周面に開口させる流体流路２３・・
・と、一端をビントル１４の外周面の第１領域Ａ側の部
位に開口させ他端をビントル１４の摺動部１４ａにおけ
る第２領域Ｂ側の斜面１４ｂに開口させたビントル貫通
ポート２４と、このビントル貫通ポート２４の他端に対
応させて前記ハウジング１に穿設した流体流出入口２５
とを具備してなる。そして、前記ビントル貫通ポート２
４の一端に、前記ビントル１４の外周面と前記シリンダ
バレル１５の内周面との間に第３の静圧ベアリング２６
を形成するための圧力ポケット２７を設けるとともに、
他端に前記ビントル１４の斜面１４ｂと前記ハウジング
１の内面との間に第４の静圧ベアリング２８を形成する
ための圧力ポケット２９を設けている。前記圧力ポケッ
ト２７は円周方向に細長なもので、第１望域Ａに存在す
るすべての空間１３・・・を前記ビンＩ・ル貫通ポート
２４に連通させる役割をも担っている。また、前記圧力
ポケット２９は、前記ビントル１４の摺動方向に細長な
もので、該ビントル１４を摺動させた場合に前記ビント
ル貫通ポートト２４と前記流体流出入口２５との連通が
断たれるのを防止する役割をも担っている。一方、第２
の流体流通系路２２は、前記流体通路２３・・・と、一
端をビントル１４の外周面の第２領域Ｂ側の部位に開目
させ他端をビントル１４の摺動部１４ａにおける第１領
域Ａ側の斜面１４ｃに開口させたビントル貫通ポート３
４と、このビントル貫通ポート３４の他端に対応ｙせて
前記ハウジング１に穿設した流体流出入口３５とを具備
してなる。そして、前記ビントル貫通ポート３４の一端
に、前記ビントル１４と前記シリンダバレル１５との間
に第３の静圧ベアリング３６を形成するための圧力ポケ
、・、ト３７を設けるとともに、他端に前記ビントル１
４の斜面１４ｃと前記ハウジング１の内面との間に第４
の静圧ベアリング３８を形成するための圧力ポケット３
９を設けている。なお、これらの圧力ポケット３７．３
９は前記圧力ポケット２７．２９と同様な構成のもので
ある。

また、このようなものにおいて、前記各ピストン８に対
応する空間１３内の流体圧を該ピストン８の軸心部に設
けた圧力導入路４１を介して対応する第２の静圧ベアリ
ング９の圧力ポケット１１内に導くとともに、該圧カポ
ケット１１内の流体圧を前記トルクリング２に穿設した
流体通路４２ａ、４２ｂ、４２ｃを介して対応する第１
の静圧ベアリング３の圧力ポケッｌ−７ａ　、　７　ｂ
　、　７　ｃに導びくようにしている。そして、これら
の流体通路４２ａ、４２ｂ、４２ｃと前記圧力ポケット
１１とによってスライドパルプ要素５０を構成している
。すなわち、このスライドバルブ要素５０は、前記ピス
トン８と前記トルクリング２との軸方向の相対変位動作
を利用して前記各圧力ポケッ１−７　ａ　、　７　ｂ　
、　７　ｃへの流体の供給を選択的に断続させるための
もので、前記第１の静圧ベアリング３の位置的中心と前
記ピストン８の中心との軸方向のずれが一定範囲内の場
合には、前記圧力ポケット１１が全ての流体通路４２ａ
、４２ｂ、４２ｃに連通しているが、前記位置的中心と
前記ピストン８の中心との軸方向、の位置ずれが一定以
上になった場合には、前記ピストン８から遠い側の流体
通路４２ｃまたは４２ａと前記圧力ポケット１１との連
通が断たれるようにしである。なお、前記流体通路４２
ａ、４２ｂ、４２ｃの途中には、それぞれ絞り４０ａ、
４０ｂ、４０ｃがそれぞれ設けである。そして、前記両
静圧ベアリング３．９の方向および面積は、第１の静圧
ベアリング３に導入された流体の静圧によって前記トル
クリング２に作用する力と第２の静圧ベアリング９に導
入された流体の静圧によって前記トルクリング２に作用
する力とが、大きさが等しく向きが反対になるような値
に設定されている。また、前記第２の静圧ベアリング９
の面積は、該静圧ベアリング９に導入された流体の静圧
によって前記ピストン８に作用する力と前記空間１３内
の流体の静圧によって前記ピストン８に作用する力とが
相殺し合うような値に設定されている。さらに、前記第
３の静圧ベアリング２６（３６）の面積は、該静圧ベア
リング２６（３６）に導入された静圧によって前記シリ
ンダバレル１５に作用する力と、対応する領域Ａ　（Ｂ
）に存在する空間１３内の流体の静圧によって前記シリ
ンダバレル１５に作用する力とが相殺し合うような値に
設定されている。また、前記第４の静圧ベアリング２８
（３８）および該静圧ベアリング２８（３８）が設けら
れている斜面１４ｂ（１４ｃ）の傾斜角度は、該静圧ベ
アリング２８（３８）に導入された流体の静圧によって
前記ビントル１４に作用する力と、前記斜面１４ｂ（１
４Ｃ）と対向する領域Ａ（Ｂ）に存在する第３のベアリ
ング２６（３６）に導入された流体の静圧によって前記
ビントル１４に作用する力とが相殺し合うような値に設
定されている。

なお、４３はシール部材、４４は前記回転軸を補助的に
支承するベアリングである。

そして、このような可変容量形の流体エネルギ変換機に
おいて、入力される電気的なデジタル信けを機械的な変
位量に変換するステッピングモータ５１と、このステッ
ピングモータ５１の出力変位品゛に比例させてビントル
１４を往復動作させるサーボ機構５２とを設けている。

前記サーボ機構５２は、一定方向に往復運動可能な出力
部材たる前記ピン）・ル１４と、このビントル１４を流
体圧を利用して往復動作させるアクチュエータ５３と、
前記ビントル１４に対向配置され操作入力を受けて前記
ビントル１４と平行な方向に往復動作する入力部材５４
と、この入力部材５４および前記ビントル１４の相互に
対向する部位にそれぞれ設けたラック歯５５．５６と、
これら両ラック歯５５．５６間に配設され前記入力部材
５４と平行な方向に往復連動可能なスプール５７と、こ
のスプール５７に軸着され前記両ラック歯５５．５６に
噛合するアイドルギア５８と、前記スプール５７が中立
位置にある場合には前記アクチュエータ５３をロックし
ておき前記入力部材５７の移動により前記スプール５７
が非中立位置へ移動した際に前記アクチュエータ５３を
該スプール５７が中ケ位置に戻る方向へ作動させ得るよ
うに切換わる略体圧回路５９とを具備してなる。詳述す
れば、前記アクチュエータ５３は、前記ビントル１４の
摺動部１４ａの長手方向両端部に設けた対をなすＢＥ体
圧シリング６１．６２を主体にして構成されている。流
体圧シリンダ６１．６２は、前記ビントル１４の摺動部
１４ａ（７）各端面１４ｄ　、１４ｅに開口させて設け
たシリンダ穴６１ａ、６２ａ＋こ円筒体状のピストン６
１ｂ、６２ｂをスライド可能に嵌合させたもので、これ
ら各ピストン６１ｂ、６２ｂを前記シリンダ穴６１ａ、
６２ａ内に収容したスプリング６１ｃ、６２ｃにより外
方Δ。

付勢してその外方端を対向する前記／＼ウジングｌの内
面１ａ’、ｌｂにシール部材６１ｄ、６２ｄを介して常
時雄接させるようにしている。そして。

前記ハウジング１の内面１ａ、ｌｂに、前記各シリンダ
穴６１ａ、６２ａ内に連通ずる流出入口６１ｅ　、６２
ｅを設けている。また、前記入力部材５４は、断面コの
字形のカバー６３内にスライド可能に収容された角柱状
のもので、その軸心部にネジ孔５４ａを有している。そ
して、この入力部材５４を前記ステッピングモータ５１
の出力軸６４に設けたネジ部６４ａに螺合させている。

また、前記スプール５７は、両端近傍部にそれぞれラン
ド６５．６６を有しており、その両端部分を前記ハウジ
ング１と前記カバー６３との間に介設したポートブロッ
ク６７内にスライド可能に嵌合させている。そして、こ
のポートブロック６７と前記スプール５７とによって、
前記ランド６５．６６の内方側に高圧用通路６８．６９
を形成するとともに、外方側に戻りポート７１．７２を
介してケースドレンに連通ずる低圧用通路７３．７４を
形成している。また、前記ボートブロック６７の内周に
は、前記高圧用通路６８．６９に常時連通する高圧ポー
ト７５．７６と、前記各流体圧シリンダ６１．６２の流
出入口６１ｅ　、６２ｅに連通する流出入ポート７７．
７８とが開口させである。そして、前記スプール５７を
中立位置に保持している場合には、前記ランド６５．６
６が前記流出入ポート７７．７８を閉塞するように設定
しである。また、このスプール５７の中央部には、平坦
部が設けてあり、この平坦部の両側に対をなすアイドル
ギア５８をピン軸８１を介して回転自在に軸着している
。さらに、このスプール５７の下端と前記ボートブロッ
ク６７の内面との間には、該スプール５７を常時−ヒ方
へ弾性偏倚するスプリング８２が介在させである。そし
て、前記流体圧回路５９は、前記圧力ポードア５．７６
、前記高圧用通路６８．６９、前記流出入ポート７７．
７８、前記低圧用通路７３．７４および前記戻りポート
７１．７２により構成されている。なお、前記圧力ポー
ドア５．７６は、高圧側の流体流通系路、つまり、この
実施例では、第１の流体流通系路２１に連通させである
。

次いで、図示実施例の作動を説明する。

本体部分の基本的な作動については、特開昭５８−７７
１７９号公報に示される通りである。すなわち、高圧の
流体を、第１の流体流通系路２１を通して第１領域Ａに
存在する空間１３１１・・内に供給するとトルクリング
２に、該トルクリング２を矢印Ｓ方向へ回転させようと
する偶力が発生し、モータとしての機能が発揮される。

また、前記トルクリング２を外力によって矢印Ｒ方向へ
回転させれば、高圧の流体が前記第１の流体流通系路２
１から吐出されることになり、ポンプとしての機能が営
まれる。そして、前記ビントル１４を台形溝１９に沿っ
て往復動作させて、その軸心ｎのハウジング１の−ｈ心
ｍに対する偏心量を変更することによって、その容量を
調節することができるものである。

次いで、その容量を可変制御する部分の作動について説
明する。まず、ステッピングモータ５１が停止１−して
おり、スプール５７が第１図に示すような中立位置に保
持されている場合には、このスプール５７のランド６５
．６６によって流出入ポート７７．７８が閉塞されてい
るため、アクチュエータ５３の両流体圧シリンタロ１．
６２はロックされ、ビントル１４は一定位置に保持され
る。この状態から１図示しないコンピュータ等からの指
令によってステッピングモータ５１が作動し、その出力
軸６４が所要角度だけ回転すると、この出力軸６４のネ
ジ部６４ａに螺合させたサーボ機構５２の入力部材５４
が、前記ビントル１４の作動方向と平行な方向に進退動
作することになる。今、前記入力部材５４が第１図に示
す状態から」１方へ移動したとする。そうすると、この
入力部材５４のラック歯５５に噛合しているアイドルギ
ア５８が、停止しているビントル１４のラック歯５６を
足場にして上方へ転動することになる。

その結果、このアイドルギア５８の中心部にピン軸８１
を介して連結しであるスプール５７が、前記入力部材５
４の作動距離の半分の距離だけ上方へ移動しようとする
。それにより、一方の圧力ポードア５と一方の流出入ポ
ート７７とが高圧用通路６８を介して連通ずることにな
る。その結果、第１の流体流通系路２１内の高圧流体の
一部が前記各ポート７５．７７を通して一方のシリンダ
６１の流出入口６１ｅに供給されることになり、その圧
力流体がシリンダ六り１ａ内（と導入される。このとき
、他方の流出入ポート７８は、他方の低圧用通路７４を
介して戻りポート７２に連通ずることになる。そのため
、前記一方のシリンダ６１に供給された高圧流体の圧力
によって、前記ビントル１４が下方へ移動することにな
る。ビントル１４が下方へ移動すると、前記アイドルギ
ア５８が前記入力部材５４のラック歯５５を足場にして
下方へ転動することになり、それに伴なって前記スプー
ル５７が下方へ移動させられる。そして、このスプール
５７が前述した中立位置にまで復帰した段階で、前記両
流出入ポート７７．７８が再び前記ランド６５．６６に
よって閉塞されることになり、前記両シリンダ６１．６
２が元のようにロックされる。したがって、前記ビント
ル１４は、前記入力部材５４と同一距離だけ逆方向に移
動して停止することになる。次ぎに、前記入力部材５４
が下方へ移動した場合には、以上の説明とは上下が逆に
なり、前記ビントル１４が前記入力部材５４の移動距離
と同一の距離だけ上方へ移動することになる。

よって、ステッピングモータ５１の正逆回転量に対応す
る距離だけ、ビントル１４を対応する方向に往復動作さ
せることができ、前記ステッピングモータ５１に供給さ
れるデジタル信号に対応させてその容量を適宜変化させ
ることができる。

しかして、このサーボ機構５２は、入力部材５４と出力
部材たるビントル１４との間にアイドルギア５８を介在
させ、このアイドルギア５８の転動作用によって前記入
力部材５４から前記スプール６７への入力変位の伝達お
よび、前記ビントル１４から前記スプール５７へのフィ
ードバック変位の伝達を行えるようにしているので、リ
ンク等を用いてフィードバックを行うものに比べて部品
点数が遥かに少なく、構造が簡略なものになる。

そのため、大幅な小形化ならびに軽量化を図ることがで
きるものである。また、前記スプール５７をスプリング
８２によって一定方向に常時弾性偏倚しておけば、前記
アイドルギア５８の歯が前記両ラック歯５５．５６に常
時弾接させられることになるため、該アイドルギア５８
と前記ラック歯５５．５６とのがたつきをなくすことが
できる。

すなわち、パ・ンクラシュの彰響をなくすことが可能と
なる。そのため、微妙な調整が可能そ、精度の高い目標
位置制御を行うことができるものである。

また実施例では出力部材の移動歇が入力部材の変位！市
に等しい場合について説明したが、例えば第４図、第５
図に示すごとく、半径比の異なるアイドルギアを組にし
て使用すれば入力部材に比例した量を（拡大、縮小いず
れもそれぞれのラックとギヤの仕方で可能）移動させる
ことができるごとく、種々変形が可能である。すなわち
アイドルギア５８ｂはランク歯５６に噛み合い、小型の
アイドルギア５８ａがラック歯５５に噛み合う形になっ
ている。

なお、前記実施例では、入力部材をステッピングモータ
によって作動させるようにした場合について説明したが
、本発明は、必ずしもこのようなものに限られないのは
勿論であり、例えば、前記入力部材を手動で操作出来る
ようにするなど種々変形が可能である。

また、本発明は、ビントルの位置制御に限らず、他の種
々な分野に適用が可能である。

［発明の効果］本発明は、以」−のような構成であるから、部品点数が
多く構造の複雑化を招くという問題点を解消することが
でき、小型軒量化が容易で信頼性の高いサーボ機構を提
供できるものである。

また、特許請求の範囲第２項記載の発明によれば、前記
の効果に加えて、さらに、高精度の制御を行うことがで
きるという効果も得られるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は第１
図におけるＩＩ　−ＩＩ線断面図、第３図は第１図にお
ける■−■線断面図、第４図は変形実施例を示す図、第
５図は第４図Ｖ−Ｖ線断面図である。１ＩＩＩ１１１ハウジング２彎・・　トルクリング１３・・・空間１４・・・出力部材（ビントル）５１−・・ステッピングモータ５２拳・・サーボ機構５３・１アクチユエータ５４φ・・入力部材５５．５６・―・う・ンク歯５７・１スプール５８・・拳アイドルギア５９・・◆流体圧回路８２・・・スプリング

Claims

【特許請求の範囲】

（１）　一定方向に往復運動可能な出力部材と、この出
力部材を流体圧を利用して往復動作させるアクチュエー
タと、前記出力部材に対向配置され操作入力を受けて前
記出力部材と平行な方向に往復動作する入力部材と、こ
の入力部材および前記出力部材の相互に対向する部位に
それぞれ設けたラック歯と、これら両ラック歯間に配設
され前記入、出力部材と平行な方向に往復運動可能なス
プールと、このスプールに軸着され前記両ラック歯に噛
合するアイドルギアと、前記入力部材の移動により前記
スプールが非中立位置へ移動した際に前記アクチュエー
タを該スプールが中立位置に戻る方向へ作動させ得るよ
うに切換わる流体圧回路とを具備してなることを特徴と
するサーボ機構。
（２）　一定方向に往復運動可能な出力部材と、この出
力部材を流体圧を利用して往復動作させるアクチュエー
タと、前記出力部材に対向配置され操作入力を受けて前
記出力部材と平行な方向に往復動作する入力部材と、こ
の入力部材および前記出力部材の相互に対向する部位に
それぞれ設けたラック歯と、これら両ラック歯間に配設
され前記入、出力部材と平行な方向に往復運動可能なス
プールと、このスプールに軸着され前記両ラック歯に噛
合するアイドルギアと、前記スプールを一定方向に常時
弾性偏倚して前記アイドルギアと前記各ラック歯との間
のバックラッシュを防止するスプリングと、前記入力部
材の移動により前記スプールが非中立位置へ移動した際
に前記アクチュエータを該スプールが中立位置に戻る方
向へ作動させ得るように切換わる流体圧回路とを具備し
てなることを特徴とするサーボ機構。