JPS61503056A

JPS61503056A - 静電作動２進シヤツタ装置のアレイ

Info

Publication number: JPS61503056A
Application number: JP50381885A
Authority: JP
Inventors: シンプソン，ジヨ−ジ　ア−ル．; スリヴアン，ハーバート　ダブリユ
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1984-08-21
Filing date: 1985-08-19
Publication date: 1986-12-25
Also published as: WO1986001626A1; EP0192702A1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】静電作動２進シヤツタ装置のアレイ発明の背景この発明は、可視表示アレイ、切り替えマトリクス、メモリ等として使用される静電的に制御可能な電気機械２進装置に関する。

従来技術には静電制御素子の種々の例がある。米国１、９８４．６８３及び３．５５３．３６４に示されているような１つの種類の装置には進入光と平行に伸びるフラップ（複数）全備えた光弁があり、この各フラップは透過表示装置又は反射表示装置のために光路を横切って傾斜角度に静電的に転向可能である。米国３．８９７．９９７は、湾曲した固定電極の光反射特性に影響を与えるようこの固定電極の周り全静電的に包む電極を開示している。１９７０年１２月７日付けのエレクトロニクス（ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣ３）の７８ないし８３頁、及び、１９７０年８月のＩ、　Ｂ、　Ｍ、のテクニカル　ディスクロージャ　フ゛レテイン（’ｉ’ｅｃｈｎｉｃａｌ］）ｉｓｃｌｏｓｕｒｅ　Ｂｕｌｌｅｔｉｎ　）第１３巻、第３号に記載されている様な他の従来技術は変形可能な材料の選択部分を静電的に帯電し、それにより、その光の透過又は反射特性を変えるための電子銃全使用している。

表示のために使用可能な静電制御素子の分野における別の教示事項は次の米国特許から得ることができる：４、３３６．５３６　カルト（［ａｌｔ）他４、２６６、３３９　カルト（Ｋａｌｔ）４．２３４．２＝１５　トダ（Ｔｏｄａ）他４、２２９．０７５　ウェブ（［ｅｄａ）他４、２０８．１０３　カルト（Ｋａｌｔ）他４、１６０．５８３　ウェブ（Ｕｅｄａ　）他４、１６０．５８２　ヤスオ（Ｙａｓｕｏ　）４、１０５．２９４　ペック（ｐｅｃｋ　）＝ｌ、　０９４．５９０　カルト（Ｋａｌｔ）４、０６５．６７７　ミチャロン（Ｍｉｃｈｅｒｏｎ　）３、９８９．３５７　カルト（Ｋａｌｔ）３、８９７．９９７　カルト（Ｋａｌｔ）８８８、２４１　クールマン（Ｋｕｈｌｍａｎｎ　）本発明はシンプソン（Ｓｉｍｐｓｏｎ　）の米国４．２４８．５０１及びシンプソン（Ｓｉｍｐｓｏｎ　）他の４．２３５．５２２に開示された材料から出発するものであり、これらのものの開示は言及てよりここに組み込まｎる。

背景的な関心については、次のものがある：Ｗ、Ｒ，アイケン（Ａｉｋｅｎ　）　：　「アン　エレクトロスタティック　サイン−ザブステック　システムＪ（ＡｎＢｌｅｃｔｒｏｓｔａｊｉｃ　Ｓｉｇｎ　−’ｌ’ｈｅ　１）ｉｓｔｅｃ　ｓｙｓｔｅｍ　）、ササイアティ　フオ　インフォメーション　ディスプレイ（Ｓｏｃｉｅｔｙ　ｆｏｒ　Ｘｎｆｏｒｍａｔａｏｎ　Ｄｉｓｐｌａｙ　）　１９７２年６月、１０８ないし１０９頁、Ｊ、Ｌ、ブＪＬ、　ニー　ｎ　（Ｂｒｕｎｅｅｌ　）他：「オプティカル　ディスプレイ　デバイス　ユージング　バイステーブルエレメンッＪ　（□ｐｔｉｃａｌ　Ｄｉｓｐｌａｙ　Ｄｅｖｉｃｅ　Ｕｓｉｎｇ　ＢｉｓｔａｂｌｅＢｌｅｍｅｎｔｓ　）、１９７７年４月１５日、アプライド　フィジックス　レターズ（Ａｐｐｌｉｅｄ　ｐｈｙｓｉｃｓ　Ｉ、ｅｔｔｅｒｓ　）第３０巻、第８号、３８２ないし３８３頁、及びＲ−Ｔ−ガラエヤ（Ｇａｌｌａｇｈｅｒ　）　：　ｌ −フイ／）　Ｑシャ”／ターズ　フリップ　ツウ　フオーム　キャラクターズイン　ドツト−マトリクス　ディスプレイＪ　（Ｍｉｃｒ□５ｈｕｔｔｅｒｓ　Ｆｌｉｐ　ｔｏ　Ｆｏｒｍ　Ｃｈａｒａｃｔｅｒｓ　ｉｎ　Ｄｏｔ−ＭａｔｒｉｘＤｉｓｂｌａｙ　）、１９８３年７月１４日、エレクトロニクス（Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　）、８１７にイＬ８２Ｎ。

本願は主題において本出願人の係属米国出願第６４２．９９７号、６４２．９９６号及び６８３，６１９号に関する。

これらの出願の開示は言及に依９、ここに組み込む。

発明の要約本発明は表示アレイ、切ｐ替えアレイ、メモリ等に使用さｎる静電的【制御可能な電気機械２進装置を提供する。本発明は、表示アレイの各素子が個々に制御可能であって、黒白、多色英数字及び画像の表示装置を含む種々の可視表示装置全製造することが可能な可視表示装置の場合として記載する。

本発明の表示素子（画素）は各々が静止電極を有する上下の平行に離れたステータと、〔この各ステータは静止電極とその間に〕挿入され蝶番結合てれて移動可能なフラップ又はシャッタとを有している。このシャッタはステータとほぼ平行な第１の位置とこのステータにほぼ直角な第２の位置との間で静電的に制御可能である。好適な実施例では、ステータは光路に垂直な平担面を有し、蝶番結合のフラップ又はシャッタは光路て垂直な位置と平行な位置との間で静電的に制御可能である。表示素子は光の透過全制御することができ、又は、光反射装置の場８ −は光反射特性に影響を与えることができる。この表示素子はウォッチ及び計算器のような用途のために英数字表示素子として使用可能である。それは２状態又は２進的なものである。すなわち、そｔ′Ｌはそのいずれかの状態にラッチすることができる。

本発明の表示素子又は画素は個々の画素のアドレッシング及びラッチングのために導電性の電極区域金偏えている３、画素アレイとして使用される時は、それらの区域の１つはＸ電極として指定され、そして、もう１つはＹ電極として指定される。１行の中の全てのＸ電極は、１列の中のＹ電極と同様に、共に接続さｎている。行と列の交差点の画素は状態全変化するよう駆動される。保持と指定された別の電極区域は、ＸとＹ電極の電圧が消滅した後にその、駆動された画素全ラッチするように働く。

各々別々にアドレス可能な無数の小さい画素又は２進素子のアレイは、選択付着、ホトエツチング、導電インクによる直接印刷等のような多くの種類の公知の技術により製造することが可能である。製造方法の１つは本出顎人の現在係属出、顆第６４２．９９７号に開示されている。

図面の簡単な説明第１図は、本発明による表示素子の７レイの一部を示す、第２図の線ｒ−■に沿って得た断面立面図である。

第２図は第１図による表示素子のアレイの一部の平面図である。

第３図は本発明の表示素子の他の実施例の斜視図である。

第１図は本発明の他の実施例金子す表示素子のアレイの一部の斜視図である。

第５図一本発明の他の実施例金子す表示素子の７レイの一部の平面図である。

第６図は本発明の他の実施例による表示素子の断面立面図である。

第７図は本発明の他の実施例による表示素子の断面立面図である。

詳細な説明第１図及び第２図は本発明の基本的な実施であるアレイの一部？示す。ガラス又はプラスチックよシなる第１の絶縁性の基板１０はその上に複数の平行な導電性の縞ＹＩＯ１Ｙｉ１、Ｘ１２等を形成し−Ｃいる。第２の絶縁性の基板１２はその上に同様な複数の平行な導電性の縞Ｘ２０、Ｘ２１、Ｘ２２等を形成している。これら２組の縞は互いに直交している。薄い膜１４は上記基板の間を平行に伸びている。膜１４はスロット１６によ９３辺が自由となった複数のフラップ又はシャッタ３１ないし３９を有している。その第４番目の辺はシャッタの捻じり蝶番結合となっている。フラップ又はシャッタ３１ないし３９は上記の２組の縞の交差点に配置されている。

電源に縞Ｙ１０とＸ２１’！ｉ−接続すると、これら２つの縞の交点付近にのみ、即ち、シャッタ３２に電界が形成される。アレイの他の交差点のどれにも電界は形成されないのでシャッタ３２以外のシャッタは電界にはさらさ汎ない。膜１４、したがって、シャッタ３２の比誘電率が基板１０と１２の間の空気のそｎとかなり異なる場合に、その電界はシャッタ３２に力を及ぼす。このシャッタは、蝶番結合されているので、その電界と並ぶ方向に移動し、第１図及び第２図に示されているように開く。

膜１４が不透明で基板１０．１２の１つ又は両方及び導電性の縞Ｘ、Ｙの組の１つ又は両方が透明である場合に、開放しているシャッタ３２により光の通過が可能となり、又は、入射した光の反射が変えられてシャッタ３２により占められる画素区域の様子が変わる。ＸとＹの導電性の縞の適切な選択により、特定のシャッタが開かれて文字又は他のグラフィック作品のための画素パターンが形成される。

第３図は１つの実施例の画素３４０を示し、この中で、第１図及び第２図の大きな単一のシャッタが複数の狭いシャッタ３４１ないし３４５によシ置き換えられ、この狭いシャッタは、これらの狭いシャッタ全形成するために膜３１４にスロットを形成した後に残っている小さな捻じりストラップ又はウェッブ３４７に蝶番結合されている。各シャッタ３４１ないし３４５は狭いので、これらのシャッタを開くに要求される電力は第１図及び第２図の実施例の場合より少ない。第３図はＸ縞の一部であるＸ３２０を示す。

これらのシャッタは、ＭＹＬＡＲとして販売されているポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）のような重合体の膜から切断てより形成することができる。ＰＥＴの膜は、空気の比誘電率とはかなシ異なる約６ないし９の比誘電率全方している。これとは逆に、これらのシャッタは導電性か、又は、例えば、ＰＥＴの膜に蒸着さｎたアルミニウムの導電性の表面層ケ持つことができる。高誘電体又は導電性のいずれかのシャッタは電界と並ぶ方向に振扛る。

第４図は第１図及び第２図の画素アレイの変形例である画素アレイの一部を斜視図で示す。この図で、Ｘの導電性の縞は取り除かれて、それらの機能は上包らのシャッタ全形成している膜４１ヰ上の導電性の表面コーティングてより引き継がｎている。

膜４１４はＰＥＴ膜であって、この上にアルミニウムが蒸着されている。間隙４５２はエツチングされて膜４１４「０のアルミニウムの平行力縞Ｘ２１、Ｘ２２等に分割している。そのアレイの各々のＸ列の全てのシャッタがそのアルミニウムのコーティングを介して電気接続されるようにシャッタ４３２ないし４３６はこれらの縞に沿って切られている。Ｙの縞ｙＩＱ、Ｙｌｌなどはこれらのシャッタの振れを収容するために前述のようにこれらのシャッタから離して基板１０に形成でｎでいる。第４図は、シャッタ４３２を３む行Ｘ２１のための４電件の縞と列￥１０のための導電性の縞、七の間に電圧を加えた結果として開かれたシャッタ４３２を示す。

第１図ないし第、１図の実施例の各々（・′こおいて、シャッタは、アドレスされると、その１■ｚ界と甚ぶ傾向がある。

喋番又ストラップの復旧用の機械バイアスのばね効果によりシャッタは閉じら汎る。この機械バイアスは電界の効果に逆らうものでちる。上記の開が７″１．たシャッタは、その電界と機械バイアスの相対抗する力の合成”Ｃｈる開き角度ケとる。

第５図は上記導電性の縞のパターンの一部ケ示す。この種のパターンは前述の実施例のＸとＹの導体の両方に使用することができる。Ｙの導体パターンは第５図に示しである。電極５３１．５３２．５３３等は各々リード線Ｙ１０に接続さｎていて、リード線Ｙ１０が電源に接続された時に各々電圧を印加される。同様に、電極５３４ないし５３６はＹｌｌに接続さｊ、ていて、電極５３７ないし５３９ばＹ１２に接続されている。山形袖章の形状の間隙により電極５３１ないし５３９の各々から電極５５０は離されており、この電極５５０の各々はリード線ＨＤに接続され、このリード線ＨＤは共に接続されている。電極５５０はラッチとして働く。特定の画素が適切なＸとＹのリード線の選択的な接続によりアドレスされると、対応するシャッタが振れて開く。もしリード線ＨＤが′ル圧全印加これると、そのアドレスさ江た画素の電極５５０ばその選択されたシャッタ全開いた１まにし、それＱてより、ＸとＹのリード線の電圧印加を止めることができる。このう′ノチが可能なことにより画素を順次アドレスしながら各画素がアドレスされた時この画素を開いた１−まにラッチすることができる。各々の文字又はグラフィック作品は形成されてラッチングにより保存されることができるので、複数又は−線上の文字は一度に１文字ずつ形成することができ、そしてリード線ＨＤに与えられた電圧の消滅により消去される迄存在する。

第６図は保持又はラッチ電極と、膜６１４から切ら汎て形成さｎたシャッタ６３２を持つ画素のためのＸとＹ電極金子す断面略図である。上の基板６１０はＸ電極と２つのランチ電極区域Ｔ、Ｄ、ＬＵｔ−担持している。下の基板６１２はＸ電極と２つのラッチ電極区域ＬＤ、ＬＵｉ担持している。画素のアドレスの前後で、下のラッチ電極区域ＬＤ、ＬＵは（任意に（−）負と指定さｎた）電圧源の一側に接続さｎｌそして、上のラッチ電極区域ＬＤ、ＬＵは（（＋）正と指定された）電圧源の反対側に接続されている。シャッタ６３２はほぼ閉じたままである。Ｘ電極を正の側に接続しても殆ど効果はないがＸ電極が共て負の側に接続されるとはじめてシャッタ６３２が図示のように跳び開く。ＸとＹの兜動電圧が消滅しても最早シャッタには影響は与えない。その理由は、電圧源にラッチ電極区域を継続して接続しているためにシャッタは開いた状態に固定されたｆまとなるからである。幾つかの電極区域間の間隙は第５図に示されている山形袖章の形状全町する。こＪｔｌてより、シャッタが開いている間、シャッタの縁はｉｉｆ■ の電極区域を去る前に次の電極区域の分野に遭遇することが保証される。

第７図ばＸ、Ｙ及びラッチアップ（ＬＵ）の電極が上部ステータ７１０に配置されている実施例を示す。膜７１４は、シャッタ金有していて、蒸着アルミニウムのような導電性の面を備えている。ラッチダウン電極ＬＤは下部ステータ７１２に設けてもよいし、又はシャッタの開口の縁近くの膜７１４に配置してもよい。

アレイがまた逆にアドレスされるべき場合即ち開いたシャッタを選択的に閉じるべき場合にはラッチダウン電極が望ましい。

選択されたシャッタをアドレスするためにアレイの中の全てのラッチダウン電極ＬＤはオフにさｎ、即ち、シャッタの電圧に切り替えられる。そしてアレイの中の全てのラッチアンプ電極ＬＵは電圧音訓えらｎる。特定のＸ行とＹ列の電圧印加により、選択されたシャッタ（第７図の７３２）は振れて開き、そして、ラッチアンプ電極ＬＵの近くに達した時１（開いた１オラツチさｎｌ　ＸとＹの１駆動電圧の消滅が可能となる。逆の７ドレツシングは、開いているシャッタを振らして閉じているために行うことができる。ラッチ電極ＬＤへの電圧印加圧より、又は逆アドレッシングにより閉じられていた又は閉じらｎているシャッタ全ては閉じられた状態（・てラッチされる。

シャッタがラッチ電極により開いた又は閉じた状態のいずれかに確実にラッチされた第７図に示したような構成は安定であり、加速度、振動、衝撃又は静的放電のような外力によっては大して影響されない。永久充電のエレクトレットを利用するラッチ電極は電圧が存在しない場合に機能してアレイの状態を維持する。

第５図ないし第７図に関連して記載した種類の電極パターンもシャッタ及びこのシャッタの膜の上に形成することができる。したがって電極は１つの又は両方のステータの上、１つのステータとシャッタの上又はその３つ全ての上に存在するようにもできる。

第６図と第７図に示した素子は、保持区域の他に２つの別々に制御可能な静止電極区域（Ｘ、Ｙ）ｋ有している。各表示素子内の別々て制御可能な導電区域の数音増加すると、必要とさｎるスイッチ装置の数を付随的に増加させずに７レイの素子の数をかなり増加することができる。具体的にいうと、素子の数Ｎを有し、この各素子が別々に制御可能な導電区域の数ｄを有するアレイの特定の素子Ｇてアドレスするために、必要と１　ｉするスイッチ素子の数Ｓは例えば、Ｎ＝３９０，６２５個の個々に制御可能な画素のアレイの場合、１素子轟りの単一の導電区域には３９０、６２５個のスイッチが必要とさぁ即ち、１素子当り１つのスイッチが必要とされる。各素子が２つの７ｊ）′ｌＫ区域区域金石場合は、１２５０個のスイッチが各素子？′ｊ月々て制（財）しアドレスするため（て・ビ・安とされる。素子が・１つの区域を有する場合には、１００個だけのスイッチが必要とされる。スイッチ装置及びこの明細書で述べられた他の全てのスイッチ装置は機械スイッチ又は半導体素子のような電子スイッチであってもよい。それらの機能は共通電極と制御される素子の制御電極との間に電圧を加えることである。

本発明は可視表示装置の点で記載されたが、本質的に、このアしイは、開いているか閉じているかのいずれが、光の反射であるか否か、穴であるか否かの２進ゲート素子の分野のものである。したがって、アレイはコンピュータのための、メモリとして使用することができる。ひとたびプログラムされて選択された画素が開が閉であると、状態は変化が望１れる１で無変化のままである。その形態において、アレイは編集又は消去可能な読み取り書き込みメモリである。

簡単化のために平板状のステータを示す本発明全記載した。しかしながら、シャッタは駆動さ扛て開いたり又は閉じたりするので、シャッタの縁の近くに電極区域全配置するためＶ′ｃ湾曲又は円筒状の面も使用できる。同様に、本発明は閉じるための機械バイアス又はバネ効果を持つシャッタについて記載されたが、例えば、逆アドレッシングにより駆動されて閉じられるシャッタにとってはバイアスは必要ではない。

ＦＩＧ、５国際ＦＡ査報告嘲−−＊−ｍｓ−＋＾ｓｅ＋＋ｃ−＋ｍ−＋ｎｏ、ＰＣＴ／ＵＳ８５１０１５８５

Claims

【特許請求の範囲】

１．各々が複数の電極区域を有する一対の平行なステータ部材、及び静電的に吸引可能な蝶番結合のシヤツタ部材を有し、前記シヤツタ部材は前記ステータ部材とほぼ平行な閉じ位置の方へ向く永久的な機械バイアスを有し、前記ステータ部材にほぼ垂直な開き位置の方へ前記シヤツタ部材が吸引されるように前記シヤツタ部材の近くのステータ電極区域間に電圧を加えた時、前記機械バイアスは前記シヤツタ部材に作用する静電力に打ち勝つには不十分である静電作動２進素子。
２．請求の範囲第１項の静電作動２進素子であつて、前記シヤツタ部材は高い比誘電率を有する材料からできている静電作動２進素子。
３．請求の範囲第１項の静電作動２進素子であつて、前記シヤツタ部材は少なくとも導電性の面を有している静電作動２進素子。
４．請求の範囲第２項又は第３項の静電作動２進素子であつて、前記シヤツタ部材は複数の平行なシヤツタ部材を有している静電作動２進素子。
５．電極区域を有するステータ部材、及び閉じ位置及び開き位置を有する静電的に吸引可能な蝶番結合のシヤツタ部材を有し、前記シヤツタ部材は少なくとも導電性の面を有すると共に、前記ステータ部材とほぼ平行な閉じ位置の方へ向かう永久的左機械バイアスを有しており、前記ステータ部材にほぼ垂直な開き位置の方へ前記シヤツタ部材が吸引されるように前記ステータ電極区域と前記シヤツタ部材の導電性の面との間に電圧を加えた時、前記機械バイアスは前記シヤツタ部材に作用する静電力に打ち勝つには不十分である静電作動２進素子。
６．請求の範囲第５項の静電作動２進素子であつて、前記ステータ部材は少なくとも２つの電極区域を有し、その１つは、前記シヤツタ部材が開かれた時、このシヤツタ部材の縁の近くにある静電作動２進素子。
７．請求の範囲第１項又は第６項の静電作動２進素子であつて、前記ステータ電極区域は山形袖章の形状の間隙により分離されている静電作動２進素子。
８．請求の範囲第６項の静電作動２進素子であつて、前記シヤツタ部材の導電性の面は山形袖章の形状の間隙によつて少なくとも２つの電極区域に分割されている静電作動２進素子。
９．請求の範囲第１項の静電作動２進素子であつて、前記ステータ部材は各々少なくとも２つの電極区域を有し、各ステータ部材の１つの電極区域は前記シヤツタ部材が開かれた時このシヤツタ部材の近くにある静電作動２進素子。
１０．静電作動２進素子の行列アレイであつて、その各２進素子が、各々が複数の電極区域を有する一対の平行なステータ部材、及び静電的に吸引可能な蝶番結合のシヤツタ部材を有し、前記シヤツタ部材が前記ステータ部材とほぼ平行な閉じ位置の方へ向かう永久的な機械バイアスを有し、前記ステータ部材にほぼ垂直な開き位置の方へ前記シヤツタ部材が吸引されるように前記シヤツタ部材の近くのステータ電極区域間に電圧を加えた時、前記機械バイアスは前記シヤツタ部材に作用する静電力に打ち勝つには不十分である静電作動２進素子の行列アレイ。
１１．静電作動２進素子の行列アレイであつて、その各２進素子が、電極区域を有するステータ部材、及び閉じ位置及び開き位置を有する静電的に吸引可能な蝶番結合のシヤツタ部材を有し、前記シヤツタ部材が少なくとも導電性の面を有すると共に前記ステータ部材とほぼ平行な閉じ位置の方へ向かう永久的な機械バイアスを有し、前記ステータ部材にほぼ垂直な開き位置の方へ前記シヤツタ部材が吸引されるように前記ステータ電極区域と前記シヤツタ部材の導電性の面との間に電圧を加えた時、前記機械バイアスは前記シヤツタ部材に作用する静電力に打ち勝つには不十分である静電作動２進素子の行列アレイ。
１２．請求の範囲第１０項の静電作動２進素子の行列アレイであつて、各２進素子の場所において、前記一対のステータ部材の各々が山形袖章の形状の間隙によつて分離された第１、第２、第３の電極区域を有し、各ステータ部材の前記第１と第３の電極区域の全ては共に且つ各ステータ部材のための入力リード線に電気接続されており、１列の中の全ての素子のための１つのステータ部材の第２の電極区域は共に且つその列の入力カード線に接続されている静電作動２進素子の行列アレイ。
１３．一対の平行な第１と第２のステータ部材を有し、この各々が複数の平行な導電性の縞を有し、第記第１のステータ部材の導電性の縞が前記第２のステータ部材の縞に直交するとともにこの縞から離れている、静電作動２進素子の行列アレイであつて、前記第１と第２のステータ部材の導電性の縞の交差点において前記ステータ部材間に配置された静電的に吸引可能な蝶番結合のシヤツタ部材を有し、前記シヤツタ部材の各々は前記ステータ部材と平行左位置へ向かう永久的な機械バイアスを有し、この機械バイアスは、直交する互いに離れた一対の導電性の縞（この縞の間には電圧が確立されている）の交差点に配置されたシヤツタ部材に作用する静電力に打ち勝つには不十分である静電作動２進素子の行列アレイ。
１４．複数の別々の電極区域を有するステータ部材、及び閉じ位置及び開き位置間を移動可能な静電的に吸引可能な蝶番結合のシヤツタ部材を有し、前記電極区域は前記開き位置の方へ徐々に前記シヤツタ部材を吸引するように配列されている静電作動２進素子。
１５．請求の範囲第１４項の静電作動２進素子であつて、前記シヤツタ部材は少なくとも導電性の面を有し、前記ステータ部材の電極区域は第１のアドレス可能な極区域、第２のアドレス可能な電極区域、及びラツチ電極区域を有し、前記シヤツタ部材の導電性の面と前記ステータ部材の電極区域との間における電圧の確立により前記開き位置の方へ前記シヤツタ部材が徐々に吸引される静電作動２進素子。
１６．請求の範囲第１５項の静電作動２進素子であつて、前記閉じ位置に前記シヤツタ部材をラツチするための別のラツチ電極を有する静電作動２進素子。
１７．各々が少なくとも２つのラツチ電極区域とアドレス可能な電極区域を有する一対のほぼ平行なステータ部材、及び前記ステータ部材間に配置されて閉じ位置と開き位置の間を移動可能な静電的に吸引可能な蝶番結合のシヤツタ部材を有する静電作動２進素子。
１８．請求の範囲第１５項又は第１７項による２進素子の行列アレイであつて、素子の行の全ての第１のアドレス可能な電極区域は共に且つその行の入力リード線に電気接続されており、素子の列の前記第２のアドレス可能な電極区域の全ては共に且つその列の入力リード線に電気接続されており、そして、前記ラツチ電極の全ては共に且つ入力リード線に接続されている静電作動２進素子の行列アレイ。
１９．複数の平行な導電性の縞を有するステータ部材、及び少なくとも導電性の面を有する平板な部材を有し、前記導電性の面は複数の平行な導電性の縞に分割されており、前記平板部材の導電性の縞は、交差点を形成するために、前記ステータ部材の導電性の縞から離れてこれに直交しており、そして、静電的に吸引可能な蝶番結合のシヤツタ部材が前記交差点に配置されて前記ステータ部材とほぼ平行な位置と前記ステータ部材にほぼ直角な位置との間を移動可能である静電作動２進素子の行列アレイ。
２０．請求の範囲第１５項の静電作動２進素子であつて、前記ラツチ電極区域は永久的に帯電されたエレクトレツト材料を用いて少なくとも部分的に帯電される静電作動２進素子。
２１．請求の範囲第１７項の静電作動２進素子であつて、１つ又はより多くの前記ラツチ電極の区域は永久的に帯電されたエレクトレツト材料を用いて少なくとも部分的に帯電されてしへる静電作動２進素子。
２２．請求の範囲第１３項の静電作動２進素子であつて、前記シヤツタ部材は高い比誘電率を有する材料から作られている静電作動２進素子。
２３．請求の範囲第１３項の静電作動２進素子であつて、前記シヤツタ部材は少なくとも導電性の面を有する静電作動２進素子。
２４．請求の範囲第２２項又は２３項の２進素子であつて、前記シヤツタ部材は複数の平行なシヤツタ部材を有している静電作動２進素子。